JPS60113599A - 超音波探触子 - Google Patents
超音波探触子Info
- Publication number
- JPS60113599A JPS60113599A JP22096083A JP22096083A JPS60113599A JP S60113599 A JPS60113599 A JP S60113599A JP 22096083 A JP22096083 A JP 22096083A JP 22096083 A JP22096083 A JP 22096083A JP S60113599 A JPS60113599 A JP S60113599A
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- JP
- Japan
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- vibrator
- matching layer
- acoustic
- acoustic matching
- probe
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G10—MUSICAL INSTRUMENTS; ACOUSTICS
- G10K—SOUND-PRODUCING DEVICES; METHODS OR DEVICES FOR PROTECTING AGAINST, OR FOR DAMPING, NOISE OR OTHER ACOUSTIC WAVES IN GENERAL; ACOUSTICS NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G10K11/00—Methods or devices for transmitting, conducting or directing sound in general; Methods or devices for protecting against, or for damping, noise or other acoustic waves in general
- G10K11/02—Mechanical acoustic impedances; Impedance matching, e.g. by horns; Acoustic resonators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Acoustics & Sound (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Ultra Sonic Daignosis Equipment (AREA)
- Transducers For Ultrasonic Waves (AREA)
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Ultrasonic Waves (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は複数の通過帯域を有し、これら複数の通過帯域
の和が実効的に広帯域特性と高感度化を実現する医用超
音波探触子に関するものである。
の和が実効的に広帯域特性と高感度化を実現する医用超
音波探触子に関するものである。
超音波診断装置では２〜１０ＭＨ２帯の超音波信号が使
用され、被検体である人体に周波数成分の異る複数の超
音波パルスを探触子で送受信し適当な、信号処理を受け
た後、超音波断層像を得ている。
用され、被検体である人体に周波数成分の異る複数の超
音波パルスを探触子で送受信し適当な、信号処理を受け
た後、超音波断層像を得ている。
このため、このような超音波探触子に関して極めて広い
周波数帯域通過特性を有するものか、あるいは探触子に
複数の通過帯域を持たせて、実効的な周波数帯域幅を広
くしたものが要求される。
周波数帯域通過特性を有するものか、あるいは探触子に
複数の通過帯域を持たせて、実効的な周波数帯域幅を広
くしたものが要求される。
従来、このような超音波診断装置に使用される探触子は
、ビｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）０３系あるいは）？ｂＴｉＯａ系
