JPS5988845A - 半導体収納容器 - Google Patents
半導体収納容器Info
- Publication number
- JPS5988845A JPS5988845A JP19863582A JP19863582A JPS5988845A JP S5988845 A JPS5988845 A JP S5988845A JP 19863582 A JP19863582 A JP 19863582A JP 19863582 A JP19863582 A JP 19863582A JP S5988845 A JPS5988845 A JP S5988845A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- sheet
- memory
- carrier
- side plate
- storage container
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67005—Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/67242—Apparatus for monitoring, sorting or marking
- H01L21/67294—Apparatus for monitoring, sorting or marking using identification means, e.g. labels on substrates or labels on containers
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L21/00—Processes or apparatus adapted for the manufacture or treatment of semiconductor or solid state devices or of parts thereof
- H01L21/67—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere
- H01L21/68—Apparatus specially adapted for handling semiconductor or electric solid state devices during manufacture or treatment thereof; Apparatus specially adapted for handling wafers during manufacture or treatment of semiconductor or electric solid state devices or components ; Apparatus not specifically provided for elsewhere for positioning, orientation or alignment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Condensed Matter Physics & Semiconductors (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Manufacturing & Machinery (AREA)
- Computer Hardware Design (AREA)
- Microelectronics & Electronic Packaging (AREA)
- Power Engineering (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
本発明は、半導体（ウェハ）の製造工程において、ウェ
ハの供給、収納に使用される半導体収納容器（これを、
キャリヤともいう）に係り、特に、この半導体収納容器
におけるウェハの処理工程、運搬、及び管理等の記憶を
施すようにしたキャリヤ記憶装置に関する。
ハの供給、収納に使用される半導体収納容器（これを、
キャリヤともいう）に係り、特に、この半導体収納容器
におけるウェハの処理工程、運搬、及び管理等の記憶を
施すようにしたキャリヤ記憶装置に関する。
従来、この種の半導体収納容器は、第１図に示されるよ
うに、一対の側板／とｌとを３本の連結杆λで連結して
設け、上記両側板／、／の内がわにラック状をなす多数
の棚部／ａを形成し、この各棚部／ａに各ウェハ３を挿
着し、さらに、上記側板／の一側に上記ウェハ３の処理
工程を表示する工程管理シート（キャリヤシート）夕を
添着したものである。
うに、一対の側板／とｌとを３本の連結杆λで連結して
設け、上記両側板／、／の内がわにラック状をなす多数
の棚部／ａを形成し、この各棚部／ａに各ウェハ３を挿
着し、さらに、上記側板／の一側に上記ウェハ３の処理
工程を表示する工程管理シート（キャリヤシート）夕を
添着したものである。
従って、上記半導体収納容器の側板に添着された工程管
理シ一トダには、上記各棚部／ａに収納されている各ウ
ェハ３の進捗状況、途中処理結果、途中検査結果等が筆
記具によって記入して記録するようになっている。
