JPS60116902A - 流体シリンダの所定位置停止装置 - Google Patents
流体シリンダの所定位置停止装置Info
- Publication number
- JPS60116902A JPS60116902A JP22334483A JP22334483A JPS60116902A JP S60116902 A JPS60116902 A JP S60116902A JP 22334483 A JP22334483 A JP 22334483A JP 22334483 A JP22334483 A JP 22334483A JP S60116902 A JPS60116902 A JP S60116902A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は流体シリンダの所定位置停止装置、更に具体的
にはエアーバランスのみを用いたエアーサーボ機能を有
するシリンダに関するものである。
にはエアーバランスのみを用いたエアーサーボ機能を有
するシリンダに関するものである。
従来流体シリンダの所定位置停止装置とじては一般にメ
カニカルブレーキを使用しているので停止位置として±
０．３ミリ程度の精度であシ、また微小移動が不可能と
いう欠点があった。
カニカルブレーキを使用しているので停止位置として±
０．３ミリ程度の精度であシ、また微小移動が不可能と
いう欠点があった。
本発明はこの点に鑑み、エアーバランスのみによる装置
を開発し、停止精度として±０，１ミリで微小移動も可
能という画期的な性能を有する流体シリンダの所定位置
停止装置を実現したものである。
を開発し、停止精度として±０，１ミリで微小移動も可
能という画期的な性能を有する流体シリンダの所定位置
停止装置を実現したものである。
本発明においては基本となる流体シリンダが完全に作動
して漏気が全くないことが必要であるが、例えば実用新
案登録第１１３５２１３号（実公昭５０−４２２８７号
）の操作シリンダ用ピストンを有するものを使用すると
十分機能を発揮することができた。
して漏気が全くないことが必要であるが、例えば実用新
案登録第１１３５２１３号（実公昭５０−４２２８７号
）の操作シリンダ用ピストンを有するものを使用すると
十分機能を発揮することができた。
次に本発明においてはエアーバランスのみでサーボ機能
を発揮させるための新しい理論と電磁弁および電子技術
の開発が必要となる。
を発揮させるための新しい理論と電磁弁および電子技術
の開発が必要となる。
後に詳しく説明する第１図において、ピストン１ａを内
蔵する流体シリンダ１の内径り、ピストン棒径ｄ、ＸＹ
両側の圧力差ΔＰとすると、圧力差ΔＰによりピストン
１ａを押す力はＦｌ＝４ｒＤ２ΔＰ Ｆ２＝ｉ （Ｄ” −ｄ２）ΔＰ であシ、この力によシピストンを減速しながら荷重に応
じてエアーバランスを保ち停止位置に停止させるもので
ある。この場合、エアーシリンダの動作エネルギーをＷ
とすると、 Ｗ＝ｉ（荷重＋Ｄ” Ｘ △Ｐ／ｌＪＤ速度Ｘ Ｖ２）
Ｘ Ｋにこに ＫＣ：エアーシリンダ系数 等の関係が委シ、減速する距離はエネルギーＷが大きく
なればなるほど長くないとオーツ（−シュート、あるい
はエアーバウンドを起すことになる。そしてこのエネル
ギーはΔＰに正比例し、速度Ｖの自乗に比例する。
蔵する流体シリンダ１の内径り、ピストン棒径ｄ、ＸＹ
両側の圧力差ΔＰとすると、圧力差ΔＰによりピストン
１ａを押す力はＦｌ＝４ｒＤ２ΔＰ Ｆ２＝ｉ （Ｄ” −ｄ２）ΔＰ であシ、この力によシピストンを減速しながら荷重に応
じてエアーバランスを保ち停止位置に停止させるもので
ある。この場合、エアーシリンダの動作エネルギーをＷ
とすると、 Ｗ＝ｉ（荷重＋Ｄ” Ｘ △Ｐ／ｌＪＤ速度Ｘ Ｖ２）
Ｘ Ｋにこに ＫＣ：エアーシリンダ系数 等の関係が委シ、減速する距離はエネルギーＷが大きく
なればなるほど長くないとオーツ（−シュート、あるい
はエアーバウンドを起すことになる。そしてこのエネル
ギーはΔＰに正比例し、速度Ｖの自乗に比例する。
エアシリンダの動作エネルギーをめるため罠は、まず速
度Ｖと力Ｆと距離をめなければならないが、速度Ｖは後
