SU1302351A1 - Устройство дл исследовани поверхности твердого тела - Google Patents

Abstract

Изобретение относитс  к приборостроению . Цель - повышение производительности и расширение функциональных возможностей устройства дл  исследовани  поверхности твердого тела. Устройство соIS .,9 1 6 П 5 16 17 7 г Откачка на 6. Вакуум держит корпус 1 с системой уплотнений 2, шток 3 дл  перемещени  объектоносите- л  (ОН) 4 с приводом. Цель достигаетс  тем, что ОН 4 выполнен в виде гибкой замкнутой ленты 5, нат нутой между двум  подпружиненными роликами 6 и 7 с закрепленными по всей длине ленты объекто- держател ми 8 с образцами 9 на рассто нии , кратном рассто нию между отверсти ми канала, который выполнен в виде двух отверстий дл  соединени  с 2-луче- вым анализатором 18. С ведомым колесом зубчатой пары жестко св зан кулачок , имеющий рабочий выступ, обеспечивающий контакт с лентой 5, а также с рычажной скобой 16, системой синхронных подпружиненных толкателей 17 и об ьекто- держател ми 8. 3 ил. на cpopBuKtjijM В (Л оо о ГчЭ ОО ел uzA

Description

Изобретение предназначено дл  исследовани  поверхности твердого тела и может быть использовано в приборостроении.

Целью изобретени   вл етс  повышение производительности и расширение функциональных возможностей устройства.

На фиг. 1 изображено предлагаемое устройство, общий вид, разрез; на фиг. 2 - шток с системой приводов вид сверху; на фиг. 3 - сечение А-А на фиг. 1.

Устройство содержит корпус 1 с системой 2 уплотнений, предназначенный дл  вакуумплотного закреплени  в нем штока 3, предназначенного дл  перемещени  из атмосферы в вакуум объектоносител  4. Объек- тоноситель выполнен в виде гибкой замкнутой ленты 5, нат нутой между двум  подпружиненными роликами 6 и 7 с закрепленными по всей длине ленты объекто- держател ми 8 с образцами 9, изолированными друг относительно друга (фиг. 1). Объектоноситель жестко св зан с приводом 10 перемещени  объектоносител  (фиг. 2) посредством двух пар конических зубчатых колес 11 и 12, т ги 13, уплотненной в штоке 3, и валика 14. С ведомым колесом зубчатой пары 11 жестко св зан кулачок 15 (фиг. 3), имеющий рабочий выступ, обеспечивающий контакт с лентой 5, а также с рычажной скобой 16, системой синхронных подпружиненных толкателей 17 и объектодержател ми 8 с закрепленными в них образцами 9. Рассто ние между двум  смежными объектодержател ми 8 кратно рассто нию между двум  оптическими ос ми 2-лучевого анализатора.

Устройство работает следующим образом.

Загрузка образцов производитс  на атмосфере при отведенной (сдвинутой в осевом направлении) гильзе. Введение штока с образцами в область откачки на форвакуум , а затем - в высоковакуумную магистраль осуществл етс  по известной схеме.

Вращение от привода 10 перемещени  объектоносител  4 передаетс  на кулачок 15 посредством валика 14, двух пар конических зубчатых колес 12 11 и т ги 13. Рабочий выступ кулачка 15 входит в зацепление с углублени ми в ленте 5 (фиг. 1) и перемещает ее по ходу часовой стрелки, либо против хода, на величину., кратную рассто нию между двум  оптическими ос ми в 2-лучевом анализаторе. При дальнейшем вращении кулачка рабочий его выступ выходит из зацеплени  с лентой, что приводит к остановке ее.

Затем при дальнейшем вращении кулачка рабочий выступ его воздействует на рычажную скобу 16. Скоба при этом перемещаетс  вверх, воздейству  на систему

5

синхронных подпружиненных толкателей 17. Осевое усилие от толкателей передаетс  на пару подпружиненных объектодержателей геометрические оси которых в данный мо- мент совпадают с геометрическими ос ми двухлучевого анализатора. Пара образцов в объектодержател х перемещаетс  вверх до обеспечени  контакта с рабочей поверхностью анализатора. Разность в высоте образцов компенсируетс  при помощи толкаю0 щей 17, подпружиненных относительно рычажной скобы 16.

После завершени  анализа одновременно двух образцов вращением кулачка по ходу часовой стрелки (либо против хода) осуществл етс  отжатие образцов от рабочей поверхности анализатора и перевод ленты 5 на величину, кратную рассто нию между двум  оптическими ос ми в 2-лучевом анализаторе . Таким образом, осуществл етс  ввод дл  проведени  анализа новой пары

0 образцов. В дальнейшем цикл повтор етс .

I

Конструкци  предлагаемого устройства позвол ет производить многократный повтор анализа образцов (при необходимости) без перезар дки объектодержателей, а следова5 тельно, без ухудшени  вакуума в системе, состава среды, чистоты поверхности исследуемых образцов.

Claims (1)

1. Формула изобретени  Устройство дл  исследовани  поверхности твердого тела, содержащее корпус с системой уплотнений, камеру предварительной откачки, камеру высоковакуумной откачки, канал дл  соединени  с анализатором , щток с объектоносителем, размещенный в корпусе, и механизм осевого перемещени  штока, отличающеес  тем, что, с целью повышени  производительности и расширени  функциональных возможностей , канал выполнен в виде двух от0 верстий дл  соединени  с 2-лучевым анализатором , а Объектоноситель выполнен в виде гибкой замкнутой ленты, перфорированной по кра м отверсти ми, расположенными на рассто нии кратном рассто нию .между . отверсти ми канала, нат нутой между двум 

   5 подпружиненными роликами и снабженный объектодержател ми, расположенными на рассто нии кратном рассто нию между отверсти ми .канала и снабжен кулачком с двум  рабочими выступами, выполненными с возможностью контактировани  с отверс0 ти ми в ленте и обеспечени  одновременного поджати  двух объектодержателей к отверсти м канала посредством рычажной скобы и подпружиненных толкателей.

   5

   Г

   А-/

   15

   фиг.