JPS5999762A - カラ−固体撮像装置 - Google Patents

カラ−固体撮像装置

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JPS5999762A
JPS5999762A JP57208597A JP20859782A JPS5999762A JP S5999762 A JPS5999762 A JP S5999762A JP 57208597 A JP57208597 A JP 57208597A JP 20859782 A JP20859782 A JP 20859782A JP S5999762 A JPS5999762 A JP S5999762A
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color filter
signal
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Atsushi Kawahara
河原 厚
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磯貝 正樹
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Nikon Corp
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    • H01ELECTRIC ELEMENTS
    • H01LSEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
    • H01L31/00Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
    • H01L31/02Details
    • H01L31/0216Coatings
    • H01L31/02161Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
    • H01L31/02162Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors

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  • Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
  • Power Engineering (AREA)
  • Optical Filters (AREA)
  • Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
  • Color Television Image Signal Generators (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、単板式カラー撮像装置、すなわち2次元固体
1itt 1’!素子を1枚だけ用いてカラー画像信号
を得るカラー固体撮像装置に関する。
受光画素が、隣9合う2水平走査線で互いに1/2画素
ピッチだけずれて配置された第1図に示すような固体撮
像素子Aは、2次元的なサンプリング効率が良く少い画
素数で高い解像度が得られるため有効である。
このように撮像部で受光画素Pが三角形格子をなす撮像
素子を用いて単板カラー固体撮像装置とするためのモ1
グイタフイルターとしては、CI + C2+03を各
々異なる分光透過娩性を不するカラーフィルターとして
、第2図に示したような配置が最適である。
即ち、5種のフィルターCI + 02 + CSは、
水平方向に6画素を繰り返し周期として配置され且つ、
任意の1画素に着目した時その周囲の6画素で中央画素
とは異なる分光特性の2種のカラーフィルターが互い違
いに一巡するよう配置されている。
従来、このような目的に用いられてきたカラーフィルタ
ーとしては、その基準をNTSC方式の理想撮像特性に
おいた3原色、R(赤)、G(緑)、B (t)スペク
トルレスポンスのものが考えられている。しかしながら