述のセンサー２によって取シ出される信号の巾を測定す
ることによシ計算され、距離もセンサー２によ（、請求
められる。
度Ｖと力Ｆと距離をめなければならないが、速度Ｖは後
述のセンサー２によって取シ出される信号の巾を測定す
ることによシ計算され、距離もセンサー２によ（、請求
められる。
そこで本発明においては、マイクロプロセッサ−によシ
リアルタイムに今のシリンダの動作エネルギーを測定し
て何のくらい前に微調整に入るかを監視して指令する。
リアルタイムに今のシリンダの動作エネルギーを測定し
て何のくらい前に微調整に入るかを監視して指令する。
第１図は流体として空気を用いた場合の実施の１例を示
す。
す。
第１図において、１はピストン１ａを内蔵した流体シリ
ンダ、２は該ピストン１ａのロンドと連動しピストン１
ａの位置を示す信号を発するセンサー、３は該センサー
２上のピストン１ａの位置に応じて後述の電磁弁群Ａ、
Ｂ、Ｃ，Ｄ。
ンダ、２は該ピストン１ａのロンドと連動しピストン１
ａの位置を示す信号を発するセンサー、３は該センサー
２上のピストン１ａの位置に応じて後述の電磁弁群Ａ、
Ｂ、Ｃ，Ｄ。
にｌ Ｂ’Ｉ Ｃ’ｔ Ｄ／、等を切換え作動させるマ
イクロプロセッサ−１４は圧力センサーである。
イクロプロセッサ−１４は圧力センサーである。
゛流体シリンダ１は復動式で片側Ｘと圧力流体源Ｐとの
間に第１給気弁ＡがスピードコントローラーＳＣを前記
Ｘ側に近接附属させて接続せられ、また前記Ｘ側と大気
との間に第１排気弁ＣがスピードコントローラーＳＣを
大気側に近接附属させて接続されている。また流体シリ
ンダ１の他側Ｙと圧力流体源Ｐとの間には同様に、第２
給気弁ＢがスピードコントローラーＳＣをＹ側に近接附
属させて接続せられ、さらに前記Ｙ側と大気との間に第
２排気弁りがスピードコントローラーＳＣを大気側に近
接附属させて接続されている。かくして電磁弁Ａ、Ｂ、
Ｃ，Ｄと各附属のスピードコントローラーＳＣとで主給
排気弁群が構成される。
間に第１給気弁ＡがスピードコントローラーＳＣを前記
Ｘ側に近接附属させて接続せられ、また前記Ｘ側と大気
との間に第１排気弁ＣがスピードコントローラーＳＣを
大気側に近接附属させて接続されている。また流体シリ
ンダ１の他側Ｙと圧力流体源Ｐとの間には同様に、第２
給気弁ＢがスピードコントローラーＳＣをＹ側に近接附
属させて接続せられ、さらに前記Ｙ側と大気との間に第
２排気弁りがスピードコントローラーＳＣを大気側に近
接附属させて接続されている。かくして電磁弁Ａ、Ｂ、
Ｃ，Ｄと各附属のスピードコントローラーＳＣとで主給
排気弁群が構成される。
電磁弁Ａ’、Ｂ’、σ＊Ｄ’ｓと附属のスピードコント
ローラーＳＣおよびエアータンクＡＴは補助給排気弁群
を構成するもので次のように接続される。前記流体シリ
ンダ１の片側Ｘと圧力流体源Ｐとの間に第１補助給気弁
Ａ′とスピードコントロー、−−８Ｃを圧力流体源Ｐ側
に近接附属させたエアータンクＡＴが接続せられ、また
前記Ｘ側と大気との間に第１補助排気弁σがスピードコ
ントローラーＳＣを大気側に近接附属させて接続されて
いる。また流体シリンダ１の他側Ｙと圧力流体源Ｐとの
間に・同様に、゛第２補助給気弁Ｂ′とスピードコント
ローラーＳ′Ｃを圧力流体源Ｐ側に近接附属させたエア
ータンクＡＴが接続せられ、さらに前記Ｙ側と大気との
間に第２補助排気弁ゴがスピードコントローラーＳＣを
大気側に近接附属させて接続されている。
ローラーＳＣおよびエアータンクＡＴは補助給排気弁群
を構成するもので次のように接続される。前記流体シリ
ンダ１の片側Ｘと圧力流体源Ｐとの間に第１補助給気弁
Ａ′とスピードコントロー、−−８Ｃを圧力流体源Ｐ側
に近接附属させたエアータンクＡＴが接続せられ、また
前記Ｘ側と大気との間に第１補助排気弁σがスピードコ
ントローラーＳＣを大気側に近接附属させて接続されて
いる。また流体シリンダ１の他側Ｙと圧力流体源Ｐとの
間に・同様に、゛第２補助給気弁Ｂ′とスピードコント
ローラーＳ′Ｃを圧力流体源Ｐ側に近接附属させたエア
ータンクＡＴが接続せられ、さらに前記Ｙ側と大気との
間に第２補助排気弁ゴがスピードコントローラーＳＣを
大気側に近接附属させて接続されている。
