JPS60119786A - Ｑスイッチレ−ザ装置 - Google Patents
Ｑスイッチレ−ザ装置Info
- Publication number
- JPS60119786A JPS60119786A JP22715183A JP22715183A JPS60119786A JP S60119786 A JPS60119786 A JP S60119786A JP 22715183 A JP22715183 A JP 22715183A JP 22715183 A JP22715183 A JP 22715183A JP S60119786 A JPS60119786 A JP S60119786A
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- pulse
- laser
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- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
- H01S3/117—Q-switching using intracavity acousto-optic devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
- H01S3/121—Q-switching using intracavity mechanical devices
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01S—DEVICES USING THE PROCESS OF LIGHT AMPLIFICATION BY STIMULATED EMISSION OF RADIATION [LASER] TO AMPLIFY OR GENERATE LIGHT; DEVICES USING STIMULATED EMISSION OF ELECTROMAGNETIC RADIATION IN WAVE RANGES OTHER THAN OPTICAL
- H01S3/00—Lasers, i.e. devices using stimulated emission of electromagnetic radiation in the infrared, visible or ultraviolet wave range
- H01S3/10—Controlling the intensity, frequency, phase, polarisation or direction of the emitted radiation, e.g. switching, gating, modulating or demodulating
- H01S3/11—Mode locking; Q-switching; Other giant-pulse techniques, e.g. cavity dumping
- H01S3/1123—Q-switching
- H01S3/127—Plural Q-switches
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- Electromagnetism (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Lasers (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、Ｑスイッチレーザ装置に関するものでおる。
Ｑスイッチを用いた固体レーザは、尖頭値の極めて高い
Ｑスイッチパルス出力を発生しうる事は、すでに知られ
てお＃）％精密加工等に広く応用されている。しかし精
密加工、薄膜抵抗トリミング等へ応用しようとする場合
、たとえはＮｄ：ＹＡＧレーザでは、Ｑスイッチ素子へ
印加するパルスの繰返し周波数が２ ＫＨｚ以上になる
と、レーザ発像器が、発振停止状態から、発振状態にな
る時、最初のＱスイッチ発振の尖頭値が極めて高くなる
。この状態でトリミング等を行った場合、そのエネルギ
ーの大きさによって深く、大きな加工軌跡を残し、加工
部分及び周辺への影響、ま１こ基版等の破損を招き、特
性全署しく損う場合があり好ましくない。
Ｑスイッチパルス出力を発生しうる事は、すでに知られ
てお＃）％精密加工等に広く応用されている。しかし精
密加工、薄膜抵抗トリミング等へ応用しようとする場合
、たとえはＮｄ：ＹＡＧレーザでは、Ｑスイッチ素子へ
印加するパルスの繰返し周波数が２ ＫＨｚ以上になる
と、レーザ発像器が、発振停止状態から、発振状態にな
る時、最初のＱスイッチ発振の尖頭値が極めて高くなる
