JPS60115137A - 螢光表示管 - Google Patents

螢光表示管

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JPS60115137A
JPS60115137A JP58222714A JP22271483A JPS60115137A JP S60115137 A JPS60115137 A JP S60115137A JP 58222714 A JP58222714 A JP 58222714A JP 22271483 A JP22271483 A JP 22271483A JP S60115137 A JPS60115137 A JP S60115137A
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JP
Japan
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thin film
substrate
anode conductor
light
conductor
Prior art date
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Pending
Application number
JP58222714A
Other languages
English (en)
Inventor
Yoichi Ikuta
陽一 生田
Hiroshi Watanabe
寛 渡辺
Kiyoshi Morimoto
清 森本
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Futaba Corp
Original Assignee
Futaba Corp
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Publication date
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    • HELECTRICITY
    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01JELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
    • H01J31/00Cathode ray tubes; Electron beam tubes
    • H01J31/08Cathode ray tubes; Electron beam tubes having a screen on or from which an image or pattern is formed, picked up, converted, or stored
    • H01J31/10Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes
    • H01J31/12Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen
    • H01J31/15Image or pattern display tubes, i.e. having electrical input and optical output; Flying-spot tubes for scanning purposes with luminescent screen with ray or beam selectively directed to luminescent anode segments

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、蛍光表示管に関するものであり、特に、透光
性絶縁基板の一方の面に蛍光体層を被着させた陽極導体
を形成し、前記透光性絶縁基板の他方の面側から前記蛍
光体層の発光を基板を通して観察するいわゆる前面発光
形の蛍光表示管に関するものである。
一般に前面発光形の蛍光表示管の配線導体と陽極導体は
、基板上に導電物質を蒸着やスパッタリング等の手段に
より薄膜を形成し、この薄膜をフォトリソグラフィー法
により不用部分をエツチング除去して所定のパターンと
して形成されるのである。したがって、一般に配線導体
と陽極導体は同一導電物で形成される場合が多い。
この導電物質が1汀、0膜やネサ膜等の透明導電膜で形
成された蛍光表示管と、導電物質が金属薄膜であり、陽
極導体がメツシュ状やくし歯状等の間隙群が形成された
蛍光表示管が存在する。
本発明は、導電物質が金属薄膜で形成された前面発光形
の発光表示管の陽極基板の改良に関するものである。
従来の前面発光形の蛍光表示管は、第1図、第2図に示
すダイナミック駆動の実施例があった。
