JPS60147645A - 封入ガス分析装置 - Google Patents
封入ガス分析装置Info
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- JPS60147645A JPS60147645A JP59004414A JP441484A JPS60147645A JP S60147645 A JPS60147645 A JP S60147645A JP 59004414 A JP59004414 A JP 59004414A JP 441484 A JP441484 A JP 441484A JP S60147645 A JPS60147645 A JP S60147645A
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- Japan
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- high vacuum
- gas
- pump
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- lamp
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/24—Vacuum systems, e.g. maintaining desired pressures
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/02—Details
- H01J49/04—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components
- H01J49/0422—Arrangements for introducing or extracting samples to be analysed, e.g. vacuum locks; Arrangements for external adjustment of electron- or ion-optical components for gaseous samples
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N30/00—Investigating or analysing materials by separation into components using adsorption, absorption or similar phenomena or using ion-exchange, e.g. chromatography or field flow fractionation
- G01N30/02—Column chromatography
- G01N30/62—Detectors specially adapted therefor
- G01N30/72—Mass spectrometers
- G01N30/7206—Mass spectrometers interfaced to gas chromatograph
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、ランプのような負圧ガス封入器具の封入ガ
ス成分および微量不純ガス成分の同定ならびに定量を行
う封入ガス分析装置に関するものである。
ス成分および微量不純ガス成分の同定ならびに定量を行
う封入ガス分析装置に関するものである。
従来この種の分析装置として第１図に示すものがあった
。図において、（１）、 （２）および（３）はポリ
−イミドシールドバルブ、（４）はバリアプルリークバ
ルブ、（５）、（６）は四方ボールバルブ、（７）は六
方切換コック、（８）はランプ内の封入ガスを採取する
ランプ破壊部、（９）は検量線の作成に用いる標準ガス
源、（１０）はガス゛リザーバー、（１１）は油拡散ポ
ンプ、（１２）は油回転ポンプ、（１３）は試料管、（
１４）はランプ封入ガスを単一成分に分離するモレキュ
ラシ−ブ力ラム、（１５）は低温側のカラム温度制御を
行うための低温制御付加装置、（１６）はキャリヤーガ
ス中の不純ガスを除去する不純ガス除去カラム、（１７
