JPS60102630A - レジスト画像の形成法 - Google Patents
レジスト画像の形成法Info
- Publication number
- JPS60102630A JPS60102630A JP58209831A JP20983183A JPS60102630A JP S60102630 A JPS60102630 A JP S60102630A JP 58209831 A JP58209831 A JP 58209831A JP 20983183 A JP20983183 A JP 20983183A JP S60102630 A JPS60102630 A JP S60102630A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- resin
- film
- photosensitive resin
- base material
- exposed
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F7/00—Photomechanical, e.g. photolithographic, production of textured or patterned surfaces, e.g. printing surfaces; Materials therefor, e.g. comprising photoresists; Apparatus specially adapted therefor
- G03F7/20—Exposure; Apparatus therefor
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Photosensitive Polymer And Photoresist Processing (AREA)
- Exposure And Positioning Against Photoresist Photosensitive Materials (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、レジスト画像の形成法に関し、詳しくは、基
材に感光性樹脂を重布し、直ちに、尚い迅明フィルムを
塗布ｍ】に密湘積層し、しがる後栃脂が乾燥しない状態
で画像マスクを介して露光し、透明フィルム剥離後未似
化析Ｂ’ｚを除去すること如より基旧」二にレジストｉ
１Ｌ＋；ｊζ、をルｌノ＞させる方法に関する。
材に感光性樹脂を重布し、直ちに、尚い迅明フィルムを
塗布ｍ】に密湘積層し、しがる後栃脂が乾燥しない状態
で画像マスクを介して露光し、透明フィルム剥離後未似
化析Ｂ’ｚを除去すること如より基旧」二にレジストｉ
１Ｌ＋；ｊζ、をルｌノ＞させる方法に関する。
本発明は、感光性樹脂を９ノ、塙１で塗布してＣ４ちに
露光させる、いわゆる液体タイプのレジスト画像形成法
に、にする。液体タイプに対するものは、いわゆる固体
タイプであり、固体タイプでは感光性樹脂が予めシート
状部林の形で製作されている。両刀のタイプのものは、
それぞれに長所、短所を４するが、液体タイプの場合、
１１１１明な、高い解像性のパターンか有られるほか、
未露光仙月りの除去処理が右、易であり、し力・も、７
価な感光性極脂の回収、４Ｌ）使ハｊか川船であるシど
の長りかある。しかし、画像マスクを粒、鹿Ｑ布面に直
接接触させることかできない組ノ欠か、ｉｌノるーこの
短所を飴消させるブζめに、匝昏、マスクと柄月ト塗布
面の山］に号気キャソフをｆｆＶけて蕗Ｔするも・術か
抜糸されている（栂Ｌｊｌ’ｉ昭５７−１６４５９５号
公も・）。しかし、このも術では、空シ（キャノプの間
隔Ｄ４恥の操作が煩雑で、筒い解像性を壱するパターン
ｋｍ易に有ることができない。
露光させる、いわゆる液体タイプのレジスト画像形成法
に、にする。液体タイプに対するものは、いわゆる固体
タイプであり、固体タイプでは感光性樹脂が予めシート
