JPS5923733U - 表面処理槽 - Google Patents
表面処理槽Info
- Publication number
- JPS5923733U JPS5923733U JP11772582U JP11772582U JPS5923733U JP S5923733 U JPS5923733 U JP S5923733U JP 11772582 U JP11772582 U JP 11772582U JP 11772582 U JP11772582 U JP 11772582U JP S5923733 U JPS5923733 U JP S5923733U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- surface treatment
- treatment tank
- suction
- suction pipe
- tank
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cleaning By Liquid Or Steam (AREA)
- Weting (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１図は従来例の断面図、第２図は第１図の斜視図、第
３図は本考案の実施例の断面図、第４図は要部拡大断面
図を示す。 １・・・槽、４・・・循環ポンプ、６・・・ウェハ、７
・・・収納容器、９・・・吸込管、１０・・・孔。
３図は本考案の実施例の断面図、第４図は要部拡大断面
図を示す。 １・・・槽、４・・・循環ポンプ、６・・・ウェハ、７
・・・収納容器、９・・・吸込管、１０・・・孔。
Claims (2)
- （１）処理槽の底部に液供給口を、少くとも液面近傍に
吸込管をそれぞれ設け、これら液供給口と吸込ｖとを循
環ポンプを介して連通し、槽内の液を均一に循環させる
ようにした表面処理槽。 - （２）吸込管に吸込孔又はスリットを設け、該吸込孔又
はスリットの位置を吸込管を、回転および／又は処理槽
に出入移動することにより、調整できるようにした実用
新案登録請求の範囲第（１）項に記載の表面処理槽。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11772582U JPS5923733U (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 表面処理槽 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP11772582U JPS5923733U (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 表面処理槽 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5923733U true JPS5923733U (ja) | 1984-02-14 |
Family
ID=30270885
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP11772582U Pending JPS5923733U (ja) | 1982-08-02 | 1982-08-02 | 表面処理槽 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5923733U (ja) |
-
1982
- 1982-08-02 JP JP11772582U patent/JPS5923733U/ja active Pending
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