JPS60134617A - 圧電振動子とその製造方法 - Google Patents
圧電振動子とその製造方法Info
- Publication number
- JPS60134617A JPS60134617A JP24357083A JP24357083A JPS60134617A JP S60134617 A JPS60134617 A JP S60134617A JP 24357083 A JP24357083 A JP 24357083A JP 24357083 A JP24357083 A JP 24357083A JP S60134617 A JPS60134617 A JP S60134617A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin layer
- electrode
- layer
- metal layer
- metallic layer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
- 238000004519 manufacturing process Methods 0.000 title claims description 6
- 229910052751 metal Inorganic materials 0.000 claims abstract description 26
- 239000002184 metal Substances 0.000 claims abstract description 26
- 239000011347 resin Substances 0.000 claims abstract description 25
- 229920005989 resin Polymers 0.000 claims abstract description 25
- 230000005284 excitation Effects 0.000 claims description 12
- 239000013078 crystal Substances 0.000 abstract description 10
- 229920001721 polyimide Polymers 0.000 abstract description 8
- 239000009719 polyimide resin Substances 0.000 abstract description 8
- 239000004033 plastic Substances 0.000 abstract description 5
- 230000006866 deterioration Effects 0.000 abstract description 4
- 230000003647 oxidation Effects 0.000 abstract description 2
- 238000007254 oxidation reaction Methods 0.000 abstract description 2
- 206010034972 Photosensitivity reaction Diseases 0.000 abstract 3
- 230000002165 photosensitisation Effects 0.000 abstract 1
- 230000036211 photosensitivity Effects 0.000 abstract 1
- 239000003504 photosensitizing agent Substances 0.000 abstract 1
- 239000002904 solvent Substances 0.000 abstract 1
- 238000000605 extraction Methods 0.000 description 7
- 230000032683 aging Effects 0.000 description 4
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 3
- 239000000919 ceramic Substances 0.000 description 2
- 239000000463 material Substances 0.000 description 2
- 238000000034 method Methods 0.000 description 2
- 239000000126 substance Substances 0.000 description 2
- WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 5-methyl-pyrazole-3-carboxylic acid Chemical compound CC1=CC(C(O)=O)=NN1 WSMQKESQZFQMFW-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N Silver Chemical compound [Ag] BQCADISMDOOEFD-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 239000000853 adhesive Substances 0.000 description 1
- 230000001070 adhesive effect Effects 0.000 description 1
- 229910052782 aluminium Inorganic materials 0.000 description 1
- XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N aluminium Chemical compound [Al] XAGFODPZIPBFFR-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N gold Chemical compound [Au] PCHJSUWPFVWCPO-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052737 gold Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000010931 gold Substances 0.000 description 1
- 238000002844 melting Methods 0.000 description 1