。この状態でトリミング等を行った場合、そのエネルギ
ーの大きさによって深く、大きな加工軌跡を残し、加工
部分及び周辺への影響、ま１こ基版等の破損を招き、特
性全署しく損う場合があり好ましくない。
本発明の目的は％ ２発目以降に続くＱスイッチパルス
の尖頭１［ｋはぼ等しい値上維持するため最初のＱスイ
ッチパルスについてのみ抑止効果を持たせたＱスイッチ
レーザ装置ｉｃを提供することにりる。
の尖頭１［ｋはぼ等しい値上維持するため最初のＱスイ
ッチパルスについてのみ抑止効果を持たせたＱスイッチ
レーザ装置ｉｃを提供することにりる。
本発明は、音臀光学的Ｑスイッチ法により、Ｑスイッチ
パルス発振させるに際し、レーザ共振器内に機械的７ヤ
ツターを設けて音響光学的Ｑスイッチ素子と組合せて駆
動させ、機械的シャッターが開く過程において、最初の
Ｑスイッチパルス発振を行なわせるように制御する事に
より、最初のＱスイッチパルスの尖頭値が、機械的シャ
ッターを完全に開いた時に得られるＱスイッチパルス列
の尖頭値とはｅま等しいＱスイッチパルス列を維持しう
るＱスイッチレーザ装置を提供する事におる。
パルス発振させるに際し、レーザ共振器内に機械的７ヤ
ツターを設けて音響光学的Ｑスイッチ素子と組合せて駆
動させ、機械的シャッターが開く過程において、最初の
Ｑスイッチパルス発振を行なわせるように制御する事に
より、最初のＱスイッチパルスの尖頭値が、機械的シャ
ッターを完全に開いた時に得られるＱスイッチパルス列
の尖頭値とはｅま等しいＱスイッチパルス列を維持しう
るＱスイッチレーザ装置を提供する事におる。
次に、本発明について図面？参照して説明する。
本発明の詳細な説明を容易にするため、最初音ｑｋ元学
的Ｑスイッチ素子全用いた従来のＱスイッチレーザ装置
について説明する。第１図（ａ）は、従来技術による音
書光学的Ｑスイッチ素子への印加高胤Ｖ変−勾情号の波
形、（ｂ）は従来のＱスイッチパルス発振の波形である
。
的Ｑスイッチ素子全用いた従来のＱスイッチレーザ装置
について説明する。第１図（ａ）は、従来技術による音
書光学的Ｑスイッチ素子への印加高胤Ｖ変−勾情号の波
形、（ｂ）は従来のＱスイッチパルス発振の波形である
。
従来技術によれは、第１図（ａｌに示すように音臀尤学
的Ｑスイッチ素子へ印加する高周波変調信号として普通
に高周波イ百号２３がない期間ｆｉ＋が数μｓ、周期（
Ｔｌは数ｍｓのものが使用される。この周期（℃が９．
５ｍ８以下になると、（ｂ）に示すＱスイッチパルス発
振波形に示すように、最初の１パルス２４だけ尖頭値の
高いＱスイッチパルス発振となってしまう。なぜなら高
周波信号２３がＱスイッチ素子に印加されている間レー
ザ発振は抑止され、その間レーザ媒質にエネルギーは蓄
積されるが、最初のＱスイッチパルスに対しては反転分
布が完全に飽和するまで蓄積されるからである。この最
初のＱスイッチパルスの尖頭値は、次に続くパルス列に
比較して容易にｌＯ倍程度になりうる。これに対して、
後続するＱスイッチパルス間の励起時間は短かく尖頭値
は下がる。したがって精密加工等に応用する時尖頭値の
変化影餐は大きい。
的Ｑスイッチ素子へ印加する高周波変調信号として普通
に高周波イ百号２３がない期間ｆｉ＋が数μｓ、周期（
Ｔｌは数ｍｓのものが使用される。この周期（℃が９．
５ｍ８以下になると、（ｂ）に示すＱスイッチパルス発
振波形に示すように、最初の１パルス２４だけ尖頭値の
高いＱスイッチパルス発振となってしまう。なぜなら高
周波信号２３がＱスイッチ素子に印加されている間レー
ザ発振は抑止され、その間レーザ媒質にエネルギーは蓄
積されるが、最初のＱスイッチパルスに対しては反転分
布が完全に飽和するまで蓄積されるからである。この最
初のＱスイッチパルスの尖頭値は、次に続くパルス列に
比較して容易にｌＯ倍程度になりうる。これに対して、
後続するＱスイッチパルス間の励起時間は短かく尖頭値
は下がる。したがって精密加工等に応用する時尖頭値の
変化影餐は大きい。
次に本発明の実施例について説明する。
第２図は本発明の実施例の構成葡示すブロック図％第３
図は、第２図に示す４Ｎ号２０．２１の波形図、第４図
（ａｔ 、 （ｂ） 、 （ｃ）は本実施例の動作を示
し、（ａｌは音書九学的Ｑスイッチ素子への印加変調信
号の波形、（ｂ）は機械的シャツチーの開放によるレー
ザ光路の開放魚の時間的変化、（ｃｌは本実施例により
得られるＱスイツチノくルス波形である。
図は、第２図に示す４Ｎ号２０．２１の波形図、第４図
（ａｔ 、 （ｂ） 、 （ｃ）は本実施例の動作を示
し、（ａｌは音書九学的Ｑスイッチ素子への印加変調信
号の波形、（ｂ）は機械的シャツチーの開放によるレー
ザ光路の開放魚の時間的変化、（ｃｌは本実施例により
