JPS5995170U - 化学気相成長装置 - Google Patents

化学気相成長装置

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JPS5995170U
JPS5995170U JP19160682U JP19160682U JPS5995170U JP S5995170 U JPS5995170 U JP S5995170U JP 19160682 U JP19160682 U JP 19160682U JP 19160682 U JP19160682 U JP 19160682U JP S5995170 U JPS5995170 U JP S5995170U
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JP
Japan
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vapor deposition
chemical vapor
deposition equipment
deposition apparatus
source container
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Pending
Application number
JP19160682U
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English (en)
Inventor
井上　信市
Original Assignee
富士通株式会社
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は従来の化学気相成長装置の概略構成図、第２図
は本考案による一実施例の化学気相成長装置の要部拡大
構成図である。図において１は反応管、３は反応ガス導
入口、６はソース容器、２０は油槽、２１は攪拌器、２
２は温度センサー、２３は加熱ヒーター、２４は温度調
整器、２５は　　゛油槽蓋、−２６はシリコンオイルを
示す。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. ソース容器より反応管内に反応ガスを導入し、該反応管
    内の基板上に成長膜を形成する化学気相成長装置におい
    て、前記ソース容器を油中に浸漬して所定温度に加熱す
    る加熱機構を設けたことを特徴とする化学気相成長装置
    。
JP19160682U 1982-12-17 1982-12-17 化学気相成長装置 Pending JPS5995170U (ja)

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Cited By (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JP2008533746A (ja) * 2005-03-17 2008-08-21 ノア プレシジョン リミテッド ライアビリティ カンパニー バブラー用温度制御装置

Citations (2)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5514138A (en) * 1978-07-13 1980-01-31 Aioi Seiki Kk Control unit for actuation and supervising of brake of mechanical press
JPS5560017A (en) * 1978-10-27 1980-05-06 Hitachi Metals Ltd Hafnium carbide coating method

Patent Citations (2)

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