理シ一トダには、上記各棚部／ａに収納されている各ウ
ェハ３の進捗状況、途中処理結果、途中検査結果等が筆
記具によって記入して記録するようになっている。
しかしながら、上述した半導体収納容器の側板／に貼着
された工程管理シー）＋は、作業者が作業工程の途中で
、その都度、筆記具を使って記入するようになっている
関係」二、（１）作業工程ミス、処理条件設定ミス、記
録記載ミス、等の作業ミスを生じるばかりでなく、（２
）複雑な管理作業による製品の長期滞留と管理ミス及び
これらの作業の各工程で多くの人手を要すると共に、（
３）処理、運搬、記録等の作業による発塵付着から製品
の歩留り低下を生じるおそれがあり、（４）さらに、各
処理工程における進捗状況及び品質レベルの把握に多く
の時間を費し、しかも、再使用のキャリヤには、あらた
な工程管理シートを貼着しなければならない等の欠点が
ある。
された工程管理シー）＋は、作業者が作業工程の途中で
、その都度、筆記具を使って記入するようになっている
関係」二、（１）作業工程ミス、処理条件設定ミス、記
録記載ミス、等の作業ミスを生じるばかりでなく、（２
）複雑な管理作業による製品の長期滞留と管理ミス及び
これらの作業の各工程で多くの人手を要すると共に、（
３）処理、運搬、記録等の作業による発塵付着から製品
の歩留り低下を生じるおそれがあり、（４）さらに、各
処理工程における進捗状況及び品質レベルの把握に多く
の時間を費し、しかも、再使用のキャリヤには、あらた
な工程管理シートを貼着しなければならない等の欠点が
ある。
本発明は、上述した事情に鑑みてなされたものであって
、キャリヤに収納さねるウニノーのｌ１ロ１！工程の情
報を値記貝によらずに、記憶シートで記録して、再生、
消去して、しかも、反復継続して使用し得るようにする
と共に、併せて、正確にして迅速にウェハの処理工程を
検出し得るようにしたことを目的とする半導体収納容器
を提供するものである。
、キャリヤに収納さねるウニノーのｌ１ロ１！工程の情
報を値記貝によらずに、記憶シートで記録して、再生、
消去して、しかも、反復継続して使用し得るようにする
と共に、併せて、正確にして迅速にウェハの処理工程を
検出し得るようにしたことを目的とする半導体収納容器
を提供するものである。
本発明は、ウェハな収納するキャリヤの側板に記憶手段
及び保護カバーを重合して設け、この記憶手段の記憶シ
ートに接続した複数の接触子を上記保護カバーの一部に
露呈して付設してウェハの処理工程の記憶、再生を行う
ように構成したものである。
及び保護カバーを重合して設け、この記憶手段の記憶シ
ートに接続した複数の接触子を上記保護カバーの一部に
露呈して付設してウェハの処理工程の記憶、再生を行う
ように構成したものである。
以下、本発明を図示の一実施例について説明する。
なお、本発明は、上述した具体例と同一構成部材には同
じ符号を付して説明する。
じ符号を付して説明する。
第一図乃至第Ｓ図において、符号／は、四角形をなす扁
平な一対をなす側板であって、この両側板／と／とは３
本の連結杆コによって連結されており、この両側板／の
内がわにはランク状をなす棚部／ａが形成されている。
平な一対をなす側板であって、この両側板／と／とは３
本の連結杆コによって連結されており、この両側板／の
内がわにはランク状をなす棚部／ａが形成されている。
又、との各棚部／ａには各ウェハ（第一図では７枚のウ
ェハのみを示す）３が挿脱自在に挿着されてるようにな
っている。しかして、これらは、上記ウェハ３を収納す
るキャリヤ■を構成している。
ェハのみを示す）３が挿脱自在に挿着されてるようにな
っている。しかして、これらは、上記ウェハ３を収納す
るキャリヤ■を構成している。
一方、上記側板／には、例えば、不揮発性メモリによる
記憶シー）５とメモリコントロールユニットｇとで構成
される記憶手段■及び保護カバー６が重合して設けられ
ており、上記記憶シートｓの一部には複数の接触子＆ａ
、＆ｂ、＆ｃ・・・ｊｎが」１記保護カバー６の一部に
露呈して設けられている。又、上記保護カバー６の中程
には、例えば、表示ランプのような表示器７が付設され
ている。
記憶シー）５とメモリコントロールユニットｇとで構成
される記憶手段■及び保護カバー６が重合して設けられ
ており、上記記憶シートｓの一部には複数の接触子＆ａ
、＆ｂ、＆ｃ・・・ｊｎが」１記保護カバー６の一部に
露呈して設けられている。又、上記保護カバー６の中程
には、例えば、表示ランプのような表示器７が付設され
ている。
さらに、上記両側板／、／の上下部には、キャリヤ■の
ハンドリング用のガイドを兼ねた各小孔９が穿設されて
おり、この各小孔ワは各接触子ｊａ。
ハンドリング用のガイドを兼ねた各小孔９が穿設されて
おり、この各小孔ワは各接触子ｊａ。
、ｔｂ、ｊｃ・・・Ｓｎのドツキング時、記録、再生機
器のガイドピンを挿入すると共に、上記表示器りにこれ
を表示するようになっている。
器のガイドピンを挿入すると共に、上記表示器りにこれ
を表示するようになっている。
従って、本発明は、ウェハ３を収納したキャリヤ■を記
録、再生機器に接触子ｊａ、ｊｂ、ｊｃ・・・ｊｎを通
して上記機器との信号授受を行うことにより、記憶手段
■による記憶シート５の記憶内容を呼び出し、この記憶
シートｓに追加、修正、消去を行うようになっている。