NTSC方式の理想色分解特性においては、そのスペク
トルレスポンスに負の部分を含んでいるためこれを実際
に光学フィルターとして実現できず、従って従来は理想
撮像特性に近い正のスペクトルレスポンスでこれを近似
すべく電気的なリニアマ) IJクス回路で補正を行な
っていた。そして実際に上記6種のカラーフィ””  
’I + C2+ C3の分光特性をどのようにするか
を決定する場合には、いくつかの点に配慮がなされる必
要がある。
その第1は、上記撮像素子の水平方向解像度を最大に得
るために、隣接する2走査線信号間で処理を行ないく水
平方向画素ピッチRxの1/2毎に輝度信号成分Yが与
えられるようにすることである。
このためには、カラーフィルターC+ + Ct + 
Cs ヲ有する画素の出力信号を各々Sl + 82 
+ SSとした時に輝度信号Yが、 Y−J + 82 + Ss ・・・・・・・・・・・
・・・・・・・・・・(1)で与えられるようにするの
が良い。更に、NTsC信号系では Y−0,ろO8R+0.598.+0.11 SB ・
=・=−(2)をも満たしている必要がある。但し、5
R80SBは各々NTSC撮像特性におけるフィルター
R1G、Bに関する出力信号である。
配慮すべき第2は、輝度信号の主要成分であるG信号を
できる限り広帯域とすることでありこのためにはカラー
フィルタC1r C2* 03に等しくG透過特性を持
たせるのが良い。
配慮すべき第6は、固体撮像素子の画質劣化の主要因と
なるスミア現象をできる限シ抑制するため、スミア現象
の原因となる長波長側の先をなるべく素子に照射させな
いことと、逆に素子感度が低く、ともすればS/Hの低
い青色光を良く透過させる部分をもつことである。
配慮すべき第4は、カラーフィルターCI r C2+
C5よυ6原色R,G、Bに関する信号sR,s、 。
SBを各フィルター出力Sl + S2’+ SSの間
で演算して容易に得られるようにすることである。
ここでの演算とは加減算及び利得調整程度の簡単な演算
でなければならない。
以上のような複数の条件をある程度溝たすカラーフィル
ターとして従来R,G、Cy或いはW 、 Ye 。
cyのような組合冷が考えられている。 ここでcyは
シアン光透過特性を持ち(G+B )であり、Yeは黄
色光透過特性を持ち(G+R)、またWは白色(R十G
 十B)である。
R,c、cyよシ々るカラーフィルターテは、輝度信号
Yは、R,G、Bに対する素子感度を各々α、β、γと
して Y=α・SR+β・2S、+γ・sB・・・・・・曲・
回(3)となるのでもしもα=β−0.6.γ=o、1
が族9立つならば Y = 0.3 SR+〇、 6 SG+0.I SB
・=−・−・−−−−−−−・・(4)となって、(2
)式のNTSC輝度信号の条件をほぼ満たしている。
次に、W、 Ye 、 Cyよシなるカラーフィルター
では輝度信号Yは、同様にR,G、’Hに対する素子感
度をα、β、γとして Y−α・2SR十β・38o+γ・2SB ・・・・・
・・・・・・・・・・(5)となり、この場合にはα−
0,15,β−0,20。
γ=0.05であれは(4)式と同一の結果を得る。
ところが、シリコンを用いた固体撮像素子では、一般に
波長が赤1111i Vこ片寄る程感度は高くα〉β〉
γであシ、感度のピークは波長700〜900nmにあ
る。
従って、扉側感度を等動的に抑え、且つスミア現象を避
けるため赤外カットフィルターが用いられてき7ヒ。
以上2例のカラーフィルターをβ=1に規格化して、α
、γを考えれば以下の様になる。
lζGCyフィルターの場合;α−1,γ−1/ろWY
 e Cyフィルターの場合;α−ろ/4.γ−1/4
即ち、扉側波長の入射光を抑えめにし、スミア現象を避
けたいという観点からは扉側波長が少ない光量で済むR
GCyフィルターが優れ、丑だ前側波長の入射光をでき
るだけ透過しS/Nを良くしたいという観点からは前側
素子感度が低くても良いWY e Cyフィルターが潰
れている。
しかし逆の言い方をすれば、この両者の特徴を備えたカ
ラーフィルター構成が可能となれは更に望ましいという
ことになる。
またRGCyフィルターの場合には前記配慮すべき第2
点を満たしていないため、輝度信号の主要成分であるG
