JPS6011294A - 単結晶成長方法 - Google Patents
単結晶成長方法Info
- Publication number
- JPS6011294A JPS6011294A JP58117368A JP11736883A JPS6011294A JP S6011294 A JPS6011294 A JP S6011294A JP 58117368 A JP58117368 A JP 58117368A JP 11736883 A JP11736883 A JP 11736883A JP S6011294 A JPS6011294 A JP S6011294A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- recrystallization
- single crystal
- melt
- alloy ingot
- solid
- Prior art date
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- Pending
Links
Classifications
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B11/00—Single-crystal growth by normal freezing or freezing under temperature gradient, e.g. Bridgman-Stockbarger method
-
- C—CHEMISTRY; METALLURGY
- C30—CRYSTAL GROWTH
- C30B—SINGLE-CRYSTAL GROWTH; UNIDIRECTIONAL SOLIDIFICATION OF EUTECTIC MATERIAL OR UNIDIRECTIONAL DEMIXING OF EUTECTOID MATERIAL; REFINING BY ZONE-MELTING OF MATERIAL; PRODUCTION OF A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; SINGLE CRYSTALS OR HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; AFTER-TREATMENT OF SINGLE CRYSTALS OR A HOMOGENEOUS POLYCRYSTALLINE MATERIAL WITH DEFINED STRUCTURE; APPARATUS THEREFOR
- C30B29/00—Single crystals or homogeneous polycrystalline material with defined structure characterised by the material or by their shape
- C30B29/10—Inorganic compounds or compositions
- C30B29/46—Sulfur-, selenium- or tellurium-containing compounds
- C30B29/48—AIIBVI compounds wherein A is Zn, Cd or Hg, and B is S, Se or Te
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Crystallography & Structural Chemistry (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Metallurgy (AREA)
- Organic Chemistry (AREA)
- Inorganic Chemistry (AREA)
- Crystals, And After-Treatments Of Crystals (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
(a)発明の技術分野
本発明は単結晶成長方法、1時に固体再結晶法によって
単結晶成長を行なう蒸発し易い成分を含む化合物につい
て組成変動及び欠陥が抑制される単結晶成長方法に関す
る。
単結晶成長を行なう蒸発し易い成分を含む化合物につい
て組成変動及び欠陥が抑制される単結晶成長方法に関す
る。
+bl 技術の背景
赤外線検知に適する半導体材料としてテルル化水鎖カド
ミウム(Hgl−xodxTθ)が知られている。この
