CN2828780Y - 多种气体检漏分析仪 - Google Patents

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Abstract

本实用新型公开了一种多种气体检漏分析仪，包括四极质谱室和电子控制箱，质谱室的壳体安装有离子泵、进样阀门和抽真空阀门，离子泵和进样阀门、抽真空阀门均与质谱室联通，抽真空阀门连接有法兰接头，所述的法兰接头还连接有由分子泵、机械泵、电磁阀、真空计组成的真空检漏系统。本实用新型采用了四极质谱技术，可以检测全部常用气体，包括各种冷媒、惰性气体、SF6、CO、甲烷等，从而可以利用多种气体示踪进行检漏，打破了氦质谱检漏仪监测单一气体的局限性。

Description

多种气体检漏分析仪
技术领域
本实用新型涉及一种分析仪器设备，具体涉及一种多种气体检漏分析仪。
背景技术
ZQA-402高性能残余气体分析仪器，它采用鼠笼式离子源及先进的玻璃一体化双曲面四极杆作为分析器，用户可根据需要选择法拉第筒或电子倍增器作为接收器。数据处理系统采用PC机作主机，可输出全谱图、棒图、时间谱及分压强谱图、数据列表等。一台残气分析仪装入真空系统中，可以一机多用，既可作残气分析仪，又可作本系统的检漏仪，可以使用多种气体作示漏气体。
但该分析仪器仅能安装在真空系统中，对当前真空系统进行检漏和分析，而不能进行室外气体检漏和分析。
实用新型内容
本实用新型的目的是提供多种气体检漏分析仪，它是一种新型多功能分析测量仪器，集成检漏仪与气体分析仪于一体。
本实用新型的技术内容如下：
一种多种气体检漏分析仪，包括有四极质谱室和电子控制箱，其特征在于质谱室的壳体安装有有离子泵、进样阀门和抽真空阀门，离子泵和进样阀门、抽真空阀门均与质谱室联通，抽真空阀门连接有法兰接头，所述的法兰接头还连接有由分子泵、机械泵、电磁阀、真空计组成的真空检漏系统。
所述的进样阀门和质谱室之间通过毛细管联通，进样阀门端头连接有进样器。
本实用新型就是在ZQA-402高性能残余气体分析仪器的基础上，在四极质谱室连接了真空系统、小型高真空离子泵和进样毛细管，本实用新型的分析系统集成了小型高真空离子泵，无需另外的真空泵组维持，通过自带的电池组，即可进行室外气体检漏和分析；相对于检漏仪典型产品--氦质谱检漏仪而言，本实用新型采用了四极质谱技术，可检测多种物质(如氟里昂、SF6、CO、甲烷等)，从而可以利用多种气体示踪进行检漏，打破了氦质谱检漏仪监测单一气体的局限性。
本实用新型质量分析系统由四极质谱组成，可对真空设备进行检漏和残余气体分析，可以进行正压、负压或常压检漏，可以利用多种示踪气体进行检漏，质量分析系统可测量质量数范围为1amu到300amu。
当进行室外工作时，分析系统与真空系统分离，通过离子泵维持分析系统真空，整个分析系统由自带电池组供电。
为了提高检测范围和灵敏度，采样器中可带GC系统。
本实用新型内容有两个创新点：
一、为了克服现有多种气体分析仪仅能对真空系统中的残余气体进行分析，本实用新型提供一种多种气体检漏分析仪，其分析范围宽，通过采样器和自带的高真空离子泵，无需另外的真空泵组维持，通过自带的电池组，即可进行室内外气体分析。
二、为了克服传统检漏仪功能单一，如氦质谱检漏仪只能用氦气进行示踪检漏，卤素检漏仪仅对卤素(如制冷行业的氟里昂泄露检测)，本实用新型采用了四极质谱技术，可以检测全部常用气体，包括各种冷媒、惰性气体、SF6、CO、甲烷等)，从而可以利用多种气体示踪进行检漏，打破了氦质谱检漏仪监测单一气体的局限性。
本实用新型有益效果
1、使用了离子泵技术，无需另外的真空泵组维持即可独立运行，极大地提高了使用灵活性，可在野外进行分析检漏。
