JPS60117165A - 2次元磁気センサによるベクトル磁界の検知方法 - Google Patents
2次元磁気センサによるベクトル磁界の検知方法Info
- Publication number
- JPS60117165A JPS60117165A JP58224363A JP22436383A JPS60117165A JP S60117165 A JPS60117165 A JP S60117165A JP 58224363 A JP58224363 A JP 58224363A JP 22436383 A JP22436383 A JP 22436383A JP S60117165 A JPS60117165 A JP S60117165A
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- Japan
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- magnetic field
- collector
- azimuth angle
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- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01R—MEASURING ELECTRIC VARIABLES; MEASURING MAGNETIC VARIABLES
- G01R33/00—Arrangements or instruments for measuring magnetic variables
- G01R33/02—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux
- G01R33/06—Measuring direction or magnitude of magnetic fields or magnetic flux using galvano-magnetic devices
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Measuring Magnetic Variables (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、複数のコレクタペアをもつ2次元磁気センナ
によるベクトル磁界の検知方法に関する。
によるベクトル磁界の検知方法に関する。
近年、複数のコレクタペアを有するトランジスタ2次元
磁気センナが開発され、これをエンコーダ、その他ベク
トル磁界の検9IIK利用する研究が進められて−る。
磁気センナが開発され、これをエンコーダ、その他ベク
トル磁界の検9IIK利用する研究が進められて−る。
第1図はトランジスタ2次元磁気センサの平面説明図及
び第2図はその基本動作を示す断面説明図である。磁気
センサの概要をこれらの図に基づいて説明する。同図に
おいて、(Elはエミッタ、申)はベース、(C1)〜
(C4)は0ンクタである。このセンサ(1)は、4つ
のコレクタ(Ct−)〜(C4)をもつブレーナタイプ
のNPN)ランジスタである。工ばツタ(ト))d−ら
注入された電子(e−)は、ベース(Bl 領域を拡散
していく。このとき、コレクタ(CI)、(Ct)がエ
ミッタ(ト)に対して対象に配置されていると、ベース
(81中の電子(e−)は第2図の実線の示すように移
動し、コレクタ(C3)と(ct ) K等しく配分さ
れ、両コレクタ(Cz)、(Ct)に電流差はない。こ
のことは、コレクタ(Cs)−(C4)の場合も同様で
ある。
び第2図はその基本動作を示す断面説明図である。磁気
センサの概要をこれらの図に基づいて説明する。同図に
おいて、(Elはエミッタ、申)はベース、(C1)〜
(C4)は0ンクタである。このセンサ(1)は、4つ
のコレクタ(Ct−)〜(C4)をもつブレーナタイプ
のNPN)ランジスタである。工ばツタ(ト))d−ら
注入された電子(e−)は、ベース(Bl 領域を拡散
していく。このとき、コレクタ(CI)、(Ct)がエ
ミッタ(ト)に対して対象に配置されていると、ベース
(81中の電子(e−)は第2図の実線の示すように移
動し、コレクタ(C3)と(ct ) K等しく配分さ
れ、両コレクタ(Cz)、(Ct)に電流差はない。こ
のことは、コレクタ(Cs)−(C4)の場合も同様で
ある。
