JPS60117112A - 重量検知型センサ− - Google Patents
重量検知型センサ−Info
- Publication number
- JPS60117112A JPS60117112A JP58226231A JP22623183A JPS60117112A JP S60117112 A JPS60117112 A JP S60117112A JP 58226231 A JP58226231 A JP 58226231A JP 22623183 A JP22623183 A JP 22623183A JP S60117112 A JPS60117112 A JP S60117112A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- wafer
- roller
- sensor
- weight
- magnets
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01G—WEIGHING
- G01G11/00—Apparatus for weighing a continuous stream of material during flow; Conveyor belt weighers
- G01G11/08—Apparatus for weighing a continuous stream of material during flow; Conveyor belt weighers having means for controlling the rate of feed or discharge
- G01G11/083—Apparatus for weighing a continuous stream of material during flow; Conveyor belt weighers having means for controlling the rate of feed or discharge of the weight-belt or weigh-auger type
-
- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC
- Y10S—TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y10S177/00—Weighing scales
- Y10S177/05—Magnets
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Container, Conveyance, Adherence, Positioning, Of Wafer (AREA)
- Controlling Sheets Or Webs (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は重量検知型センサーに関し、特にウェハーの搬
送工程においてウニ／・−の到達を検知するのに都合良
く使用することができるウエノ・−センサーに関する。
送工程においてウニ／・−の到達を検知するのに都合良
く使用することができるウエノ・−センサーに関する。
ＩＣ，Ｌ８１等の半導体素子を製造するためには、ウェ
ハー上へフォトレジストを塗布するためのコーター、フ
ォトレジストを塗布されたウエノ・−上へ回路パターン
を転写するためのアライナ−、パターンを転写されたウ
ニ／・−を現像するためのデベロッパー等の装置が使用
される０ 前述の各種装置においてウニ・・−は一枚ずつ処理ツイ
ン上へおかれるわけであるが、処理ラインの開始地点に
は数十枚のウェハーを収納したウェハーカセットがセッ
トされ、このカセットから処理ラインへウェハーが一枚
ずつ供給されるようになっている。
ハー上へフォトレジストを塗布するためのコーター、フ
ォトレジストを塗布されたウエノ・−上へ回路パターン
を転写するためのアライナ−、パターンを転写されたウ
ニ／・−を現像するためのデベロッパー等の装置が使用
される０ 前述の各種装置においてウニ・・−は一枚ずつ処理ツイ
ン上へおかれるわけであるが、処理ラインの開始地点に
は数十枚のウェハーを収納したウェハーカセットがセッ
トされ、このカセットから処理ラインへウェハーが一枚
ずつ供給されるようになっている。
又反対に処理２インの終了地点にもウェハーカセットが
セットされ、数十枚のウエノ・−を収納できるようにし
である。このため各種装置の処理ラインの開始地点およ
び終了地点にはそれぞれセンダーおよびレシーバ−と呼
ばれるウェハー供給装置およびウェハー収納装置がおか
れている。
セットされ、数十枚のウエノ・−を収納できるようにし
である。このため各種装置の処理ラインの開始地点およ