- 230000008018 melting Effects 0.000 description 1
- 238000004806 packaging method and process Methods 0.000 description 1
- 239000010453 quartz Substances 0.000 description 1
- VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N silicon dioxide Inorganic materials O=[Si]=O VYPSYNLAJGMNEJ-UHFFFAOYSA-N 0.000 description 1
- 229910052709 silver Inorganic materials 0.000 description 1
- 239000004332 silver Substances 0.000 description 1
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/132—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials characterized by a particular shape
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H3/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators
- H03H3/007—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks
- H03H3/02—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture of impedance networks, resonating circuits, resonators for the manufacture of electromechanical resonators or networks for the manufacture of piezoelectric or electrostrictive resonators or networks
-
- H—ELECTRICITY
- H03—ELECTRONIC CIRCUITRY
- H03H—IMPEDANCE NETWORKS, e.g. RESONANT CIRCUITS; RESONATORS
- H03H9/00—Networks comprising electromechanical or electro-acoustic devices; Electromechanical resonators
- H03H9/02—Details
- H03H9/125—Driving means, e.g. electrodes, coils
- H03H9/13—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials
- H03H9/131—Driving means, e.g. electrodes, coils for networks consisting of piezoelectric or electrostrictive materials consisting of a multilayered structure
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Piezo-Electric Or Mechanical Vibrators, Or Delay Or Filter Circuits (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
［発明の技術分野１
本発明は、容器を簡略化した圧電振動子とその製造方法
に関する。
に関する。
［従来技術１
圧電振動子は、通信をはじめコンピュータや家庭電化製
品にわたる広い分野の信号源表して、利用きれている。
品にわたる広い分野の信号源表して、利用きれている。
従来の圧電振□動子は；エージング特性を良くするたぬ
高価なパッケージが使用きれている。例えば、ハーメチ
ック端子やセラミック等の容器に密封し、内部を置換ガ
スで充填するかまたは真空にしている。しかし、圧電振
動子の中でもより安価にするためプラスチックパッケー
ジが出回り始めているが、プラスチック素材白身耐湿性
に弱い欠点があっすこ。その結果１．圧電振動子のエー
ジング特性が悪く、安価なプラスチックパッケージで安
定な圧電振動子を作ることば困難と考えられてきた。す
なわち、従来は圧電振動子はエージング特性によって気
密容器の種類を決定していた。
高価なパッケージが使用きれている。例えば、ハーメチ
ック端子やセラミック等の容器に密封し、内部を置換ガ
スで充填するかまたは真空にしている。しかし、圧電振
動子の中でもより安価にするためプラスチックパッケー
ジが出回り始めているが、プラスチック素材白身耐湿性
に弱い欠点があっすこ。その結果１．圧電振動子のエー
ジング特性が悪く、安価なプラスチックパッケージで安
定な圧電振動子を作ることば困難と考えられてきた。す
なわち、従来は圧電振動子はエージング特性によって気
密容器の種類を決定していた。
［発明の目的と構成１
本発明の目的は、気密性のあまり良くないパッケージで
もエージング特性を良好に維持する圧電振動子を提供す
ることにある。
もエージング特性を良好に維持する圧電振動子を提供す
ることにある。
本発明は、圧電振動板の表面に金属層上に密着して樹脂
層が形成きれている圧電振動子であり、その製造方法は
、圧電振動板表面上に金属層を放し、さらにその金属層
上に感光性樹脂を施し、励振電極上引出電極の部分等表
なる所にマスクを当て感光させ、薬品により感光部分を
溶解させ、不要な樹脂層を除去する。次に金属層の樹脂
から露出部５＋を薬品で溶ｍ除去する。その結果、励振
電極及び引出電極等の金属層上に樹脂層が形成きれた圧
電振動子を製造することができる。
層が形成きれている圧電振動子であり、その製造方法は
、圧電振動板表面上に金属層を放し、さらにその金属層
上に感光性樹脂を施し、励振電極上引出電極の部分等表
なる所にマスクを当て感光させ、薬品により感光部分を
溶解させ、不要な樹脂層を除去する。次に金属層の樹脂
から露出部５＋を薬品で溶ｍ除去する。その結果、励振
電極及び引出電極等の金属層上に樹脂層が形成きれた圧
電振動子を製造することができる。
［実施例１
本発明の実施例を第１図に示す。第１図（ａ）の圧電振
動子は、ＡＴカットの水晶振動子板１の主表面に励振電