ところが、磁界Hがy方向に存在すると、電子(eつは
ローレンツ力によってX方向に力を受け、磁界に示すよ
うに移動し、コレクタCCI )の方によシ多く到達す
る。この結果、両コレクタ(C1)、(Ct)間に電流
差が生じる。この電流差は、磁界Hに比例するので、こ
の電流差を検出すれば磁界Hの値を知ることができる。
ローレンツ力によってX方向に力を受け、磁界に示すよ
うに移動し、コレクタCCI )の方によシ多く到達す
る。この結果、両コレクタ(C1)、(Ct)間に電流
差が生じる。この電流差は、磁界Hに比例するので、こ
の電流差を検出すれば磁界Hの値を知ることができる。
仄に′、ベクトル磁界の検出方法について説明する。磁
気センサの感じる磁界Hを2方回の成分に分解して、H
xとayに分離して考えると、コレクタベア(Cs)、
(C4)がHxに比例した出力を出し、コレクタペアC
C+)、(、Ct)がHyに比例した出力を出す。
気センサの感じる磁界Hを2方回の成分に分解して、H
xとayに分離して考えると、コレクタベア(Cs)、
(C4)がHxに比例した出力を出し、コレクタペアC
C+)、(、Ct)がHyに比例した出力を出す。
コレクタペア(Cs ) 、(”4 )の出力t” C
xsコレクタペアCC8) 、(Ct )の出力cyと
すると、磁場の方位角θは、。
xsコレクタペアCC8) 、(Ct )の出力cyと
すると、磁場の方位角θは、。
θ= Arczan (Cy/cz) ’・・(1)と
なシ、磁界Hの大きさは、 H==r下? ・・・(2) でめられる。
なシ、磁界Hの大きさは、 H==r下? ・・・(2) でめられる。
前記磁気センサは、上述のような原理に基づき第6図に
示されるベクトル磁界の測定装置のセンサとして使用さ
れている。同図におりて、(2)はセンサ駆動回路、
(3) 、 (4)は電流−電圧変換器、(5)はA/
Dコンバータ、(6)F1マイクロコンビ二一メ、ソし
て(7)は出力表示部である。磁気センサ(1)はセン
サ駆動回路(2)によシ駆動され、各コレクタ(CI〜
C4)には磁界の大きさに比例した電流が流れる。
示されるベクトル磁界の測定装置のセンサとして使用さ
れている。同図におりて、(2)はセンサ駆動回路、
(3) 、 (4)は電流−電圧変換器、(5)はA/
Dコンバータ、(6)F1マイクロコンビ二一メ、ソし
て(7)は出力表示部である。磁気センサ(1)はセン
サ駆動回路(2)によシ駆動され、各コレクタ(CI〜
C4)には磁界の大きさに比例した電流が流れる。
そして、各コレクタペア(”11 CJ * (Cs
* C4)の電流差はそれぞれ電流−電圧変換器(3)
、 (4)で電圧に変換すれ、 A/Dコンバータ(
5)を介してマイクロコンピュータ(6)に取シ込まれ
る。マイクロコンピュータ(6)では、前記(1式及び
(2)式の演算処理をして、出力表示部(7)に磁界の
方位角θ及び大きさHを表示させている。
* C4)の電流差はそれぞれ電流−電圧変換器(3)
、 (4)で電圧に変換すれ、 A/Dコンバータ(
5)を介してマイクロコンピュータ(6)に取シ込まれ
る。マイクロコンピュータ(6)では、前記(1式及び
(2)式の演算処理をして、出力表示部(7)に磁界の
方位角θ及び大きさHを表示させている。
ところが、上記の測定方法では、方位角θの指示値精度
を保つ磁界の大きさHの最小値が方位角θによって変化
し、例えばθ中45°付近でHキ0.2 (0ersz
ed)まで精度があるのに対し、θ−8=邑90゛近辺
ではH中1 (Oerated)程度までしか精度がな
いぐとがわかった。この事は以下の理由により説明でき
る。
を保つ磁界の大きさHの最小値が方位角θによって変化
し、例えばθ中45°付近でHキ0.2 (0ersz
ed)まで精度があるのに対し、θ−8=邑90゛近辺
ではH中1 (Oerated)程度までしか精度がな
いぐとがわかった。この事は以下の理由により説明でき
る。
磁界の大きさHが方位角θで磁気センナに印加されるト
、x方1fflのコレクタベアはHe’sθの磁界を感
じ−CCx)、y方向のコレクタペアはHsinθの磁
界を感じるCC’り。ところが、磁気センサの検出感度
がα1 (Oersted)である場合には、He’l
lθ≧0.1で、かつ、HBinθ≧0.1の関係がH
とθに要求される。この関係に基づいて、方位角θに対
する磁界の検出感度限界H8を示したものを第4図に示
す。
、x方1fflのコレクタベアはHe’sθの磁界を感
じ−CCx)、y方向のコレクタペアはHsinθの磁