び終了地点にはそれぞれセンダーおよびレシーバ−と呼
ばれるウェハー供給装置およびウェハー収納装置がおか
れている。
更には又ウェハーの処理ラインの途中でウェハーを一時
的に収納しておき、一定時間後に再び処環２インにのせ
るためにバッファーと呼ばれる装置が処理ラインの途中
に配置され、ここにも数十枚のウェハーを収納可能なウ
ェハーカセットがセットされる。
的に収納しておき、一定時間後に再び処環２インにのせ
るためにバッファーと呼ばれる装置が処理ラインの途中
に配置され、ここにも数十枚のウェハーを収納可能なウ
ェハーカセットがセットされる。
ところで前述したよ５なセンダー、レシーバ−およびバ
ッファーにおいては、ウェハーを処理ツイン上へ供給し
た後および処理ツインから受け取った後ウェハーカセッ
トが順位上昇又は下降するよ５になっている。この場合
ウェハーがウェハーカセット内の所定の搬送ベルト上に
位置したら、それに応じて搬送ベルトの駆動を停止した
り開始したシするわけである。
ッファーにおいては、ウェハーを処理ツイン上へ供給し
た後および処理ツインから受け取った後ウェハーカセッ
トが順位上昇又は下降するよ５になっている。この場合
ウェハーがウェハーカセット内の所定の搬送ベルト上に
位置したら、それに応じて搬送ベルトの駆動を停止した
り開始したシするわけである。
従来所定位置の搬送ベルト上にウェハーが載っているか
どうかを検知するためＰｃＳ々の型式のウェハーセンサ
ーが使用されている。代表的なウェハーセンサーを例と
して挙げれば反射ｍ＜空気反射型、光反射ｍ）センサー
および重量検知型センサーがある。
どうかを検知するためＰｃＳ々の型式のウェハーセンサ
ーが使用されている。代表的なウェハーセンサーを例と
して挙げれば反射ｍ＜空気反射型、光反射ｍ）センサー
および重量検知型センサーがある。
空気反射型ウェハーセンサーは、ウェハーの裏面に空気
を吹きつゆ、ウェハーに空気があたったとき乱流が生じ
る現像を利用したものであるが、検知用の空気流によっ
てとみかまいあがり、ウェハー周囲の雰囲気を汚染して
しまう。
を吹きつゆ、ウェハーに空気があたったとき乱流が生じ
る現像を利用したものであるが、検知用の空気流によっ
てとみかまいあがり、ウェハー周囲の雰囲気を汚染して
しまう。
一方光反射型つエバーセンサーは、ウエハーノ裏面に光
をあてその反射光を利用してウェハーが所定位置の搬送
ベルト上に載っているかどうかを検知する湿式のもので
ある。しかしながらウェハーの反射面の平滑度、表面処
理状態に応じて感度調整をしなげればならず操作が煩雑
であるとい５欠点を有している。
をあてその反射光を利用してウェハーが所定位置の搬送
ベルト上に載っているかどうかを検知する湿式のもので
ある。しかしながらウェハーの反射面の平滑度、表面処
理状態に応じて感度調整をしなげればならず操作が煩雑
であるとい５欠点を有している。
上述したよ５な欠点を有していないセンサーどして重量
検知型ウェハーセンサーがある。第１図は従来公知の重
量検知型ウェハーセンサーを概略的に示したものである
。
検知型ウェハーセンサーがある。第１図は従来公知の重
量検知型ウェハーセンサーを概略的に示したものである
。
第１図（ａ）はウェハー１が搬送ベルト２によってセン
サー近傍に到達した状態を示した図であり、ウェハー１
はこれ以後搬送ベルト２によって図中左方向へ運ばれる
ため、先端部が、上方に突出したセンサーの羽根部材３
にのり上げる。このとき羽部材３社ウェハー１の進行に
つれて支点４のまわシに回動し、第１図（ｂ）に示した
とおり端部が光が検知される。しかしながらウェハー１
はセンサー上を通過するとき羽部材３との摺動接触に°
よシ損傷を受けやすい。これに加えてウェハーの径が変
わシ重ｆが異なった場合、羽部材６の支点４の位置を変
えてやったり、羽部材の接触部の曲率を変更したシする
必要があシ、調整が極める面倒であった。
サー近傍に到達した状態を示した図であり、ウェハー１
はこれ以後搬送ベルト２によって図中左方向へ運ばれる
ため、先端部が、上方に突出したセンサーの羽根部材３
にのり上げる。このとき羽部材３社ウェハー１の進行に
つれて支点４のまわシに回動し、第１図（ｂ）に示した
とおり端部が光が検知される。しかしながらウェハー１
はセンサー上を通過するとき羽部材３との摺動接触に°
よシ損傷を受けやすい。これに加えてウェハーの径が変
わシ重ｆが異なった場合、羽部材６の支点４の位置を変
えてやったり、羽部材の接触部の曲率を変更したシする
必要があシ、調整が極める面倒であった。
それ数本発明の目的は、ウェハーの損傷、汚染を防止す
ることができるウェハーセンサーを提供することにある
。
ることができるウェハーセンサーを提供することにある
。
本発明の他の目的は、搬送すべきウェハーの重量に依存
