JPS5992332A - 水分検出器 - Google Patents
水分検出器Info
- Publication number
- JPS5992332A JPS5992332A JP58194013A JP19401383A JPS5992332A JP S5992332 A JPS5992332 A JP S5992332A JP 58194013 A JP58194013 A JP 58194013A JP 19401383 A JP19401383 A JP 19401383A JP S5992332 A JPS5992332 A JP S5992332A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- fiber
- frame
- measuring device
- fluid
- measuring
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/17—Systems in which incident light is modified in accordance with the properties of the material investigated
- G01N21/55—Specular reflectivity
- G01N21/552—Attenuated total reflection
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01N—INVESTIGATING OR ANALYSING MATERIALS BY DETERMINING THEIR CHEMICAL OR PHYSICAL PROPERTIES
- G01N21/00—Investigating or analysing materials by the use of optical means, i.e. using sub-millimetre waves, infrared, visible or ultraviolet light
- G01N21/75—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated
- G01N21/77—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator
- G01N21/7703—Systems in which material is subjected to a chemical reaction, the progress or the result of the reaction being investigated by observing the effect on a chemical indicator using reagent-clad optical fibres or optical waveguides
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
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- Health & Medical Sciences (AREA)
- Life Sciences & Earth Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Biochemistry (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Immunology (AREA)
- Pathology (AREA)
- Chemical Kinetics & Catalysis (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Investigating Or Analysing Materials By Optical Means (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明の背景
本発明は、含有水分の測定、とくにガス中の含有水分レ
ベル測定に関する。
ベル測定に関する。
本発明の要約
本発明によれば、ガスの含有水分測定器が提供される。
この測定器は、蒸気による吸収波長における赤外光減衰
を測定する装置を含んでいる。赤外光はある長さの光フ
アイバ内へ発射されるが、この光ファイバの芯（しん）
はその長さの相当部分にわたって周囲環境に露出される
。
を測定する装置を含んでいる。赤外光はある長さの光フ
アイバ内へ発射されるが、この光ファイバの芯（しん）
はその長さの相当部分にわたって周囲環境に露出される
。
好適実施例の説明
減衰全円反射分光学（ＡＴＲ）は、液体中の成分濃度を
この成分の赤外光吸収特性を参照することによって測定
