JPS60127636A - シヤド−マスク検査装置 - Google Patents
シヤド−マスク検査装置Info
- Publication number
- JPS60127636A JPS60127636A JP23550783A JP23550783A JPS60127636A JP S60127636 A JPS60127636 A JP S60127636A JP 23550783 A JP23550783 A JP 23550783A JP 23550783 A JP23550783 A JP 23550783A JP S60127636 A JPS60127636 A JP S60127636A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- shadow mask
- screen
- assembly
- lens
- mask
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J9/00—Apparatus or processes specially adapted for the manufacture, installation, removal, maintenance of electric discharge tubes, discharge lamps, or parts thereof; Recovery of material from discharge tubes or lamps
- H01J9/42—Measurement or testing during manufacture
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Investigating Materials By The Use Of Optical Means Adapted For Particular Applications (AREA)
- Manufacture Of Electron Tubes, Discharge Lamp Vessels, Lead-In Wires, And The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明にカラブラウン管のシャドーマスクの検査装置
、特に工業用高精細カラブラウン管のシャドーマスクの
マスク孔の欠陥、孔つまりの点検装置に関する。
、特に工業用高精細カラブラウン管のシャドーマスクの
マスク孔の欠陥、孔つまりの点検装置に関する。
工業用高精細カラブラウン管のシャドーマスクＩｃ ［
ｆｌｌえば０．２ ｍＭのピッチでｔｏｏμｍエリ小さ
い孔が１６０万個もあけである０カラーブラウン管九お
いてにこのシャドーマスクの孔ケ通過しｆＣ屯ナビ−ム
が、対応する三色の螢九体ドツトに到達して、発−ｘｇ
せる。従ってこの７ヤードマスクの孔に欠陥（孔づ捷す
）、異物の耐層等があると、出来上ったカラーブラウン
管の曲面ＶＣ表示時黒点や白点が現わわる。従ってカラ
ーブラウン管の製造工程において口、シャドーマスク単
体らるいｎパネルにブラックマトリックスや、螢元膜形
収するフロセスの途中で、シャドーマスクの孔ｒＣ欠陥
がないか度々点検する必要がある０このため、従来螢元
燈の上１０手透明のプラスチック飯等ケおいた面発元装
置上にシャドーマスク？おいて、点検や異物除去の作業
？行なっていた。しかしながらマスクの孔径が１００μ
ｍ以下になると、透過光でみるにしても目視の限界の大
きさ／ｃＺｌｊ、非常な労ヵ？要するｒＦ−業であった
。カラースライドグロジェク身−や、オーバヘッドプロ
ジェクタ−全相いわば、シャｈ” マスク＋７）孔の並
んだバクーン？スク１Ｊ−ｙ上ｒ（拡大してみることが
出来るが、５倍程度に拡大すると、シャドマスクの現品
と、スクリーン上の距離が離力過きてし筐い一作業者ａ
現品のシャドーマスク全グロジェクターｒｃセットした
後で、スクリーンの近くまで移動し、明視の距離からス
クリーン上のシャドーマスクパターン？観測することｔ
Ｃｌす、シャドーマスク上の欠点との対応ケとることが
出来なかった。
ｆｌｌえば０．２ ｍＭのピッチでｔｏｏμｍエリ小さ
い孔が１６０万個もあけである０カラーブラウン管九お
いてにこのシャドーマスクの孔ケ通過しｆＣ屯ナビ−ム
が、対応する三色の螢九体ドツトに到達して、発−ｘｇ
せる。従ってこの７ヤードマスクの孔に欠陥（孔づ捷す
）、異物の耐層等があると、出来上ったカラーブラウン
管の曲面ＶＣ表示時黒点や白点が現わわる。従ってカラ
ーブラウン管の製造工程において口、シャドーマスク単