した調整を容易におこな５ことができるウェハーセンサ
ーを提供することにある。
した調整を容易におこな５ことができるウェハーセンサ
ーを提供することにある。
次に第２図を参照して本発明の好ましい実施例を説明す
る。
る。
第２図は本発明に従って構成された重量検知型センサー
の概略図であシ、このうち第２図（ａ）はウニ／１−１
が搬送ベルト２によってセンサー近傍に到達した状態を
示した図である。第２図から明らかなように本発明のＮ
量検知型センサーは支柱７の上部に回転可能に支持され
た一２−６を有している０更に支柱７は中程に貫通孔８
を形成され、その底部に磁石９を取り付けられている。
の概略図であシ、このうち第２図（ａ）はウニ／１−１
が搬送ベルト２によってセンサー近傍に到達した状態を
示した図である。第２図から明らかなように本発明のＮ
量検知型センサーは支柱７の上部に回転可能に支持され
た一２−６を有している０更に支柱７は中程に貫通孔８
を形成され、その底部に磁石９を取り付けられている。
支柱７に近接して光透過型センサー６が設置され、セン
サー５の光軸１０が支柱７の貫通孔８と関係するように
なっている。なおセンサー５は光透過型でなく他の型式
のものでも良い。磁石９には向がい合わせて磁石１１が
配置され、磁石９および１１はそれぞれの同じ極（図面
ではＮ極）が向かい合っている。磁石１１の下側には磁
石９と１１との間の距離りを変化させるためのねじ部材
１２が取りつけられている。
サー５の光軸１０が支柱７の貫通孔８と関係するように
なっている。なおセンサー５は光透過型でなく他の型式
のものでも良い。磁石９には向がい合わせて磁石１１が
配置され、磁石９および１１はそれぞれの同じ極（図面
ではＮ極）が向かい合っている。磁石１１の下側には磁
石９と１１との間の距離りを変化させるためのねじ部材
１２が取りつけられている。
本発明のセンサーの構成に依ると、磁石９と１１との間
の反発力によって通常ローラー６はその上部が２本の平
行に延びるベルト２の幅方向中央位置においてベルト２
の面より上方へ突びでている。
の反発力によって通常ローラー６はその上部が２本の平
行に延びるベルト２の幅方向中央位置においてベルト２
の面より上方へ突びでている。
従って２本のベルト２上に載置されたウェハー１１がベ
ルト２の駆動によりローラー乙に近づくと、ウェハー１
の先端部はローラー６の上側にのりながら図面左方向へ
進行する。このときローラー６はウェハー１の裏面との
接触によシ回転するとともに、ウェハー１の重量のため
垂直下方へ押し下げられる。しかしながら支柱７は磁石
９と１１との反発力によって上方へ賦勢されているため
、ローラー乙の上面はベルト２の上面と一致し、ウニ／
・−１の裏面と接触状態を保っている（第２図（＃）０
更に又第２図（ｂ）の状態では支柱７の貫通孔８とセン
サー５の光軸１０が一致するため、センサー５が作動す
る。このようにセンサー５が作動することによってウェ
ハー１がローラー６上の所望の位置にあるかと５かを検
知することができる０これに従ってレシーバ−の場合に
はウェハーカセット内の所望位置にウエノ・−が収納さ
れたことがわかシ、ベルト駆動を停止した上でカセット
を上昇又は下降させる。
ルト２の駆動によりローラー乙に近づくと、ウェハー１
の先端部はローラー６の上側にのりながら図面左方向へ
進行する。このときローラー６はウェハー１の裏面との
接触によシ回転するとともに、ウェハー１の重量のため
垂直下方へ押し下げられる。しかしながら支柱７は磁石
９と１１との反発力によって上方へ賦勢されているため
、ローラー乙の上面はベルト２の上面と一致し、ウニ／
・−１の裏面と接触状態を保っている（第２図（＃）０
更に又第２図（ｂ）の状態では支柱７の貫通孔８とセン
サー５の光軸１０が一致するため、センサー５が作動す
る。このようにセンサー５が作動することによってウェ
ハー１がローラー６上の所望の位置にあるかと５かを検
知することができる０これに従ってレシーバ−の場合に
はウェハーカセット内の所望位置にウエノ・−が収納さ
れたことがわかシ、ベルト駆動を停止した上でカセット
を上昇又は下降させる。
これとは逆にセングーの場合にはウェハーカセットの上
昇又は下降により第２図（ｂ）の状態にクエ゛バーがお
かれるとセンサー５が作動し、ベルト駆動を開始させウ
エノ・−を処理ライン上へ供給する。
昇又は下降により第２図（ｂ）の状態にクエ゛バーがお
かれるとセンサー５が作動し、ベルト駆動を開始させウ
エノ・−を処理ライン上へ供給する。
本発明においてはウェハーのＭｔｈｔの変化に従った調
整は、ねじ部材１２を使用して磁石９と１１との間の距
離りを変化させることによっておこなわれる。即ち距離
りを選択することによって得られる磁石９と１１との間