状部林の形で製作されている。両刀のタイプのものは、
それぞれに長所、短所を４するが、液体タイプの場合、
１１１１明な、高い解像性のパターンか有られるほか、
未露光仙月りの除去処理が右、易であり、し力・も、７
価な感光性極脂の回収、４Ｌ）使ハｊか川船であるシど
の長りかある。しかし、画像マスクを粒、鹿Ｑ布面に直
接接触させることかできない組ノ欠か、ｉｌノるーこの
短所を飴消させるブζめに、匝昏、マスクと柄月ト塗布
面の山］に号気キャソフをｆｆＶけて蕗Ｔするも・術か
抜糸されている（栂Ｌｊｌ’ｉ昭５７−１６４５９５号
公も・）。しかし、このも術では、空シ（キャノプの間
隔Ｄ４恥の操作が煩雑で、筒い解像性を壱するパターン
ｋｍ易に有ることができない。
本発明名らは、液体タイプにおけるｉｌ」記のような欠
点を克服すべく仙究した結果、感光性樹脂を氷相に塗布
後直ちに塗布面に拠い透明フィルムを名木、核層し、し
かる後栃＆が乾燥しない状態で画像マスクを介して露光
する方法を開発した。すなわち、本発明は下記を特徴と
するレジスト画像の形成法である。
点を克服すべく仙究した結果、感光性樹脂を氷相に塗布
後直ちに塗布面に拠い透明フィルムを名木、核層し、し
かる後栃＆が乾燥しない状態で画像マスクを介して露光
する方法を開発した。すなわち、本発明は下記を特徴と
するレジスト画像の形成法である。
活性光で硬化する液状の感光性樹脂をレジストＩＩ！＋
１．像展欣用左材の表面に系布し、直ちに、体化保合・
九性枚りと剥離容易な薄い活性光透過性透明フィルムを
４布ｍ１にｖＪ着枳鳩し、しかるｔな、樹脂が乾燥しな
い状態において画像マスクを介して活性光を照射し、透
明フィルムを氷相から剥魁し、非照射部分の未硬化物Ｂ
’＋、を除去することにより、画像マスクに対応したレ
ジストｉｉ！ＩＩ像を基ね上に形成させる。
１．像展欣用左材の表面に系布し、直ちに、体化保合・
九性枚りと剥離容易な薄い活性光透過性透明フィルムを
４布ｍ１にｖＪ着枳鳩し、しかるｔな、樹脂が乾燥しな
い状態において画像マスクを介して活性光を照射し、透
明フィルムを氷相から剥魁し、非照射部分の未硬化物Ｂ
’＋、を除去することにより、画像マスクに対応したレ
ジストｉｉ！ＩＩ像を基ね上に形成させる。
本発明にあっては、感光性樹脂の暴利への託漸伯−が良
好でエツチング、メッキ彎に対する面］性か高く、埃負
、か名品でパターンのエツジかル明であり、また、ノ、
・羽の必振剖分にたけ（鉢用蒼−蚕布することができる
ほか、未飯化柾肛の回＋１７．、再使用も可能で似コス
ト化を遅りメすることかできる。さらに、柾）拍４布後
１らちに透明フィルムを核層するため乾燥工程か不安で
ゴミのｉＫ人も防止でき、壕だ、柄胎φｍＴｆｆｊｉに
若干の募布ムラがあってもフィルレム積Ｒぢ］二枚で」
り一化されるほか、透明フィルムが介在するだめ画像マ
スクを汚すことがない。牛」に、本気間Ｖこおいて透明
フィルムとして５〜１５μＩｎの極めてｈいものをイシ
用した場合には、解像性が製膜に向上したパターンを得
ることかてきる。
好でエツチング、メッキ彎に対する面］性か高く、埃負
、か名品でパターンのエツジかル明であり、また、ノ、
・羽の必振剖分にたけ（鉢用蒼−蚕布することができる
ほか、未飯化柾肛の回＋１７．、再使用も可能で似コス
ト化を遅りメすることかできる。さらに、柾）拍４布後
１らちに透明フィルムを核層するため乾燥工程か不安で
ゴミのｉＫ人も防止でき、壕だ、柄胎φｍＴｆｆｊｉに
若干の募布ムラがあってもフィルレム積Ｒぢ］二枚で」
り一化されるほか、透明フィルムが介在するだめ画像マ
スクを汚すことがない。牛」に、本気間Ｖこおいて透明
フィルムとして５〜１５μＩｎの極めてｈいものをイシ
用した場合には、解像性が製膜に向上したパターンを得
ることかてきる。
本発明では感光性＆ Ｊｉｂをレジスト画像Ｊヒ成月Ｊ
基栃の表面に塗布する。感光性樹脂は液状のもので粘性
光により化年反応を起し硬化するものである。活惰光は
、ｔ」」視光か・、紫夕）糾、礼子九・。
