JPS5991732U - 半導体基板エツチング治具 - Google Patents

半導体基板エツチング治具

Info

Publication number
JPS5991732U
JPS5991732U JP18702682U JP18702682U JPS5991732U JP S5991732 U JPS5991732 U JP S5991732U JP 18702682 U JP18702682 U JP 18702682U JP 18702682 U JP18702682 U JP 18702682U JP S5991732 U JPS5991732 U JP S5991732U
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
semiconductor substrate
substrate etching
etching jig
shaft
jig
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP18702682U
Other languages
English (en)
Inventor
純 林
Original Assignee
日本電気株式会社
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by 日本電気株式会社 filed Critical 日本電気株式会社
Priority to JP18702682U priority Critical patent/JPS5991732U/ja
Publication of JPS5991732U publication Critical patent/JPS5991732U/ja
Pending legal-status Critical Current

Links

Landscapes

  • Drying Of Semiconductors (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【図面の簡単な説明】
第１図は本考案の実施例の概略を示す斜視図である。１
・・・・・・エツチング容器、２・・・・・・基板落下
防止用くし型エツチング液切り部、３・・・・・・エツ
チング容器を振り子運動させるための軸、４・・・・・
・軸３を回転させるためのハンドル、５・・・・・・軸
３を介してエツチング容器１を固定するための台、６・
・・・・・等速で円運動する台、７・・・・・・水槽。

Claims (1)

    【実用新案登録請求の範囲】
  1. 球状の底面を有し、上部に基板落下防止用のくし型エツ
    チング液切り部を設けたテフロン製の本体と、この本体
    を振り子運動させるためのテフロン製の軸と、この軸を
    固定する部分と本体中のエツチング液を一定攪拌させる
    部分とから成ることを特徴とする半導体基板エツチング
    治具。
JP18702682U 1982-12-10 1982-12-10 半導体基板エツチング治具 Pending JPS5991732U (ja)

Priority Applications (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18702682U JPS5991732U (ja) 1982-12-10 1982-12-10 半導体基板エツチング治具

Applications Claiming Priority (1)

Application Number Priority Date Filing Date Title
JP18702682U JPS5991732U (ja) 1982-12-10 1982-12-10 半導体基板エツチング治具

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5991732U true JPS5991732U (ja) 1984-06-21

Family

ID=30403814

Family Applications (1)

Application Number Title Priority Date Filing Date
JP18702682U Pending JPS5991732U (ja) 1982-12-10 1982-12-10 半導体基板エツチング治具

Country Status (1)

Country Link
JP (1) JPS5991732U (ja)

Similar Documents

Publication Publication Date Title
JPS5991732U (ja) 半導体基板エツチング治具
JPS605480U (ja) 塗膜形成装置
JPS60120760U (ja) 研磨装置
JPS5849437U (ja) 基板表面処理装置
JPS58128621U (ja) 撹拌装置
JPS60100148U (ja) 研摩装置
JPS58162154U (ja) 液体現像装置
JPS5912151U (ja) 自動現像装置
JPH0338629U (ja)
JPS5965648U (ja) 洗米器
JPS59191608U (ja) 水準器
JPS60187534U (ja) 自動洗浄装置
JPS5927859U (ja) デイツプ装置
JPS5923733U (ja) 表面処理槽
JPS59169042U (ja) 液処理装置
JPS60146646U (ja) 研摩装置
JPS5821825U (ja) 液面計
JPS5970335U (ja) ウエ−ハの浸液容器
JPS5924125U (ja) 理化学用撹拌装置
JPS58183237U (ja) マグネツト式撹拌装置
JPS5922678U (ja) 洗濯機
JPS5985944U (ja) 衝撃試験片の定温装置
JPS6011343U (ja) 処理液タンク
JPS60193558U (ja) 現像装置
JPS58175543U (ja) スピンナ装置