3元化合物において水銀およびカドミウムはテルルと化
合してあたかも1元素のように作用して擬似2元素特性
を示す。すなわち大きいエネルギギャップ幅(Fig:
1.6θV)t=有する半導体で6るCdTeと、負の
エネルギギャップ幅(Eg≠−〇、3θV)を有する半
金属であるHgTeとからなるHg1−’xCdxTe
は0dTe のモル分率xVCはぼ比例するエネルギギ
ャップ幅を有する。この特性に上って、前記モル分率X
を選択して波長約1乃至30〔μm′3程度の範囲にお
いて任意の波長帯域の赤外線に対応する検知器が可能と
なる。
ミウム(Hgl−xodxTθ)が知られている。この
3元化合物において水銀およびカドミウムはテルルと化
合してあたかも1元素のように作用して擬似2元素特性
を示す。すなわち大きいエネルギギャップ幅(Fig:
1.6θV)t=有する半導体で6るCdTeと、負の
エネルギギャップ幅(Eg≠−〇、3θV)を有する半
金属であるHgTeとからなるHg1−’xCdxTe
は0dTe のモル分率xVCはぼ比例するエネルギギ
ャップ幅を有する。この特性に上って、前記モル分率X
を選択して波長約1乃至30〔μm′3程度の範囲にお
いて任意の波長帯域の赤外線に対応する検知器が可能と
なる。
(C)従来技術と問題点
前記のHg1−xcd、xTe を用いて検知器を実現
するためにはその単結晶を成長させることが必要である
が、従来のHg1−xC1dxTθ 単結晶の製造方法
は例えば下記の」:うである。
するためにはその単結晶を成長させることが必要である
が、従来のHg1−xC1dxTθ 単結晶の製造方法
は例えば下記の」:うである。
すなわち水ta(Hg)、カドミウム(Ca)及びテル
ル(Te)の所要のモル分率Xに適合する化学量的混合
物をアンプルに収容して、これを液相線より高温の所定
の温度捷で口・ノキング炉内で加熱し、ロック運動を加
えて均質の化合物液体とした後にこれを冷却して多数の
粒界を有するHgl−xcdxTe のインゴットを得
る。
ル(Te)の所要のモル分率Xに適合する化学量的混合
物をアンプルに収容して、これを液相線より高温の所定
の温度捷で口・ノキング炉内で加熱し、ロック運動を加
えて均質の化合物液体とした後にこれを冷却して多数の
粒界を有するHgl−xcdxTe のインゴットを得
る。
この合金インゴットを単結晶化するには固体再結晶法が
適用される。固体再結晶法とは多数の粒界を有する結晶
を高温に保持するとき粒界が自由エネルギーを低減させ
るように移動して単結晶化されることを利用した単結晶
成長方法である。この固体再結晶法においては第1図(
a)に示す如くアンプル1に前記インゴット2を収容し
て、インゴット2上に固相が液相と共存するスラッジ2
3が存在する状態で単結晶化を進行させる。
適用される。固体再結晶法とは多数の粒界を有する結晶
を高温に保持するとき粒界が自由エネルギーを低減させ
るように移動して単結晶化されることを利用した単結晶
成長方法である。この固体再結晶法においては第1図(
a)に示す如くアンプル1に前記インゴット2を収容し
て、インゴット2上に固相が液相と共存するスラッジ2
3が存在する状態で単結晶化を進行させる。
しかしながらこの従来の固体再結晶法によって得られる
単結晶においては、第1図(b)に例示する如く、その
スラッシュ3との界面側でHgのモル分率が減少しO(
]のモル分率Xが増加する大きな組成変動を生ずる。と
のHgのモル分率の減少は固体再結晶法の実施中に蒸発
し易いHgがスラッシュ3γ介してその上方の空間4内
1(蒸発すること番でよる、。
単結晶においては、第1図(b)に例示する如く、その
スラッシュ3との界面側でHgのモル分率が減少しO(
]のモル分率Xが増加する大きな組成変動を生ずる。と
のHgのモル分率の減少は固体再結晶法の実施中に蒸発
し易いHgがスラッシュ3γ介してその上方の空間4内
1(蒸発すること番でよる、。
この組成変動は先に述べた如くエネルギギャップ幅の変
動を生じて、目的とする波長帯域に適合するHg1−x
cdxTe 単結晶の歩留りを著しく低下させている。
動を生じて、目的とする波長帯域に適合するHg1−x
cdxTe 単結晶の歩留りを著しく低下させている。
(d) 発明の目的
本発明は前記の如き現状を改善するために。
Hg1−xCdxTe の如く蒸発し易い元素を含む単
結晶についてその組成変動が抑制される成長方法を提供
することを目的とする。
結晶についてその組成変動が抑制される成長方法を提供
することを目的とする。
(、) 発明の構成
本発明の前記目的は、アンプル内に合金インゴットと溶