基栃の表面に塗布する。感光性樹脂は液状のもので粘性
光により化年反応を起し硬化するものである。活惰光は
、ｔ」」視光か・、紫夕）糾、礼子九・。
Ｘ線、ｒｆｆＨ等であり、一般的に一県外組、電子紐が
工業上適用しやすい。本発明で用いるイタ状の感光性樹
脂は辿′帛１０〜４００．０００ ｃｐ、釣ましくは１
００−１００．０００ ｃｐ （ｇ温）の粘＃を有する
ものである。
工業上適用しやすい。本発明で用いるイタ状の感光性樹
脂は辿′帛１０〜４００．０００ ｃｐ、釣ましくは１
００−１００．０００ ｃｐ （ｇ温）の粘＃を有する
ものである。
かかる拉」脂全塗布する丞相は、例えはプリント配線基
板の製造を目的とした銅張り積鳥板、導電性の回路形成
を目的とした配線基板等である。導電部分は銅その他の
４亀性金属である。
板の製造を目的とした銅張り積鳥板、導電性の回路形成
を目的とした配線基板等である。導電部分は銅その他の
４亀性金属である。
本発明では、感光性栃脂′ｔｈ基拐表面に塗布し、向ち
に汽・い活性光透過性透明フィルムを塗布面に鴨湛積島
する。この透勇フィルムは、硬化後の感光性樹脂と剥離
容易なものでなけれはならない。
に汽・い活性光透過性透明フィルムを塗布面に鴨湛積島
する。この透勇フィルムは、硬化後の感光性樹脂と剥離
容易なものでなけれはならない。
透明フィルムの相賀は、例えはポリエステルポリエチレ
ン、ポリプロピレン、アセテート、ポリスチレン、ポリ
カーボネート等である。そしてフィルムの厚さは、通常
５〜１００ 、好ましくは５〜５０μｍ１特に高解像性
の点から５〜１５μｍであり、表面平滑なもので、場合
によっては易剥離性等の機能を付与した表面処理層を肩
するフィルムであってもよい。
ン、ポリプロピレン、アセテート、ポリスチレン、ポリ
カーボネート等である。そしてフィルムの厚さは、通常
５〜１００ 、好ましくは５〜５０μｍ１特に高解像性
の点から５〜１５μｍであり、表面平滑なもので、場合
によっては易剥離性等の機能を付与した表面処理層を肩
するフィルムであってもよい。
本発明において膜４５〜１５μｍと極めて薄い迅鴫フィ
ルムを使用した場合、１而１づマスク（不カフイルム）
の微細パターンか極めて忠災に刊現され、パターンの解
体性か特級に向」ニする。
ルムを使用した場合、１而１づマスク（不カフイルム）
の微細パターンか極めて忠災に刊現され、パターンの解
体性か特級に向」ニする。
感光性樹脂を丞相の表面に像面するには、通常の方法が
逆用でψ多宇−ルコーター、カーテンコーター、ドクタ
ー痔が用いられ、壕だスクリーン印刷、グラビア印刷も
の方法が通用される。本発明にあってに、塗布後に透明
フィルムが靴・元私地されるため、塗布１１シルに若干
のムラかあっても稙Ｊ九・時にルーみムラの１診正が行
われ、その絶味豚さを一定にすることができる。したか
って、ブラフコーターやティップコーター砧も適用可能
である３、 塗２＋ｉ ｉＪ、’、氷相表１１＋ｉｏ） 全Ｍ＋ Ｉ
Ｃワｆｃ −） テａｊ 批す・付与する仕方と、画１
水形成に必にな音１分にのみ松脂を付与する仕方の二辿
りかあるが、そのどちらでもよい。
逆用でψ多宇−ルコーター、カーテンコーター、ドクタ
ー痔が用いられ、壕だスクリーン印刷、グラビア印刷も
の方法が通用される。本発明にあってに、塗布後に透明
フィルムが靴・元私地されるため、塗布１１シルに若干
のムラかあっても稙Ｊ九・時にルーみムラの１診正が行
われ、その絶味豚さを一定にすることができる。したか
って、ブラフコーターやティップコーター砧も適用可能
である３、 塗２＋ｉ ｉＪ、’、氷相表１１＋ｉｏ） 全Ｍ＋ Ｉ
Ｃワｆｃ −） テａｊ 批す・付与する仕方と、画１
水形成に必にな音１分にのみ松脂を付与する仕方の二辿
りかあるが、そのどちらでもよい。
冬ＡＩｉ後、直ちに広間フィルムが槓ルへされる。
塗布と＆加とを工程上液わ［させて行ってもよいが、融
龜を一体化してか布と私１＝と金Ｐｉ−工札で行っても
よい。＆ｈは、ロール状に巻いであるフィルムを引出し