信号に素子の配置から可能な最大の解像度を与えること
ができないという欠点を持っている。
本発明は、従来の問題点を解決し、広帯域、従って高解
像度の輝度信号が得られ、且っスミア現象の原因となる
光測波長光を過度に透過させることなく、シかも素子感
度の低い前側波長光を充分に透過させ、良好な画質のカ
ラー画像が得られるという単板カラー固体撮像素子用の
カラーフィルタを与え、それによって高性能のカラー固
体撮像装置を得ることを目的とする。
すなわち、このような目的を達成するための本発明のカ
ラー固体撮像装置は、隣接する2本の水平走査線に対応
する受光画素が互いに水平方向に1/2画素ピッチだけ
ずれて配置されることによシその撮像部が三角形格子を
なす市松状配置の受光画素の集合で構成された固体撮像
素子に、緑色を透過する分光特性を持つ第1カラーフイ
ルターと、緑色及び青色の双方を透過する分光特性を持
つ第2カラーフイルターと、緑色及び青色及び赤色の全
色を透過する分光特性を持つ第6カラーフイルターとの
6種類のカラーフィルターからなるモザイクフィルター
を組合せてなるものであり、前記モザイクフィルターは
前述第2図に示したように、前記第1、第2および第6
カラーフイルターが水平方向に6画素を繰り返し周期と
して配置され、且つ任意の1画素に着目したときにその
周囲の6画素で中央の前記1画素のカラーフィルターの
分光特性とは異なる2種の分光特性のカラーフィルター
が互い違いに一巡するように配置されてなるものである
。この場合、好ましくは前記固体撮像素子から、隣接す
る2本の水平走査線に対応する受光画素の各水平走査線
信号を同時並列に読出し得るようにし、最終的にNTS
C方式のカラー信号を得るために、前記固体撮像素子と
モザイクフィルタに加えて、前記固体撮像素子から読出
された隣接する2本の各水平走査線信号から第1カラー
フイルターによる縁り)信号と第2カラーフイルターに
よるシアン(Cy)信号と第6カラーフイルターによる
白(tQ倍信号を抽出するサンプリング手段と、前記c
、cy、w信号を加算して輝度信号(Y′)を生成する
加算回路手段と、前記G、Cy信号の差(Cy−G)を
演算して青(B)信号を生成する第1減算回路手段と、
前記Cy、W信号の差(W−Cy)を演算して赤(R)
信号を生成する第2減算回路手段を組合せるものとする
一般にカラーフィルターC,、C,、C,を、撮像素子
の分光感度が波長によらず一定である場合のNTSC理
想撮像特性に近い光学的な原色フィルターであるR、G
、Bを用いて下記の如く表わすことができる。
但し、(0≦a = 1≦1) また上記R,G、Bに対する撮像素子のレスポンスを前
述の如く、α、β、γとする時、但し、λR) + ”
 R2はRフィルターの限界波長、I(λ)は入射光、
 R(λ)はRフィルターの分、光透過率、α(λ)は
素子の分光感度である。G及びBフィルターに対する感
度β、γも同様に取扱われる。これらのα、β、γを用
いればカラーフィルターqC2+ 03に対する出力信
号Sl + S2 + s、はで表わして良い。
(1)式の様に、輝度信号が、これらろ信号の和で与え
られ、且つN T S Cの理想撮像特性を表わす(2
)式を考慮すれば、 (a 十d + g )α:(b十e+h)β:(c+
f+i)γ= 0.30 :0.59 :0.11  
・・・・・・・・・・・・・・・・・・(9)今、フィ
ルタCI + ”t + C3の全てにGを含ませよう
とすればb−6x= h  としなけれはならない。
即ち、Gを含むフィルター色光としては4種類に限られ
、全色透過フィルターW(−R+G十B)。
黄色Ye (=R+G ) 、シアンCy(=G+B)
及びGとなる。そしてこれら4種類のフィルターから6
種を取り出す組合すも4通υとなる。
これら4通りの組合せはWYeCy、GYeCy、WY
eG及びWCyGでありこれらに対するY信号及びその
Y信号がNTSCに適合する(4)式となるためのα、
β、γの値をβ−1として表1に示した。
表1よp明ら゛かな如(WYeCy及びW Y e G
の組合せは寺領波長光透過が多く必要であシスミアの点
で不適当である。まだ前側波長光透過点から残る2つの
