JPS5883142U - 高圧熱処理装置 - Google Patents
高圧熱処理装置Info
- Publication number
- JPS5883142U JPS5883142U JP17914181U JP17914181U JPS5883142U JP S5883142 U JPS5883142 U JP S5883142U JP 17914181 U JP17914181 U JP 17914181U JP 17914181 U JP17914181 U JP 17914181U JP S5883142 U JPS5883142 U JP S5883142U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- pressure
- heat treatment
- pressure heat
- treatment equipment
- high pressure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来の高圧熱処理装置の構造断面図、第２図は
本考案にかさる高圧熱処理装置の構造断面図、第３図は
スカベンジャーの斜視図である。 図中、１は耐圧容器、２は加熱体、３は石英反応管、４
は石英キャップ、５は蓋、６．７はガス流入口、１０は
スカベンジャー、１１は排気管、１２は圧力調節弁を示
す。
本考案にかさる高圧熱処理装置の構造断面図、第３図は
スカベンジャーの斜視図である。 図中、１は耐圧容器、２は加熱体、３は石英反応管、４
は石英キャップ、５は蓋、６．７はガス流入口、１０は
スカベンジャー、１１は排気管、１２は圧力調節弁を示
す。
Claims (1)
- 加熱体を含む反応炉全体を耐圧容器に収容した圧力バラ
ンス式高圧熱処理装置において、反応管の封入部をお＼
うスカベンジャーが設けａれ、該スカベンジャーより耐
圧容器外に圧力調節の可能な排気管が導出されてなるこ
とを特徴とする高圧熱処理装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17914181U JPS5883142U (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 高圧熱処理装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17914181U JPS5883142U (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 高圧熱処理装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5883142U true JPS5883142U (ja) | 1983-06-06 |
Family
ID=29974564
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17914181U Pending JPS5883142U (ja) | 1981-11-30 | 1981-11-30 | 高圧熱処理装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5883142U (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07297145A (ja) * | 1995-03-02 | 1995-11-10 | Tokyo Electron Tohoku Ltd | 熱処理装置 |
-
1981
- 1981-11-30 JP JP17914181U patent/JPS5883142U/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH07297145A (ja) * | 1995-03-02 | 1995-11-10 | Tokyo Electron Tohoku Ltd | 熱処理装置 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS5883142U (ja) | 高圧熱処理装置 | |
| JPS5853234U (ja) | 気相成長装置 | |
| JPS6063121U (ja) | 穀類煮炊装置 | |
| JPS5997735U (ja) | 高圧反応器 | |
| JPS60924U (ja) | 気相成長装置 | |
| JPS5910596U (ja) | 高圧容器 | |
| JPS58141751U (ja) | 高温高圧ガス用サイクロンセパレ−タ | |
| JPS5995170U (ja) | 化学気相成長装置 | |
| JPS58194377U (ja) | 貯熱装置 | |
| JPS59142456U (ja) | メタノ−ル−ガソリン変換用反応器 | |
| JPS5892728U (ja) | バブリング装置 | |
| JPS60600U (ja) | 放射性気体廃棄物処理装置用再結合器 | |
| JPS5937728U (ja) | Ｃｖｄ装置 | |
| JPS5862248U (ja) | プロセスガス分析用液体気化器 | |
| JPS592419U (ja) | 脱硝用竪形触媒反応装置 | |
| JPS58108203U (ja) | 蒸気弁 | |
| JPS5961806U (ja) | 廃溶剤回収装置 | |
| JPS5939632U (ja) | 排ガス処理装置 | |
| JPS5878196U (ja) | 炭酸ガス混入式アルカリ廃水中和処理装置 | |
| JPS5975651U (ja) | 温水ボイラ− | |
| JPS597036U (ja) | 反応に用いる水蒸気の簡易発生装置 | |
| JPS6077530U (ja) | コ−ヒ−抽出器 | |
| JPS5973238U (ja) | 液体容器 | |
| JPS5964926U (ja) | 炭化水素の水蒸気改質反応器 | |
| JPS6031331U (ja) | 対流かく拌装置 |