、カットすることなくその壕ま連続的に基ねに＆凧・し
てもよく、また、基拐のサイズに応じてフィルムを適当
にカットして核１−シてもよい。
龜を一体化してか布と私１＝と金Ｐｉ−工札で行っても
よい。＆ｈは、ロール状に巻いであるフィルムを引出し
、カットすることなくその壕ま連続的に基ねに＆凧・し
てもよく、また、基拐のサイズに応じてフィルムを適当
にカットして核１−シてもよい。
ｆｉ ｈはフィルムをロールバーで押えなから、壕だ空
気等で加圧しながら行うことができる。
気等で加圧しながら行うことができる。
積ムに蟲ってはフィルムと樹脂層とのル］に空気か入ら
ないようにする。空気が入ると画像マスクに対応したレ
ジスト画像の形成か妨げられる。
ないようにする。空気が入ると画像マスクに対応したレ
ジスト画像の形成か妨げられる。
極層後、ａＩ−゛が乾燥しない状態において画体マスク
を介して活性光を照射する。活性光は先述したものか用
いられる。照躬俵・、透明フィルムを基栃から剥離し、
非照射部分の未硬化植刃りを除去する。
を介して活性光を照射する。活性光は先述したものか用
いられる。照躬俵・、透明フィルムを基栃から剥離し、
非照射部分の未硬化植刃りを除去する。
未幌化柄１１ｉ＝の除去には、一般に輌脂を有板溶剤で
俗解除去する方法と、アルカリ性液体で俗解除去する方
法とがある。有板溶剤としては、＋１４ エは１．］、
ｌ −トリクロルエタン、キノレン痔、アルカリ性液
体としては炭酸ソーダ水溶液、ケイ酸ソーダ水溶液宿か
徐けられる。征にの防去は、除去液でｔＡ筋か′ｙＬ／
ｉ−，に止銅恣れなくても実質上除去されれはよい３．
除去液ね１、（Ｇ−ルしたｔｅ光性柄脂の種類により適
宜選択されるか、（１す化部分と未硬化部分に対する電
属性の差か大きいものほど有第１−１である。除去には
、水洗方式やθ化体（＆体、気体）圧を使った方式を採
用してもよい。
俗解除去する方法と、アルカリ性液体で俗解除去する方
法とがある。有板溶剤としては、＋１４ エは１．］、
ｌ −トリクロルエタン、キノレン痔、アルカリ性液
体としては炭酸ソーダ水溶液、ケイ酸ソーダ水溶液宿か
徐けられる。征にの防去は、除去液でｔＡ筋か′ｙＬ／
ｉ−，に止銅恣れなくても実質上除去されれはよい３．
除去液ね１、（Ｇ−ルしたｔｅ光性柄脂の種類により適
宜選択されるか、（１す化部分と未硬化部分に対する電
属性の差か大きいものほど有第１−１である。除去には
、水洗方式やθ化体（＆体、気体）圧を使った方式を採
用してもよい。
以下、実施例によって本丸間を番明する。実施例中に部
とあるにル卦部を看味する。
とあるにル卦部を看味する。
実力Ｌｌ１秒１゜
カラスエホキシの片面銅貼り稙紛ル（板厚Ｑ、３ ｍｍ
、銅厚０．０３５關） の銅面に、感光性拉１脂とし
てオレスターＸＲＡ−１３２８（三井東圧化￥′）０８
０部、モノサイサーＴＤ −１５３７Ａ （大［」本イ
ンキ化学工業製） ２０ ｆｔ１＋、九Ｍ！合垢感剤ペ
ンゾノエノン３部、熱１合禁止剤ハイドロキノンモノメ
チルエーテル０」部とからなる液状樹脂をロールコータ
−で厚さ４０μｍＫ塗イ１】シ、ＩＤちにル・さ１２５
μｍの透明なポリエステルフィルムをローラーを介して
押圧しながら液状樹脂上に密Ｓ８＝融しラミネートとし
た。しかる後、樹脂が乾燥しない状態で回路パターンを
肩する画像マスク（ネガフィルム）を前記フ゛イルム上
に焼枠中で真空重着させ、３ＫＷの超高圧水銀灯で１ｍ
の距離から露光した。
、銅厚０．０３５關） の銅面に、感光性拉１脂とし
てオレスターＸＲＡ−１３２８（三井東圧化￥′）０８
０部、モノサイサーＴＤ −１５３７Ａ （大［」本イ
ンキ化学工業製） ２０ ｆｔ１＋、九Ｍ！合垢感剤ペ
ンゾノエノン３部、熱１合禁止剤ハイドロキノンモノメ
チルエーテル０」部とからなる液状樹脂をロールコータ
−で厚さ４０μｍＫ塗イ１】シ、ＩＤちにル・さ１２５
μｍの透明なポリエステルフィルムをローラーを介して
押圧しながら液状樹脂上に密Ｓ８＝融しラミネートとし