内、WCyGがGYoCyより優れていることが知られ
る。
よって、本発明ではカラーフィルタートシテWCyGの
組合わせを提案するものである。
その1実施例としてもつとも単純なものは、表1に示し
た如きα:β:γ−3/2 : 1 : 1/4  と
いう素子感度を有する撮像素子を実現した場合であて与
えられる。これを第6図に示した。
即ち、一般的なPN接合フォトターイオード受光部を持
つ固体撮像素子で、例えばα二β:γ−6=4=1とい
うような感度比になるようカラーフィルタ以外もう1枚
の感度補正用フィルターを赤外カットフィルターと兼用
して設けるものである。
このフィルターを用いた場合、R及びB信号は各各(W
−Cy)、 (Cy−G )という減算で容易に得られ
る。
また、このようなフィルター配置の適用可能な固体撮像
素子はCCD (Char5Je Coupled D
evice )でもMO8型デバイスでも、受光部画素
が市松状に配置されたものであれば良い。さらに垂直方
向に奇数番目と偶数番目の水平走査線信号が同時並列に
読出し可能なものであれば1H遅延線が不要となるので
好都合である。
本発明の他の実施例として、素子感度α、β、γをシリ
コンフォトダイオードで代表的な感度比α:β:γ−5
:4:2として実現した例を示す。
(9)式において(a十d+g) ・d=0.30とす
るためB=d=Q、g=1とすればα= 0.30でな
ければならない。この時β= 0.24 、  γ=0
.12となる。従って(b 十e + h ) X O
,24−0,60より、b = e −= h = 5
/6、(c+f+i)x□。12二0.10より、f=
 1 = 5/12 、 c’= Oとし、(Ki式に
対応して、 々るフィルターが考えられる。尚、この場合、Rを83
+32 よシ簡単に求められるようにするためf=i=
5/12と等しくした。
この場合、式0υに示したフイ“ルターの出カ信J/″
isI+S2 、 Ss +″L1 は S、 : S2: S、 =0.2 : 0.7 : 
1.0となる。この比は強光線による信号飽和時の偽着
色及び低彩度被写体に対する解像度特性の点で等しくす
るのが望ましく、これを補正すれは、式(6)を実用的
、範囲下溝たすフィルター分光特性の□この場合の信号
処理としてはSI I 82 + s、のうぢしてY信
号を、減算によ”、9 R、’B倍信号得られる。
S2に対する増幅率は6.5倍、S、に対する増幅率□
第5図に第4図の芥光特性のカラーフィルターをレンズ
(51)及び色温度変換フィルター(52)を通して得
られ庭イ象は、′2走i信号同時読出し可能な固体撮像
素子(56)上に結像する。固体撮像素子(56)は第
6図に水口たフィルターの各信号を時系列に発生し、信
号の位相関係も1/2画素ずれているものとし・てい、
る。
撮像素子(56)の2本の出力信号は各々プリアンプ(
54)、 (55)で等しく増幅される。 。
撮像素子のG信号出力位相を基準0°にとって以下説明
を行なう。
゛  のでその時間間隔T・を′1:周期360・にと
る。即ち水平方向画素ピッ7Pxに対して1周期は3/
2 Pxに対応する。また!ンプ・lルグ周波数′□f
−−1/Ta、fs’ −f s/2とする。□ 、、
プリアンプδ出力の2走査−信号は、3つのアナログス
イッチ(芭、6+l (57)、j、、 、<58)を
用いぞ切換周波数fs’で切換えら□れ、3.信号ケし
不出力される。
アナ・グスイッチ(56)はG楡号を中心とする信号を
2走査線信号から抜き出すのに用いられ、(57)。
(58)は各々cy倍信号W信号を中心とする信号を抜
き出すのに用いられる。従って、アナログスイッチの切
換え位相は(56)が180°(O0±180°)。
120°±1so0)となっている。”(’!59)は
利得1のバッファーアンプである。(60)及び(61
)は各々利得が前述のように6.5,5倍のアンプとな
っている。これら6つのアンプの薄力を6つのサンプリ
ング位相の異4るサンプ化アンドホールド−路(62)
、 (6ろ)、’(64)による周□波数faでサンプ
リング □すれはサンプルアンドホールド回路(62)
の出力にはG信号が常に出力され、(65)、(64)
の出力には各// Fy、信号・、W信、号7.”常に