体らるいｎパネルにブラックマトリックスや、螢元膜形
収するフロセスの途中で、シャドーマスクの孔ｒＣ欠陥
がないか度々点検する必要がある０このため、従来螢元
燈の上１０手透明のプラスチック飯等ケおいた面発元装
置上にシャドーマスク？おいて、点検や異物除去の作業
？行なっていた。しかしながらマスクの孔径が１００μ
ｍ以下になると、透過光でみるにしても目視の限界の大
きさ／ｃＺｌｊ、非常な労ヵ？要するｒＦ−業であった
。カラースライドグロジェク身−や、オーバヘッドプロ
ジェクタ−全相いわば、シャｈ” マスク＋７）孔の並
んだバクーン？スク１Ｊ−ｙ上ｒ（拡大してみることが
出来るが、５倍程度に拡大すると、シャドマスクの現品
と、スクリーン上の距離が離力過きてし筐い一作業者ａ
現品のシャドーマスク全グロジェクターｒｃセットした
後で、スクリーンの近くまで移動し、明視の距離からス
クリーン上のシャドーマスクパターン？観測することｔ
Ｃｌす、シャドーマスク上の欠点との対応ケとることが
出来なかった。
本発明にか＼る欠点？克服したｒ「業註の艮いカラーブ
ラウン管シャドーマスク点検装置ケ提供ＴるＯ 以下本発明の一実施ケ示す第１図においてｌａ本発明の
シャドーマスク検査装置である。２ａ架台、３に点状ま
たａ＃＋！状の発元ランフー１４ａ反射板、５ｒｒ平板
状７レネルレンズ牙用いたコンデンサレンズ、６に透明
ガラス板、７ｒｒキャリア機構、８ｒｒ被測定シヤド一
マスク組立である、９にレンズ組立、ｔｏ、１１，１２
．ｉ反射ミラーである。
ラウン管シャドーマスク点検装置ケ提供ＴるＯ 以下本発明の一実施ケ示す第１図においてｌａ本発明の
シャドーマスク検査装置である。２ａ架台、３に点状ま
たａ＃＋！状の発元ランフー１４ａ反射板、５ｒｒ平板
状７レネルレンズ牙用いたコンデンサレンズ、６に透明
ガラス板、７ｒｒキャリア機構、８ｒｒ被測定シヤド一
マスク組立である、９にレンズ組立、ｔｏ、１１，１２
．ｉ反射ミラーである。
１３０バツクスクリーンである。ランプ３及び反射板４
で上方に放射さ力た元来にコンデンサレンズ５でｔデｙ
平行元線にさねキャリア７の開口を通してシャドーマス
ク組立８の裏面ｆ（あたり、シャドーマスク組立８の無
数の孔？通過した元来に凸レンズ組立９全通過し、三個
のミラー１ｔ１，１１゜１２で反射してバックスクリー
ン１３上にシャドーマスク組立８の孔パターン像？結像
する。ランプ３とレンズ組立９の中心會迎る元金、軸元
（１５）と呼称し、一点鎖線で示す。シャドーマスク組
立８と軸元１５との交点ケＡ、レンズ９の実効中心葡り
、各反射ミラーｉｏ、ｌｉ、１２と軸元との交点ケ各々
Ｏ１＋ ０２＋ Ｏ３とし、バックスクリーンに軸元１
５の投射する点葡ＢＩｌ！：Ｔると、／ヤドーマスク組
立８の孔のパターン像全５倍に拡大するｖｃｒＩ、長さ
の間１ｃ Ｌｏｌ ＋（Ｊｌ（Ｊ２＋（Ｊ２（Ｊ３＋（
Ｊ３Ｂ ＝ ５ ＡＬ ノ関係が必要である。′！また
レンズ組立９の実効焦点距離？Ｉ！”とするとき、Ｆ＝
ｕＡｈの関係が収り立つ。
で上方に放射さ力た元来にコンデンサレンズ５でｔデｙ
平行元線にさねキャリア７の開口を通してシャドーマス
ク組立８の裏面ｆ（あたり、シャドーマスク組立８の無
数の孔？通過した元来に凸レンズ組立９全通過し、三個
のミラー１ｔ１，１１゜１２で反射してバックスクリー
ン１３上にシャドーマスク組立８の孔パターン像？結像
する。ランプ３とレンズ組立９の中心會迎る元金、軸元
（１５）と呼称し、一点鎖線で示す。シャドーマスク組
立８と軸元１５との交点ケＡ、レンズ９の実効中心葡り
、各反射ミラーｉｏ、ｌｉ、１２と軸元との交点ケ各々
Ｏ１＋ ０２＋ Ｏ３とし、バックスクリーンに軸元１
５の投射する点葡ＢＩｌ！：Ｔると、／ヤドーマスク組
立８の孔のパターン像全５倍に拡大するｖｃｒＩ、長さ
の間１ｃ Ｌｏｌ ＋（Ｊｌ（Ｊ２＋（Ｊ２（Ｊ３＋（
Ｊ３Ｂ ＝ ５ ＡＬ ノ関係が必要である。′！また
レンズ組立９の実効焦点距離？Ｉ！”とするとき、Ｆ＝
ｕＡｈの関係が収り立つ。
反射ミラー１０，１１．１２Ｕ入射する軸元の入射角會
そ力ぞわθ１°、０２°、０３°とし７、シャドーマス
ク組立の仮想平面（まタニマスクキリーヤ−７のマスク
組型支持面）とバックスクリーン１３との又わる角度イ
αとすると、２（０１°十０２°＋０２°）＝３６０°
−α０との関係にあるとき、シャドーマスク組立８の孔
のパターン像に５倍罠拡大されてバックスクリーンに歪
なく投影される。１４“のカラブラウン管のシャドーマ
スク組立８の寸法ａはぼＡ４版の太きざがある。こ９７
５倍すると１．５ｍＸ１ｍＯ太きさｖｃなりシャドーマ
スク組立８の孔ｌＯ０μに０．５ｍπに拡大されるが、