録、再生機器に接触子ｊａ、ｊｂ、ｊｃ・・・ｊｎを通
して上記機器との信号授受を行うことにより、記憶手段
■による記憶シート５の記憶内容を呼び出し、この記憶
シートｓに追加、修正、消去を行うようになっている。
因に、本発明による記憶シートｓば不揮発性メモリを使
用したものについて説明したけれども、本発明の要旨を
変更しない範囲内で、例えば、磁気メモリに設計変更す
ることは自由である。
用したものについて説明したけれども、本発明の要旨を
変更しない範囲内で、例えば、磁気メモリに設計変更す
ることは自由である。
以上述べたように本発明によれば、ウェハ３を収納する
キャリヤＩの側板ｌに記憶手段■及び保護カバー６を重
合して設け、この記憶手段■の記憶シートＳに接続した
複数の接続子５ａ、 ！ｒｂ。
キャリヤＩの側板ｌに記憶手段■及び保護カバー６を重
合して設け、この記憶手段■の記憶シートＳに接続した
複数の接続子５ａ、 ！ｒｂ。
Ａｒｃ・・・Ｓｎを上記保護カバー６の一部に露呈して
付設しであるので、作業者が、筆記具に頼ることなく、
記憶シー）ｊの内容を呼び出しできると共に、追加、修
正、消去をすることもできるばかりでなく、反復継続し
て利用することができる。
付設しであるので、作業者が、筆記具に頼ることなく、
記憶シー）ｊの内容を呼び出しできると共に、追加、修
正、消去をすることもできるばかりでなく、反復継続し
て利用することができる。
第１図は、既に提案されている半導体収納容器の斜面図
、第２図は、本発明による半導体収納容器の斜面図、第
３図は、同上拡大側面図、第７図は、本発明の半導体収
納容器を半分を断面して示す斜面図、第左図は、本発明
の記憶手段の系統線図である。 ／・・・側板、λ・・・連結杆、３・・・ウェハ、Ａ−
用記憶シート、５ａ、３°ｂ、５ｃ・・・３ｎ・・・接
触子、６・・・保護カバー、７・・・表示器、ｇ・・・
メモリ・コントロールユニット、■・・・キャリヤ、■
・・・記憶手段。 出願人代理人 猪 股 清 第１図 第２図
、第２図は、本発明による半導体収納容器の斜面図、第
３図は、同上拡大側面図、第７図は、本発明の半導体収
納容器を半分を断面して示す斜面図、第左図は、本発明
の記憶手段の系統線図である。 ／・・・側板、λ・・・連結杆、３・・・ウェハ、Ａ−
用記憶シート、５ａ、３°ｂ、５ｃ・・・３ｎ・・・接
触子、６・・・保護カバー、７・・・表示器、ｇ・・・
メモリ・コントロールユニット、■・・・キャリヤ、■
・・・記憶手段。 出願人代理人 猪 股 清 第１図 第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 ｌ ウェハを収納するキャリヤの側板に記憶手段及び保
護カバーを重合して設け、この記憶手段の記憶シートに
接続した複数の接続子を上記保護カバーの一部に露呈し
て付設したことを特徴とする半導体収納容器。 ユ記憶シートを不揮発性メモリにしたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の半導体収納容器。 ３、記憶シートを磁気、メモリにしたことを特徴とする
特許請求の範囲第１項記載の半導体収納容器。 ｑ保護カバーの一部に表示器を付設したことを特徴とす
る特許請求の範囲第１項、第一項、又は第３項記載の半
導体収納容器。 ５記憶手段が脱着可能であることを特徴とする特許請求
の範囲第１項記載の半導体収納容器。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19863582A JPS5988845A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 半導体収納容器 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19863582A JPS5988845A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 半導体収納容器 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5988845A true JPS5988845A (ja) | 1984-05-22 |
Family
ID=16394477
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19863582A Pending JPS5988845A (ja) | 1982-11-12 | 1982-11-12 | 半導体収納容器 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5988845A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61260619A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | Hitachi Ltd | 工程進行管理用ウエハキヤリア治具 |
| JPS6384930U (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-03 | ||