2、采用了四极质谱技术，可检测多种物质(如氟里昂、SF6、CO、甲烷等)，从而可以利用多种气体示踪进行检漏，打破了氦质谱检漏仪监测单一气体的局限性。
3、采样器中可带GC系统，极大地提高检测范围和灵敏度。
附图说明
下面结合附图和实施例对本实用新型作进一步说明。
图1为本实用新型结构示意图。
图2为本实用新型功能示意图。
图中标号：
1、分子泵，2、分子泵出气口，3、微漏阀，4、检漏阀  5、机械泵，6、真空法兰接头，7、离子源，8、四极杆，9、预抽阀，10、标漏阀，5  11、标准漏孔，12、放气阀，13、真空计，14、检漏口，15、进样阀，16、采样器，17、进样毛细管，18、离子泵，19、离子接受放大器，20、四极质谱室，21、真空阀门。
具体实施方式
参见图1，本实用新型是在ZQA-402高性能残余气体分析仪器的基础上，在四极质谱系统上增加高真空离子泵和采样系统。具体结构见图1：分子泵1，机械泵5和检漏阀4组成真空系统，机械泵8通过管路和电磁阀与分子泵1连接，分子泵1通过抽气口通过真空法兰接头6与质谱室连接。检漏口14通过微漏阀3连接到分子泵的进气口，构成微漏气流通路(亦即正向检漏)；机械泵5通过预抽阀9对连接在检漏口14的工件抽真空，由真空计13测量检漏口14的压力，当检漏口14的压力达到设定值时，大漏阀4打开，构成大漏气流通路。标漏阀10和标准漏孔11用来对系统进行校准。示漏气体通过真空法兰接头6进入四极质谱室20进行分离。
四极质谱室20由离子源7、四极杆8和接收器19组成，离子泵18用来维持和提高四极质谱室20的真空度，进样阀15、采样器16和进样毛细管17组成分析器的进样部分，用来对待测气体进行采样或分离。
工作原理：首先启动机械泵5，打开检漏阀4同时启动分子泵1，分子泵1启动正常后，四极质谱室20内离子源7加电，同时检测质谱室高真空，若真空度不够，则自动保护灯丝，等待几分钟，直到高真空符合要求，则提示准备好，等待检漏。
检漏时关断大漏阀4，打开检漏阀9，通过检漏口14对工件抽真空，同时由真空计13测量检漏口14的真空值，当真空值达到设定值时，打开检漏阀4来进行大漏检测。当真空度比较好时，说明系统密封性好，这时打开微漏阀3进行微漏检测或分析；当要定标时，打开标漏阀10，则由标准漏孔11的漏率来定标。检漏时示踪气体由分子泵1逆扩散(大漏时)或由微漏阀3直接扩散(正向检漏)到质谱室进行电离，电离后进入四极杆8产生的交变电场进行分离，根据示踪气体的不同，可选择不同的分离电压，从而可以实现多种气体检漏。检漏结束放气时，电磁阀12打开，空气进入，从而可以拿走工件。
当需要进行气体分析时，通过连续改变扫描电压，从而分析进入质谱室内的气体成分。
当工作环境中没有220V交流电时，如野外工作时，可先对质谱系统抽真空，然后通过真空法兰接头6将四极质谱室20与真空泵组分离，通过内置的电池组提供工作电源。具体工作如下：首先通过真空泵组对四极质谱室20抽真空，当真空度达到设定值时，关闭真空阀门21，通过真空法兰接头6将四极质谱室20拆下，用离子泵18维持质谱室20内真空，用内置的电池组供电，这样整个分析系统就可以独立出去，拿到野外等环境进行气体分析，具有极大的灵活性和适应性。特殊的微进样装置，使其可以在常压(大气压)下工作。

Claims (2)

1、一种多种气体检漏分析仪，包括有四极质谱室和电子控制箱，其特征在于质谱室的壳体安装有有离子泵、进样阀门和抽真空阀门，离子泵和进样阀门、抽真空阀门均与质谱室联通，抽真空阀门连接有法兰接头，所述的法兰接头还连接有由分子泵、机械泵、电磁阀、真空计组成的真空检漏系统。
2、根据权利要求1所述的分析仪，其特征在于所述的进样阀门和质谱室之间通过毛细管联通，进样阀门端头连接有进样器。
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