圧電セラミックスから々る振動子と、被検体と圧電素子
との間の音物インピーダンスを整合するための整合層と
、圧電素子裏面に配置されるバッキング等から構成され
ている。しかしながら、このような圧電セラミックスを
電気音響変換効率とした超音波探触子は、電気音響変換
効率は大きいが、人体及び水などとの青畳整合性が急く
、そのため周波数帯域幅が狭いといった欠点がある。
、ビｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）０３系あるいは）？ｂＴｉＯａ系
圧電セラミックスから々る振動子と、被検体と圧電素子
との間の音物インピーダンスを整合するための整合層と
、圧電素子裏面に配置されるバッキング等から構成され
ている。しかしながら、このような圧電セラミックスを
電気音響変換効率とした超音波探触子は、電気音響変換
効率は大きいが、人体及び水などとの青畳整合性が急く
、そのため周波数帯域幅が狭いといった欠点がある。
このような欠点を解消するために、第１図に示た振動子
１１を厚さ方向に重ね合わせた探触子が提案されている
。第１図において１５はバッキングであり圧電セラミッ
ク振動子１ｏの後方に抜は出た超音波を吸収する役割を
もつ他に探触子自身の支持を兼ねている。また１２，１
３．１４は電極である。この場合、振動子１ｏは２分の
１波長共振を行い、振動子１１は圧電セラミックスの音
めて大きいため４分の１波長共振を行い、各振動子１０
．１１の共振周波数を大幅に異ならせることによって二
つの通過域を実現させている。
１１を厚さ方向に重ね合わせた探触子が提案されている
。第１図において１５はバッキングであり圧電セラミッ
ク振動子１ｏの後方に抜は出た超音波を吸収する役割を
もつ他に探触子自身の支持を兼ねている。また１２，１
３．１４は電極である。この場合、振動子１ｏは２分の
１波長共振を行い、振動子１１は圧電セラミックスの音
めて大きいため４分の１波長共振を行い、各振動子１０
．１１の共振周波数を大幅に異ならせることによって二
つの通過域を実現させている。
しかしながら、振動子１１が４分の１波長共振を行い、
このとき振動子１ｏが全く振動しなければ理想的である
が、実際に振動子１０．１１が機械的に直接輌触してい
るために、これら駒撮動子の複合振動が発生し、探触子
の感度が低下するばかりかパルスの尾引きが長くなり分
解能を悪くするといった欠点がある。また、振動子１０
から超音波を送信した場合、音響整合層は振動子１１自
身で単一整合層であるから広帯域音響インピーダンス整
合を達成することは極めて困難である。
このとき振動子１ｏが全く振動しなければ理想的である
が、実際に振動子１０．１１が機械的に直接輌触してい
るために、これら駒撮動子の複合振動が発生し、探触子
の感度が低下するばかりかパルスの尾引きが長くなり分
解能を悪くするといった欠点がある。また、振動子１０
から超音波を送信した場合、音響整合層は振動子１１自
身で単一整合層であるから広帯域音響インピーダンス整
合を達成することは極めて困難である。
本発明は上記従来タイプの探触子の欠点を解消するため
になされたものであり、本発明の目的は探触子に複数の
通過帯域特性をもたせ、しかもそれぞれの通過帯域を広
く設定でき、実効的に送。
になされたものであり、本発明の目的は探触子に複数の
通過帯域特性をもたせ、しかもそれぞれの通過帯域を広
く設定でき、実効的に送。
受信可能な周波数帯域幅を大幅に広くした高分解能を有
する超音波探触子を得ることにある。以下、本発明につ
いて詳細に説明する。
する超音波探触子を得ることにある。以下、本発明につ
いて詳細に説明する。
本発明による超音波探触子は第２図に示すように音響イ
ンピーダンス密度が３０Ｘ１０６〜３８×１０６１に／
Ｓ−ｎ？のｌ？ｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）０３糸あるいはｐｂＴ
ｉ０３系圧電セラミック振動子２０の上に、たとえば光
ガガラス等で形成された特性インピーダンス密度が１２
．６Ｘ１０６〜１８．Ｉ Ｘ １０６Ｋｇ／５−ｒｌで
ある第１音脅整合層２１を形成し、この第１音臀整合層
２１の上に特性貴書インピーダンス密度が３．８Ｘ１０
６−６．ＯＸｌ ０６Ｋｆ／Ｓ−ｎ？である高分子圧電