得られるＱスイツチノくルス波形である。
本実施例は、最初のＱスイッチノ（ルスの尖頭（直會抑
えるものである。第１図において、固体レーザ物質ｌは
、励起光源２と励起光源が出射する光音固体レーザ物質
ｌへ集光する集尤器３ｖｃ−工りｌ１ｉｌＪ起され、反
ＩＭ鋭４．５からなるレーザ共振器中におかれている。
えるものである。第１図において、固体レーザ物質ｌは
、励起光源２と励起光源が出射する光音固体レーザ物質
ｌへ集光する集尤器３ｖｃ−工りｌ１ｉｌＪ起され、反
ＩＭ鋭４．５からなるレーザ共振器中におかれている。
レーザ発振ｔＱスイツチノくルス化させる音＃九学的Ｑ
スイッチ素子６は、溶離石英で作られた音響光学媒体７
に、位相回折格子８を形成させるトランスチュー″！１
″９により構成δれる。
スイッチ素子６は、溶離石英で作られた音響光学媒体７
に、位相回折格子８を形成させるトランスチュー″！１
″９により構成δれる。
このトラ７スデユーサには高周波ドライノ＜ｌＯにより
、高周波変調信号が印加されている。高周波ドライバ１
０１高周波信号（正弦波）発生ｇ ｌ ４と％繰返し信
号（矩形波）発生部１５と、高周波信号？！−繰返し信
号で変調する変調８１３と、高周波ア／プ１１とから構
成され、繰返し信号発生部１５は外部１８号源１９が機
械シャッター１６へ供粘する制＠Ｉｌ侶号２０に対して
遅れ時間（Ｔｔ）’ｆｒもつ信号２１により制御される
。機械的シャッター１６は、制御信号２０にＪ：！ｌｌ
おる設定された角度だけ回転する軸上もつロータリーン
レノイド１７と、その軸に取付けられｆｃ遮蔽板１８で
構成される。
、高周波変調信号が印加されている。高周波ドライバ１
０１高周波信号（正弦波）発生ｇ ｌ ４と％繰返し信
号（矩形波）発生部１５と、高周波信号？！−繰返し信
号で変調する変調８１３と、高周波ア／プ１１とから構
成され、繰返し信号発生部１５は外部１８号源１９が機
械シャッター１６へ供粘する制＠Ｉｌ侶号２０に対して
遅れ時間（Ｔｔ）’ｆｒもつ信号２１により制御される
。機械的シャッター１６は、制御信号２０にＪ：！ｌｌ
おる設定された角度だけ回転する軸上もつロータリーン
レノイド１７と、その軸に取付けられｆｃ遮蔽板１８で
構成される。
はじめ、高周波信号発生ｓ１４から発生する高周波信号
２５（第４図（ａ）に示す）にエリ、音響光学的Ｑスイ
ッチ素子６の音響光学媒体７に位相回折格子８が発生し
、これによりレーザ発振は抑制される（その間エネルギ
ーは蓄積される。）。次に外部信号源１９は制御信号２
０奮発生し、ロークリーンレノイド１７へ供給する。ロ
ークリ−ソレノイドの軸は制御信号２０によりおる回転
角だけ回転し、この回転により遮蔽板１８はレーザ光路
に対して垂直方向に移動する。この遮蔽板は最初、レー
ザ′＃Ｓ路を避敞しており、制御信号２０の立上り時（
第４図（ｂ） Ｋ示す時間ｔｏ）から１０数ｍｓかかつ
て徐々に移動してレーザ光路全開放する。
２５（第４図（ａ）に示す）にエリ、音響光学的Ｑスイ
ッチ素子６の音響光学媒体７に位相回折格子８が発生し
、これによりレーザ発振は抑制される（その間エネルギ
ーは蓄積される。）。次に外部信号源１９は制御信号２
０奮発生し、ロークリーンレノイド１７へ供給する。ロ
ークリ−ソレノイドの軸は制御信号２０によりおる回転
角だけ回転し、この回転により遮蔽板１８はレーザ光路
に対して垂直方向に移動する。この遮蔽板は最初、レー
ザ′＃Ｓ路を避敞しており、制御信号２０の立上り時（
第４図（ｂ） Ｋ示す時間ｔｏ）から１０数ｍｓかかつ
て徐々に移動してレーザ光路全開放する。
一方、外部信号源１９は制御信号２０工Ｖ数ｍ５（Ｔｌ
）遅れて制ａ１倍号２１に一発生し、緑返し１ｇ号発生
部２１に対して繰返し周期Ｔ、パルス幅ｔの繰返し信号
の発生を促す。変調器１３は、高周波信号発生部１４か
らの高周波信号を繰返し信号発生部１５からの繰返し信
号で変調し、矩形波パルスが存在するとき高周波信号全
遮断して第４図（ａ）に示す高周波変調信号を形成する
。面周ｅ、信号２５が存在しない期間（【）は数ｎＳ、
繰返し周期ａ〕は数ｍ８でおる。
）遅れて制ａ１倍号２１に一発生し、緑返し１ｇ号発生
部２１に対して繰返し周期Ｔ、パルス幅ｔの繰返し信号
の発生を促す。変調器１３は、高周波信号発生部１４か
らの高周波信号を繰返し信号発生部１５からの繰返し信
号で変調し、矩形波パルスが存在するとき高周波信号全
遮断して第４図（ａ）に示す高周波変調信号を形成する
。面周ｅ、信号２５が存在しない期間（【）は数ｎＳ、
繰返し周期ａ〕は数ｍ８でおる。
すなわち、本実施例は、まず外部信号源１９からの制御
信号２０により機械的シャッター１６のロータリーンレ
ノイド１７の軸が回転し、レーザ共振器の光路を辿って
いた遮蔽板１８ｉ１：レーザ光路を徐々に開こうとする