各電磁弁Ａ、Ｂ、Ｃ，Ｄ、Ａ’、Ｂ’、σ、Ｄ′はマイ
クロプロセッサ−３の指令によりｍ閉して前記系統図に
従って空気を導通遮断し、それにより流体シリンダ１の
ピストン１ａの位置が規定される。
クロプロセッサ−３の指令によりｍ閉して前記系統図に
従って空気を導通遮断し、それにより流体シリンダ１の
ピストン１ａの位置が規定される。
第２図はこの場合にマイクロプロセッサ−３がいかなる
指令を与え、それによシピストン１ａが所望の位置に停
止するかを示す説明１である。
指令を与え、それによシピストン１ａが所望の位置に停
止するかを示す説明１である。
センサー２上において所定の位置０が指令されたとする
。この指令位置０に対して極めて接近したＳシー°ン、
やや離れたＲゾーン、次に広いＨゾーン、センサー全体
のＨＩ（ゾーンが予め設定されている。またａ、ｂはピ
ストン１ａの位置を示すものとする。かく設定するとピ
ストン１ａのそれぞれの位置に応じてマイクロプロセッ
サ−３は次の指令を出す。
。この指令位置０に対して極めて接近したＳシー°ン、
やや離れたＲゾーン、次に広いＨゾーン、センサー全体
のＨＩ（ゾーンが予め設定されている。またａ、ｂはピ
ストン１ａの位置を示すものとする。かく設定するとピ
ストン１ａのそれぞれの位置に応じてマイクロプロセッ
サ−３は次の指令を出す。
ａ−＋Ｈゾーン Ｂ、Ｃ０Ｎ
ａ−＋ｆｌゾーン Ｂ、Ｃ’０Ｎ
ａ−４Ｓゾーン Ｂ／、σ ０Ｎ
ｂ−Ｈゾーン Ａ、−ＤＯＮ
ｂ−Ｒゾーン Ａ、Ｄ’ＯＮ
ｂ −ｓゾーン Ａ′、Ｄ′ＯＮ
すなわち、指令停止位置０に対して、今ピストンが右方
のａ側で離れたＨゾーンにある場合、流体シリンダ１の
Ｙ側に給気しＸ側から排気する必要があるので、第２給
気弁Ｂと第１排気弁Ｃとを開く。これでピストンは高速
で左方に移動する。
のａ側で離れたＨゾーンにある場合、流体シリンダ１の
Ｙ側に給気しＸ側から排気する必要があるので、第２給
気弁Ｂと第１排気弁Ｃとを開く。これでピストンは高速
で左方に移動する。
ピストンが左方に移動してａのＲゾーンに入ると、Ｂは
そのまま給気を続けるが、排気はＣが閉じて代シに容量
の小さい第１補助排気弁びが開いてピストンはやや減速
されて左方えの移動を続ける。
そのまま給気を続けるが、排気はＣが閉じて代シに容量
の小さい第１補助排気弁びが開いてピストンはやや減速
されて左方えの移動を続ける。
ピストンが指令位置０に近づいてａのＳゾーンに入ると
、さらに減速する必要があるので、σの排気はそのまま
で、給気はＢを鯖じて小さい容量のタンクＡＴを有する
第２補助給気弁Ｂ′が開いて、ピストンはさらに減速し
ながら指令停止位置０に向かって移動し、遂に０に至っ
て停止する。
、さらに減速する必要があるので、σの排気はそのまま
で、給気はＢを鯖じて小さい容量のタンクＡＴを有する
第２補助給気弁Ｂ′が開いて、ピストンはさらに減速し
ながら指令停止位置０に向かって移動し、遂に０に至っ
て停止する。
ピストンが指令位置０で停止せずこれを通過してｂのＳ
ゾーンに入ると、これを反対方向に押しもどす必要があ
るので、給気はＢ′に代シ小さい容量のタンクＡＴを有
する反対方向の第１補助給気弁Ａ′が反対側ＸＫ開いて
その逆噴射作用によりピストンを押しもどし、同時に排
気はσに代って第２補助排気弁ｄが開いてＹ側を排気す
る。このようＫしてピストンが指令位置０を通過した場
合はＳゾーンの他側の逆噴射装置が作用してピストンを
押しもどし所定の指令位置０に停止させることができる
。
ゾーンに入ると、これを反対方向に押しもどす必要があ
るので、給気はＢ′に代シ小さい容量のタンクＡＴを有
する反対方向の第１補助給気弁Ａ′が反対側ＸＫ開いて
その逆噴射作用によりピストンを押しもどし、同時に排
気はσに代って第２補助排気弁ｄが開いてＹ側を排気す
る。このようＫしてピストンが指令位置０を通過した場
合はＳゾーンの他側の逆噴射装置が作用してピストンを
押しもどし所定の指令位置０に停止させることができる
。
ピストンが左方のｂ側にあった場合は、前述と同様にし
てＸ、Ｙの逆方向の弁が作動して０位置に停止できる。
てＸ、Ｙの逆方向の弁が作動して０位置に停止できる。
この場合の説明は省略する。