）はキャリヤーガスの流量制御部、（１８）は分離され
たガスを検出するＴＣＤ検出器、（１９）はキャリヤー
ガスボンベ、（２０）は液体窒素容器である。この分析
装置は、上記（１）〜（１３）で構成されている試料導
入装置と、（１４）〜（２０）で構成されているガスク
ロマトグラフ装置からなる。
。図において、（１）、 （２）および（３）はポリ
−イミドシールドバルブ、（４）はバリアプルリークバ
ルブ、（５）、（６）は四方ボールバルブ、（７）は六
方切換コック、（８）はランプ内の封入ガスを採取する
ランプ破壊部、（９）は検量線の作成に用いる標準ガス
源、（１０）はガス゛リザーバー、（１１）は油拡散ポ
ンプ、（１２）は油回転ポンプ、（１３）は試料管、（
１４）はランプ封入ガスを単一成分に分離するモレキュ
ラシ−ブ力ラム、（１５）は低温側のカラム温度制御を
行うための低温制御付加装置、（１６）はキャリヤーガ
ス中の不純ガスを除去する不純ガス除去カラム、（１７
）はキャリヤーガスの流量制御部、（１８）は分離され
たガスを検出するＴＣＤ検出器、（１９）はキャリヤー
ガスボンベ、（２０）は液体窒素容器である。この分析
装置は、上記（１）〜（１３）で構成されている試料導
入装置と、（１４）〜（２０）で構成されているガスク
ロマトグラフ装置からなる。
次に動作について説明する。まず四方ボールバ０、ルブ
（５）、（６）を実線の流路に切換え、ポリイミドシー
ルドバルブ（１）、 （３）を開き、試料管（１３）、
ガスリザーバー（１０）およびランプ破壊部（８）を油
回転ポンプ（１２）でＩ Ｘ １０”Ｐａ付近まで排気
する。
（５）、（６）を実線の流路に切換え、ポリイミドシー
ルドバルブ（１）、 （３）を開き、試料管（１３）、
ガスリザーバー（１０）およびランプ破壊部（８）を油
回転ポンプ（１２）でＩ Ｘ １０”Ｐａ付近まで排気
する。
そしてポリイミドシールドバルブ（３）を閉じてポリイ
ミドシールドバルブ（２）を開き、油拡散ポンプ（１１
）でＩ Ｘ １０”Ｐａ付近まで排気する。その後、ポ
リイミドシールドバルブ（１）を閉じ、ランプ破壊部（
８）でランプを破壊し、ポリイミドシールドバルブ（２
）を閉じた後、ポリイミドシールドバルブ（１）を開き
、ランプ内の封入ガスをガスリザーバー （１０）およ
び試料管（１３）へ導入する。次に六方切換コック（７
）を破線の流路に切換え、四方ボールバルブ（５）を破
線の流路に切換えた後、四方ボールバルブ（６）を破線
の流路に切換え、キャリヤーガスボンベ（１９）から不
純ガス除去カラム（１６）および流量制御部（１７）を
経て流れるキャリヤーガスによって試料管（１３）の内
圧をモレキュラシーブ力ラム（１４）の内圧と同圧にす
る。そして、六方切換コック（７）を実線の流路に切換
え、試料管（１３）内のランプ封入ガスをモレキュラシ
ーブ力ラム（１４）へ導入する。ランプ封入ガス導入後
のモレキュラシーブ力ラム（１４）の温度条件は、−１
００℃で８分間保持した後、毎分８℃で１００℃まで昇
温させる。上記カラム温度条件によって分離されたラン
プ封入ガス成分は’１’ ＣＤ検出器（１８）によって
検出される。
ミドシールドバルブ（２）を開き、油拡散ポンプ（１１
）でＩ Ｘ １０”Ｐａ付近まで排気する。その後、ポ
リイミドシールドバルブ（１）を閉じ、ランプ破壊部（
８）でランプを破壊し、ポリイミドシールドバルブ（２
）を閉じた後、ポリイミドシールドバルブ（１）を開き
、ランプ内の封入ガスをガスリザーバー （１０）およ
び試料管（１３）へ導入する。次に六方切換コック（７
）を破線の流路に切換え、四方ボールバルブ（５）を破
線の流路に切換えた後、四方ボールバルブ（６）を破線
の流路に切換え、キャリヤーガスボンベ（１９）から不
純ガス除去カラム（１６）および流量制御部（１７）を
経て流れるキャリヤーガスによって試料管（１３）の内
圧をモレキュラシーブ力ラム（１４）の内圧と同圧にす
る。そして、六方切換コック（７）を実線の流路に切換
え、試料管（１３）内のランプ封入ガスをモレキュラシ
ーブ力ラム（１４）へ導入する。ランプ封入ガス導入後
のモレキュラシーブ力ラム（１４）の温度条件は、−１
００℃で８分間保持した後、毎分８℃で１００℃まで昇
温させる。上記カラム温度条件によって分離されたラン
プ封入ガス成分は’１’ ＣＤ検出器（１８）によって
検出される。