の反発力は、ウェハー１の重量よシ小さくなければなら
ず、又ウニ・・−１がローラー６上に載っていない状態
でローラー６の一部をベルト２の直上方に突び出させる
のに十分な大きさでなげればならないことは明らかであ
る０ 以上説明したよ５に本発明の重量検知型センサーバ、−
ウェハーの面とローラーとが回転接触するためウェハへ
の損傷を与える恐れはな（、又ウェハーの重量に依存し
た調整が極めて簡単であるという利点を有するものであ
る。
整は、ねじ部材１２を使用して磁石９と１１との間の距
離りを変化させることによっておこなわれる。即ち距離
りを選択することによって得られる磁石９と１１との間
の反発力は、ウェハー１の重量よシ小さくなければなら
ず、又ウニ・・−１がローラー６上に載っていない状態
でローラー６の一部をベルト２の直上方に突び出させる
のに十分な大きさでなげればならないことは明らかであ
る０ 以上説明したよ５に本発明の重量検知型センサーバ、−
ウェハーの面とローラーとが回転接触するためウェハへ
の損傷を与える恐れはな（、又ウェハーの重量に依存し
た調整が極めて簡単であるという利点を有するものであ
る。
なお本発明の重量検知型センサーを半尋体製造に適用し
た場合について説明したが、他の物体の重量検知のため
に使用しても良いことは当業者に明らかであろう。
た場合について説明したが、他の物体の重量検知のため
に使用しても良いことは当業者に明らかであろう。
知型ウェハーセンサーを、ウエノ〜−がセンサー上は、
本発明の重量検知型ウニＩ・−センサーを、センサー上
にウェハーが載っていない状態および載っている状態で
それぞれ示した図である０１・・−ウェハー −２・０
搬送ベルト５・・・光透過ｍセンサー６・・・ロー２−
７・・・支柱 ８・・・貫通孔 ９．１１・・参磁石 １０・・・光軸 １２・・・ねじ部材 キャノン衾嚢株式会社
本発明の重量検知型ウニＩ・−センサーを、センサー上
にウェハーが載っていない状態および載っている状態で
それぞれ示した図である０１・・−ウェハー −２・０
搬送ベルト５・・・光透過ｍセンサー６・・・ロー２−
７・・・支柱 ８・・・貫通孔 ９．１１・・参磁石 １０・・・光軸 １２・・・ねじ部材 キャノン衾嚢株式会社
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 物体搬送用ベルトの面よシ上方に一部が突出可能なロー
２−と、 前記ローラーを回転可能に支持し且つ一部に貫通孔を有
する支柱と、 前記支柱に形成された貫通孔と関連した光軸を有するセ
ンサーと、 前記支柱の底部の下方に配置された一対の磁石と、 前記一対の磁石の間の距離を調節するための手段とから
構成されることを特徴とする重量検知型センサー。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58226231A JPS60117112A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 重量検知型センサ− |
| US06/675,754 US4597459A (en) | 1983-11-30 | 1984-11-28 | Weight detecting type sensor |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58226231A JPS60117112A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 重量検知型センサ− |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60117112A true JPS60117112A (ja) | 1985-06-24 |
Family
ID=16841946
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58226231A Pending JPS60117112A (ja) | 1983-11-30 | 1983-11-30 | 重量検知型センサ− |
Country Status (2)
| Country | Link |
|---|---|
| US (1) | US4597459A (ja) |
| JP (1) | JPS60117112A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04130229A (ja) * | 1990-09-20 | 1992-05-01 | Tokuda Seisakusho Ltd | 重量検知器 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4971964A (ja) * | 1972-11-09 | 1974-07-11 |