極及び引出電極衣なる金属層２をほぼ前面にわたり蒸着
している。金属層は、金、銀、アルミニウム等が使用き
れている。
動子は、ＡＴカットの水晶振動子板１の主表面に励振電
極及び引出電極衣なる金属層２をほぼ前面にわたり蒸着
している。金属層は、金、銀、アルミニウム等が使用き
れている。
次に本寅添例では、ポリイミド樹脂層３を第１図（ｂ）
のように金属層２の表面に一様に塗布する。
のように金属層２の表面に一様に塗布する。
このポリイミド樹脂は感光性の物を使用している。
第１図（ｂ）の水晶振動子に電極パターン部分か感−９
− 光しないようにマスクで覆う。この電極パターンは励振
電極と引出電極である。感光きれた圧電振動子は、溶解
液に浸し、ポリイミド樹脂層３の感光した部分を溶解さ
せる。この結果、感光した部分は除去され、金属層が露
出する。そして感光しない励振電極及び引出電極となる
部分のみ樹脂層が残る。次に、水晶振動子を金属を泊す
溶解液に入れる表、第１図（ｃ）樹脂層３がレジストと
なり、金属層２の露出部分を溶解きせる。この様にして
出来上がった水晶振動子は、金属層２上にポリイミド樹
脂層３が載置きれた状態となる。第１図（ｄ）は水晶振
動子の正面図であり、第１図（ｅ）はＡ−Ａ８分の部分
断面図を示す。
− 光しないようにマスクで覆う。この電極パターンは励振
電極と引出電極である。感光きれた圧電振動子は、溶解
液に浸し、ポリイミド樹脂層３の感光した部分を溶解さ
せる。この結果、感光した部分は除去され、金属層が露
出する。そして感光しない励振電極及び引出電極となる
部分のみ樹脂層が残る。次に、水晶振動子を金属を泊す
溶解液に入れる表、第１図（ｃ）樹脂層３がレジストと
なり、金属層２の露出部分を溶解きせる。この様にして
出来上がった水晶振動子は、金属層２上にポリイミド樹
脂層３が載置きれた状態となる。第１図（ｄ）は水晶振
動子の正面図であり、第１図（ｅ）はＡ−Ａ８分の部分
断面図を示す。
他の実施例を第２図、第３図に示す。厚み系の振動子で
厚み系以外のモードの振動が発生すると、主振動の直列
共振抵抗が高くなっｔこり、スプリアス吉主振動のレベ
ルがほぼ等しくなる等の現象を起こすことがある。そこ
で、第２図では励振電極の周辺部に励振電極と引出電極
を形成する手法で金属層表樹脂層を残しスプリアス防止
のマスローディング部４を形成することができる。第２
図は、励振電極の周辺部に連続的に形成しており、また
第３図では必要な部分にのみマスローディング部５を形
成し、直列共振抵抗の劣化を防止している。
厚み系以外のモードの振動が発生すると、主振動の直列
共振抵抗が高くなっｔこり、スプリアス吉主振動のレベ
ルがほぼ等しくなる等の現象を起こすことがある。そこ
で、第２図では励振電極の周辺部に励振電極と引出電極
を形成する手法で金属層表樹脂層を残しスプリアス防止
のマスローディング部４を形成することができる。第２
図は、励振電極の周辺部に連続的に形成しており、また
第３図では必要な部分にのみマスローディング部５を形
成し、直列共振抵抗の劣化を防止している。
図面では省略したが、本願発明の圧電振動子を支持具に
固着し、パッケージングするこ去により電子部品として
使用することが出来る。
固着し、パッケージングするこ去により電子部品として
使用することが出来る。
［効 果１
本発明による水晶振動子によって、従来より使用きれて
いるプラスチックパッケージ等の気密性の悪いパッケー
ジにおいても、水晶振動子は励振電極及び引出電極に樹
脂層が形成されているため、金属層自身の酸化等の劣化
を防止でき、簡易なパッケージにおいても安定な振動を
得ることが出来るようになった。
いるプラスチックパッケージ等の気密性の悪いパッケー
ジにおいても、水晶振動子は励振電極及び引出電極に樹
脂層が形成されているため、金属層自身の酸化等の劣化
を防止でき、簡易なパッケージにおいても安定な振動を
得ることが出来るようになった。
また本願発明の振動子は、製造方法が簡易であり、量産
に遺し、このため安価な圧電振動子を提供することが出
来るようになった。
に遺し、このため安価な圧電振動子を提供することが出
来るようになった。
本発明による振動子は、ただ単に電極形成後樹脂層を圧
電振動板前面に塗布するのと異なり、不 ４ − 要な部分には樹脂層はなく、樹脂層によるマスロ−ド効
果も少なくてすみ、直列共振抵抗の劣化を防止している
。また、必要に応じてマスローディング部を残すことに
よりスプリアス防止に役立てることが出来る。これは、
従来接着剤等を塗布していたが、本願発明により励振電
極を形成する過程で形成することが出来るようになった
。
電振動板前面に塗布するのと異なり、不 ４ − 要な部分には樹脂層はなく、樹脂層によるマスロ−ド効
果も少なくてすみ、直列共振抵抗の劣化を防止している
。また、必要に応じてマスローディング部を残すことに
よりスプリアス防止に役立てることが出来る。これは、
従来接着剤等を塗布していたが、本願発明により励振電
極を形成する過程で形成することが出来るようになった
。
本発明において、樹脂層してポリイミド樹脂を取り、挙
げたが、他に感光性の樹脂であっても効果は同様である
。
げたが、他に感光性の樹脂であっても効果は同様である
。
また、圧電体として水晶を取り挙げたが圧電セラミック
やタンタル酸リチウム等であってもよい。
やタンタル酸リチウム等であってもよい。
第１図は本発明の実施例で、同図＜ａ）は圧電振動板に
金属層４諭した状態、同図（ｂ）は金属層上に樹脂層を
施した状態、同図（ｃ）は樹脂層を感光し感光部分を溶
解した状態を示す部分断面図、同図（ｄ）は金属層を除
去後の状態を示す正面図、同図（ｅ）はその部分断面図
である。第２図、第３図は圧電振動子の励振電極周辺に
マスロード部を設けた状態を示す正面図である。 ■・・・・・・・・・圧電振動板 ２・・・・・・・・・金属層 ３・・・・・・・・・樹脂層 ７ − 第１図 第２図 ユニ〈− 乏 Ｊ、 茫 ７７− り ＼ ２、３ ／−−１ 〉 ＼２３
金属層４諭した状態、同図（ｂ）は金属層上に樹脂層を
施した状態、同図（ｃ）は樹脂層を感光し感光部分を溶
解した状態を示す部分断面図、同図（ｄ）は金属層を除
去後の状態を示す正面図、同図（ｅ）はその部分断面図
である。第２図、第３図は圧電振動子の励振電極周辺に
マスロード部を設けた状態を示す正面図である。 ■・・・・・・・・・圧電振動板 ２・・・・・・・・・金属層 ３・・・・・・・・・樹脂層 ７ − 第１図 第２図 ユニ〈− 乏 Ｊ、 茫 ７７− り ＼ ２、３ ／−−１ 〉 ＼２３
Claims (3)
- （１）圧電振動板の表面に金属層を施した圧電振動子に
おいて、該金属層上に密着して樹脂層が形成されている
