JP2518628B2 - 光透過性静電吸着板 - Google Patents
光透過性静電吸着板Info
- Publication number
- JP2518628B2 JP2518628B2 JP61298538A JP29853886A JP2518628B2 JP 2518628 B2 JP2518628 B2 JP 2518628B2 JP 61298538 A JP61298538 A JP 61298538A JP 29853886 A JP29853886 A JP 29853886A JP 2518628 B2 JP2518628 B2 JP 2518628B2
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- electrostatic attraction
- attraction plate
- electrodes
- transmissive
- Prior art date
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- Transforming Light Signals Into Electric Signals (AREA)
- Laminated Bodies (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本発明は、光透過性静電吸着板に関し、更に詳細に
は、絶縁基板上に複数個の電極を配置し、その上に誘電
体層を設けてなる静電吸着板に関する。
は、絶縁基板上に複数個の電極を配置し、その上に誘電
体層を設けてなる静電吸着板に関する。
従来から光透過性静電吸着板は知られており、この吸
着板には、当然のことながら光透過性の材料で形成され
た電極が使用されている。
着板には、当然のことながら光透過性の材料で形成され
た電極が使用されている。
しかしながら、電極として、完全に無色で透過率100
％のものは得られないので、電極部分が、その構成材料
の透過率の分だけ光透過性が低下し、均一な明るさが得
られない。このため、透過性による写真の撮影やネガフ
ィルムなどの検査をする場合問題となる。
％のものは得られないので、電極部分が、その構成材料
の透過率の分だけ光透過性が低下し、均一な明るさが得
られない。このため、透過性による写真の撮影やネガフ
ィルムなどの検査をする場合問題となる。
そこで本発明は、前面にわたってほぼ均一な光透過性
をもつ光透過性静電吸着板を提供することを目的とする
ものである。
をもつ光透過性静電吸着板を提供することを目的とする
ものである。
本発明は、絶縁基板の上に複数個の電極を配置し、そ
の上に誘電体層を設けてなる光透過性静電吸着板におい
て、前記電極を光透過性材料で形成するとともに、電極
以外の部分の光透過度が前記電極部分とほぼ等しくなる
ように、電気絶縁性の透過度調整層を設けたことを特徴
とするものである。
の上に誘電体層を設けてなる光透過性静電吸着板におい
て、前記電極を光透過性材料で形成するとともに、電極
以外の部分の光透過度が前記電極部分とほぼ等しくなる
ように、電気絶縁性の透過度調整層を設けたことを特徴
とするものである。
本発明の光透過性静電吸着板においては、電極を構成
した材料の光透過性に合わせて、電極以外の部分を電気
絶縁性で電極部分と同一光透過率のインクによる印刷も
しくはフィルムにより形成される透過度調整層を設け
て、吸着板全面をほぼ均一な光透過度としたので、ほぼ
均一な強さの透過光が得られ、写真の撮影やネガフィル
ムなどの検査を良好に行なうことができる。
した材料の光透過性に合わせて、電極以外の部分を電気
絶縁性で電極部分と同一光透過率のインクによる印刷も
しくはフィルムにより形成される透過度調整層を設け
て、吸着板全面をほぼ均一な光透過度としたので、ほぼ
均一な強さの透過光が得られ、写真の撮影やネガフィル
ムなどの検査を良好に行なうことができる。
以下、添付図面を参照しつつ本発明の好ましい実施例
による光透過性静電吸着板について説明する。
による光透過性静電吸着板について説明する。
第１図は、本発明の実施例による光透過性静電吸着板
の断面図、第２図は、第１図の線Ａ−Ａに沿う断面図で
ある。
の断面図、第２図は、第１図の線Ａ−Ａに沿う断面図で
ある。
図において符号１は光透過性静電吸着板を示し、この
静電吸着板１は１枚の板状をなし、導電性材料で作られ
た一対の櫛歯状電極２および３が互いに噛み合うように
熱可塑性樹脂絶縁支持層４上に配置され、その上を熱可
塑性樹脂絶縁保護層５で保護してなるものである。
静電吸着板１は１枚の板状をなし、導電性材料で作られ
た一対の櫛歯状電極２および３が互いに噛み合うように
熱可塑性樹脂絶縁支持層４上に配置され、その上を熱可
塑性樹脂絶縁保護層５で保護してなるものである。
上記電極２および３、支持層４および保護層５は、い
ずれも透明材料で形成されて、静電吸着板１を光透過性
としている。なお、上記材料はいずれも公知のものであ
るので、その詳細な説明は省略する。
ずれも透明材料で形成されて、静電吸着板１を光透過性
としている。なお、上記材料はいずれも公知のものであ
るので、その詳細な説明は省略する。
ところが、上記構成であると、上記電極２、３の部分
の光透過度が他の部分と異なり、種々の支障をきたす。
の光透過度が他の部分と異なり、種々の支障をきたす。
そこで本発明においては、上記絶縁支持層４の電極２
を施した残りの部分に、上記電極２と同じ光透過度の透
過度調整層６を設け、静電吸着板１の全体にわたって均