材料あるいは圧電セラミック粉末と高分子との複合圧電
材料からなり第２音響駐合層の機能をも兼ねそたえた振
動子２２を形成する。さらに振動子２２の上に音響イン
ピーダンス密度が１．７Ｘ１０６〜２．４Ｘ１０６にグ
／Ｓ−一を有する高分子材料などを用いた第３ｆ響整合
層２３から構成されている。
ンピーダンス密度が３０Ｘ１０６〜３８×１０６１に／
Ｓ−ｎ？のｌ？ｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）０３糸あるいはｐｂＴ
ｉ０３系圧電セラミック振動子２０の上に、たとえば光
ガガラス等で形成された特性インピーダンス密度が１２
．６Ｘ１０６〜１８．Ｉ Ｘ １０６Ｋｇ／５−ｒｌで
ある第１音脅整合層２１を形成し、この第１音臀整合層
２１の上に特性貴書インピーダンス密度が３．８Ｘ１０
６−６．ＯＸｌ ０６Ｋｆ／Ｓ−ｎ？である高分子圧電
材料あるいは圧電セラミック粉末と高分子との複合圧電
材料からなり第２音響駐合層の機能をも兼ねそたえた振
動子２２を形成する。さらに振動子２２の上に音響イン
ピーダンス密度が１．７Ｘ１０６〜２．４Ｘ１０６にグ
／Ｓ−一を有する高分子材料などを用いた第３ｆ響整合
層２３から構成されている。
即ち、本発明の超音波探触子は、圧電セラミックででき
た振動子２０と高分子圧電材料あるいは複合圧電材料で
できた振動子２２の２つの振動子と、これら２つの振動
子の間に第１音響整合層２１を挾持し、さらに振動子２
２の音場側に人体、水などの被検体２５と音響インピー
ダンス整合をとるために第３整合層２３を形成したもの
である。
た振動子２０と高分子圧電材料あるいは複合圧電材料で
できた振動子２２の２つの振動子と、これら２つの振動
子の間に第１音響整合層２１を挾持し、さらに振動子２
２の音場側に人体、水などの被検体２５と音響インピー
ダンス整合をとるために第３整合層２３を形成したもの
である。
ここで音響整合層２１，２．３、及び振動子２２は、圧
電セラミックス振動子２０から超音波を送信した場合効
率よく被検体２５に入射するように、多重モー′ドフィ
ルタ理論を本探触子に適用することにより前記のような
最適な音饗インピーダンス整合が決定されているわけで
ある。従って、振動子２０から超音波を送信する場合に
は、被検体２５との間に音響整合層２１と音響整合層の
機能を有する振動子２２及び音９＋！整合層２３からな
る３重音響整合層か形成されているので、上記従来例に
比べて意響舶合性が大幅に改善される。−万、振動子２
２け、Ｂｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）０３系あるいは１”？ｂ’ｌ
ｌ’ｉ０３系圧市、セラミックスからできた振動子２０
（／−）−１ｊインピ一ダンス密度に比べてかなり小
さい音響インピーダンス整合を有し、被朴体２５との個
−智インピーダンス整合はそれたけ有第１１となり、振
動子２２から超音波を送受信する場合には、単層の音響
整合層２３のみで被検体２５とのインピーダンス整合は
十分であり、広い周波数帯域幅か容易に得られるわけで
ある。１だ、整合層２１はインピーダンス整合の役割の
みならず従来の第１図に示した超音波探触子の欠点であ
った振動子相互の複合振動を抑圧する機能を翁しており
、振動子２０と２１が直接機械的に結合していないため
に振動子２０及び２２の複合振動や音響インビ−ダンス
密度の大きな圧電セラミック振動子の単体振動による引
き込み現象が著しく減少し、送。
電セラミックス振動子２０から超音波を送信した場合効
率よく被検体２５に入射するように、多重モー′ドフィ
ルタ理論を本探触子に適用することにより前記のような
最適な音饗インピーダンス整合が決定されているわけで
ある。従って、振動子２０から超音波を送信する場合に
は、被検体２５との間に音響整合層２１と音響整合層の
機能を有する振動子２２及び音９＋！整合層２３からな
る３重音響整合層か形成されているので、上記従来例に
比べて意響舶合性が大幅に改善される。−万、振動子２
２け、Ｂｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）０３系あるいは１”？ｂ’ｌ
ｌ’ｉ０３系圧市、セラミックスからできた振動子２０
（／−）−１ｊインピ一ダンス密度に比べてかなり小
さい音響インピーダンス整合を有し、被朴体２５との個