出、力876・これら6倍号を加算回路’(65j+茄
算しLPF(68)で所要帯域を通過さ、せれば輝度信
号Yが端子(72)に与えらパる。また2つの減算回路
、 <66)、 (67>によシ(Cy−G、 、)及
び′(w−・Cy)を求め、これらをL” )’ IF
 (697+ (7o)j!通!ニー出力前子(71)
及び(7ろ)に各々B信号、R信号が与えられるという
ものである。
以上のように本発明によれば、受光部画素が三角形格子
を形成し且つ水平方向の1/2画素ピッチ毎に輝度イ言
号がヤえられるため高解像度となるのみならず;寺領遺
□過光が抑えられているためスミア現象が発生し顛<り
、L、か、も實側透過光を多くできるという利点がある
ので高性能のカラー固体撮[象装置を実現することが、
できる。。
また各カラーフィルターよダ得られる信号間の極めて′
i′*i”′″c、syX¥14すZ ffl 4 e
 +v、 h t Hが早き、信号処理回路が匍略:化
できることもひとつの利点である。
【図面の簡単な説明】
第1図は本分14J1に用いられる固体撮像素子の受光
画素値↑1tパターンを示ずヤ1置図、第2図はそのカ
ラーフィルター配(ビtの一般クシ11を示ず配置図、
第6図は本発明の固体抗・像装置のプJラーフィルター
配置を示す配置図、第4図は前回のカラーフィルターの
分光唱(ミの一例を尽す線区、う155図は信号処理系
の一例をガす回路図である。 A:固体撮像素子、P:受、元画素、CI + C21
C3:カラーフィルター、52;色温#変換フィルター
、56:固体撮像素子、54 、55 :プリアンプ、
56、57.58 :アナログスイッチ、56.60.
61ニアノブ、62.65.64 :サンプルアンドホ
ールド回路、65:加、算回路、b6.67 :  減
算回路、68、69.70 :ローバスフィルター。 代理人弁理士 木 村 三 朗 オ′ 1 図 72園 ■ロ目ロ■■ ■口司■目目 ■回目ロロ濁 臼ロロロ目口 23図 凹口■口 削口■日 日日■口 才4図 波 長

Claims (4)

    【特許請求の範囲】
  1. (1)隣接する2本の水平走査線に対応する受光画素が
    互いに水平方向に1/2画素ピッチだけずれて配置され
    ることによシそ、の撮像部が三角形格子をなす市松状配
    置の受光画素の集合で構成された固体撮像素子に、緑色
    を透過する分光特性を持つ第1カラーフイルターと、緑
    色及゛び青色の双方を透過する分光特性を持つ第2カラ
    ーフイルターと、緑色及び青色及び赤色の全色を透過す
    る分光特性を持つ第6カラーフイルターとの6種類のカ
    ラーフィルターからなるモザイクフィルターを組合せて
    なることを特徴とするカラー固体撮像装置。
  2. (2)  前記第1.第2および第6カラーフイ、ルタ
    ーが水平方向に6画素を繰υ返し周期として配置され、
    且つ任意の1画素に着目したときにその周囲の6画素で
    中央の前記1画素のカラーフィルターの分光特性とは異
    なる2種の分光特性のカラーフィルターが互い違いに一
    巡するように配置されていることを特徴とする特許請求
    の範囲第1項に記載のカラー固体撮像装置。
  3. (3)  隣接する2本の水平走査線に対応する受光画
    素の各水平走査線信号を同時読出し可能にしたことを特
    徴とする特許請求の範囲第1項に記載のカラー固体撮像
    装置。
  4. (4)前記固体撮像素子から読出された隣接する2本の
    各水平走査線信号から第1カラーフイルターによる縁(
    G)信号と第2カラーフイルターによるシアン(Cy)
    信号と第6カラーフイルターによる白(W) (8号と
    を抽出するザンブリング手段と、前記G、 cy、 W
    信号を加算して輝度信号(Y)を生成する加算回路手段
    と、前記G、 cy、信号の差(Cr−G)を演算して
    青(B)信号を生成する第1減算回路手段と、前記cy
    、 w信号の差(W−Cy)を演算して赤
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