。また制御信号２０より数ｍ５（ＴＩ）おくれた制御信
号２１によりＱスイッチドライバが動作し、遮蔽板１８
によるレーザ光路開放開始時からＴｚ （＃Ｔ Ｉ ）
ｒｎ８おくれでトランスジー−サ９に供給されていた
高周波信号が辿断゛ する。この時Ｑスイッチパルス発
振の最初のパルスが立上ろうとする。しかしシャッター
の遮蔽板が完全にレーザ光路紮開放する萱でｖｃはｌｏ
数ミリ秒【要するのでレーザ光路は最初のＱスイッチパ
ルス発生時には完全に開いていない。従って、レーザ共
振器のＱ値は低く、蓄積されたエネルギーがあっても反
転分布エネルギーの１部を放出する事で、最初のＱスイ
ッチパルスの尖頭値を低く抑える事ができ、最初のＱス
イッチパルスのエネルギーは次に続くパルス列に徐々に
分散される。
信号２０により機械的シャッター１６のロータリーンレ
ノイド１７の軸が回転し、レーザ共振器の光路を辿って
いた遮蔽板１８ｉ１：レーザ光路を徐々に開こうとする
。また制御信号２０より数ｍ５（ＴＩ）おくれた制御信
号２１によりＱスイッチドライバが動作し、遮蔽板１８
によるレーザ光路開放開始時からＴｚ （＃Ｔ Ｉ ）
ｒｎ８おくれでトランスジー−サ９に供給されていた
高周波信号が辿断゛ する。この時Ｑスイッチパルス発
振の最初のパルスが立上ろうとする。しかしシャッター
の遮蔽板が完全にレーザ光路紮開放する萱でｖｃはｌｏ
数ミリ秒【要するのでレーザ光路は最初のＱスイッチパ
ルス発生時には完全に開いていない。従って、レーザ共
振器のＱ値は低く、蓄積されたエネルギーがあっても反
転分布エネルギーの１部を放出する事で、最初のＱスイ
ッチパルスの尖頭値を低く抑える事ができ、最初のＱス
イッチパルスのエネルギーは次に続くパルス列に徐々に
分散される。
この時の尖頭値は７ヤツターが完全に開いた時に得られ
るパルス列の値とほぼ同じになるように、シャッターの
開き具合（遮蔽板の移動時間）とＱスイッチパルスの最
初の立上りまでの遅れ時間（Ｔｚ）ｔ−制御する事によ
り可能となり、Ｑスイッチパルスの最初の尖頭値が異常
に高くなる事が抑止され尖頭値のはぼ等しいＱスイッチ
パルス列が維持できる。
るパルス列の値とほぼ同じになるように、シャッターの
開き具合（遮蔽板の移動時間）とＱスイッチパルスの最
初の立上りまでの遅れ時間（Ｔｚ）ｔ−制御する事によ
り可能となり、Ｑスイッチパルスの最初の尖頭値が異常
に高くなる事が抑止され尖頭値のはぼ等しいＱスイッチ
パルス列が維持できる。
第１図（ａｔ 、 （ｂ）は従来のＱスイッチレーザ装
置の動作を示す波形図、第２図は不発明の実施例の構成
を示すブロック図、第３図ｒＬ第２図中の１Ｍ号２０．
２１の波形図、第４図（ａ） 、 （ｂｌ 、 （ｃｌ
は本発明の実施例の動作を説明するもので、 （ａ）ｉ
ｌｉ、変調信号の波形図、（ｂｌは遮蔽板による光路の
開放状態七示す図、ｆｃｌはＱスイッチパルス出力の波
形図である。 ｌ・・・・・・固体レーザ物質、２・・・・・・励起光
源、３・・・・・・集光器、４．５・・・・・・反＃ｇ
鋭、６・・・・・・音響光学的Ｑスイッチ素子、７・・
・・・・貴書光学媒体、８・・・・・・位相回折格子、
９・・・・・・トランスデユーサ、ｌＯ・・・・・・高
周波ドライバ、１１・・・・・・高周波ア／プ、１３・
・・・・・変調部、１４・・・・・・高周波１ｇ号発生
部、１５・・・・・・繰返し周波数設定部、１６・・・
・・・機械的７ヤツター、１７・・・・・・ロータリー
ンレノイド、１８・・・・・・遮蔽板、１９・・・・・
・制御信号、２０・・・・・・レーザ発振器である。
置の動作を示す波形図、第２図は不発明の実施例の構成
を示すブロック図、第３図ｒＬ第２図中の１Ｍ号２０．
２１の波形図、第４図（ａ） 、 （ｂｌ 、 （ｃｌ
は本発明の実施例の動作を説明するもので、 （ａ）ｉ
ｌｉ、変調信号の波形図、（ｂｌは遮蔽板による光路の
開放状態七示す図、ｆｃｌはＱスイッチパルス出力の波
形図である。 ｌ・・・・・・固体レーザ物質、２・・・・・・励起光
源、３・・・・・・集光器、４．５・・・・・・反＃ｇ
鋭、６・・・・・・音響光学的Ｑスイッチ素子、７・・
・・・・貴書光学媒体、８・・・・・・位相回折格子、
９・・・・・・トランスデユーサ、ｌＯ・・・・・・高
周波ドライバ、１１・・・・・・高周波ア／プ、１３・
・・・・・変調部、１４・・・・・・高周波１ｇ号発生
部、１５・・・・・・繰返し周波数設定部、１６・・・
・・・機械的７ヤツター、１７・・・・・・ロータリー
ンレノイド、１８・・・・・・遮蔽板、１９・・・・・
・制御信号、２０・・・・・・レーザ発振器である。
Claims (1)
- 固体レーザ装置のレーザ共振器内に音物光学的Ｑスイッ
チ素子を配置して、これを駆動することにより前記固体