この実施例は基板tot上にA1薄膜を形成し、このA
l薄膜をフォトリソグラフィー法でエツチング除去して
スリット部102を設けて、A1薄膜をセグメンh10
3数に分割し各々の配線導体104に形成していた。各
配線導体104には各げたの同一セグメントが接続され
ており、各セグメント103は、スリ。
1−やメツシュ状の陽極導体105が設けられ、その陽
極導体105に蛍光体層106が少なくとも前記開口部
をカバーするように被着形成されている。例えば、第1
図においては破線で示すように開口部の周縁まで蛍光体
層106が被着形成されている。
次にこの第3図の実施例は、従来スタテック駆動方式に
おいて制御電極を省略した場合に陽極と同一平面で、か
つ陽極の周辺に帯電を防止し、かつ陰極からの電子の均
一加速を行わせるための補助の電極を形成した例である
まず基板101に被覆されたAl薄膜を形成し、このA
1薄膜をフォトリソグラフィー法でエツチング除去して
形成したスリット部102により背景の金属皮膜107
とは分離された細い配線導体104及び配線導体104
の端部に端子接続部104aを形成する。
この配線導体104に連続してセグメント103の外周
に枠部108を形成し、さらに枠部108内の網目状の
陽極導体105を第1図の実施例と同様に形成する。
そして各表示セグメント開口部P及びその周縁の枠部1
08に1図示破線で示すように蛍光体層106を被着す
る構成となっている。しかしこの場合も少なくとも表示
セグメント開口部Pをカバーするように蛍光体層106
が被着されていればよいのである。
また背景となる金属皮膜107が各陽極導体104及び
配線導体105と分離した構成としたので、背景の金属
皮膜107に、常時陰極に対して正となる電位を(1与
し、各陽極の周囲に常時正の電界を形成させることによ
り表示欠けを防止することができるような構成になって
いる。
上記のように陽極基板をAl薄膜でほとんど覆うように
構成された陽極基板を基板側から観察すると、第2図に
示すように基板101を通してA1薄膜によって形成さ
れた配線導体104及びメツシュ状の陽極導体105が
鏡面として観察される。この鏡面によって外光が反射し
、その正反射率は80%位あり表示セグメントの読み取
りの防害となり視認性があまりよくないという問題点が
あった。
そこで鏡面となる薄膜パターン部分を小さくして鏡面部
分を少なくした実施例として第4図、第5図に示すもの
がある。この実施例は基板201上に蒸着法やスパッタ
リング法等によってA1薄膜を全面に形成した後フォト
リソグラフィー法により、陽極導体202及び配線導体
203を残してエツチング除去する。陽極導体202は
、表示セグメン1−の外周と対応する軸郭を内周とする
枠状陽極導体202aとメツシュ状陽極導体202bか
ら構成されている。
配線導体203は一方の端部を前記陽極導体202に接
続するように、また他方の端部には、端子接続部204
を形成するようにフォトリソグラフィー法でAl薄膜を
エツチング除去し所定のパターンを形成する。
次に、前記陽極導体202を除いた基板上には、有色の
絶縁層205を形成させる。絶縁層205の色は、外光
の反射が少なくなるように、黒色が用いられている。そ
して、前記メツシュ状の陽極導体202b上及びその周
縁に蛍光体層206を被着させる。この被着するときに
は、蛍光体層206の一部が枠状陽極導体202aにか
かって第5図に示すようになってもよい。
しかしながらこの場合でも基板101側からa察すると
第4図に示すように枠状陽極導体202a、端子接続部
204等の部分は鏡面となってしまう他、絶縁層205
を用いることにより工程がふえ、かつ構造が複雑になる
という問題点がある。さらに絶縁層205の焼成温度が
高いために基板のそりや、At薄膜の消耗等の問題点も
有していた。
そこで本発明は、以上述べた問題点に鑑みてなされたも
のであり1本発明は、配線導体及び陽極導体が金属薄膜
であっても反射率を小さくし、表示セグメントの読取り
を容易とし、視認性の優れた蛍光表示管を提供すること
を目的とするものである。
前記目的を達成するための本発明の構成は、透光性絶縁
基板の一方の面に金属薄膜による配線導体及び透光性の
陽極導体を配設し、この陽極導体上にフィラメント状の
陰極から放出される電子の射突により発光する蛍光体層
が被着されて、この蛍光体層の発光を前記透光性の陽極
導体及び透光性絶縁基板を通して、前記透光性絶縁基板
の他方の面側から観察するようになる蛍光表示管におい
て、透光性絶縁基板上に被着された有色薄膜による反射
防止膜と、この反射防止膜上に配設された金属薄膜によ
る配線導体及び陽極導体とを具備することを特徴とする
ものである。
以下図面に示す実施例について説明する。
第6図は、本発明の一実施例の縦断面図である。
lは、透光性絶縁基板である。透光性とは透明なものと
半透明なものも含む。具体的には、ガラス基板を例にと