するために確立された分析技術である。ＡＴＲセンサは
、普通は結晶型の形状をしているので、光ファイバの一
端内へ発射された赤外光ビームは、光ファイバから再び
現れる前に数回にわたって「全」内反射させられる。も
しこの結晶が液体中に浸けられこの液体が「全」内反射
光の波長において吸収帯を有するならば、各「全」内反
射ごとの反射係数は一様ではない、それは、赤外光放射
場がこの結晶内にだけ専属的に閉じ込められているので
はなく、これを取り囲む液体内へ短い距離だけ延びる漸
減放射場を伴うからである。
この成分の赤外光吸収特性を参照することによって測定
するために確立された分析技術である。ＡＴＲセンサは
、普通は結晶型の形状をしているので、光ファイバの一
端内へ発射された赤外光ビームは、光ファイバから再び
現れる前に数回にわたって「全」内反射させられる。も
しこの結晶が液体中に浸けられこの液体が「全」内反射
光の波長において吸収帯を有するならば、各「全」内反
射ごとの反射係数は一様ではない、それは、赤外光放射
場がこの結晶内にだけ専属的に閉じ込められているので
はなく、これを取り囲む液体内へ短い距離だけ延びる漸
減放射場を伴うからである。
それゆえ、ビームは各反射ごとに吸収成分の濃度とその
波長におけるこの成分の吸収率に関係する量だけ減衰さ
れる。測定を行うに当って、赤外光源の出力から２つの
波長、すなわち、１つは目的成分の吸収ピークに合致し
た波長、他は所与の察知可能の程度の吸収されない近接
波長、が普通選択される。測定しようとする成分の所与
の含有濃度によって作られる比例信号差が、検出され、
増幅された上で、濃度の読みに変換される。
波長におけるこの成分の吸収率に関係する量だけ減衰さ
れる。測定を行うに当って、赤外光源の出力から２つの
波長、すなわち、１つは目的成分の吸収ピークに合致し
た波長、他は所与の察知可能の程度の吸収されない近接
波長、が普通選択される。測定しようとする成分の所与
の含有濃度によって作られる比例信号差が、検出され、
増幅された上で、濃度の読みに変換される。
水は、２．７から２．９μｍの間の波長帯で強力な吸収
を行うが、これはこの波長帯内でのＯＨボンドの共鳴が
原因である。シ、リコン又はゲルマニウムのＡＴＲ結晶
を用い、２．９μｍ信号レベルの変化を監視することに
よって、油などの液体中の水分含有濃度を測定する方法
は、研究室では通常実施されており、工業上にも採用さ
れている。この目的のための代表的な結晶の珍状が第１
図に示されている。赤外光１０は、小面１２を通って結
晶１１内に入り、数回の反射を繰り返しながら結晶を下
の方に進み、結晶の他端の小面１３に達し、次いで一連
の反射を繰り返しながら結晶を上の方に進み小面１４を
経て外に出る。この配置においては、赤外光は結晶をそ
の同一端を介して人出するので、結晶の媒液中における
懸架が容易になる。
を行うが、これはこの波長帯内でのＯＨボンドの共鳴が
原因である。シ、リコン又はゲルマニウムのＡＴＲ結晶
を用い、２．９μｍ信号レベルの変化を監視することに
よって、油などの液体中の水分含有濃度を測定する方法
は、研究室では通常実施されており、工業上にも採用さ
れている。この目的のための代表的な結晶の珍状が第１
図に示されている。赤外光１０は、小面１２を通って結
晶１１内に入り、数回の反射を繰り返しながら結晶を下
の方に進み、結晶の他端の小面１３に達し、次いで一連
の反射を繰り返しながら結晶を上の方に進み小面１４を
経て外に出る。この配置においては、赤外光は結晶をそ
の同一端を介して人出するので、結晶の媒液中における
懸架が容易になる。
代表的なＡＴＲ結晶の寸法は、長さ約５０ｍｍ直径約１
０喘である。
０喘である。
この技術によって、エーテル、アセトン、グリコール等
内に、ｔｌｊｔで１％未満の溶解水が検出かつ測定され
る。油中では、０．０２％未満の水分含有率が測定され
る。
内に、ｔｌｊｔで１％未満の溶解水が検出かつ測定され
る。油中では、０．０２％未満の水分含有率が測定され
る。
しかしながら、ＡＴＲ結晶はガス中の水分の存在を検出
し、監視するには感度が充分ではない。これはガス中の
分子濃度が液体中のそれよりも遥かに低いことによる。
し、監視するには感度が充分ではない。これはガス中の
分子濃度が液体中のそれよりも遥かに低いことによる。
したがって、従来型ＡＴＲ結晶にとって重量で１００１
）１）ＩＴＩという代表的な油中水分含有濃度感度−は
油１１当り約５ｘｉｏ”、ｐに相当するが、一方、空気
中の水分含有率１００ ｐｐｍを検出するには、約８
Ｘ １０−５ ｆｊ／１１の感度を必要とする。
）１）ＩＴＩという代表的な油中水分含有濃度感度−は
油１１当り約５ｘｉｏ”、ｐに相当するが、一方、空気
中の水分含有率１００ ｐｐｍを検出するには、約８
Ｘ １０−５ ｆｊ／１１の感度を必要とする。
本発明は、結晶センサを光フアイバセンサに置き換える
