SU873071A1 - Камера образцов рентгеновского микроанализатора - Google Patents

Description

Изобретение относитс  к рентгено-спектральным и электроино-зондовым микроаиалнэаторам локального, качественного и количественного анализа состава образцов, а именно к вход щим в состав этих приборов камерам образ цов, обеспечивающим необходимые перемещени  исследуемого объекта и эталонов. Известен микроанализатор, снабженный камерой образцов, в вакуумном корпусе кото рой .размещен столик дл  образцов и эталонов и прецизионные механизмы, обеспечивай щие этому столику перемещени  по трем координатам (х и в плоскости образин, Z - вдоль оси электронно-оптической системы) 1 Известна также камера образцов дл  элект ронно-зондового микроанапизатора, содержаща  столик дл  образцов и эталонов с механизмамн , обеспечивающие этим столиком дифференцированные перемещени , благодар  тому, что столик снабжен двум  независимыми каретками , одна - дл  образца, друга  - дл  эталона. Каретка дл  образца перемещаетс  прецизионным винтовым механизмом, Kapei ka дл  эталонов - толкателем. Оперативность анализа в этой камере образцов достаточно высока, но вследствие использовани  упругих направл ющих, диапазон перемещени  кареток мал, и в результате нельз  исследовать образцы большем площади {2}. Наиболее бл зкш к предлагаемой  вл етс  камера образцрв рентгеновского мюсроанализатора , содержаща  вакуумный корпус, столик с держателем о пзцов, установленный в п&л с возможностью постутательного перемещени  по трем координатам, и приводы, передающие столику движение из вне вакуумного объема 3. Недостатком зтих камер  вл етс  сложность, а вследствие зтото потер  точности анализа крутшогабаритных объектов. Цель изобретени  - повьпаение точности микроанализа крпуногабаритных образцов. Поставленна  цель достигаетс  тем, что в камере образцов рентгеновского мккроанализатора , содержащей вакуумный корпус, столик с держателем образцрв, установленный в нем с возможностью поступательного перем щени  по трем координатам, н приводы, пере

Claims (1)

1. Формула изобретения

   Камера образцов рентгеновского микроанализатора, содержащая вакуумный корпус, столик с держателем образцов, установленный в нем с возможностью поступательного перемещения по трем координатам ц приводы, •передающие столику движение из вневакуум¹ ного объема, отличающаяся тем, что, с целью повышения точности микроанализа крупногабаритных образцов, столик смонтирован на торце полого вала, введенного одним концом внутрь вакуумного корпуса с возможностью осевого перемещения и вращения вокруг своей оси, совпадающей с осью электронно-оптической системы микроанализатора, при этом механизмы привода столика смонтированы в полости вала.