JPH0619346Y2 - 光透過性静電吸着板 - Google Patents

Description

【考案の詳細な説明】 〔産業上の利用分野〕 本考案は、光透過性静電吸着板に関し、更に詳細には、
絶縁基板上に複数個の電極を配置し、その上に誘電体層
を設けてなる静電吸着板に関する。

〔従来の技術〕

従来から光透過性静電吸着板は知られており、この吸着
板には、当然のことながら光透過性の材料で形成された
電極が使用されている。

〔考案が解決しようとする問題点〕 しかしながら、電極として、完全に無色で透過率１００
％のものは得られないので、電極部分が、その構成材料
の透過率の分だけ光透過性が低下し、均一な明るさが得
られない。このため、透過性による写真の撮影やネガフ
ィルムなどの検査をする場合問題となる。

そこで本考案は、上記問題点をほぼ解決した光透過性静
電吸着板を提供することを目的とするものである。

〔問題点を解決するための手段〕

本考案は、絶縁基板の上に複数個の電極を配置し、その
上に誘電体層を設けてなる光透過性静電吸着板におい
て、前記電極を幅５０μ以下の細線で形成したことを特
徴とするものである。

〔考案の作用・効果〕

本考案の光透過性静電吸着板においては、上述のよう
に、電極を幅５０μ以下の細線で形成したので、該吸着
板を透過する透過光にほとんど影響することがなく、写
真の撮影やネガフィルムなどの検査を良好に行なうこと
ができる。

〔実施例〕

以下、添付図面を参照しつつ本考案の好ましい実施例に
よる光透過性静電吸着板について説明する。

第１図は、本考案の実施例による光透過性静電吸着板の
斜視図、第２図は、第１図の線Ａ−Ａに沿う断面図であ
る。

図において符号１は光透過性静電吸着板を示し、この静
電吸着板１は１枚の板状をなし、導電性材料で作られた
一対の櫛歯状電極２および３が互いに噛み合うように熱
可塑性樹脂絶縁支持層４上に配置され、その上を熱可塑
性樹脂絶縁保護層５で保護してなるものである。

上記支持層４および保護層５は、いずれも透明材料で形
成されている。その材料自体は公知のものであってよい
ので、その詳細な説明は省略する。

一方、上記電極２および３は、幅が５０μ以下の細線で
形成されている。このように電極２、３の幅を５０μ以
下としたのは、この５０μ以下であるならば、吸着板１
を透過する光にほぼ影響を与えることがないからであ
る。この電極２、３は、例えば金属細線特に極細ステン
レス線や半導体技術で使用されるエッチングによる細線
などで形成される。

なお、図において符号６は、上記電極２、３に直流電圧
を印加するための電源である。

以上の構成によれば、静電吸着力に優れ、かつフィルム
等の検査に用いることのできる吸着板を得ることができ
る。

【図面の簡単な説明】

第１図は、本考案の実施例による光透過性静電吸着板の
斜視図、 第２図は、第１図の線Ａ−Ａに沿う断面図である。 １……光透過性静電吸着板 ２、３……電極 ４……絶縁支持層 ５……絶縁保護層

Claims (1)

【実用新案登録請求の範囲】
1. 【請求項１】絶縁基板の上に複数個の電極を配置し、そ
   の上に誘電体層を設けてなる静電吸着板において、前記
   電極を幅５０μ以下の細線で形成したことを特徴とする
   光透過性静電吸着板。