JPS5984584A - 薄膜太陽電池の連続製造装置 - Google Patents
薄膜太陽電池の連続製造装置Info
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- JPS5984584A JPS5984584A JP57194754A JP19475482A JPS5984584A JP S5984584 A JPS5984584 A JP S5984584A JP 57194754 A JP57194754 A JP 57194754A JP 19475482 A JP19475482 A JP 19475482A JP S5984584 A JPS5984584 A JP S5984584A
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- film solar
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10F—INORGANIC SEMICONDUCTOR DEVICES SENSITIVE TO INFRARED RADIATION, LIGHT, ELECTROMAGNETIC RADIATION OF SHORTER WAVELENGTH OR CORPUSCULAR RADIATION
- H10F71/00—Manufacture or treatment of devices covered by this subclass
- H10F71/137—Batch treatment of the devices
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
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- Y02E10/00—Energy generation through renewable energy sources
- Y02E10/50—Photovoltaic [PV] energy
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- Y—GENERAL TAGGING OF NEW TECHNOLOGICAL DEVELOPMENTS; GENERAL TAGGING OF CROSS-SECTIONAL TECHNOLOGIES SPANNING OVER SEVERAL SECTIONS OF THE IPC; TECHNICAL SUBJECTS COVERED BY FORMER USPC CROSS-REFERENCE ART COLLECTIONS [XRACs] AND DIGESTS
- Y02—TECHNOLOGIES OR APPLICATIONS FOR MITIGATION OR ADAPTATION AGAINST CLIMATE CHANGE
- Y02P—CLIMATE CHANGE MITIGATION TECHNOLOGIES IN THE PRODUCTION OR PROCESSING OF GOODS
- Y02P70/00—Climate change mitigation technologies in the production process for final industrial or consumer products
- Y02P70/50—Manufacturing or production processes characterised by the final manufactured product
Landscapes
- Photovoltaic Devices (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明は薄膜太陽電池の多量生産に好適な薄膜太陽電池