ことによって、いかにＡＴＲの感度を著しく有意に向上
することができるかを開示する。この置換によって感度
上かなりの利得がもたらされるが、これは、主として、
長く細いファイバが代表的なＡＴＲ結晶よりも遥かに大
きな長さ対直径比を有するからである（たとえば、１０
４から１０６の倍率であり、したがって、より多くの回
数にわたって反射が可能となる）。代表的な場合、これ
に関連して、約４゜１の高屈折率を持つゲルマニウムか
ら約１．５の屈折率を持つガラスに変えられる。
ことによって、いかにＡＴＲの感度を著しく有意に向上
することができるかを開示する。この置換によって感度
上かなりの利得がもたらされるが、これは、主として、
長く細いファイバが代表的なＡＴＲ結晶よりも遥かに大
きな長さ対直径比を有するからである（たとえば、１０
４から１０６の倍率であり、したがって、より多くの回
数にわたって反射が可能となる）。代表的な場合、これ
に関連して、約４゜１の高屈折率を持つゲルマニウムか
ら約１．５の屈折率を持つガラスに変えられる。
遷移をゲルマニウム／油系からガラス／空気系にするに
当って、臨界角がこれら２つの場合で異なり、同様に表
皮深さ、すなわち、漸減放射場が界面におけるその値か
ら１／θに減少する点までの界面からの距離、もまた異
なるということに注意されたい。臨界角の相異について
云えば、これが大きくなるほど感度が低下し、その結果
、単位長当りに行われる反射数が少くなる、一方、表皮
深さの相異について云えば、入射角が臨界角より特定の
量だけ大きければ表皮深さが大きくなりこれに従って感
度が向上する。光フアイバ自体の囲みの外側にある漸減
放射場からの放射強度の吸収が光フアイバ内の放射強度
の吸収として表示されないように、光ファイバを製造す
るための材料としては比較的低損失のものを使用する必
要がある。
当って、臨界角がこれら２つの場合で異なり、同様に表
皮深さ、すなわち、漸減放射場が界面におけるその値か
ら１／θに減少する点までの界面からの距離、もまた異
なるということに注意されたい。臨界角の相異について
云えば、これが大きくなるほど感度が低下し、その結果
、単位長当りに行われる反射数が少くなる、一方、表皮
深さの相異について云えば、入射角が臨界角より特定の
量だけ大きければ表皮深さが大きくなりこれに従って感
度が向上する。光フアイバ自体の囲みの外側にある漸減
放射場からの放射強度の吸収が光フアイバ内の放射強度
の吸収として表示されないように、光ファイバを製造す
るための材料としては比較的低損失のものを使用する必
要がある。
低損失光ファイバの分野では、シリカ製の光ファイバに
閃して多くの仕事が実施されてきている。
閃して多くの仕事が実施されてきている。
しかしながら、シリカは本発明の目的に照し理想的では
ない、これは、１部には、５ｉ−０基によって起こされ
る光子吸収に基づき伝送損失が１．７μｍより波長が長
くなると急に増大するからであり、また１部にはこの光
ファイバの材料の残留ＨＯ基（ヒドロキシル）汚染によ
って起こされる問題があるから、である。このような関
係において、光ファイバを取り囲む漸減放射場における
よりも光フアイバ内の方が遥かに大きな放射強度密度で
あることを考慮Ｉ７て、光フｒイパ内のＯＲ／基汚染の
Ｌす「与の程度は光ファイバを取り囲む大気中における
同じ程度よりも伝送信号に大きな減衰を誘き起こすとい
うことに留意しなくてＣツならない。
ない、これは、１部には、５ｉ−０基によって起こされ
る光子吸収に基づき伝送損失が１．７μｍより波長が長
くなると急に増大するからであり、また１部にはこの光
ファイバの材料の残留ＨＯ基（ヒドロキシル）汚染によ
って起こされる問題があるから、である。このような関
係において、光ファイバを取り囲む漸減放射場における
よりも光フアイバ内の方が遥かに大きな放射強度密度で
あることを考慮Ｉ７て、光フｒイパ内のＯＲ／基汚染の
Ｌす「与の程度は光ファイバを取り囲む大気中における
同じ程度よりも伝送信号に大きな減衰を誘き起こすとい
うことに留意しなくてＣツならない。
しかしながら、シリカは水素に対して品い親和性を有す
るけれども、多くの研究が電気通信光ファイバの製造に
関連してＯＨ基汚染を除去する方途を求めて企図されて
いる。
るけれども、多くの研究が電気通信光ファイバの製造に
関連してＯＨ基汚染を除去する方途を求めて企図されて
いる。
ＯＨ基汚染の可能性の問題は、中赤外長引張り距離（ｌ
ｏｎｇｈａｕｌ）光フアイバ伝送用に開発されつつある
新しいフッカガラスで作られた光ファイバを使用するこ
とによって減少させられる。この場合の、代表的なガラ
ス組成は、５７モルパーセントのｎｆＦ、 、 ３６モ
ルパーセントのＢａＦ２ 、４モルパーセントのＡｌＦ
３ 、３モルパーセントのＬａＦ３である。このような
ガラスからＨＯボンド汚染を除去する問題はシリカにお
目るこの種の問題と等価であるが、しかしこの光ファイ
バにおいては比較的高いＯＨ基汚染をＷに容することが
