JPS60150626A - 荷電粒子線描画装置 - Google Patents
荷電粒子線描画装置Info
- Publication number
- JPS60150626A JPS60150626A JP59006258A JP625884A JPS60150626A JP S60150626 A JPS60150626 A JP S60150626A JP 59006258 A JP59006258 A JP 59006258A JP 625884 A JP625884 A JP 625884A JP S60150626 A JPS60150626 A JP S60150626A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- blanking
- electrode
- electron beam
- particle beam
- charged particle
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
- Electron Beam Exposure (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の腐する技術分野］
この発明は％餡高笛度集積回路又はそのためのマスクを
製造する粒子純描画装億に関する。
製造する粒子純描画装億に関する。
［従来技術とその問題点］
従来の電子線描画装置の構成図を第１図に示す。
１は市、子線を発生するｔｏ７子＠＋２は加速のための
陽極、３Ｉ″ｉ電子線を鏡筒の中心を通すためのアライ
メントコイル、４は第１コンデンサレンズ、５は本９６
明に関連した、′山、子線を描画パターンの有無に応じ
てオン、オフするためのブランキング電極、６は３と同
様なアライメントコイル、７は第２コンテンサレンズ、
８に３．６と同様なアライメントコイル、９は描画パタ
ーン形状に応じて電子線を偏向させる偏向コイル、１０
は描画面上に電子線ビームの焦点を結ばせるｆｒ−めの
対物レンズ。
陽極、３Ｉ″ｉ電子線を鏡筒の中心を通すためのアライ
メントコイル、４は第１コンデンサレンズ、５は本９６
明に関連した、′山、子線を描画パターンの有無に応じ
てオン、オフするためのブランキング電極、６は３と同
様なアライメントコイル、７は第２コンテンサレンズ、
８に３．６と同様なアライメントコイル、９は描画パタ
ーン形状に応じて電子線を偏向させる偏向コイル、１０
は描画面上に電子線ビームの焦点を結ばせるｆｒ−めの
対物レンズ。
１１は霜、子線の非点をなくすための非点補正コイル。
１１ｔダイナミツクフオーカスコイルである。１３は試
料の入る真空室、１４はウェーハー、マスク等試料の載
るＸ−Ｙテーブル、 １５は振’ｆＪＪ ｖ収のための
ショツクアプンーバーである。
料の入る真空室、１４はウェーハー、マスク等試料の載
るＸ−Ｙテーブル、 １５は振’ｆＪＪ ｖ収のための
ショツクアプンーバーである。
本発明に関連するブランキング′［Ｗｋ５汀第１図に示
されているよう仁、従来け、鏡筒〕（中旬近に＆ｇかれ
ていた。このような位置にある場合、テーブル１４の上
の焦点向までの距離が知プハいので充分電子線をオフす
るためブランキング電極に印加する電圧に高い電圧を必
要とし、そのための増巾器に高性能なものを必要とし％
特に篩速描画を必要とする場合には高周波特性のものが
心安となる。
されているよう仁、従来け、鏡筒〕（中旬近に＆ｇかれ
ていた。このような位置にある場合、テーブル１４の上
の焦点向までの距離が知プハいので充分電子線をオフす
るためブランキング電極に印加する電圧に高い電圧を必
要とし、そのための増巾器に高性能なものを必要とし％
特に篩速描画を必要とする場合には高周波特性のものが
心安となる。
また、ブランキング電極、極の長さも長いものが必要と
なり、そのためのスペースも広くなけ）′Ｌばならず鏡
筒の長烙も大きくなる。
なり、そのためのスペースも広くなけ）′Ｌばならず鏡
筒の長烙も大きくなる。
［発明の目的］
本発明は、上記の従来技術じおける電子線のブランキン
グな容易ならしめることを目的とする。
グな容易ならしめることを目的とする。
［発明の概要］
第２図に１本発明装置の電子銃、陽極部分の拡大図を示
す。１に？ｈ、子を放出するカソード、例えばランタン
ヘキサボーライド（ＬａＢ６） 、 ２１ｄカソードｌ
よりも約Ｉ ＫＶ負電位をかｈ−％電子線を安定化させ
るウェネルト′電極、３は陽極でカソード１よりも２０
〜５０ ＫＶの正鵠、位が与えられる。これら電′４へ
は、辿常は陽秘３がアース抽；位なので、負の筒電位と
なっている。したがって、ブランキング電極はできるだ
けカソード１に近い方が良いけれとも、ブランキング電
極やそれに印加する電源等もアースから高電位に浮さな
ければならないので製作上％離しいだけではなく、ブラ
ンキングスピードも遅くなり、高速描画が制限されるこ
とになる。
す。１に？ｈ、子を放出するカソード、例えばランタン
ヘキサボーライド（ＬａＢ６） 、 ２１ｄカソードｌ
よりも約Ｉ ＫＶ負電位をかｈ−％電子線を安定化させ
るウェネルト′電極、３は陽極でカソード１よりも２０
〜５０ ＫＶの正鵠、位が与えられる。これら電′４へ
は、辿常は陽秘３がアース抽；位なので、負の筒電位と
なっている。したがって、ブランキング電極はできるだ
けカソード１に近い方が良いけれとも、ブランキング電
極やそれに印加する電源等もアースから高電位に浮さな
ければならないので製作上％離しいだけではなく、ブラ
ンキングスピードも遅くなり、高速描画が制限されるこ
とになる。
本発明１、第２図において、ブランキング電極をアース
を位に保持されている陽極３内に組み込んだことが大き
な特長である。
を位に保持されている陽極３内に組み込んだことが大き
な特長である。
［発明の効果］
本発明によれば、ブランキング電極が電子放射源の近く
にあるので、低いブランキング市、圧でも充分ビームを