−智インピーダンス整合はそれたけ有第１１となり、振
動子２２から超音波を送受信する場合には、単層の音響
整合層２３のみで被検体２５とのインピーダンス整合は
十分であり、広い周波数帯域幅か容易に得られるわけで
ある。１だ、整合層２１はインピーダンス整合の役割の
みならず従来の第１図に示した超音波探触子の欠点であ
った振動子相互の複合振動を抑圧する機能を翁しており
、振動子２０と２１が直接機械的に結合していないため
に振動子２０及び２２の複合振動や音響インビ−ダンス
密度の大きな圧電セラミック振動子の単体振動による引
き込み現象が著しく減少し、送。
受信効率及び超音波パルス応答特性が著しく改善される
。
。
従って本発明の超音波探触子は、振動子２０及び２２の
送、受信特性をともに広帯域とすることができ、さらに
振動子２０．２２の動作中心周波数を異々らすことによ
って二つの周波数帯域を有する超音波探触子を折供する
ことができるわけである。
送、受信特性をともに広帯域とすることができ、さらに
振動子２０．２２の動作中心周波数を異々らすことによ
って二つの周波数帯域を有する超音波探触子を折供する
ことができるわけである。
次に、実施例に従って本発明の探触子について説明する
。
。
〔実施例１〕
振動子２０として比誘電率ε３３／ε０が２３０、ｉ！
、気機械結合係数が０５３６のｐｂ（Ｚｒ、下Ｉ）０３
系圧電セラミツクスを用い、電極２６．２７はＡｕ／Ｃ
ｒ電極を蒸着により形成した。整合層２１は音脣インピ
ーダンス密度１６．２ Ｘ １０６Ｋｒ／Ｓ −ｍ’の
光学ガラス、振動子２２として音響インピーダンス帽度
５．５ Ｘ １０６Ｋｙ ／ ８−一のｌｉ？Ｉｔ （
Ｚｒ 、７ ｉ ）０３系セラミクスと高分子との複合
圧電材料を用い、電極２８．２９には音響インピーダン
ス密度の小さなＡｔ電枠を実施した。さらに整合層２３
には音響インピーダンス２．０ Ｘ １０６ Ｋｇ／
Ｓ−一のウレタン樹脂、バッキング２４タングステン粉
末を適量ｌ！ｉ［１合したエポキシ樹脂を用いて、第２
図に示す本発明に従った超音波探触子を試作した。振動
子２０の動作中心周波数は３．０ ＭＨｚであり、振動
子２２の動作中心周波数は５．５ＭＨｚである。
、気機械結合係数が０５３６のｐｂ（Ｚｒ、下Ｉ）０３
系圧電セラミツクスを用い、電極２６．２７はＡｕ／Ｃ
ｒ電極を蒸着により形成した。整合層２１は音脣インピ
ーダンス密度１６．２ Ｘ １０６Ｋｒ／Ｓ −ｍ’の
光学ガラス、振動子２２として音響インピーダンス帽度
５．５ Ｘ １０６Ｋｙ ／ ８−一のｌｉ？Ｉｔ （
Ｚｒ 、７ ｉ ）０３系セラミクスと高分子との複合
圧電材料を用い、電極２８．２９には音響インピーダン
ス密度の小さなＡｔ電枠を実施した。さらに整合層２３
には音響インピーダンス２．０ Ｘ １０６ Ｋｇ／
Ｓ−一のウレタン樹脂、バッキング２４タングステン粉
末を適量ｌ！ｉ［１合したエポキシ樹脂を用いて、第２
図に示す本発明に従った超音波探触子を試作した。振動
子２０の動作中心周波数は３．０ ＭＨｚであり、振動
子２２の動作中心周波数は５．５ＭＨｚである。
第３図に本実施例１の超音波探触子の電圧利得特性を示
す。図においてＯｄＢは振動子２０ 、２２がそれぞれ
ｂ作したときの最大利得を示しており、実線は振動子２
０が動作したときの特性、点線は振動子２２が動作した
ときの特性を示す。第３図から明らかなように、本探触
子はそれぞれ周波数帯域が分離されており、しかも各周
波数帯域が広帯域であるという長所を有し、複数の周波
数の異なる超音波を同時に送、受信可能である。
す。図においてＯｄＢは振動子２０ 、２２がそれぞれ
ｂ作したときの最大利得を示しており、実線は振動子２
０が動作したときの特性、点線は振動子２２が動作した
ときの特性を示す。第３図から明らかなように、本探触
子はそれぞれ周波数帯域が分離されており、しかも各周
波数帯域が広帯域であるという長所を有し、複数の周波
数の異なる超音波を同時に送、受信可能である。
また、医用超音波診断装置では、増幅器の８／Ｎ比に一
定の限界があるため、極めて高感度な探触子が要求され
る場合がある。とくに深部の鮮明な断層像を得ようとす
る場合は高感度の探触子が必要不可決である。以下の実
施例２に本発明の高感度形超音波探触子を示す。
定の限界があるため、極めて高感度な探触子が要求され