このような大きなスクリーン會明視の距離から一層する
ことに困難であり、またそのように大きなスクリーンｒ
［実用的でｒｒない。バックスクリーン１３の大きさゲ
はＸＡ３版サイズとすると、スクリーン１３に同時丸映
し出されるシャドーマスク組ｖ、８の大きざにたて６０
朋工こ８Ｏ市となり実物の約１６分のｌの部分？同時に
観測することＶＣなる。キャリヤ−７ａシヤドーマスク
組立８會のせた時、前後、左右に例えばおのおの４ステ
ツプで一定量だけ迅速九移動させるスライド機１Ｆｔｋ
もった治具でシャドーマスク組立８のマスク孔パターン
をｌ／１６のエリアに分けてスクリーン１３に投射し、
マスク孔欠陥を迅速ｖｃ観測できるよう構成されている
。
そ力ぞわθ１°、０２°、０３°とし７、シャドーマス
ク組立の仮想平面（まタニマスクキリーヤ−７のマスク
組型支持面）とバックスクリーン１３との又わる角度イ
αとすると、２（０１°十０２°＋０２°）＝３６０°
−α０との関係にあるとき、シャドーマスク組立８の孔
のパターン像に５倍罠拡大されてバックスクリーンに歪
なく投影される。１４“のカラブラウン管のシャドーマ
スク組立８の寸法ａはぼＡ４版の太きざがある。こ９７
５倍すると１．５ｍＸ１ｍＯ太きさｖｃなりシャドーマ
スク組立８の孔ｌＯ０μに０．５ｍπに拡大されるが、
このような大きなスクリーン會明視の距離から一層する
ことに困難であり、またそのように大きなスクリーンｒ
［実用的でｒｒない。バックスクリーン１３の大きさゲ
はＸＡ３版サイズとすると、スクリーン１３に同時丸映
し出されるシャドーマスク組ｖ、８の大きざにたて６０
朋工こ８Ｏ市となり実物の約１６分のｌの部分？同時に
観測することＶＣなる。キャリヤ−７ａシヤドーマスク
組立８會のせた時、前後、左右に例えばおのおの４ステ
ツプで一定量だけ迅速九移動させるスライド機１Ｆｔｋ
もった治具でシャドーマスク組立８のマスク孔パターン
をｌ／１６のエリアに分けてスクリーン１３に投射し、
マスク孔欠陥を迅速ｖｃ観測できるよう構成されている
。
本発明のシャドーマスク検査装置によりは、広いフロワ
ー面檀會占めることなく架台２の前に人が椅子九丁わっ
ｆｃま＼で、下部エリの通過光によるシャドーマスク組
立８の孔パターンの実像と、スクリーン１３Ｖｃ例えＦ
ｉ５倍に拡大したパターン像ケ同時に観測しながら点検
や異物の除去が可能となる。シャドーマスク組立８ｔ’
；Ｊ第１図に示【−たＬ９に、上に凸／Ｃなっていて周
辺と中央でに約３（）ｍｍの高さの違いがある。従って
レンズ組立９の焦点深度ａ±１５ｍｍ程度あることが望
ましい。捷たバックスクリーン１３ケ曲面で製作して凸
面會手前に構収丁りば、シャドマスク組豆８の像？一様
にスクリーン土足結像できる。シャドーマスク組立のキ
ャリアａ軸元の上下、左右ｖｃｌ〜２ステップスムーズ
足、かつクリックストップ機講等で一定量ずつ迅速罠移
動出来わば工く、限定的でない。
ー面檀會占めることなく架台２の前に人が椅子九丁わっ
ｆｃま＼で、下部エリの通過光によるシャドーマスク組
立８の孔パターンの実像と、スクリーン１３Ｖｃ例えＦ
ｉ５倍に拡大したパターン像ケ同時に観測しながら点検
や異物の除去が可能となる。シャドーマスク組立８ｔ’
；Ｊ第１図に示【−たＬ９に、上に凸／Ｃなっていて周
辺と中央でに約３（）ｍｍの高さの違いがある。従って
レンズ組立９の焦点深度ａ±１５ｍｍ程度あることが望
ましい。捷たバックスクリーン１３ケ曲面で製作して凸
面會手前に構収丁りば、シャドマスク組豆８の像？一様
にスクリーン土足結像できる。シャドーマスク組立のキ
ャリアａ軸元の上下、左右ｖｃｌ〜２ステップスムーズ
足、かつクリックストップ機講等で一定量ずつ迅速罠移
動出来わば工く、限定的でない。
第２図にキャリア７に取付ら力たスケール板２Ｏの実施
例であり、シャドーマスク組立８のシャドーマスクと近
似の凸面？有する透明な目盛板２０が、第３図罠例示し
たようにストライプ状またに市松模様上（Ｃ多色の着色
が施されている。このスケール板を用いわば、スクリー
ン１３上の例えは孔づまジのあるエリアの色？みて、実
像のシャドーマスク組立８上の欠陥点？探し易くなり、
シャドーマスク組立８の孔づますの修理が容易ｒｃ出来
る○ 不発明のシャドーマスク検査装置を用いわば、高精細カ
ラーブラウン管の点検修理が従米九くらべて著しく効率
良くかつ正確に行ｌわわ、検査者の疲労も軽減される。
例であり、シャドーマスク組立８のシャドーマスクと近
似の凸面？有する透明な目盛板２０が、第３図罠例示し
たようにストライプ状またに市松模様上（Ｃ多色の着色
が施されている。このスケール板を用いわば、スクリー
ン１３上の例えは孔づまジのあるエリアの色？みて、実