ことを＃機上する圧電振動子。 - （２） 圧電振動板の表面に金属層を施し、感光性樹脂
層を該金属層に施す工程と、該感光性樹脂層にマスクを
当て感光きせる工程と、感光した樹脂層を除去する工程
と、前工程により露出した金属層を除去する工程上を具
備した特許請求の範囲第１項の圧電振動子の製造方法。 - （３）圧電振動板の裏面の励振電極となる金属層の周辺
部に金属層が配置きれていることを特徴とする特許請求
の範囲第１項の圧電振動子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24357083A JPS60134617A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 圧電振動子とその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP24357083A JPS60134617A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 圧電振動子とその製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60134617A true JPS60134617A (ja) | 1985-07-17 |
Family
ID=17105798
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP24357083A Pending JPS60134617A (ja) | 1983-12-23 | 1983-12-23 | 圧電振動子とその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60134617A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5918354A (en) * | 1996-04-02 | 1999-07-06 | Seiko Epson Corporation | Method of making a piezoelectric element |
| US20140035440A1 (en) * | 2012-07-31 | 2014-02-06 | Tdk Corporation | Piezoelectric device |
| US8994251B2 (en) | 2012-08-03 | 2015-03-31 | Tdk Corporation | Piezoelectric device having first and second non-metal electroconductive intermediate films |
-
1983
- 1983-12-23 JP JP24357083A patent/JPS60134617A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5918354A (en) * | 1996-04-02 | 1999-07-06 | Seiko Epson Corporation | Method of making a piezoelectric element |
| US20140035440A1 (en) * | 2012-07-31 | 2014-02-06 | Tdk Corporation | Piezoelectric device |
| US9136820B2 (en) * | 2012-07-31 | 2015-09-15 | Tdk Corporation | Piezoelectric device |
| US8994251B2 (en) | 2012-08-03 | 2015-03-31 | Tdk Corporation | Piezoelectric device having first and second non-metal electroconductive intermediate films |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JP2007081867A (ja) | 導通孔形成方法、並びに圧電デバイスの製造方法、及び圧電デバイス | |
| JPH06291587A (ja) | 圧電振動子 | |
| US20130328637A1 (en) | Resonator element, resonator, electronic device, electronic apparatus, and method of manufacturing resonator element | |
| JP2000341065A (ja) | 圧電振動子の製造方法 | |
| JP2973560B2 (ja) | 水晶振動子の加工方法 | |
| JP2000278079A (ja) | 圧電デバイス | |
| JPS60134617A (ja) | 圧電振動子とその製造方法 | |
| JP3858312B2 (ja) | 表面弾性波素子およびその製造方法 | |
| JP2004253937A (ja) | 弾性表面波フィルタとその製造方法 | |
| JP3543786B2 (ja) | 圧電振動片及び圧電振動子の製造方法 | |
| JP2004146963A (ja) | 超薄板圧電デバイスとその製造方法 | |
| JP2000134058A (ja) | 圧電発振器 | |
| JP2004222053A (ja) | 圧電デバイス、携帯電話装置及び電子機器 | |
| JPS62281505A (ja) | チツプ型振動子 | |
| JPS61288506A (ja) | 圧電部品素子およびそれを用いた圧電部品の製造方法 | |
| JPH09186547A (ja) | 表面実装型圧電部品の構造 | |
| JP2004328028A (ja) | 圧電デバイスとその製造方法 | |
| JP2001119263A (ja) | 水晶振動子 | |
| JP2000332573A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP3064679B2 (ja) | 表面弾性波素子とその製造方法 | |
| JPS63177605A (ja) | 圧電薄膜共振子 | |
| JPH1141059A (ja) | 水晶振動子 | |
| JPH09298440A (ja) | 表面実装用容器並びにこれを用いた圧電装置及びその 製造方法 | |
| JPS59205810A (ja) | 圧電振動子 | |
| JP2000082936A (ja) | 音叉型水晶振動子及び発振子 |