れば透明ガラス、半透明なスリガラス等も基板として使
用することが可能である。
前記透光性絶縁基板l(以後単に基板と略す)の一方の
面に反射防止膜2を配設する。反射防止膜2は蒸着やス
パッタリング等の方法によって薄膜の状態で基板lに被
着形成させる。この反射防止膜2を形成する物質は大き
く分けるとその1つは低反射率な物質であればよく、非
透光性物質であてもよい。例えば酸化クロム、酸化マン
ガン等がある。酸化クロムは黒色膜であり、金属Crの
反応性蒸着で得られる。酸化マンガンも反応性蒸着によ
って得られるか又は、MnOのダブレットの蒸着でも得
られる。この他に低反射率な物質として使用できるもの
に、Fe2O3、N1p2、P七〇1、PdO。
S n Oh、Ta、05等の金属酸化物がある。
次に他の1つの反射防止膜2を形成する物質は、有色の
透光性物質がある。有色透光性物質の例としては、Ni
Oが濃い緑色に着色しvOJは黄色に着色するが、光は
透過し、吸収される。またsb、s、は。
赤色に着色し、Tl、Sは赤黒色に着色される。これら
の物質は、蒸着やスパッタリング等の手段で基板上に被
着させる。上記の他透光性物質の例として、TiO3の
蒸着によって得られる低級酸化物の膜が青色に着色する
。またNb2O,の蒸着によって得られる低級酸化物の
膜が青黒色に着色する。さらに赤色に着色する例として
、Eu、03、Er03、pbo等の蒸着膜がある。
これらの物質のうちから1種選んで蒸着し、薄膜による
反射防止膜2を形成する。
前記反射防止膜2の上面に金属薄膜3を配設し、この金
属薄膜3により陽極導体3a及び配線導体3bが形成さ
れる。陽極導体3a及び配線導体3bを形成させる金属
は、導電性があり、蒸着やスパッタリング等の手段で薄
膜を形成させることが可能な金属であればなんでもよい
。例えばA1. Au、 Ag、 Cu、Nj−Cr・
・・等があるが本実施例の場合はAlを蒸着により薄膜
として形成した。
次に前記反射防止層2と金属薄膜3からなる多層薄膜を
フォトリソグラフィー法によりパターニングを行い、陽
極導体3aと配線導体3bを形成させる。エツチング液
は、前記二層の材質により一液で二層を一回にエツチン
グする方法と、二層の膜の材質に応じた二液を用いて、
2段階のエツチングを行う方法がある。パターニングの
平面形状は従来例と同様であるので略す。
陽極導体3aの断面形状は、第7図ないし第9図あ に示す場合が参る。第7図は、パターニングの平面形状
が第1図に示すような場合である。陽極導体3aはメツ
シュ形状やスリット形状であり基板lの一方の面に反射
防止膜2を介して陽極導体3aが形成される。また配線
導体3bも前記反射防止膜2を介して配設される。
次いで蛍光体層4を前記陽極導体3aの近傍に被着形成
させる。
第8図は、パターニングの平面形状が第4図に示すよう
な場合である。陽極導体3aはメツシュ状陽極導体3e
とメツシュ状陽極導体3eの周縁に配設された枠状陽極
導体3cから構成されている。この陽極導体3aおよび
配線導体3bは反射防止膜2を介して基板1に配設され
ている。前記枠状陽極導体3cに一部かかるようにして
陽極セグメント以外の部分に有色絶縁層5を形成させる
次いでメツシュ状陽極導体3eのメツシュの部分および
陽極導体3a上に蛍光体層を被着形成させるのであるが
、一部分が枠状陽極導体3c上にかかっても観察側から
は見えないので表示品位を悪くする原因とならないため
に蛍光体の印刷精度が高精度を要求しないという利点が
ある。
第9図は、パターニングの平面状が第3図に示すように
、補助電極を設けたスタテックの場合である。
基板1上に反射防止膜2を配設し、この反射防止膜2の
表面に金属薄d宿よる陽極導体3・及び配線導体3b及
び補助電極3dが形成されている。陽極導体3aはメツ
シュ状であり、セグメントの周囲には枠状陽極導体3c
が配設されて、この枠状陽極導体3cから配線導体3b
が続き、電気的に導通している。また補助電極3dは、
前記陽極導体3aとは電気的に離れて設けられている。
次いでメツシュ状陽極導体3eおよび一部分は枠状陽極
導体3c上にかかるように蛍光体層を被着形成させる。
」二連のようにして形成さ九た陽極導体A上に必要に応
じて制御電極8とフィシメンl−状陰極7を配設し、側
面板1aと背面板1bからなる外囲器を外部端子を介し
て封着し、外囲器内を真空に排気して蛍光表示管を形成
する。
本発明による蛍光表示管は以上説明したように基板11
に反射防止膜2を介して金属薄膜3による陽極導体3a
および配線導体3bを配設した構成であるので基板l側
から観察すると金属薄膜による鏡面が見えず、外光6は
1反射防止膜2の材質により第10図、第11図に示す
ように屈折してvA察者の目に入る。
第10図は、珂射防止膜2に低反射率な物質を使用した
場合である。この低反射率な物質は、不透明で非透光性
である。したがって外光6の光源6aから出た光は基板