レーザ装置ｋＱスイッチパルス発振させるＱスイッチレ
ーザ装置において、前記レーザ共振器内に配置され、前
記Ｑスイッチパルスレーザのレーザ光路全遮蔽お裏ひ開
放する機械的シャッターと、前記音響光学的Ｑスイッチ
素子と前記機械的シャッター會駆動する駆動部とを含み
、前記駆動部は前記機械的クヤツターが前記レーザを路
を先金に開放しないうちに、前記音響光学的Ｑスイッチ
素子を駆動することを特徴とするＱスイッチレーザ装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22715183A JPS60119786A (ja) | 1983-12-01 | 1983-12-01 | Ｑスイッチレ−ザ装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22715183A JPS60119786A (ja) | 1983-12-01 | 1983-12-01 | Ｑスイッチレ−ザ装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60119786A true JPS60119786A (ja) | 1985-06-27 |
Family
ID=16856289
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22715183A Pending JPS60119786A (ja) | 1983-12-01 | 1983-12-01 | Ｑスイッチレ−ザ装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60119786A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01270370A (ja) * | 1988-04-22 | 1989-10-27 | Mitsubishi Electric Corp | ネガテイブブランチ不安定型レーザ共振器 |
| JPH01270367A (ja) * | 1988-04-22 | 1989-10-27 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置 |
| EP0510203A1 (en) * | 1990-11-13 | 1992-10-28 | Fanuc Ltd. | Laser cutting machine |
| JP2012238635A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Ｑスイッチレーザ発振器 |
| CN105234559A (zh) * | 2015-11-01 | 2016-01-13 | 泉州黄章智能科技有限公司 | 一种激光通道微型刻蚀装置 |
-
1983
- 1983-12-01 JP JP22715183A patent/JPS60119786A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH01270370A (ja) * | 1988-04-22 | 1989-10-27 | Mitsubishi Electric Corp | ネガテイブブランチ不安定型レーザ共振器 |
| JPH01270367A (ja) * | 1988-04-22 | 1989-10-27 | Mitsubishi Electric Corp | レーザ装置 |
| JP2663497B2 (ja) * | 1988-04-22 | 1997-10-15 | 三菱電機株式会社 | レーザ装置 |
| JP2673303B2 (ja) * | 1988-04-22 | 1997-11-05 | 三菱電機株式会社 | ネガテイブブランチ不安定型レーザ共振器 |
| EP0510203A1 (en) * | 1990-11-13 | 1992-10-28 | Fanuc Ltd. | Laser cutting machine |
| US5343013A (en) * | 1990-11-13 | 1994-08-30 | Fanuc Ltd. | Laser beam machine |
| JP2012238635A (ja) * | 2011-05-10 | 2012-12-06 | Shibuya Kogyo Co Ltd | Ｑスイッチレーザ発振器 |
| CN105234559A (zh) * | 2015-11-01 | 2016-01-13 | 泉州黄章智能科技有限公司 | 一种激光通道微型刻蚀装置 |
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