次にピストンがＨＨゾーンにある場合は、ｈ’−＊ＨＨ
ゾーン Ｂ、Ｂ”、Ｃ，Ｃ’ ０Ｎｂ−＋ＨＨゾーン
Ａ、 Ａ”、 Ｄ 、Ｄ” ＯＮで前記Ｈゾーンの場合
に比して急速にピストンが移動する。に／ 、 Ｂ／／
、 Ｃ／／ 、 Ｄ／／はＡ、Ｂ、Ｃ。
ゾーン Ｂ、Ｂ”、Ｃ，Ｃ’ ０Ｎｂ−＋ＨＨゾーン
Ａ、 Ａ”、 Ｄ 、Ｄ” ＯＮで前記Ｈゾーンの場合
に比して急速にピストンが移動する。に／ 、 Ｂ／／
、 Ｃ／／ 、 Ｄ／／はＡ、Ｂ、Ｃ。
Ｄと同型の電磁弁群で、容量は同じ場合も異っている場
合もある。また必要に応じて２組以上カスケードに設け
ることも可能で、それにより急速停止を可能とする。
合もある。また必要に応じて２組以上カスケードに設け
ることも可能で、それにより急速停止を可能とする。
第２図において、ＲとＳとは一定でなく、条件によシ変
化する。すなわち、前述の通シマイクロプロセッサーに
よシ、今のシリンダの動作エネルギーを測定（速度Ｖ、
力Ｆ、距離をめることによシ）シてＲおよびＳを刻々に
計算するのである。
化する。すなわち、前述の通シマイクロプロセッサーに
よシ、今のシリンダの動作エネルギーを測定（速度Ｖ、
力Ｆ、距離をめることによシ）シてＲおよびＳを刻々に
計算するのである。
上記構成が所定通ル作動してピストンが所定の位ｔＫ急
速靜しゆくに停止できるために本発明においては次の条
件を満足する必要窄ある。
速靜しゆくに停止できるために本発明においては次の条
件を満足する必要窄ある。
（１）第１，２給気弁Ａ、Ｂおよび第１．２排気弁にそ
れぞれスピードコントローラーＳＣを近接附属させるこ
と。すなわち、附属のスピードコントローラーと電磁弁
との間には配管その他のエアースペースが除かれている
ので電磁弁の開閉によ）ピストンが即応して追従できる
。スピードコントローラーの容量はピストンにかかる荷
重その他から、例えば第１給排気弁用のものは３０％、
第２給排気弁用のものは７０チとする等容量に変化が与
えられる。
れぞれスピードコントローラーＳＣを近接附属させるこ
と。すなわち、附属のスピードコントローラーと電磁弁
との間には配管その他のエアースペースが除かれている
ので電磁弁の開閉によ）ピストンが即応して追従できる
。スピードコントローラーの容量はピストンにかかる荷
重その他から、例えば第１給排気弁用のものは３０％、
第２給排気弁用のものは７０チとする等容量に変化が与
えられる。
そしてこの比率はケースバイケースで異なるのでこれら
スピードコントローラは容量が調節できるようにするこ
とが望ましい。
スピードコントローラは容量が調節できるようにするこ
とが望ましい。
第３図はその１例であって、５はスピードコントローラ
一本体、６は調節ねじであシ、矢印は流体の流れ方向を
示す。
一本体、６は調節ねじであシ、矢印は流体の流れ方向を
示す。
（２）第１，２補助給気弁にＢ／にそれぞれスピードコ
ントローラーを圧力流体源側に近接附属したエアータン
クを附設したこと。また第１．２補助排気弁σ、Ｉｙに
スピードコントロー２を近接附属させたこと。
ントローラーを圧力流体源側に近接附属したエアータン
クを附設したこと。また第１．２補助排気弁σ、Ｉｙに
スピードコントロー２を近接附属させたこと。
この弁は微速度においてイナーシャを吸収するため前項
（１）の弁よりもさらに敏感にピストンを作動させるた
めに設けるものであって、ピストンを停止させるとイナ
ーシャ分の力のためオーバー、シュートを起こす。その
ためイナーシャ分を中和させる必要がある。そのため給
気にスピードコントローラーを附設したエアータンクを
接続し電磁弁を通じて逆噴射するものであって、イナー
シャが大きければエアータンクの容積を大きくして対応
するものである。
（１）の弁よりもさらに敏感にピストンを作動させるた
めに設けるものであって、ピストンを停止させるとイナ
ーシャ分の力のためオーバー、シュートを起こす。その
ためイナーシャ分を中和させる必要がある。そのため給
気にスピードコントローラーを附設したエアータンクを
接続し電磁弁を通じて逆噴射するものであって、イナー
シャが大きければエアータンクの容積を大きくして対応
するものである。