1であるガラスの表面で一部反射し、残りは基板1中に
入り反射防止膜2の表面で反射するが、この反射防止膜
2が低反射率な物質であるので正反射が少なくなる。そ
して正反射した光は基板1から外へ出るときに一部は界
面で反射して基板I中に入る光もある。このように屈折
することにより外光6は拡散されたり、吸収されたりし
て正反射率は少なくなる。
第11図は、反射防止膜2に低透過率な透光性物質によ
り形成されている場合である。
外光6、たとえば、光源6aから出た光は基板1中に入
る。基板1中に入った光は反射防止膜2で一部が反射し
、残りは反射防止膜2中に入り金属薄膜3との界面で反
射し反射防止膜2およびガラス基板lを通って外に出る
が、基板1から出るときに基板1の表面で一部が基板1
中に反射して入る光もある。このように外光がガラス基
板や反射防止層2で往復路吸収されるので正反射率は少
なくなる。
従来のように基板十訂の場合と、本発明の基板十反射防
止膜(低反射率な物質、酸化クロム)+A1の場合と、
基板十反射防止層(透光性物質、酸化モリブデン)+A
1の場合の正反射率を測定してみた。波長は、550r
++++であり、分光光度計の(全反射率)−(拡散反
射率)=正反射率した。
Alのみの場合は−79,5%、酸化クロムを介した場
合は549%、酸化モリブデンを介した場合6.0%と
なり、本発明の方がいずれも10%以下の正反射率とな
り鏡面でなくなり、表示セグメン1−の読み取りが容易
となり誤読も少なくなるという効果がある。特に車載用
等の高照度下での読み取りの場合に視認性が向上する。
又配線導体や端子部分も反射防止層を介して配設される
ので、表示セグメント以外は全て有色例えば黒バックに
することが可能であるので、表示面金てが低反射率化に
することができ、視認性が向上するとともにデザイン上
も優れたものとなるという効果を有する。
【図面の簡単な説明】
第1図 第3図は、従来の陽極基板の一部の平面図、第
2図は、第1図の一部の拡大縦断面図、第4図は、従来
の陽極基板の一部の平面図、第5図は、第4図の一部の
拡大縦断面図、第6図は、本発明の一実施例を示す蛍光
表示管の縦断面図、第7図、第8図、第9図は、本発明
の実施例になる蛍光表示管の陽極基板の拡大縦断面図、
第10図、第11図は本発明による蛍光表示管における
外光の屈折状態を説明する説明図である。 1・・・基板 2・・・反射防止膜 3・・・金属薄膜
3a・・・陽極導体 3b・・・配線導体特許出願人 
双葉電子工業株式会社 第 1 図 第 2 図 第3図 1o; 01 第 4 図 第5図 ム 第 6 図 人 第 7 図 第 8 図 0 第 9 図 第 10 図 第 11 図 手続補正書 昭和59年 7月λ5日 特許庁長官 殿 1、事件の表示 昭和58年特許願第222714号 2、発明の名称 蛍光表示管 3、補正をする者 事件との関係 特許出願人 5、補正の対象 明細書の「3、発明の詳細な説明」の欄及6、補正の内
容 (1)明細書第8頁2行目に記載の「発光表示管」を「
蛍光表示管」に補正する。 (2)明細書落3頁9行目に記載の「ン) 103数に
分割」を「ント103毎に分割」に補正する。 (3)明細書第7頁1行目に記載の「導体が金属薄膜で
ありても」ヲ「導体部分の」に補正する。 (4)明細書第8頁18行目から19行目に記載の「し
ては、N10が〜吸収される。J t−潔、o2゜WO
2t−蒸着源とした蒸着で、青色の透光性反射防止膜が
得られる。」に補正する。 (5)添付複写図面に朱書するように、図面第6図K「
符号3.3m、3bJ及び「引出線」を加入する。 実用 特許出願人 双葉電子工業株式会社

Claims (3)

    【特許請求の範囲】
  1. (1) 透光性絶縁基板の一方の面に金属薄膜による配
    線導体及び透光性の陽極導体を配設し、この陽極導体上
    にフィラメント状の陰極から放出される電子の射突によ
    り発光する蛍光体層が被着されて、この蛍光体層の発光
    を前記透光性の陽極導体及び透光性絶縁基板を通して、
    前記透光性絶縁基板の他方の面側から観察するようにな
    る蛍光表示管において、透光性絶縁基板」二に被着され
    た有色薄膜による反射防止膜と、この反射防止膜上に配
    設された金属薄膜による配線導体及び陽極導体とを具備
    することを特徴とする蛍光表示管。
  2. (2)反射防止膜は、低反射率な非透光性物質で形成さ
    れた特許請求の範囲第1項記載の蛍光表示管。
  3. (3)反射防止膜は、低透過率な透光性物質にょす形成
    されている特許請求の範囲第1項記載の蛍光表示管。
JP58222714A 1983-11-26 1983-11-26 螢光表示管 Pending JPS60115137A (ja)

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