る場合がある。とくに深部の鮮明な断層像を得ようとす
る場合は高感度の探触子が必要不可決である。以下の実
施例２に本発明の高感度形超音波探触子を示す。
〔実施例２〕
ｐｂ（Ｚｒ％Ｔｉ）０３系あるいはｌ：）ｂＴｉ０３系
圧電セラミック材料は圧電ｄ定数が栖めて大きく、これ
を送信用振動子に用いること−により、極めて効率の高
い超音波送信を行うことができる。またＰＶＩ）Ｆある
いはＰ Ｖ Ｄ ＦＱ共重合体でできた高分子注型材料
、及びｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）０３と高分子材料との複合圧
電材料は圧電セラミック単体よりも圧電２定数が大きく
、これらの材料を受信用に用いた場合には受信電圧感度
を極めて大きくすることができる。本実施例において、
振動子２０、整合層２１．２３に実施例１と同−月料、
振動子２２にＰＶＤＦＯ共重合体でできた音響インピー
ダンス密度４．４×１０６に９／Ｓ−一の拐料、バッキ
ング２４に４．ｌＸ１０６にワ／Ｓ−一のエポキシ樹脂
を用いた。第４図に中心周波数３．５ＭＨｚを有する本
発明の超音波探触子の送受波電圧感度特性を実線で示す
。この実線の特性は振動子２０を送信用、振動子２２を
受信用に用いたもので、ＯｄＢは本探触子の最大感鹿点
となっている。まｆｃ、膚絆の特性は従来のＩ） Ｚ
Ｔ圧電セラミック振動子の上にガラス−エポキシ複合材
料とエポキシ樹脂の二重整合層からなる超音波探触子の
送受波電圧感度特性を示す。本発明の超音波探触子は極
めて高感度であることが明らかである。伺、前記範囲外
の音響インピーダンス密度を有する材料をそれぞれ整合
層２１ 、２３ 、振動子２２に用いた場合には通過帯
域の損失変動が大きくなり実用に供しなくなる。
圧電セラミック材料は圧電ｄ定数が栖めて大きく、これ
を送信用振動子に用いること−により、極めて効率の高
い超音波送信を行うことができる。またＰＶＩ）Ｆある
いはＰ Ｖ Ｄ ＦＱ共重合体でできた高分子注型材料
、及びｐｂ（Ｚｒ、Ｔｉ）０３と高分子材料との複合圧
電材料は圧電セラミック単体よりも圧電２定数が大きく
、これらの材料を受信用に用いた場合には受信電圧感度
を極めて大きくすることができる。本実施例において、
振動子２０、整合層２１．２３に実施例１と同−月料、
振動子２２にＰＶＤＦＯ共重合体でできた音響インピー
ダンス密度４．４×１０６に９／Ｓ−一の拐料、バッキ
ング２４に４．ｌＸ１０６にワ／Ｓ−一のエポキシ樹脂
を用いた。第４図に中心周波数３．５ＭＨｚを有する本
発明の超音波探触子の送受波電圧感度特性を実線で示す
。この実線の特性は振動子２０を送信用、振動子２２を
受信用に用いたもので、ＯｄＢは本探触子の最大感鹿点
となっている。まｆｃ、膚絆の特性は従来のＩ） Ｚ
Ｔ圧電セラミック振動子の上にガラス−エポキシ複合材
料とエポキシ樹脂の二重整合層からなる超音波探触子の
送受波電圧感度特性を示す。本発明の超音波探触子は極
めて高感度であることが明らかである。伺、前記範囲外
の音響インピーダンス密度を有する材料をそれぞれ整合
層２１ 、２３ 、振動子２２に用いた場合には通過帯
域の損失変動が大きくなり実用に供しなくなる。
以上述べた如く、実施例１に示したような本発明の超音
波探触子では広帯域特性という点で極めて優れた特徴を
有し、捷だ実施例２に示したような本発明の超音波探触
子では極めて高い送受波電圧感度特性金有し、これらの
特性を得ることは従来の超音波探触子では極めて困難な
ものであり、工業的価値を多大である。
波探触子では広帯域特性という点で極めて優れた特徴を
有し、捷だ実施例２に示したような本発明の超音波探触
子では極めて高い送受波電圧感度特性金有し、これらの
特性を得ることは従来の超音波探触子では極めて困難な
ものであり、工業的価値を多大である。
第１図は従来の超音波探触子を示す図、第２図は本発明
の超音波探触子を示す図、第３図、第４図は本発明の実
施例に関する超音波探触子の送受波電圧感度特性を示す
図である。 図において、１０．２０は圧電セラミック振動子、１１
は有機圧電材でできた振動子、１２゜１３．１４，２６
，２７，２８．２９は電極、１５゜２４はバッキング、
２１．２３は整合層、２２は高分子圧電月利あるいは圧
電セラミックと部分子との複合圧電材料からなる振動子