できる、これはこのガラス内でのＯＨ基吸収ピーク波長
が周囲空気中のその吸収ピーク波長と一致しないからで
ある。したがって、たとえば、フッ化ハフニウム酸塩ガ
ラスの場合のＯＨ基吸収ピーク波長は２．９μｍ１一方
、自由蒸気の場合のその吸収ピーク波長は２．７から２
．７５μｍである。カルコデン化ガラスを含むその他の
ガラスも適当であることが立証されている。
ｏｎｇｈａｕｌ）光フアイバ伝送用に開発されつつある
新しいフッカガラスで作られた光ファイバを使用するこ
とによって減少させられる。この場合の、代表的なガラ
ス組成は、５７モルパーセントのｎｆＦ、 、 ３６モ
ルパーセントのＢａＦ２ 、４モルパーセントのＡｌＦ
３ 、３モルパーセントのＬａＦ３である。このような
ガラスからＨＯボンド汚染を除去する問題はシリカにお
目るこの種の問題と等価であるが、しかしこの光ファイ
バにおいては比較的高いＯＨ基汚染をＷに容することが
できる、これはこのガラス内でのＯＨ基吸収ピーク波長
が周囲空気中のその吸収ピーク波長と一致しないからで
ある。したがって、たとえば、フッ化ハフニウム酸塩ガ
ラスの場合のＯＨ基吸収ピーク波長は２．９μｍ１一方
、自由蒸気の場合のその吸収ピーク波長は２．７から２
．７５μｍである。カルコデン化ガラスを含むその他の
ガラスも適当であることが立証されている。
第２図を参照すると、光フアイバ水分含有濃度測定装置
の基本的構成要素は光減衰測定器２１を含み、後者は光
源と実質的単色性赤外光をケーブル２２０１つの光フア
イバ内へ発射するその関連駆動回路及び光検出器とケー
ブル２２の他の光ファイバから出る光垣を測定するその
関連回路を含む。これら２つの光ファイバの他端は室２
３内に囲われたセンサファイバの両端に接続されている
。
の基本的構成要素は光減衰測定器２１を含み、後者は光
源と実質的単色性赤外光をケーブル２２０１つの光フア
イバ内へ発射するその関連駆動回路及び光検出器とケー
ブル２２の他の光ファイバから出る光垣を測定するその
関連回路を含む。これら２つの光ファイバの他端は室２
３内に囲われたセンサファイバの両端に接続されている
。
第６図及び第４図を参照すると、センサファイバは、無
外装（クラッド無し）ファイバの多数の巻回３０を枠３
１上に単層開放らせん巻きに巻き付けたもの全含み、こ
の枠はこれらの巻回を枠とファイバとの間に最少の接触
長さを保つ位置に保持する。室２３は形が円筒状又は円
すい曲線回転面体状であって、水分含有濃度を測定しよ
うとするガスに対する接線方向の入口及び出口３２を備
える。このファイバは無外装ファイバであるから、これ
が接触をとる相手の枠の部分は低屈折率のもので作られ
ている必要がある。これは、枠のファイバ支持面に低層
１ノｆ率のプラスチック材料を張ることによって好便に
達成される。代替的には、センサファイバは光学的外装
を施されたファイバから構成されるが、この場合、この
ファイバを枠上に巻き付けた後に、ファイバが枠の各支
持点を通過する部分だけ外装をそのまま残し、それらの
間の領域のほとんど全体にわたって光学的芯を露出させ
るように、光学的外装をエツチングによって選択的に除
去する。代表的には、センサファイバは、直径約１００
μｍ（外装ファイバの場合は芯直径）、長さ約４０ｍで
ある。枠の支持面は、隣り合う巻回の間に一様な間隔を
容易にとれるように、みぞを施され、また、ファイバは
、各支持面の長さに沿って延びる低屈折率セメントから
なるビード３４を添加することによって、所定位置に固
定される。これは、ファイバとその支持体との間に乾燥
接続点ではなく全体的に湿温接続点を具備できるように
するという利点を有する。
外装（クラッド無し）ファイバの多数の巻回３０を枠３
１上に単層開放らせん巻きに巻き付けたもの全含み、こ
の枠はこれらの巻回を枠とファイバとの間に最少の接触
長さを保つ位置に保持する。室２３は形が円筒状又は円
すい曲線回転面体状であって、水分含有濃度を測定しよ
うとするガスに対する接線方向の入口及び出口３２を備
える。このファイバは無外装ファイバであるから、これ
が接触をとる相手の枠の部分は低屈折率のもので作られ
ている必要がある。これは、枠のファイバ支持面に低層
１ノｆ率のプラスチック材料を張ることによって好便に
達成される。代替的には、センサファイバは光学的外装
を施されたファイバから構成されるが、この場合、この
ファイバを枠上に巻き付けた後に、ファイバが枠の各支
持点を通過する部分だけ外装をそのまま残し、それらの
間の領域のほとんど全体にわたって光学的芯を露出させ
るように、光学的外装をエツチングによって選択的に除
去する。代表的には、センサファイバは、直径約１００
μｍ（外装ファイバの場合は芯直径）、長さ約４０ｍで
ある。枠の支持面は、隣り合う巻回の間に一様な間隔を
容易にとれるように、みぞを施され、また、ファイバは
、各支持面の長さに沿って延びる低屈折率セメントから