検量線は、ランプ封入ガス測定時と同じ手順で試料管（
１３）とガスリザーバー（ｌＯ）をＩ Ｘ １０−４Ｐ
ａ付近まで排気後、標準ガス源（９）から標準ガスをバ
リアプルリークバルブ（４）を介してガスリザーバー（
１０）および試料管（１３）へ導入し、そ９後、ランプ
封入ガス測定時と同じ手順で試料管（１３）内の標準ガ
スをモレキュラシーブ力ラム（１４）へ導入しく２０）
からカラムオーブン内へ噴出する液体鴎窒素の量を低温
制御付加装置（１５）で制御することによって行われる
。
１３）とガスリザーバー（ｌＯ）をＩ Ｘ １０−４Ｐ
ａ付近まで排気後、標準ガス源（９）から標準ガスをバ
リアプルリークバルブ（４）を介してガスリザーバー（
１０）および試料管（１３）へ導入し、そ９後、ランプ
封入ガス測定時と同じ手順で試料管（１３）内の標準ガ
スをモレキュラシーブ力ラム（１４）へ導入しく２０）
からカラムオーブン内へ噴出する液体鴎窒素の量を低温
制御付加装置（１５）で制御することによって行われる
。
従来のランプ等の封入ガス分析装置は以上のように構成
されているので、モレキュラシーブ力ラム（１４）で分
離されないガスは測定できず、またＴＣＤ検出器（１８
）の感度が低いため、微量の不純ガスの分析が困難であ
るなどの欠点があった。
されているので、モレキュラシーブ力ラム（１４）で分
離されないガスは測定できず、またＴＣＤ検出器（１８
）の感度が低いため、微量の不純ガスの分析が困難であ
るなどの欠点があった。
この発明は上記のような従来のものの欠点を除去する目
的でなされたもので、封入ガスを高真空中で採取するチ
ェンバーおよび高真空で質量分析を行う質量分析計を、
流出量制限部材を介して接続することにより、大気圧以
下の封入ガス成分および微量不純ガス成分を容易かつ高
感度で同定および定量できる封入ガス分析装置を提供す
るものである。
的でなされたもので、封入ガスを高真空中で採取するチ
ェンバーおよび高真空で質量分析を行う質量分析計を、
流出量制限部材を介して接続することにより、大気圧以
下の封入ガス成分および微量不純ガス成分を容易かつ高
感度で同定および定量できる封入ガス分析装置を提供す
るものである。
第２図はこの発明の一実施例によるランプ封入ガス分析
装置を示す系統図である。図において。
装置を示す系統図である。図において。
（２１）はランプ封入ガスを採取するランプ破壊チェン
バーで、ランプ（２２）が装着されるようになっており
、バリアプルリークバルブ（４）を介して標準ガス源（
９）が接続するとともに、１０００〜ＩＰａの圧力範囲
が測定できるダイヤフラム真空計（２３）および１〜ｌ
Ｘ １０−５Ｐａの圧力範囲が測定できるダイヤフラ
ム真空計（２４）が接続している。（２５）は清浄な高
真空が得られるターボ分子ポンプで、超高真空バルブ（
２６）を介してランプ破壊チェンバー（２１）に接続す
るとともに、高真空バルブ（２７）を介して油回転ポン
プ（１２）に接続している。（２８）は質量分析計であ
って、バリアプルリークバルブ（２９）・を介してラン
プ破壊チェンバー（２１）に接続している。質量分析計
（２８）には１〜Ｉ Ｘ １０−’Ｐａの圧力範囲が測
定できるダイヤフラム真空計（３０）が接続するととも
に、超高真空バルブ（３１）を介してイオンポンプ（３
２）が接続している。イオンポンプ（３２）は清浄な超
高真空が得られるイオンポンプで、超高真空バルブ（３
３）および高真空バルブ（３４）を介してソープション
ポンプ（３５）に接続するとともに、超高真空バルブ（
３３）および高真空バルブ（：１６）を介して油回転ポ
ンプ（３７）に接続している。
バーで、ランプ（２２）が装着されるようになっており
、バリアプルリークバルブ（４）を介して標準ガス源（
９）が接続するとともに、１０００〜ＩＰａの圧力範囲
が測定できるダイヤフラム真空計（２３）および１〜ｌ
Ｘ １０−５Ｐａの圧力範囲が測定できるダイヤフラ
ム真空計（２４）が接続している。（２５）は清浄な高
真空が得られるターボ分子ポンプで、超高真空バルブ（
２６）を介してランプ破壊チェンバー（２１）に接続す
るとともに、高真空バルブ（２７）を介して油回転ポン
プ（１２）に接続している。（２８）は質量分析計であ
って、バリアプルリークバルブ（２９）・を介してラン
プ破壊チェンバー（２１）に接続している。質量分析計