界を感じるCC’り。ところが、磁気センサの検出感度
がα1 (Oersted)である場合には、He’l
lθ≧0.1で、かつ、HBinθ≧0.1の関係がH
とθに要求される。この関係に基づいて、方位角θに対
する磁界の検出感度限界H8を示したものを第4図に示
す。
第4の特性図が示すように、C,とCryの値が等しい
θ=45°近辺ではH8中0.15 (Oersted
)までベクトル磁界が測定できるのに対し、θ=80°
、1′0゜近辺ではH8中1.0 (Oers−zed
) Lかできない。
θ=45°近辺ではH8中0.15 (Oersted
)までベクトル磁界が測定できるのに対し、θ=80°
、1′0゜近辺ではH8中1.0 (Oers−zed
) Lかできない。
つまル、従来の2次元磁気センサによる測定方法では、
磁界の方位角θが0°、90°に近づくにつれてベクト
ル磁界の検出感度が悪化している。
磁界の方位角θが0°、90°に近づくにつれてベクト
ル磁界の検出感度が悪化している。
本発明は、このよう表状況に鑑みて発明されたものであ
〕、磁界の方位角に関係なく、高感度にベクトル磁界を
検出できるようにした2次元磁気センサによるベクトル
磁界の検仰方法を提供するものである。
〕、磁界の方位角に関係なく、高感度にベクトル磁界を
検出できるようにした2次元磁気センサによるベクトル
磁界の検仰方法を提供するものである。
本発明に係るベクトル磁界の検知方法は、2次元磁気セ
ンサのコレクタを工ばツタ−ペース領域を中心として同
心円状勢間隔KL6個分副分割配置4対の直交するコレ
クタペアを時分割で走査し、各直交するコレクタペアに
よる方位角を各々演算し、その得られた方位角θ(Nl
(N=1〜4)のうち、3−五Zダ≦10(ト)1≦5
6=25’に々るコレクタペアの示す方位角θ(へ)を
選択する。そして、このときのコレクタペアの出力に基
づいて磁界の大きさHをめ、さらに前記方位角θ(財)
に当該コレクタペアの軸の回転角α(財)を加算して磁
界の方位角θをめる。
ンサのコレクタを工ばツタ−ペース領域を中心として同
心円状勢間隔KL6個分副分割配置4対の直交するコレ
クタペアを時分割で走査し、各直交するコレクタペアに
よる方位角を各々演算し、その得られた方位角θ(Nl
(N=1〜4)のうち、3−五Zダ≦10(ト)1≦5
6=25’に々るコレクタペアの示す方位角θ(へ)を
選択する。そして、このときのコレクタペアの出力に基
づいて磁界の大きさHをめ、さらに前記方位角θ(財)
に当該コレクタペアの軸の回転角α(財)を加算して磁
界の方位角θをめる。
次に1本発明の実施例を図面に基づいて説明する。
第5図は、本発明の一実施例に係る2次元磁気センナの
平面説明図である。同図において、コレクタ(C8〜”
+s )は工ばツタ(ト)ンのまわシに同心円状に等間
隔に16個配置されて―る。すなわち、各コレクタは2
2.5ずつ均等に配置されて−る。従って、任意の磁界
方向に対しである特定の2対の直交するコレクタペアを
とると、そのコレクタペアによる直交建標系では、磁界
の方位角は必らず4f±11.25’の領域にある。方
位角が3五75≦θ≦56.25の範囲内においては、
第4図に示すように、検出感度は0.18 (Oers
ted)と良い。この特長を生かして、4対の直交する
コレクタベアのうち5&75≦・110個)1≦56.
21の値を示すコレクタベアによる角度θ(Nlをデー
タとして採用すれはよい。第4図において、図示の方向
に磁界Hがあるとすれば、コレクタベア(Cs、C1,
)と(Cv、Cts)の直交座標(X・y)による方位
角θ■が採用され、1 この方位角θNに前記コレクタベアの軸の回転角α(へ
)を加算する。このようKすれif O,18(Oer
gted)の微小な磁界までベクトル磁界を検出できる
。
平面説明図である。同図において、コレクタ(C8〜”
+s )は工ばツタ(ト)ンのまわシに同心円状に等間
隔に16個配置されて―る。すなわち、各コレクタは2
2.5ずつ均等に配置されて−る。従って、任意の磁界
方向に対しである特定の2対の直交するコレクタペアを
とると、そのコレクタペアによる直交建標系では、磁界
の方位角は必らず4f±11.25’の領域にある。方
位角が3五75≦θ≦56.25の範囲内においては、
第4図に示すように、検出感度は0.18 (Oers
ted)と良い。この特長を生かして、4対の直交する
コレクタベアのうち5&75≦・110個)1≦56.