なるビード３４を添加することによって、所定位置に固
定される。これは、ファイバとその支持体との間に乾燥
接続点ではなく全体的に湿温接続点を具備できるように
するという利点を有する。
第６図において、水分を含むガスは、ガス源４２から供
給される。
給される。
デシベル（ａＢ）計４０と水分含有濃度指示器４１は、
第４図に示されている。
第４図に示されている。
第４図において、単色光源４３は赤外光波長ビームを発
射するものとする。
射するものとする。
デシベル計４０と指示器４１は、全〈従来型のものでか
まわない。
まわない。
第１図は、液体の水分含有濃度測定に使用される先行技
術の減衰全肉反射分光学（ＡＴＲ）装置のセンサの線図
、 第２図は、水分含有濃度測定器のブロック図、第３図は
、第２図のセンサの端面図、 第４図は、第２図のセンサの側面図、 である。 ２１・・・光減衰測定器、２２・・・ケーブル、２３−
゛室・ ３０・・・巻回、３１・・・枠、
３２・・・出口、人口、３４・・・ビード。 代理人 浅 村 皓
術の減衰全肉反射分光学（ＡＴＲ）装置のセンサの線図
、 第２図は、水分含有濃度測定器のブロック図、第３図は
、第２図のセンサの端面図、 第４図は、第２図のセンサの側面図、 である。 ２１・・・光減衰測定器、２２・・・ケーブル、２３−
゛室・ ３０・・・巻回、３１・・・枠、
３２・・・出口、人口、３４・・・ビード。 代理人 浅 村 皓
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）流体の含有水分測定器であって、枠と、前記枠上
に独立したらせん巻回に巻き付けられた無外装光ファイ
バと、前記光フアイバ上を該光ファイバと接触を保って
前記流体を循環させる前記流体源と、前記ファイバ内に
ビームを形化させるために前記ファイバの１端に接続さ
れた単色赤外光源と、前記ビームの減衰に比例する出力
信号を発生するために前記無外装光ファイバの両端に接
続された装置と、前記減衰を含有水分の単位で指示する
装置ａとを、包含することを特徴とする前記流体の含有
水分測定器。 （２、特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記枠は前記無外装光ファイバとの接触点において前記フ
ァイバの屈折率よりも小さい屈折率を持つ表面を有する
ことを特徴とする前記流体の含有水分測定器。 （３）特許請求の範囲第２項記載の測定器において、前
記枠との接触点において、前記ファイバは該ファイバの
屈折率よりも小さい屈折率の樹脂内に埋設されることを
特徴とする前記流体の含有水分測定器。 （４）特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記ファイバと前記枠は実質的に円筒状室内に支持されて
いることを特徴とする前記流体の含有水分測定器。 （５）特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記ファイバと前記枠は実質的に円すい曲線回転面体状の
室内に支持されていることを特徴とする前記流体の含有
水分測定器。 （６）特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記ファイバの組成は、前記ファイバの材料のＯＨ基汚染
の吸収ピークが蒸気の吸収ピークから実質的に偏移され
るようになっていることを特徴とする前記流体中の含有
水分測定器。 （７）特許請求の範囲第１項記載の測定器において、前
記ファイバはフッ化ガラス製であることを特徴とする前
記流体中の含有水分測定器。 （８）水分検出器であって、外被と、前記外被内に支持
されたある長さの光ファイバと、前記外被を通して前記
ファイバと接触を保って水分を含むガスの流れを生成す
るガス源と、前記ファイバ内に単色赤外光ビームを生成
させるために前記ファイバの１端に接続された単色赤外
光源と、前記光ビームの減衰に正比例する出力信号を発
生ずるために前記ファイバの両端に接続された装置と、
を包含することを特徴とする前記水分検出器。
Applications Claiming Priority (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| GB08232819A GB2130739B (en) | 1982-11-17 | 1982-11-17 | Moisture measurement |
| GB8232819 | 1982-11-17 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5992332A true JPS5992332A (ja) | 1984-05-28 |
Family
ID=10534327
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58194013A Pending JPS5992332A (ja) | 1982-11-17 | 1983-10-17 | 水分検出器 |