Family Cites Families (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3685603A (en) * | 1970-07-30 | 1972-08-22 | Jorge G Codina | Weighing apparatus |
| US4329881A (en) * | 1980-02-22 | 1982-05-18 | Alden Schloss | Extremely sensitive force detector |
| ZA8305130D (en) * | 1982-09-23 | 1984-03-28 | Tobacco Res & Dev | Weighbelt apparatus |
-
1983
- 1983-11-30 JP JP58226231A patent/JPS60117112A/ja active Pending
-
1984
- 1984-11-28 US US06/675,754 patent/US4597459A/en not_active Expired - Lifetime
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS4971964A (ja) * | 1972-11-09 | 1974-07-11 |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH04130229A (ja) * | 1990-09-20 | 1992-05-01 | Tokuda Seisakusho Ltd | 重量検知器 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| US4597459A (en) | 1986-07-01 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR920020657A (ko) | 웨이퍼 반송장치 및 카세트내의 웨이퍼의 경사를 검출하는 방법 | |
| US6454516B1 (en) | Semiconductor substrate aligner apparatus and method | |
| CN105458912A (zh) | 加工装置 | |
| EP0161142B1 (fr) | Dispositif pour alimenter un poste d'opération avec une succession d'articles guidés | |
| JPS60117112A (ja) | 重量検知型センサ− | |
| US3885664A (en) | Transport-direction reversing apparatus for an automatic mail handling system and the like | |
| WO1997047521A3 (en) | Self-adjusting down-article indicator for a packaging machine | |
| US6382901B1 (en) | Wafer flat zone aligner | |
| JP3402848B2 (ja) | 筒状体位置決め装置 | |
| JP2627266B2 (ja) | 搬送アーム | |
| JP2803170B2 (ja) | 半導体ウェハー搬送装置 | |
| JP2011054908A (ja) | ウエハ搬送装置、および、ウエハ搬送方法 | |
| JP2008120464A (ja) | ワーク方向転換装置 | |
| JPH07128120A (ja) | 自動重量選別装置 | |
| JPH0517021A (ja) | 物品移載方法及び装置 | |
| JPH11246031A (ja) | ロール供給装置 | |
| JPS5835038Y2 (ja) | 不良海苔排出装置 | |
| JPS59191345A (ja) | ウエハ移し替え装置 | |
| JPS6336738A (ja) | 魚体の頭部切断位置決め装置 | |
| JPS5928712Y2 (ja) | 物品の供給装置 | |
| JPH078286B2 (ja) | タンポン製造装置 | |
| JPS60117746A (ja) | ウエハ−停止装置 | |
| JP2002019952A (ja) | 反転機の反転位置決め装置 | |
| JPS62126023A (ja) | 電子部品の整列搬送装置 | |
| JPS63235210A (ja) | 果実等の選別装置 |