像のシャドーマスク組立８上の欠陥点？探し易くなり、
シャドーマスク組立８の孔づますの修理が容易ｒｃ出来
る○ 不発明のシャドーマスク検査装置を用いわば、高精細カ
ラーブラウン管の点検修理が従米九くらべて著しく効率
良くかつ正確に行ｌわわ、検査者の疲労も軽減される。
レンズ組立の倍率μ例示的で、３倍で４Ｌい。またカラ
ーブラウン管のパネルにシャドーマスク組立ｔセットし
たま＼でも点検ａ出来る。ランプの減九回路を用意丁わ
は、実像ゲエク弱い元で見易くして観測することもてき
るＯ
ーブラウン管のパネルにシャドーマスク組立ｔセットし
たま＼でも点検ａ出来る。ランプの減九回路を用意丁わ
は、実像ゲエク弱い元で見易くして観測することもてき
るＯ
第１図ａ本発明のシャドーマスク検査装置の信敗図、２
２図ａ色つき目盛板の配置図、第３図に色つき目盛板の
模様？示す図である。 １にシャドーマスク検査装置、３ｒｉ発元ランプ、４ａ
反射板、５０フレネルコンテンサーレンズ、７０シヤド
一マスク組豆キャリア、９にレンズ組立、ｌ（１，１１
，ｔ２ｏ反射ミラー、１３１’Ｊバツクスクリーン、２
０に色つき目盛板である〇イ 光 １ 図 粥３図 筋Ｚ図
２図ａ色つき目盛板の配置図、第３図に色つき目盛板の
模様？示す図である。 １にシャドーマスク検査装置、３ｒｉ発元ランプ、４ａ
反射板、５０フレネルコンテンサーレンズ、７０シヤド
一マスク組豆キャリア、９にレンズ組立、ｌ（１，１１
，ｔ２ｏ反射ミラー、１３１’Ｊバツクスクリーン、２
０に色つき目盛板である〇イ 光 １ 図 粥３図 筋Ｚ図
Claims (1)
- 発元ランプと、フレネルコンチン丈レンズと、マスクキ
ャリアーと、レンズ組立と、３個の反射ミラーと、バッ
クスクリーンと？具備し、マスクキャリアー上ｒｃおか
わた被測定シャドーマスク組立の支持平面がラングとレ
ンズ組立の中心？結ぶ軸＋九対して直角に位置し、シャ
ドーマスク組立の支持平面とバックスクリーンとの又わ
る角度ゲαとするとさ、ｎ１■記軸プ℃が３個の反射ミ
ラーｒ（入射Ｔるおのおのの入射角０１．θ２．θ３と
の間ＶＣ１はソ３６０°−α０＝２（０１″＋０２°＋
θ３ｕ）ノ関係ｖｃｙｚるごとく構成して、シャドーマ
スク組立の孔のパターンケ前記スクリーン上（Ｃ拡大投
影し、実物とスクリーン上の像？同時観測ｏＪ能九構収
し１こシャドーマスク検査装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23550783A JPS60127636A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | シヤド−マスク検査装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP23550783A JPS60127636A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | シヤド−マスク検査装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60127636A true JPS60127636A (ja) | 1985-07-08 |
Family
ID=16987026
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP23550783A Pending JPS60127636A (ja) | 1983-12-14 | 1983-12-14 | シヤド−マスク検査装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60127636A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02136709A (ja) * | 1988-11-17 | 1990-05-25 | Dainippon Printing Co Ltd | シャドウマスク開孔部欠陥の検査方法および検査装置 |
-
1983
- 1983-12-14 JP JP23550783A patent/JPS60127636A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02136709A (ja) * | 1988-11-17 | 1990-05-25 | Dainippon Printing Co Ltd | シャドウマスク開孔部欠陥の検査方法および検査装置 |
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