本発明は従来のメカニカルブレーキ附き装置の果し得な
かった急速かつ靜しゆくな流体シリンダのピストン停止
を可能とするもので、次の特長を発揮できるものである
。
かった急速かつ靜しゆくな流体シリンダのピストン停止
を可能とするもので、次の特長を発揮できるものである
。
（１）ティーチングの数値設定により簡単に多点での位
置決めができる。
置決めができる。
０） 位置決めの最小設定単位は０．０１ｍｍが可能で
ある。
ある。
（３）くり返し位置精度が±０．０１ｍｎ以内の高精度
である。
である。
なお、本発明装置の使用要目の１例は次の通シである。
使用流体 空気
使用圧力範囲 ０．２〜７ Ｋｐ／ｃｄ耐 圧 力 １
０即／− 停止精度±９．０１ｍｍ以内 最大速度 ２００ｍｍ／ｓｅｅ 位 置 制 御 差圧（エアーバランス）メカニカルプ
Ｖ−キ端子付 原点位置検出 リニアスケール１／１００ｍｍ使用圧力
ＡＣｌｏｏＶ 教 示 方 式 ティーチング（キーボード）プレイバ
ックティーチング 位置制御 ＰＴＰ方式 制 御 方 式 絶対値方式、デジタル位置制御 最小設定単位 ０．０１ ｍｍ 最大設定数値 ９９９．９９ｍｍ台形型制御本発明は各
方面に広い利用が見込まれるが、特に下記においては好
適のものと考えられる。
０即／− 停止精度±９．０１ｍｍ以内 最大速度 ２００ｍｍ／ｓｅｅ 位 置 制 御 差圧（エアーバランス）メカニカルプ
Ｖ−キ端子付 原点位置検出 リニアスケール１／１００ｍｍ使用圧力
ＡＣｌｏｏＶ 教 示 方 式 ティーチング（キーボード）プレイバ
ックティーチング 位置制御 ＰＴＰ方式 制 御 方 式 絶対値方式、デジタル位置制御 最小設定単位 ０．０１ ｍｍ 最大設定数値 ９９９．９９ｍｍ台形型制御本発明は各
方面に広い利用が見込まれるが、特に下記においては好
適のものと考えられる。
（１） 各種ロボットへの応用
（２）工作機械への応用
図面は本発明実施の１例を示すもので、第１図は装置全
体の系統図、第２図はその一部の説明図、第３図は要部
の断面図である。 図中の符号はそれぞれ下記部材を示す。 １：流体シリンダ ２：センサー ｌａ＝ミニピス
体の系統図、第２図はその一部の説明図、第３図は要部
の断面図である。 図中の符号はそれぞれ下記部材を示す。 １：流体シリンダ ２：センサー ｌａ＝ミニピス
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 ピストンを摺動自在に内蔵する流体シリンダと、
該ピストンの位置を示す信号を□発するセンサーと、該
センサーの信号にょシ後述の電磁弁群を切換え制御する
マイクロプロセッサ−と、流体シリンダへの流体圧力の
信号を発する圧力センサーと、それぞれ電磁弁からなシ
前記流体シリンダの片側に接続−される大容量の１個ま
たは複数の第１給気弁および第１排気弁と小容量の第１
補助給気弁および第１補助排気弁と、前記流体シリンダ
の他側に接続される大容量の１個または複数の第２給気
弁および第２排気弁と小容量の第２補助給気弁および第
２補助排気弁とを各設けたことを特徴とする流体シリン
ダの所定位置停止装置。 λ 前記大容量の１個または複数の第１給気弁およυ第
２給気弁には流体シリンダ側にスピードコントローラー
を近接附属させ、また前記大容量の１個または複数の第
１排気弁および第２排気弁には大気側にスピードコン）
。 −ラーを近接附属させたことを特徴とする特許請求の範
囲第１項に記載の流体シリンダの所定位置停止装置。 ３、前記小容量の第１補助給気弁および第２補助給気弁
には圧力流体源側にスピードコントローラーを近接附属
するエアータンクを設け、また前記小容量の第１補助排
気弁および第２補助排気弁には大気側圧スピードコント
ローラーを近接附属させたことを特徴とする特許請求の
範囲第１項および第２項に記載の流体シリンダの所定位
置停止装置。 ４、前記各スピードコントローラーを容量調節可能とし
たこ−とを特徴とする特許請求の範囲第１項ないしｔｆ
１３項に記載の流体シリンダの所定位置停止装置。 ５、前記マイクロコンプレッサーの制御に際し所定停止
指令位置に対して現在ピストンのある位置を示すゾーン
を極近のＳゾーン、やや近いＲゾーンおよび遠いＨゾー