（２８）には１〜Ｉ Ｘ １０−’Ｐａの圧力範囲が測
定できるダイヤフラム真空計（３０）が接続するととも
に、超高真空バルブ（３１）を介してイオンポンプ（３
２）が接続している。イオンポンプ（３２）は清浄な超
高真空が得られるイオンポンプで、超高真空バルブ（３
３）および高真空バルブ（３４）を介してソープション
ポンプ（３５）に接続するとともに、超高真空バルブ（
３３）および高真空バルブ（：１６）を介して油回転ポ
ンプ（３７）に接続している。
次に動作について説明する。まず超高真空バルブ（２６
） 、 （３１）、 （３３） Ｅよび高真空バルブ（
２７） 、 （３６）を開き、油回転ポンプ（１２）お
よび（３７）によりランプ破壊チェンバー（２１）およ
び質量分析；！ｔ（２８）内をＩ Ｘ １０−ＩＰａ付
近の圧力になるまで排気する。その後、ランプ破壊チェ
ンバー（２１）はターボ分子ポンプ（２５）によってＩ
Ｘ １０””Ｐａ付近の圧力になるまで排気する。ま
た質量分析計（２Ｂ）内は、高真空バルブ（３６）を閉
じた後、高真空バルブ（３４）を開き、ソープションポ
ンプ（３５）によりＩ Ｘ １０−３Ｐａ付近の圧力に
なるまで排気する。その後、高真空バルブ（３４）と超
ツバルブ（３３）を閉じ、イオンボンで排気する。
） 、 （３１）、 （３３） Ｅよび高真空バルブ（
２７） 、 （３６）を開き、油回転ポンプ（１２）お
よび（３７）によりランプ破壊チェンバー（２１）およ
び質量分析；！ｔ（２８）内をＩ Ｘ １０−ＩＰａ付
近の圧力になるまで排気する。その後、ランプ破壊チェ
ンバー（２１）はターボ分子ポンプ（２５）によってＩ
Ｘ １０””Ｐａ付近の圧力になるまで排気する。ま
た質量分析計（２Ｂ）内は、高真空バルブ（３６）を閉
じた後、高真空バルブ（３４）を開き、ソープションポ
ンプ（３５）によりＩ Ｘ １０−３Ｐａ付近の圧力に
なるまで排気する。その後、高真空バルブ（３４）と超
ツバルブ（３３）を閉じ、イオンボンで排気する。
次に超高真空バルブ（２６）を閉じた状態で、ランプ破
壊チェンバー（２１）内でランプ（２２）を破壊した時
に質量分析計（２８）内の圧力がｌ Ｘ １０−２Ｐａ
付近になるような開度にバリアプルリークバルブ（２９
）を開く。そして超高真空バルブ（２６）を開いた状態
で、測定の対象となる標準ガス源（９）のバリアプルリ
ークバルブ（４）を開き、ランプ破壊チェンバー （２
１）の圧力を調整して質量分析計（２８）で検出する。
壊チェンバー（２１）内でランプ（２２）を破壊した時
に質量分析計（２８）内の圧力がｌ Ｘ １０−２Ｐａ
付近になるような開度にバリアプルリークバルブ（２９
）を開く。そして超高真空バルブ（２６）を開いた状態
で、測定の対象となる標準ガス源（９）のバリアプルリ
ークバルブ（４）を開き、ランプ破壊チェンバー （２
１）の圧力を調整して質量分析計（２８）で検出する。
上記手順により測定対象ガスの測定圧力範囲の検量線を
作成する。
作成する。
検量線作成後、バリアプルリークバルブ（４）を閉じ、
超高真空バルブ（２６）を開いて、ランプ破壊チェンバ
ー（２１）内の圧力がｌ Ｘ １０−５Ｐａ付近になる
まで排気する。次いで超高真空バルブ（２６）を閉じ、
その後の経過時間におけるランプ破壊チェンバー（２１
）内からのアウトガスを質量分析計（２８）で検出する
。こうして得られたデータは実際のランプ封入ガス測定
時のバックグランドとして用いる。
超高真空バルブ（２６）を開いて、ランプ破壊チェンバ
ー（２１）内の圧力がｌ Ｘ １０−５Ｐａ付近になる
まで排気する。次いで超高真空バルブ（２６）を閉じ、
その後の経過時間におけるランプ破壊チェンバー（２１
）内からのアウトガスを質量分析計（２８）で検出する
。こうして得られたデータは実際のランプ封入ガス測定
時のバックグランドとして用いる。
次に超高真空バルブ（２６）を開き、ランプ破壊チェン
バー（２１）内の圧力がＩ Ｘ １０−５Ｐａ付近にな
るまで排気する。次いで超高真空バルブ（２６）を閉じ
、ランプ破壊チェンバー（２１）内でランプ（２２）の
端部を破壊して封入ガスをランプ破壊チェンバー（２１
）内に採取し、採取したガスをバリアプルリークバルブ
（２９）を介して質量分析計（２８）に導入し、ここで
質量スペクトルを検出し、得られた質量スペクトルのパ