の連続製造装置に関するものである。
の連続製造装置に関するものである。
一般に薄膜太陽電池は、半導体薄膜を利用した光電変換
素子で構成され、例えば電卓、腕時計。
素子で構成され、例えば電卓、腕時計。
電子ゲーム等の電源として広く用いられている。
そして、この半導体膜としては通常非晶質シリコン（以
下ａ−８１という）が使用され、代表的な素子構造は第
１図に要部断面図で示すような構成を有している。同図
において、１は基板、２は下部電極、３はＰｆｉａ−８
１，４はｌ型ａ −Ｓ ｉ、５はｎ型ａ−８１，６は上
部電極である。なお、Ｐ型ａ−８１３とｎ型ａ−８１５
との位置は逆であっても良い。
下ａ−８１という）が使用され、代表的な素子構造は第
１図に要部断面図で示すような構成を有している。同図
において、１は基板、２は下部電極、３はＰｆｉａ−８
１，４はｌ型ａ −Ｓ ｉ、５はｎ型ａ−８１，６は上
部電極である。なお、Ｐ型ａ−８１３とｎ型ａ−８１５
との位置は逆であっても良い。
このように構成される薄膜太陽電池は、通常基板１には
例えば透光性ガラス板等の透光性絶縁体基板が用いられ
、下部電極２には例えばスパッタリング、真空蒸着法等
によ多形成された酸化インジウム、酸化すず等の透明導
電膜が用いられる。
例えば透光性ガラス板等の透光性絶縁体基板が用いられ
、下部電極２には例えばスパッタリング、真空蒸着法等
によ多形成された酸化インジウム、酸化すず等の透明導
電膜が用いられる。
また、Ｐ型ａ−８１３，ｉ型ａ−８１４，ｎ型ａ −Ｓ
１５は、通常シラン（ＳｉＵ、）と適量のアルゴン（
Ａｒ）または水素（Ｈ２）とを含む減圧雰囲気中でプラ
ズマＣＶＤ法によ多形成され、Ｐ型ａ−８１３の形成時
にはシボラン（ｎｔａａ）、ｎ型ａ−８１６の形成時に
はホスフィン（ｐ’ｎｓ）がドーピングガスとして少量
添加される。さらに上部電極６には例えばスパッタリン
グ、真空蒸着法などによ多形成されたアルミニウム、ク
ロム、ステンレス等の金属膜が用いられる。
１５は、通常シラン（ＳｉＵ、）と適量のアルゴン（
Ａｒ）または水素（Ｈ２）とを含む減圧雰囲気中でプラ
ズマＣＶＤ法によ多形成され、Ｐ型ａ−８１３の形成時
にはシボラン（ｎｔａａ）、ｎ型ａ−８１６の形成時に
はホスフィン（ｐ’ｎｓ）がドーピングガスとして少量
添加される。さらに上部電極６には例えばスパッタリン
グ、真空蒸着法などによ多形成されたアルミニウム、ク
ロム、ステンレス等の金属膜が用いられる。
また、このように構成される薄膜太陽電池を製作するに
は、例えばスパッタリング装置を用いて、基板１上に下
部電極２を形成した後、この基板１を大気中に取シ出し
、プラズマＣＶＤ装置に搬入して下部電極２上にＰ型ａ
−８１３，ｉ型ａ−８１４゜ｎ′ｍａ−８ｉ５を順次積
層して形成する。次にこの基板１をスパッタリング装置
に搬入して上部電極６を形成して素子を完成する。
は、例えばスパッタリング装置を用いて、基板１上に下
部電極２を形成した後、この基板１を大気中に取シ出し
、プラズマＣＶＤ装置に搬入して下部電極２上にＰ型ａ
−８１３，ｉ型ａ−８１４゜ｎ′ｍａ−８ｉ５を順次積
層して形成する。次にこの基板１をスパッタリング装置
に搬入して上部電極６を形成して素子を完成する。
しかしながら、このような製造方法によると、下部電極
２とａ −Ｓ １層との界面およびａ −Ｓ １層と上
部電極６との界面が大気にさらされるために素子特性に
悪影響をおよぼすのみならず、スパッタリング装置とプ
ラズマＣＶＤ装置との間の基板１の移し替え９両者の装
置の排気等に多大な時間を要し、量産性に問題があった
。
２とａ −Ｓ １層との界面およびａ −Ｓ １層と上
部電極６との界面が大気にさらされるために素子特性に
悪影響をおよぼすのみならず、スパッタリング装置とプ
ラズマＣＶＤ装置との間の基板１の移し替え９両者の装
置の排気等に多大な時間を要し、量産性に問題があった
。
このような問題を改善したものとしては、第２図に要部