、２５は被検体。 ７１−１ 図 オ ２図 ７３ 図 オ ４ 図 周波数（ＭＨｚ ）
の超音波探触子を示す図、第３図、第４図は本発明の実
施例に関する超音波探触子の送受波電圧感度特性を示す
図である。 図において、１０．２０は圧電セラミック振動子、１１
は有機圧電材でできた振動子、１２゜１３．１４，２６
，２７，２８．２９は電極、１５゜２４はバッキング、
２１．２３は整合層、２２は高分子圧電月利あるいは圧
電セラミックと部分子との複合圧電材料からなる振動子
、２５は被検体。 ７１−１ 図 オ ２図 ７３ 図 オ ４ 図 周波数（ＭＨｚ ）
Claims (1)
- 複数の周波数帯域を有する超音波探触子において、圧電
セラミックス振動子の上に音響インピーダンス密度が１
２．６Ｘ１０６〜１８．ｌＸ１０６恥／Ｓ−一の前管整
合層が形成され、該音響整合層の上に音響インピーダン
ス密度が３．８ Ｘ １０．６〜６．ＯＸ １０．６Ｋ
ｇ／Ｓ−一である高分子圧電材料あるいは圧電セラミッ
クス粉末と高分子材料との複合圧電材料からなる振動子
が形成され、さらに該振動子の上に音響インピーダンス
密度が１．７Ｘ１０６〜２．４×１０６’Ｋｇ／Ｓ−一
の音響整合層が形成ブ扛でおり、前記２つの振動子の送
、受信する周波数が異なっていることを特徴とする超音
波探触子。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22096083A JPS60113599A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 超音波探触子 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP22096083A JPS60113599A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 超音波探触子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60113599A true JPS60113599A (ja) | 1985-06-20 |
Family
ID=16759249
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP22096083A Pending JPS60113599A (ja) | 1983-11-24 | 1983-11-24 | 超音波探触子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60113599A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH0327354U (ja) * | 1989-07-27 | 1991-03-19 | ||
| JPH0327353U (ja) * | 1989-07-27 | 1991-03-19 | ||
| JPH0327352U (ja) * | 1989-07-27 | 1991-03-19 | ||
| JPH03133300A (ja) * | 1989-10-19 | 1991-06-06 | Fuji Electric Co Ltd | 複合圧電型超音波探触子 |
| JPH04352950A (ja) * | 1991-05-30 | 1992-12-08 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | 超音波探触子 |
| JP2003531649A (ja) * | 2000-02-23 | 2003-10-28 | アキューソン コーポレイション | 調波画像化のための超音波変換器システム及び方法 |
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| JPS58178253A (ja) * | 1982-04-13 | 1983-10-19 | Tokyo Keiki Co Ltd | 超音波探触子 |
-
1983
- 1983-11-24 JP JP22096083A patent/JPS60113599A/ja active Pending
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