ターンとピーク強度により封入ガス成分および微量不純
ガス成分の同定と定量を行う。
バー（２１）内の圧力がＩ Ｘ １０−５Ｐａ付近にな
るまで排気する。次いで超高真空バルブ（２６）を閉じ
、ランプ破壊チェンバー（２１）内でランプ（２２）の
端部を破壊して封入ガスをランプ破壊チェンバー（２１
）内に採取し、採取したガスをバリアプルリークバルブ
（２９）を介して質量分析計（２８）に導入し、ここで
質量スペクトルを検出し、得られた質量スペクトルのパ
ターンとピーク強度により封入ガス成分および微量不純
ガス成分の同定と定量を行う。
上記のように、ランプ封入ガスを高真空中で採取し、質
量分析計で検出することにより、けい光灯（約２００Ｐ
ａ）のように、大気圧以下であるランプ内の封入ガス成
分や不純ガス成分の同定および定量を容易にかつ高感度
で行うことができる。
量分析計で検出することにより、けい光灯（約２００Ｐ
ａ）のように、大気圧以下であるランプ内の封入ガス成
分や不純ガス成分の同定および定量を容易にかつ高感度
で行うことができる。
なお、上記実施例では質量分析計（２８）内の排気にイ
オンポンプ（３２）を用いたが、ターボ分子ポンプを用
いてもよい。また、質量分析計（２８）側の真空計にダ
イヤフラム真空計（３０）を用いたが、モニター用であ
るので、ｌ Ｘ １０−’ 〜１０−’Ｉ’ａの圧力範
囲が測定できる真空計であれば他の種類の真空範囲で絶
対圧が測定できる真空計であれば他の種類の真空計でも
よい。また、ランプ破壊チェンバー（２１）から質量分
析計（２８）内へのガスの流出量を制御するためにバリ
アプルリークバルブ（２９）を用いたが、これはガス封
入量の異なった種々のランプの測定を可能にするためで
あり、同じガス封入量のランプだけの測定を行うならば
固定されたオリフィスを用いてもよい。
オンポンプ（３２）を用いたが、ターボ分子ポンプを用
いてもよい。また、質量分析計（２８）側の真空計にダ
イヤフラム真空計（３０）を用いたが、モニター用であ
るので、ｌ Ｘ １０−’ 〜１０−’Ｉ’ａの圧力範
囲が測定できる真空計であれば他の種類の真空範囲で絶
対圧が測定できる真空計であれば他の種類の真空計でも
よい。また、ランプ破壊チェンバー（２１）から質量分
析計（２８）内へのガスの流出量を制御するためにバリ
アプルリークバルブ（２９）を用いたが、これはガス封
入量の異なった種々のランプの測定を可能にするためで
あり、同じガス封入量のランプだけの測定を行うならば
固定されたオリフィスを用いてもよい。
また、上記実施例ではランプの場合について説明したが
、ダイオードや半導体素子等の電子部品内の微量封入ガ
スの分析にも応用できる。
、ダイオードや半導体素子等の電子部品内の微量封入ガ
スの分析にも応用できる。
本発明は以上説明した通り、封入ガスを高真空中で採取
し、これを高真空中で質量分析を行うようにしたので、
ランプ等の封入ガスのサンプリングと同定および定量が
容易かつ同時にでき、検出器に質量分析計を用いている
ので多種のガスの測定が可能であり、検出感度も高い。
し、これを高真空中で質量分析を行うようにしたので、
ランプ等の封入ガスのサンプリングと同定および定量が
容易かつ同時にでき、検出器に質量分析計を用いている
ので多種のガスの測定が可能であり、検出感度も高い。
また、ランプ破壊チェンバーから質量分析計内へ流出す
るガスの量を制御できるようにすると、ガス封入量の異
なった種々のランプの封入ガス分析が可能となる。
るガスの量を制御できるようにすると、ガス封入量の異
なった種々のランプの封入ガス分析が可能となる。
第１図は従来のランプ封入ガス分析装置を示す系統図、
第２図はこの発明の一実施例によるランプ封入ガス分析
装置を示す系統図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、（４）
、（２９）はバリアプルリークバルブ、（９）は標準ガ
ス源、（１２） 、 （３７）は油回転ポンプ、（２１
）はランプ破壊チェンバー、（２２）はランプ、（２３
） 、 （２４） 。 （３０）はダイヤフラム真空計、（２５）はターボ分子
ポンプ、 （２８）は質量分析計、（３２）はイオンポ
ンプ、（３５）はソープションポンプである。 代理人 大 岩 増 雄
第２図はこの発明の一実施例によるランプ封入ガス分析