断面図で示すような薄膜太陽電池の連続者 製造装置が近年発伊几によって提案されている。
断面図で示すような薄膜太陽電池の連続者 製造装置が近年発伊几によって提案されている。
すなわち、同図において、１０は例えばステンレス板材
によって形成された真空容器、１１は例えば長尺のステ
ンレス薄板がリール１２にロール状に巻かれた可撓性基
板（以下基板と称する）であシ、この基板１１は後述す
るａ −Ｓ ｉ層形成面側に例えば高分子樹脂膜または
５ｉｏ２膜などの電気的絶縁性を有する絶縁膜が予め被
着形成されている。
によって形成された真空容器、１１は例えば長尺のステ
ンレス薄板がリール１２にロール状に巻かれた可撓性基
板（以下基板と称する）であシ、この基板１１は後述す
るａ −Ｓ ｉ層形成面側に例えば高分子樹脂膜または
５ｉｏ２膜などの電気的絶縁性を有する絶縁膜が予め被
着形成されている。
１３は基板１１が収納され所定のピッチで巻き出される
ローディング槽、１４は前記絶縁膜が形成された基板１
１上に例えば前記下部電極２を形成する第１の成膜槽、
１４ａはその蒸発源、１５は第１の中間槽、１６は基板
１１上に形成された前記下部電極２上に例えは前記Ｐ型
ａ−８ｉ３．ｉ型ａ−８ｉ４およびｎ型ａ−８ｉ５から
なるａ −Ｓ １層を形成する第２の成膜槽、１６ａは
その成膜用電極であシ、この成膜槽１６は図示しな腔が
実際にはＰ型、ｌ型、ｎ型の６膜をそれぞれ単独に形成
する槽と、これらの種間に連結された２槽の高真空度中
間槽と、これらの６槽にそれぞれ連結された真空ポンプ
とを有して構成されている。１Ｔは第２の中間槽、１８
は前記ａ −Ｓ １層上に例えば前記上部電極６を形成
する最終成膜槽、１８ａはその蒸発源、１９は前記上部
電極６が形成された基板１１′を駆動用リール２０に巻
き取って格納するアン口１４．１５，１６，１７，１８
．１９に独立して連結されかつ該各種内を所定の真空度
に保持させる真空ポンプ、２２はローディング槽１３と
第１の成膜槽１４．第１の成膜槽１４と第１の中間槽１
５、第１の中間槽１５と第２の成膜槽１６．第２の成膜
槽１６と第２の中間槽１７．第２の中間槽１７と最終成
膜槽１８および最終成膜槽１８とアンローディング槽１
９との各隔壁の所定位置に設けられて基板１１．１１’
を連続して通過させるスリットである。
ローディング槽、１４は前記絶縁膜が形成された基板１
１上に例えば前記下部電極２を形成する第１の成膜槽、
１４ａはその蒸発源、１５は第１の中間槽、１６は基板
１１上に形成された前記下部電極２上に例えは前記Ｐ型
ａ−８ｉ３．ｉ型ａ−８ｉ４およびｎ型ａ−８ｉ５から
なるａ −Ｓ １層を形成する第２の成膜槽、１６ａは
その成膜用電極であシ、この成膜槽１６は図示しな腔が
実際にはＰ型、ｌ型、ｎ型の６膜をそれぞれ単独に形成
する槽と、これらの種間に連結された２槽の高真空度中
間槽と、これらの６槽にそれぞれ連結された真空ポンプ
とを有して構成されている。１Ｔは第２の中間槽、１８
は前記ａ −Ｓ １層上に例えば前記上部電極６を形成
する最終成膜槽、１８ａはその蒸発源、１９は前記上部
電極６が形成された基板１１′を駆動用リール２０に巻
き取って格納するアン口１４．１５，１６，１７，１８
．１９に独立して連結されかつ該各種内を所定の真空度
に保持させる真空ポンプ、２２はローディング槽１３と
第１の成膜槽１４．第１の成膜槽１４と第１の中間槽１
５、第１の中間槽１５と第２の成膜槽１６．第２の成膜
槽１６と第２の中間槽１７．第２の中間槽１７と最終成
膜槽１８および最終成膜槽１８とアンローディング槽１
９との各隔壁の所定位置に設けられて基板１１．１１’
を連続して通過させるスリットである。
このように構成された薄膜太陽電池の連続製造装置にお
いて、第１の成膜槽１４．第１の中間槽１５、第２の成
膜槽１６．第２の中間槽１７および最終成膜槽１８内に
基板１１を矢印Ａ方向に所定のピッチで連続的に走行さ
