JPS6011548Y2 - 分析装置用多重イオン源 - Google Patents
分析装置用多重イオン源Info
- Publication number
- JPS6011548Y2 JPS6011548Y2 JP11841982U JP11841982U JPS6011548Y2 JP S6011548 Y2 JPS6011548 Y2 JP S6011548Y2 JP 11841982 U JP11841982 U JP 11841982U JP 11841982 U JP11841982 U JP 11841982U JP S6011548 Y2 JPS6011548 Y2 JP S6011548Y2
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- ion
- ion source
- optical system
- moving mechanism
- analyzer
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Expired
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- Analysing Materials By The Use Of Radiation (AREA)
- Electron Sources, Ion Sources (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Description
【考案の詳細な説明】
この考案は分析装置用多重イオン源に関し、特に、■個
の装置により異種のイオン源を選択して用いることがで
きるようにするための新規な改良に関するものである。
の装置により異種のイオン源を選択して用いることがで
きるようにするための新規な改良に関するものである。
従来、用いられていたこの種の装置においては、１個の
装置には１個のイオン源しか装着されていなかったため
に、試料の異種のイオンビームを照射する場合には、イ
オン源を交換して装着しなおさなければならず、手間が
大変であった。
装置には１個のイオン源しか装着されていなかったため
に、試料の異種のイオンビームを照射する場合には、イ
オン源を交換して装着しなおさなければならず、手間が
大変であった。
この考案は以上の欠点をすみやかに除去するため極めて
効果的な手段を提供することを目的とするもので、特に
、異種の複数のイオン源をイオン光学系に対して摺動さ
せて切換えるようにした構成である。
効果的な手段を提供することを目的とするもので、特に
、異種の複数のイオン源をイオン光学系に対して摺動さ
せて切換えるようにした構成である。
以下、図面と共にこの考案による分析装置用多重イオン
源の好適な実施例について詳細に説明する。
源の好適な実施例について詳細に説明する。
図面において、符号１で示されるものは全体が箱型を回
転自在な試料台２を有する分析室であり、この分析室１
上には送りねじ部３を有する移動機構４が設けられると
共に、この移動機構４にはガスイオン源５および金属イ
オン源６とからなるイオン源部７が固定されている。
転自在な試料台２を有する分析室であり、この分析室１
上には送りねじ部３を有する移動機構４が設けられると
共に、この移動機構４にはガスイオン源５および金属イ
オン源６とからなるイオン源部７が固定されている。
これらの各イオン源５および６は互いに間隔を設けて装
着されており、各イオン源５および６の発射口８には回
転送りねじ部９および１０を備えた第１および第２バル
ブ１１および１２が設けられている。
着されており、各イオン源５および６の発射口８には回
転送りねじ部９および１０を備えた第１および第２バル
ブ１１および１２が設けられている。
さらに、前記イオン源部７と分析室１との間にはステン
レス輪が積層された構成からなるベローズ体１３が設け
られ、このベローズ体１３にヨリ前記分析室１上に固定
されたイオン光学系１４を包囲していると共に、このベ
ローズ体１３内は真空状態に保持されている。
レス輪が積層された構成からなるベローズ体１３が設け
られ、このベローズ体１３にヨリ前記分析室１上に固定
されたイオン光学系１４を包囲していると共に、このベ
ローズ体１３内は真空状態に保持されている。
このような構成において、この考案による分析装置用イ
オン源を作動させる場合について述べると、まず、移動
機構４の送りねじ部３を回転操作することによりイオン
源部７が矢印Ａの方向に摺動し、一方のガスイオン源５
をイオン光学系１４と軸合せし、第１バルブ１１を開い
てガスイオンをイオン光学系１４に送り、さらに他のイ
オンビームを送る場合には、移動機構４の送りねじ３を
操作して金属イオン源６をイオン光学系１とに軸合せす
る。
オン源を作動させる場合について述べると、まず、移動
機構４の送りねじ部３を回転操作することによりイオン
源部７が矢印Ａの方向に摺動し、一方のガスイオン源５
をイオン光学系１４と軸合せし、第１バルブ１１を開い
てガスイオンをイオン光学系１４に送り、さらに他のイ
オンビームを送る場合には、移動機構４の送りねじ３を
操作して金属イオン源６をイオン光学系１とに軸合せす
る。
この考案による分析装置用多重イオン源は以上のような
構成と作用とを備えているため、１個の装置内において
、互いに異種の複数のイオン源を内蔵することができ、
各バルブによって互いに他のイオン源の影響を遮断する
ことができる。
構成と作用とを備えているため、１個の装置内において
、互いに異種の複数のイオン源を内蔵することができ、
各バルブによって互いに他のイオン源の影響を遮断する
ことができる。
又、ベローズ体により動作中においても真空領域を維持
することができる。
することができる。
図面はこの考案による分析装置用多重イオン源を示す断
面図である。 １は分析室、５はガスイオン源、６は金属イオン源、１
１．１２はバルブ、１３はベローズ体、１４はイオン光
学系である。
面図である。 １は分析室、５はガスイオン源、６は金属イオン源、１
１．１２はバルブ、１３はベローズ体、１４はイオン光
学系である。
Claims (1)
- 試料台を有する分析室と、この分析室上に設けられた移
動機構と、この移動機構上に保持され互いに異種のイオ
ン源となる複数のイオン源と、各イオン源の発射口に設
けられたバルブ手段と、前記分析室に固定されたイオン
光学系と、前記各イオン源と分析室との間に設けられ前
記イオン光学系を包囲するベローズ体とを備え、前記移
動機構により各イオン源を移動させてイオン光学系に送
られるイオンビームの種類を選択するように構成したこ
とを特徴とする分析装置用多重イオン源。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11841982U JPS6011548Y2 (ja) | 1982-08-04 | 1982-08-04 | 分析装置用多重イオン源 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11841982U JPS6011548Y2 (ja) | 1982-08-04 | 1982-08-04 | 分析装置用多重イオン源 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5923151U JPS5923151U (ja) | 1984-02-13 |
| JPS6011548Y2 true JPS6011548Y2 (ja) | 1985-04-17 |
Family
ID=30272188
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11841982U Expired JPS6011548Y2 (ja) | 1982-08-04 | 1982-08-04 | 分析装置用多重イオン源 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS6011548Y2 (ja) |
-
1982
- 1982-08-04 JP JP11841982U patent/JPS6011548Y2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS5923151U (ja) | 1984-02-13 |
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