液とを収容し、再結晶温度において前記合金インゴy)
と前記溶液と該溶液に接する蒸気とを平衡状態として前
記合金インゴットの固体再結晶化を行なう単結晶成長方
法により達成される。
液とを収容し、再結晶温度において前記合金インゴy)
と前記溶液と該溶液に接する蒸気とを平衡状態として前
記合金インゴットの固体再結晶化を行なう単結晶成長方
法により達成される。
(f) 発明の実施例
以下本発明を実施例により図面を参照して具体的に説明
する。
する。
(:)例えばHg1−xCdxTe 単結晶を本発明の
成長方法によって製造するには、まず従来技術によって
合金インゴットを製造する。すなわちHg、、Cd及び
Teの所要のモル分率Xに適合する化学量的混合物を第
1のアンプルに収容してこれを液相線より高温の所定の
温度までロッキング炉内で加熱し、ロック運動を加えて
均質の化合物液体とした後にこれを冷却して多数の粒界
を有するHg1−xcdxTe 合金インゴットとする
。
成長方法によって製造するには、まず従来技術によって
合金インゴットを製造する。すなわちHg、、Cd及び
Teの所要のモル分率Xに適合する化学量的混合物を第
1のアンプルに収容してこれを液相線より高温の所定の
温度までロッキング炉内で加熱し、ロック運動を加えて
均質の化合物液体とした後にこれを冷却して多数の粒界
を有するHg1−xcdxTe 合金インゴットとする
。
(4)次いで固体再結晶法によって前記合金インゴット
を単結晶化する。第2図(a>は本発明による固体再結
晶法の実施例を示す模式断面図でbす、第2図(b)は
第2図(a)に示すアンプル内の温度分布の例を示す図
である。
を単結晶化する。第2図(a>は本発明による固体再結
晶法の実施例を示す模式断面図でbす、第2図(b)は
第2図(a)に示すアンプル内の温度分布の例を示す図
である。
第2図(a)において、11は再結晶化用アンプル、1
2は前記合金インゴットである。すなわち前記合金イン
ゴット12は第1のアンプルから取出されて再結晶化用
アンプル11に収容される。本発明においては、アンプ
ル11内の合金インゴット12の上部に後に詳細に説明
する溶液13が収容され、溶液13の上部の空間の空気
等を排気してアンプル11を封止する。
2は前記合金インゴットである。すなわち前記合金イン
ゴット12は第1のアンプルから取出されて再結晶化用
アンプル11に収容される。本発明においては、アンプ
ル11内の合金インゴット12の上部に後に詳細に説明
する溶液13が収容され、溶液13の上部の空間の空気
等を排気してアンプル11を封止する。
前記溶液13は)Tg、 CeL及びToからなり。
第2図(b)に例示する如く分布するアンプル内の合金
インゴット12(溶液13との界面の温度T8)、溶液
13.及び溶液13上の蒸気14(温度’l”v) の
再結晶温度において1合金インゴット12と溶液13と
蒸気14とが平衡状態となる組成とされている。
インゴット12(溶液13との界面の温度T8)、溶液
13.及び溶液13上の蒸気14(温度’l”v) の
再結晶温度において1合金インゴット12と溶液13と
蒸気14とが平衡状態となる組成とされている。
この溶液13の組成はHg1−xcdxTe 結晶のC
aモル分率Xと前記温度T6及びTvに基づいて蒸気1
4の分圧とともに相図(でより選択され、また溶液13
の量は蒸気14すなわち上部空間の容積と蒸気14の分
圧とに基づいて決定される。
aモル分率Xと前記温度T6及びTvに基づいて蒸気1
4の分圧とともに相図(でより選択され、また溶液13
の量は蒸気14すなわち上部空間の容積と蒸気14の分
圧とに基づいて決定される。
例えばHg1−xcdxTe 結晶のCdモル分率Xが
0.2.温度Tvが710(’O)であると、き、、溶
液13の組成はHg:Od:Tθ=0.415:0.0
35:0.550となる。
0.2.温度Tvが710(’O)であると、き、、溶
液13の組成はHg:Od:Tθ=0.415:0.0
35:0.550となる。
って単結晶成長が終了する。
以上説明した実施例の成長方法によって得られだCdモ
ル分率x −0,2を目的値とするHg1−xTe 単
結晶についてaモル分率Xの分布を調査した結果、イン
ゴット全体(約12(1n)でx = 0.2±0.0
5の均一な組成の単結晶が得られて1本発明による溶液
の添加によって平衡状態を形成して2合金インゴットの
蒸発し易い成分であるHgの減耗を抑制することの効果
が確認された。
ル分率x −0,2を目的値とするHg1−xTe 単
結晶についてaモル分率Xの分布を調査した結果、イン
ゴット全体(約12(1n)でx = 0.2±0.0