た。しかる後、樹脂が乾燥しない状態で回路パターンを
肩する画像マスク（ネガフィルム）を前記フ゛イルム上
に焼枠中で真空重着させ、３ＫＷの超高圧水銀灯で１ｍ
の距離から露光した。
その後、ポリエステルフィルムを剥離し、クロロセ／で
現像して未露光部の感光性樹脂を除去した。次いで塩化
第２銅溶液で露出した銅面をエツチングし、塩化メチレ
ンて無光硬化した樹脂を除いた。
現像して未露光部の感光性樹脂を除去した。次いで塩化
第２銅溶液で露出した銅面をエツチングし、塩化メチレ
ンて無光硬化した樹脂を除いた。
このようにして作成された銅回路パターンは、使用した
ネガフィルムに極めて忠実なものであり、廟幅１００μ
ｍの勝の拘現住も良好であった。
ネガフィルムに極めて忠実なものであり、廟幅１００μ
ｍの勝の拘現住も良好であった。
特許出願人 ンマール工業株式会社
代理人 弁理士 土 居 三 部
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１１活性光で硬化する液状の感光性樹脂をレジスト画
像彫成用基材の表面に塗布し、直ちに、硬化後の感光性
樹脂と剥離容易な薄い活性光透過性透明フィルムを塗布
ｍ＋に密鳥積層し、しかる後、樹脂か乾燥しない状態に
おいて画併マスクを介して活性光を照射し、透明フィル
ムを基栃から剥離し、非照射部分の未硬化樹脂を除去す
ることにより、画像マスクに対応したレジスト画像を基
材上に形成させることを梠徴とするレジスト画像の形成
法。 （２） 透明フィルムが膜厚５〜１５μｍである６訂６
４．求の範囲（１）のレジスト画像の形成法０
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58209831A JPS60102630A (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | レジスト画像の形成法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58209831A JPS60102630A (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | レジスト画像の形成法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS60102630A true JPS60102630A (ja) | 1985-06-06 |
Family
ID=16579333
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58209831A Pending JPS60102630A (ja) | 1983-11-10 | 1983-11-10 | レジスト画像の形成法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS60102630A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7175736B2 (en) * | 2000-04-20 | 2007-02-13 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Laminate for electronic circuit |
-
1983
- 1983-11-10 JP JP58209831A patent/JPS60102630A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7175736B2 (en) * | 2000-04-20 | 2007-02-13 | Dai Nippon Printing Co., Ltd. | Laminate for electronic circuit |
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