21の値を示すコレクタベアによる角度θ(Nlをデー
タとして採用すれはよい。第4図において、図示の方向
に磁界Hがあるとすれば、コレクタベア(Cs、C1,
)と(Cv、Cts)の直交座標(X・y)による方位
角θ■が採用され、1 この方位角θNに前記コレクタベアの軸の回転角α(へ
)を加算する。このようKすれif O,18(Oer
gted)の微小な磁界までベクトル磁界を検出できる
。
ところで、前記磁気センサは16個のコレクタ(Cz〜
C8・)をもっておシ、その数は第1図のそれに比べて
4倍でワシ、従来方法と同様な駆動方法で常時電流を流
すと、コレクタ電流は相対的に1/4になる。つip、
第6図に示すように、コレクタ電流が小さいと感度が減
少する。シお、第6図にお−て、ICは磁界がなφとき
に1個のコレクタに流れる電流である〇 そこで、本発明にお−ては、4組の直交するコレクタベ
ア(C!・Ce ”s r Cta)・(Ct・”Io
−C・・Cl4)・(Cs * CH−Ct + C
+s )及び(C4+ C+s −Ca * Cts
)を順次スイッチングしながら駆動し、1組ずつ出力を
抽出して方位角を演算するようにしている。このように
して、各コレクタに供給する駆動電流を大きくしたこと
により、検出感度を高めてiる。
C8・)をもっておシ、その数は第1図のそれに比べて
4倍でワシ、従来方法と同様な駆動方法で常時電流を流
すと、コレクタ電流は相対的に1/4になる。つip、
第6図に示すように、コレクタ電流が小さいと感度が減
少する。シお、第6図にお−て、ICは磁界がなφとき
に1個のコレクタに流れる電流である〇 そこで、本発明にお−ては、4組の直交するコレクタベ
ア(C!・Ce ”s r Cta)・(Ct・”Io
−C・・Cl4)・(Cs * CH−Ct + C
+s )及び(C4+ C+s −Ca * Cts
)を順次スイッチングしながら駆動し、1組ずつ出力を
抽出して方位角を演算するようにしている。このように
して、各コレクタに供給する駆動電流を大きくしたこと
により、検出感度を高めてiる。
次に、本実施例に係る検知方法を採用した測定装置を第
7図のブロック図及び第8図のフローチャートに基づi
て説明する。
7図のブロック図及び第8図のフローチャートに基づi
て説明する。
第7図におφで、(21、(s)、 (s) 、 (6
) 、 (7)は第6図のプロ)り図に示した同一符号
のものと同一であシ、αやは第5図に示した磁気センサ
、そして(2)はコレクタスキャナである。
) 、 (7)は第6図のプロ)り図に示した同一符号
のものと同一であシ、αやは第5図に示した磁気センサ
、そして(2)はコレクタスキャナである。
磁気センサαpはセンサ駆動回路(2)によシ駆動され
、コレクタスキャナ(2)によりN−(N’=1)チャ
ンネルが開かれる。例えば、第1のチャンネルをコレク
タベア(C,、C,シC,,C工)トスれば、これらの
コレクタベアのみに電流が流され、その出力は、電流−
電圧変換器(3)を介してんのコンバータ(5)に供給
され、デジタル値に変換され′fc後、マイクロコンピ
ュータ(6)に取シ込まれる。マイクロコンピユー 7
(6) テは、第1チヤンネルにおける磁界の方位角
θ(1)及び大きさH(1)を前記(0式及び(2)式
忙基づいて演算し、記憶する0 このような手順を、第2チヤンネル(CH+ C16−
Co * C14)%第3チャンネル(c、、cm−C
y+C□)、そして第4チヤンネル(C4sCst C
4sCst) tで〈シ返す0このようにして、各チャ
ンネルの磁界の大きさH輪及び方位角θ(1’4 (N
= 1〜4)をめて記憶する0そして、方位角θNの
うち、33.75≦l#(Nil≦56.2ザを示すθ
(N)を選択すると共に、HHを選択する。
、コレクタスキャナ(2)によりN−(N’=1)チャ
ンネルが開かれる。例えば、第1のチャンネルをコレク
タベア(C,、C,シC,,C工)トスれば、これらの
コレクタベアのみに電流が流され、その出力は、電流−
電圧変換器(3)を介してんのコンバータ(5)に供給
され、デジタル値に変換され′fc後、マイクロコンピ
ュータ(6)に取シ込まれる。マイクロコンピユー 7
(6) テは、第1チヤンネルにおける磁界の方位角