5の均一な組成の単結晶が得られて1本発明による溶液
の添加によって平衡状態を形成して2合金インゴットの
蒸発し易い成分であるHgの減耗を抑制することの効果
が確認された。
以上説明した実施例けHg1−x977Te 4j結晶
を対象としているが1本発明は蒸発し易い成分を含む他
の化合物の単結晶成長に際しても適用することができ1
組成変動の少ない単結晶を得ることが可能となる。
を対象としているが1本発明は蒸発し易い成分を含む他
の化合物の単結晶成長に際しても適用することができ1
組成変動の少ない単結晶を得ることが可能となる。
(g) 発明の詳細
な説明した如く本発明によれば、固体再結晶法によって
単結晶成長を行なう蒸発し易い成分を含む化合物につい
て、その再結晶化工程中に従来大幅に生じていた該成分
の減耗が抑制されて1組成変動及び欠陥が極めて少ない
単結晶を成長することが可能となる。
単結晶成長を行なう蒸発し易い成分を含む化合物につい
て、その再結晶化工程中に従来大幅に生じていた該成分
の減耗が抑制されて1組成変動及び欠陥が極めて少ない
単結晶を成長することが可能となる。
第1図(a、)は固体再結晶法の従来例の説明図、第1
図(b)は従来法により得られる単結晶の組成変動の例
を示す図、第2図(、)は本発明の実施例を示す模式断
面図、第2図fb)は該実施例における温度分布を例示
する図である〜。 図において1】1はアンプル、12は合金インゴット、
13は平衡溶液、14は蒸気、15は再結高炉を示す・ 項5 l 図 (0−ン 年2薗(亀) (し) Cdq ヨし:ノL5づチン・呆〕14χ(シ)
図(b)は従来法により得られる単結晶の組成変動の例
を示す図、第2図(、)は本発明の実施例を示す模式断
面図、第2図fb)は該実施例における温度分布を例示
する図である〜。 図において1】1はアンプル、12は合金インゴット、
13は平衡溶液、14は蒸気、15は再結高炉を示す・ 項5 l 図 (0−ン 年2薗(亀) (し) Cdq ヨし:ノL5づチン・呆〕14χ(シ)
Claims (1)
- アンプル内に合金インゴットと溶液とを収容し再結晶温
度において前記合金インゴットと前記溶液と該溶液に接
する蒸気とを平衡状態として前記合金インゴットの固体
再結晶化を行なうことを特徴とする単結晶成長方法。
Priority Applications (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58117368A JPS6011294A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 単結晶成長方法 |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP58117368A JPS6011294A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 単結晶成長方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS6011294A true JPS6011294A (ja) | 1985-01-21 |
Family
ID=14709927
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP58117368A Pending JPS6011294A (ja) | 1983-06-29 | 1983-06-29 | 単結晶成長方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS6011294A (ja) |
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100374600C (zh) * | 2005-12-26 | 2008-03-12 | 云南文山斗南锰业股份有限公司 | 双联摇炉法生产中碳锰铁的方法 |
-
1983
- 1983-06-29 JP JP58117368A patent/JPS6011294A/ja active Pending
Cited By (1)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
CN100374600C (zh) * | 2005-12-26 | 2008-03-12 | 云南文山斗南锰业股份有限公司 | 双联摇炉法生产中碳锰铁的方法 |
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