ンに分割し、Ｈゾーンにおいては大容量の１個または複
数の第１給気弁または第２給気弁と大容量の１個または
複数の第１排気弁または第２排気弁を作動させ、Ｒゾー
ンにおいては排気弁を切換えて小容量の第１補助排気弁
または第２補助排気弁を作動させ、さらにＳゾーンにお
いては給気弁を切換えて小容量の第１補助給気弁または
第２補助給気弁な作動させるようにしたことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項ないし第４項に記載の流体シリ
ンダの所定位置停止装置。 ６、前記第５項におけるマイクロプロセッサ−の制御に
際し、所定停止指令位置に対して現在ピストンのある位
置を示すゾーンのうち遠いＨゾーンよシさらに遠い最遠
のＨＨゾーンを設け、ＨＨゾーンにおいて複数の第１給
気弁または第２給気弁と複数の第１排気弁または第２排
気弁を作動させ、Ｈゾーンにおいては１個の第１給気弁
または第２給気弁と１個の第１排気弁または第２排気弁
を作動させるようにしたことを特徴とする特許請求のめ
門弟１項ないし第５項に記載の流体シリンダの所定位置
停止装置。 ７、 前記第５項におけるマイクロプロセッサ−の制御
に際し、ＳゾーンおよびＲゾーンを一定でなくマイクロ
プロセッサ−によシ速度と力と距離から計算して刻々変
化した値とすることを特徴とする特許請求の範囲第１項
ないし第６項に記載の流体シリンダの所定位置停止装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22334483A JPS60116902A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | 流体シリンダの所定位置停止装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22334483A JPS60116902A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | 流体シリンダの所定位置停止装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60116902A true JPS60116902A (ja) | 1985-06-24 |
| JPH0231242B2 JPH0231242B2 (ja) | 1990-07-12 |
Family
ID=16796687
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22334483A Granted JPS60116902A (ja) | 1983-11-29 | 1983-11-29 | 流体シリンダの所定位置停止装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60116902A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2006106985A1 (ja) * | 2005-03-31 | 2006-10-12 | Japan Science And Technology Agency | 流体シリンダを用いたアクチュエータ及びその制御方法 |
| JP2010169209A (ja) * | 2009-01-23 | 2010-08-05 | Smc Corp | 複動形空気圧シリンダの位置決め制御装置及びその制御方法 |
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| JPS58644A (ja) * | 1981-06-22 | 1983-01-05 | Japan Steel Works Ltd:The | 高速、高慣性物移動用エアシリンダのクツシヨン回路 |
-
1983
- 1983-11-29 JP JP22334483A patent/JPS60116902A/ja active Granted
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