大きく偏向させることができるのでそのための電源、ア
ンプ等が小芥おのもので済むため、高速ブランキングが
容易になり、したがって高速描画によるスループット上
昇が達成される。
にあるので、低いブランキング市、圧でも充分ビームを
大きく偏向させることができるのでそのための電源、ア
ンプ等が小芥おのもので済むため、高速ブランキングが
容易になり、したがって高速描画によるスループット上
昇が達成される。
また、ブランキング電極はアース電位近くにできるので
、ウェネルトに近つけた場仕に比較して、取付が容易で
、ａＩ造も簡単（二なる。
、ウェネルトに近つけた場仕に比較して、取付が容易で
、ａＩ造も簡単（二なる。
ブランキングが容易にＩＩることがらブランキングｔ＆
、 ４１も小さくできる。
、 ４１も小さくできる。
［発明の実施例］
第３図に本発明の一笑飾例を示す。４がブランキング電
極で多り、５を弁して真空系外へ、ガイシなどを通して
、取り出されている。５と１匂極３及び鏡筒とは絶縁さ
れていることは阿うまでもない。これは陽極３と一体化
構造を有し”Ｃいるので、非常にコンパクトである。
極で多り、５を弁して真空系外へ、ガイシなどを通して
、取り出されている。５と１匂極３及び鏡筒とは絶縁さ
れていることは阿うまでもない。これは陽極３と一体化
構造を有し”Ｃいるので、非常にコンパクトである。
［発明の他の笑施例コ
本発明の他の実施例として％第４図にそれを示す。陽極
３とは一体化さｆしてぃないけれども、陽惨内にくみ込
ま７しているので同経な効果を有する。
３とは一体化さｆしてぃないけれども、陽惨内にくみ込
ま７しているので同経な効果を有する。
第１図に電子線描画装置の構成図、第２図は従来の電子
銃陽極の断面拡大図Ｓ第３図は本発明の一芙施例を示す
断面拡大図、第４図は本発明の他の実施例を示す断面拡
大図である。 ｌ ・・・ ’ｔ 子６すＬ ２ ・・・ １λ！；４
４に３・・・アライメントコイル ４・・・第１コンデンサレンズ ５・・・ブランキング′電極 ６・・・アライメントコイル ７・・・第２コンデンサレンズ ８・・・アライメントコイル ９・・・偏向コイル１０
・・・対物レンズ １１・・・非Ａ Ｍ 正コイル１２
・・・ダイナミックフォーカスコイル１３・・・試料室
１４・・・Ｘ−Ｙテーブル１５・・・７ヨツクアプン
ーバー ２１・・・カソード２２・・・ウェネルト％体
お・・・陽極２４・・・ブランキング電極 ２ｂ・・
・外部導入端子第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図
銃陽極の断面拡大図Ｓ第３図は本発明の一芙施例を示す
断面拡大図、第４図は本発明の他の実施例を示す断面拡
大図である。 ｌ ・・・ ’ｔ 子６すＬ ２ ・・・ １λ！；４
４に３・・・アライメントコイル ４・・・第１コンデンサレンズ ５・・・ブランキング′電極 ６・・・アライメントコイル ７・・・第２コンデンサレンズ ８・・・アライメントコイル ９・・・偏向コイル１０
・・・対物レンズ １１・・・非Ａ Ｍ 正コイル１２
・・・ダイナミックフォーカスコイル１３・・・試料室
１４・・・Ｘ−Ｙテーブル１５・・・７ヨツクアプン
ーバー ２１・・・カソード２２・・・ウェネルト％体
お・・・陽極２４・・・ブランキング電極 ２ｂ・・
・外部導入端子第 １ 図 第 ２ 図 第 ３ 図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 荷電粒子線をブランキングするための電極を。 加速電極円部に設置したことを特徴とする荷電粒子線描
画装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59006258A JPS60150626A (ja) | 1984-01-19 | 1984-01-19 | 荷電粒子線描画装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59006258A JPS60150626A (ja) | 1984-01-19 | 1984-01-19 | 荷電粒子線描画装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60150626A true JPS60150626A (ja) | 1985-08-08 |
Family
ID=11633445
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59006258A Pending JPS60150626A (ja) | 1984-01-19 | 1984-01-19 | 荷電粒子線描画装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60150626A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61225747A (ja) * | 1985-03-28 | 1986-10-07 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 電子ビーム装置 |
-
1984
- 1984-01-19 JP JP59006258A patent/JPS60150626A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61225747A (ja) * | 1985-03-28 | 1986-10-07 | フィリップス エレクトロニクス ネムローゼ フェンノートシャップ | 電子ビーム装置 |
| JPH0626104B2 (ja) * | 1985-03-28 | 1994-04-06 | エヌ・ベー・フイリツプス・フルーイランペンフアブリケン | 電子ビーム装置 |
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