θ(1)及び大きさH(1)を前記(0式及び(2)式
忙基づいて演算し、記憶する0 このような手順を、第2チヤンネル(CH+ C16−
Co * C14)%第3チャンネル(c、、cm−C
y+C□)、そして第4チヤンネル(C4sCst C
4sCst) tで〈シ返す0このようにして、各チャ
ンネルの磁界の大きさH輪及び方位角θ(1’4 (N
= 1〜4)をめて記憶する0そして、方位角θNの
うち、33.75≦l#(Nil≦56.2ザを示すθ
(N)を選択すると共に、HHを選択する。
次に1この方位角θ(財)Kそのコレクタベアの軸の回
転角α(財)を加算し、これを磁界の方位角θとする。
転角α(財)を加算し、これを磁界の方位角θとする。
磁界の大きさHは前記H□をそのまま採用する〇
この工うにしてめられた磁界の大きさH及び方位角θを
出力表示5(7)に表示する。
出力表示5(7)に表示する。
本発明は以上説明したとおり、4対の直交座標を設けて
方位角を各々演算し、その方位角θ斡)が’33:;7
r≦1θNJI≦5・6.25 になる方位角を選択
するようにして−るため、感度α18 (Oerate
d)でらル、測定不能々角度領域も表〈なっている。従
来友法が、H= 1.0 (Oarstad)以下で、
1θ−90°1く?、1θ−180°1〈ザ、及び10
1<5’の領域で測定不能となっていた事と比較すれば
、本発明の効果に紘著しφものがあると鱒える。
方位角を各々演算し、その方位角θ斡)が’33:;7
r≦1θNJI≦5・6.25 になる方位角を選択
するようにして−るため、感度α18 (Oerate
d)でらル、測定不能々角度領域も表〈なっている。従
来友法が、H= 1.0 (Oarstad)以下で、
1θ−90°1く?、1θ−180°1〈ザ、及び10
1<5’の領域で測定不能となっていた事と比較すれば
、本発明の効果に紘著しφものがあると鱒える。
tた、全てのコレクタに同時に電流を供給した、 場合
にその感度が04 mV/Gaussであるとすれば、
本発明によれば1.4 ”/Ga□3と&5倍感度が同
上し、また、その回路構成も前記の場合よシも簡単にな
るとφう利点かある。
にその感度が04 mV/Gaussであるとすれば、
本発明によれば1.4 ”/Ga□3と&5倍感度が同
上し、また、その回路構成も前記の場合よシも簡単にな
るとφう利点かある。
第1図は従来のトランジスタ2次元磁気センナ、の平面
説明図、第2図はその基本動作を示す断面説明図、第3
図は前記磁気センサによるベクトル磁界の測定装置のブ
ロック図、第4図は方位角に対する磁界の検出感度限界
を示す特性図、第51社本発明の一実施例に係る2次元
磁気センサの平面説明図、第6図はコレクタ電流による
感度の相違を示した特性図、第7図は本発明の一実施例
に係る検知方法を採用したベクトル磁界の測定装置のブ
ロック図、第8図は前記測定装置の動作を示したフロー
チャートである0 (1)・・・従来の2次元磁気センサ、(2)・・・セ
ンサ駆動回路、(3)・・・電流−電圧変換器、(5)
・・・んΦコン7(−タ、(6)・・・マイクロコンピ
ュータ、(7)・・・出力表示部、亀F・・本発明の2
次元磁気センサ、(2)・・・コレクタスキャナ。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第1rM 第2f!I 第5茜− 第 6rM 石嶽禾衾度 第8図 手続補正書(自発ン 特許庁長官殿 昭和59年4月138 1、事件の表示 特願昭58−224565号 2、発明の名称 2次元磁気センナによるベクトル磁界の検知方法基 称
(412)日本鋼管株式会社 4、代理人 「図面の簡単な説明」の各欄並びEl1両7、補正の内
容 (11明細書第4頁第2行〜第3行「各コレクタ・・・
・・・流れる。」を、「各コレクタペア(Ct、C5)
−CCsIC4)の電流差は磁界の大きさに比例する。 」と補正する。 (2+ 明細書第11頁第6行r (31Jをr 13
1. (4) Jと補正する。
説明図、第2図はその基本動作を示す断面説明図、第3
図は前記磁気センサによるベクトル磁界の測定装置のブ
ロック図、第4図は方位角に対する磁界の検出感度限界
を示す特性図、第51社本発明の一実施例に係る2次元
磁気センサの平面説明図、第6図はコレクタ電流による