一な光透過度となるようにしている。
を施した残りの部分に、上記電極２と同じ光透過度の透
過度調整層６を設け、静電吸着板１の全体にわたって均
一な光透過度となるようにしている。
上記吸着板１を製造するにあたっては、まず上記透過
度調整層６を形成するための電気絶縁性のインクを調整
した。具体的には、電極２、３を、例えば、酸化インジ
ウム粉末を導電材とした透明導電インクで形成した場
合、５μの膜厚の光透過率は85％であるが、このインク
の色調、および光透過率に合わせて、カーポンブラック
と透明酸化鉄顔料を添加し電気絶縁性のインクを調製し
た。
度調整層６を形成するための電気絶縁性のインクを調整
した。具体的には、電極２、３を、例えば、酸化インジ
ウム粉末を導電材とした透明導電インクで形成した場
合、５μの膜厚の光透過率は85％であるが、このインク
の色調、および光透過率に合わせて、カーポンブラック
と透明酸化鉄顔料を添加し電気絶縁性のインクを調製し
た。
スクリーン印刷により前記透明導電インクを用い電極
を印刷した後、電極印刷用製版ネガを反転させて製版し
た余白部分のスクリーン印刷板を用い前記の色調および
光透過性を合わせたインクで電極部分と重ならないよう
に余白部分に印刷をおこなった。
を印刷した後、電極印刷用製版ネガを反転させて製版し
た余白部分のスクリーン印刷板を用い前記の色調および
光透過性を合わせたインクで電極部分と重ならないよう
に余白部分に印刷をおこなった。
このようにして作った印刷層の上に光透過性の表面誘
電層を重ね、加熱圧着して静電吸着板をつくった。この
ものは均一な光透過性となり電極部分の目立たないもの
であった。
電層を重ね、加熱圧着して静電吸着板をつくった。この
ものは均一な光透過性となり電極部分の目立たないもの
であった。
第１図は、本発明の実施例による光透過性静電吸着板の
断面図、 第２図は、第１図の線Ａ−Ａに沿う断面図である。 １……光透過性静電吸着板 ２、３……電極 ４……絶縁支持層 ５……絶縁保護層 ６……透過度調整層
断面図、 第２図は、第１図の線Ａ−Ａに沿う断面図である。 １……光透過性静電吸着板 ２、３……電極 ４……絶縁支持層 ５……絶縁保護層 ６……透過度調整層
Claims (1)
- 【請求項１】絶縁基板の上に複数個の電極を配置し、そ
の上に誘電体層を設けてなる静電吸着板において、前記
電極を光透過性材料で形成するとともに、電極以外の部
分の光透過度が前記電極部分とほぼ等しくなるように、
該部分に電気絶縁性の透過度調整層を設けたことを特徴
とする光透過性静電吸着板。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61298538A JP2518628B2 (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 | 光透過性静電吸着板 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP61298538A JP2518628B2 (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 | 光透過性静電吸着板 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS63154081A JPS63154081A (ja) | 1988-06-27 |
| JP2518628B2 true JP2518628B2 (ja) | 1996-07-24 |
Family
ID=17861024
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP61298538A Expired - Lifetime JP2518628B2 (ja) | 1986-12-15 | 1986-12-15 | 光透過性静電吸着板 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JP2518628B2 (ja) |
Families Citing this family (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0744859B2 (ja) * | 1990-03-30 | 1995-05-15 | 株式会社アビサレ | 透明静電吸着シート |
| US9523570B2 (en) | 2013-12-20 | 2016-12-20 | Nike, Inc. | Pick-up tool with integrated light source |
| JP6925711B2 (ja) * | 2017-04-12 | 2021-08-25 | 株式会社ディスコ | フレームユニット及び被加工物のレーザー加工方法 |
-
1986
- 1986-12-15 JP JP61298538A patent/JP2518628B2/ja not_active Expired - Lifetime
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS63154081A (ja) | 1988-06-27 |
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Legal Events
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