装置を示す系統図である。 各図中、同一符号は同一または相当部分を示し、（４）
、（２９）はバリアプルリークバルブ、（９）は標準ガ
ス源、（１２） 、 （３７）は油回転ポンプ、（２１
）はランプ破壊チェンバー、（２２）はランプ、（２３
） 、 （２４） 。 （３０）はダイヤフラム真空計、（２５）はターボ分子
ポンプ、 （２８）は質量分析計、（３２）はイオンポ
ンプ、（３５）はソープションポンプである。 代理人 大 岩 増 雄
Claims (4)
- （１）負圧ガス封入器具を破壊して封入ガスを高真空中
で採取するチェンバーと、このチェンバーを高真空にす
る真空ポンプと、前記チェンバーから採取ガスを導入し
て質量分析を行う質量分析計と、この質量分析計を高真
空にする真空ポンプと、前記チェンバーおよび質量分析
計間に設けられた流出量制限部材とを備えたことを特徴
とする封入ガス分析装置。 - （２）チェンバーを高真空にする真空ポンプがターボ分
子ポンプおよび油回転ポンプであることを特徴とする特
許請求の範囲第１項記載の封入ガス分析装置。 - （３）質量分析計を真空にする真空ポンプがイオンポン
プ、ソープションポンプおよび油回転ポンプであること
を特徴とする特許請求の範囲第１項または第２項記載の
封入ガス分析装置。 - （４）流出量制限部材がバリアプルリークバルブまたは
オリフィスであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項ないし第３項のいずれかに記載の封入ガス分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59004414A JPS60147645A (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 封入ガス分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP59004414A JPS60147645A (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 封入ガス分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60147645A true JPS60147645A (ja) | 1985-08-03 |
Family
ID=11583640
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP59004414A Pending JPS60147645A (ja) | 1984-01-13 | 1984-01-13 | 封入ガス分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60147645A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0279352A (ja) * | 1988-09-16 | 1990-03-19 | Ushio Inc | 封入ガス分析装置 |
| KR20030097051A (ko) * | 2002-06-18 | 2003-12-31 | (주)아트램프 | 램프 제조공정에서의 압력 발생/제어 및 수명 예측 진단장치 |
| JP2008180581A (ja) * | 2007-01-24 | 2008-08-07 | Mitsubishi Electric Corp | ガス分析方法 |
| CN105403613A (zh) * | 2015-10-23 | 2016-03-16 | 中国科学技术大学 | 真空分步加热-元素-同位素富集分析装置 |
| JP2016080679A (ja) * | 2014-10-14 | 2016-05-16 | 三菱電機株式会社 | ガス分析装置およびガス分析方法 |
-
1984
- 1984-01-13 JP JP59004414A patent/JPS60147645A/ja active Pending
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
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