Country Status (3)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5992332A (ja) |
| DE (1) | DE3340283A1 (ja) |
| GB (1) | GB2130739B (ja) |
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| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS629255A (ja) * | 1985-07-05 | 1987-01-17 | Tokyo Electric Power Co Inc:The | 湿度の測定方法およびこれに使用する湿度センサ |
| JPH01248039A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-03 | Shimadzu Corp | 全反射吸収スペクトル測定装置 |
| JPH04294252A (ja) * | 1990-12-06 | 1992-10-19 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ディスク・ファイル並びに汚染物検知及び測定方法。 |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE4038354C2 (de) * | 1990-12-01 | 1994-06-30 | Bruker Analytische Messtechnik | ATR-Meßsonde |
Citations (1)
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|---|---|---|---|---|
| JPS57111435A (en) * | 1980-12-27 | 1982-07-10 | Horiba Ltd | Measuring device for absorption intensity of infrared ray by atr method |
Family Cites Families (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US3557619A (en) * | 1969-03-17 | 1971-01-26 | Phys Chemical Research Corp | Humidity measuring method and apparatus |
| EP0000319B2 (fr) * | 1977-07-01 | 1984-09-05 | Battelle Memorial Institute | Dispositif pour élaborer un signal lumineux caractéristique de l'indice de réfraction d'un fluide et son utilisation |
-
1982
- 1982-11-17 GB GB08232819A patent/GB2130739B/en not_active Expired
-
1983
- 1983-10-17 JP JP58194013A patent/JPS5992332A/ja active Pending
- 1983-11-08 DE DE19833340283 patent/DE3340283A1/de not_active Withdrawn
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| JPH0449905B2 (ja) * | 1985-07-05 | 1992-08-12 | Tokyo Denryoku Kk | |
| JPH01248039A (ja) * | 1988-03-29 | 1989-10-03 | Shimadzu Corp | 全反射吸収スペクトル測定装置 |
| JPH04294252A (ja) * | 1990-12-06 | 1992-10-19 | Internatl Business Mach Corp <Ibm> | ディスク・ファイル並びに汚染物検知及び測定方法。 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| DE3340283A1 (de) | 1984-05-17 |
| GB2130739B (en) | 1986-03-05 |
| GB2130739A (en) | 1984-06-06 |
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