| JPS63502093A (ja) * | 1986-01-02 | 1988-08-18 | フイツシヤー，マチアス | 機械のテ−ブル、装置などに固定する手動締付装置 |
| KR19980042525A (ko) * | 1996-11-25 | 1998-08-17 | 마틴하이든 | 반도체 제조 공정중에 정보를 저장하는 시스템, 방법 및 장치 |
-
1982
- 1982-11-12 JP JP19863582A patent/JPS5988845A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61260619A (ja) * | 1985-05-15 | 1986-11-18 | Hitachi Ltd | 工程進行管理用ウエハキヤリア治具 |
| JPS63502093A (ja) * | 1986-01-02 | 1988-08-18 | フイツシヤー，マチアス | 機械のテ−ブル、装置などに固定する手動締付装置 |
| JPS6384930U (ja) * | 1986-11-21 | 1988-06-03 | ||
| KR19980042525A (ko) * | 1996-11-25 | 1998-08-17 | 마틴하이든 | 반도체 제조 공정중에 정보를 저장하는 시스템, 방법 및 장치 |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| JPS6450285A (en) | Disc and reading of data therefrom | |
| US5808828A (en) | Installation intended for automatic recording and/or readout onto or from information carriers | |
| US4290524A (en) | Video magazine and package therefor | |
| ES2047025T3 (es) | Produccion mejorada de cassettes de cinta pregrabada. | |
| EP0797202A3 (en) | Recording medium cartridge, a display apparatus and a recording/reproducing apparatus | |
| JPS5988845A (ja) | 半導体収納容器 | |
| EP0321251A3 (en) | Method for managing information concerning defect on storage media | |
| EP0069218A1 (en) | Magnetic recording disk cartridge | |
| MY110989A (en) | Cassettes having a plurality of sizes for storing recording mediums therein | |
| ES8308124A1 (es) | Sistema automatico electronico-mecanico para la produccion de audiocassette y videocassette, o medios equivalentes. | |
| DE3071393D1 (en) | Dictation recording and transcribing method and apparatus | |
| FR2331114A1 (fr) | Distributeur de mini-disques souples | |
| JPS55150009A (en) | Plant data record retrieving device at fault occurring time | |
| JP2932670B2 (ja) | 部品実装方法及びその装置 | |
| MY112017A (en) | Recording and/or reproducing apparatus for operation with magnetic-tape cassettes of different sizes | |
| JPS63291266A (ja) | マルチディスク型光ディスク装置 | |
| JPS6468826A (en) | Data processing system and method for managing data memory | |
| JP2645077B2 (ja) | 集合型ディスク装置 | |
| JP2677563B2 (ja) | 集合型デイスク装置 | |
| JPS6095768A (ja) | 情報記録再生装置 | |
| JPH01317271A (ja) | 光ディスク装置 | |
| JPS578970A (en) | Storage case group for information recording medium | |
| JPH04281540A (ja) | バックアップ装置 | |
| JPS61229706A (ja) | カ−トリツジ収納棚の位置調整方法 | |
| JPS63269361A (ja) | 磁気テ−プ装置 |