感度の相違を示した特性図、第7図は本発明の一実施例
に係る検知方法を採用したベクトル磁界の測定装置のブ
ロック図、第8図は前記測定装置の動作を示したフロー
チャートである0 (1)・・・従来の2次元磁気センサ、(2)・・・セ
ンサ駆動回路、(3)・・・電流−電圧変換器、(5)
・・・んΦコン7(−タ、(6)・・・マイクロコンピ
ュータ、(7)・・・出力表示部、亀F・・本発明の2
次元磁気センサ、(2)・・・コレクタスキャナ。 代理人 弁理士 木 村 三 朗 第1rM 第2f!I 第5茜− 第 6rM 石嶽禾衾度 第8図 手続補正書(自発ン 特許庁長官殿 昭和59年4月138 1、事件の表示 特願昭58−224565号 2、発明の名称 2次元磁気センナによるベクトル磁界の検知方法基 称
(412)日本鋼管株式会社 4、代理人 「図面の簡単な説明」の各欄並びEl1両7、補正の内
容 (11明細書第4頁第2行〜第3行「各コレクタ・・・
・・・流れる。」を、「各コレクタペア(Ct、C5)
−CCsIC4)の電流差は磁界の大きさに比例する。 」と補正する。 (2+ 明細書第11頁第6行r (31Jをr 13
1. (4) Jと補正する。
Claims (1)
- 2次元磁気センサのコレクタをエミッターベース領域を
中心として同心状等間隔に16個分割配置し、4対の直
交するコレクタペアを時分割で走査し、各直交するコレ
クタペアによる方位角を各々演算し、その得られた方位
角θ(N)(N=1〜4)のうち、ss、y、f’≦1
θ■1≦56.25グになるコレクタペアの方位角θ(
へ)を選択し、その選択掻れた方位角θ■に基づいて磁
界の方位角をめるようにし大2次元磁気センサによるベ
クトル磁界の検知方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58224363A JPS60117165A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 2次元磁気センサによるベクトル磁界の検知方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58224363A JPS60117165A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 2次元磁気センサによるベクトル磁界の検知方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS60117165A true JPS60117165A (ja) | 1985-06-24 |
Family
ID=16812583
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58224363A Pending JPS60117165A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 2次元磁気センサによるベクトル磁界の検知方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS60117165A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010528305A (ja) * | 2007-05-29 | 2010-08-19 | エコール ポリテクニーク フェデラル デ ラウサンネ | 面内の磁界の方向を測定する磁界センサ |
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1983
- 1983-11-30 JP JP58224363A patent/JPS60117165A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JP2010528305A (ja) * | 2007-05-29 | 2010-08-19 | エコール ポリテクニーク フェデラル デ ラウサンネ | 面内の磁界の方向を測定する磁界センサ |
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