せるとともに、第１゜第２の中間槽１５．１７内を他の
成膜槽１４．１６゜１８よシも高い真空度に維持させ、
各成膜槽１４゜１６．１８内で所定の成膜を行なうこと
によって、基板１１上に下部型ｉ２ 、Ｐ型ａ−８ｔ
３． ｌ ｍａ−８１４，ｎ型ａ−８ｉ５および上部電
極６が順次積層されて薄膜太陽電池素子が連続的に形成
できる。
いて、第１の成膜槽１４．第１の中間槽１５、第２の成
膜槽１６．第２の中間槽１７および最終成膜槽１８内に
基板１１を矢印Ａ方向に所定のピッチで連続的に走行さ
せるとともに、第１゜第２の中間槽１５．１７内を他の
成膜槽１４．１６゜１８よシも高い真空度に維持させ、
各成膜槽１４゜１６．１８内で所定の成膜を行なうこと
によって、基板１１上に下部型ｉ２ 、Ｐ型ａ−８ｔ
３． ｌ ｍａ−８１４，ｎ型ａ−８ｉ５および上部電
極６が順次積層されて薄膜太陽電池素子が連続的に形成
できる。
しかしながら、前述した構成による連続製造装置は、最
終成膜槽１８で上部電極６が形成された基板１１′は、
アンローディング槽１９において駆動用リール２０によ
りロール状に巻き取られる構造となっているので、基板
１１′上に形成された薄膜太陽電池素子の表面と該基板
１１′の裏面とが接触してこすれ、該素子が損傷すると
いう問題があった。まだ、このような構成による連続製
造装置によって形成された該素子は、１０−ルの基板１
１゜全部に該素子を形成した後でなければ検査ができな
いという問題があった。換言すれば、成膜中の事故に対
して早急な対応がとれないので、多数の不良品ができる
恐れがあった。
終成膜槽１８で上部電極６が形成された基板１１′は、
アンローディング槽１９において駆動用リール２０によ
りロール状に巻き取られる構造となっているので、基板
１１′上に形成された薄膜太陽電池素子の表面と該基板
１１′の裏面とが接触してこすれ、該素子が損傷すると
いう問題があった。まだ、このような構成による連続製
造装置によって形成された該素子は、１０−ルの基板１
１゜全部に該素子を形成した後でなければ検査ができな
いという問題があった。換言すれば、成膜中の事故に対
して早急な対応がとれないので、多数の不良品ができる
恐れがあった。
したがって、本発明は前述した問題点に鑑みてなされた
ものであシ、その目的とするところは、簿膜太陽電池素
子に損傷および不良が全く発生せず、高品質の薄膜太陽
電池が生産性良く得られる薄膜太陽電池の連続製造装置
を提供することにある。
ものであシ、その目的とするところは、簿膜太陽電池素
子に損傷および不良が全く発生せず、高品質の薄膜太陽
電池が生産性良く得られる薄膜太陽電池の連続製造装置
を提供することにある。
このような目的を達成するために本発明は、最終成膜槽
に連結して、薄膜太陽電池素子を形成した長尺の可捺性
基板を個々の大きさの基板に分割する切断機構と、分割
された該基板を間欠的に大気中に搬送する搬出機構とを
設けたものである。
に連結して、薄膜太陽電池素子を形成した長尺の可捺性
基板を個々の大きさの基板に分割する切断機構と、分割
された該基板を間欠的に大気中に搬送する搬出機構とを
設けたものである。
次に図面を用いて本発明の実施例を詳細に説明する。
第３図は本発明による薄膜太陽電池の連続製造装置の一
例を示す要部断面構成図であシ、前述の図と同記号は同
一要素となるのでその説明は省略する。同図において、
３０は最終成膜槽１８にスリット２２を介して連続して
設けられた基板１１′の切断槽であシ、この切断層３０
は最終成膜槽１８内で薄膜太陽電池素子が多数個連続し
て形成された基板１１′を矢印Ｂ方向に駆動させて矢印
入方向に走行させる一対のピンチローラ３１と、このピ
ンチローラ３１で走行された基板１１′を矢印Ｃ方向に
駆動させて個々の大きさの太陽電池１１“に切断分割す
るカッタなどの切断機構３２と、切断分割された太陽電
池１１“を一時的に保持させかつ後述する搬出槽へ搬送
させる搬出機構３３と、切断分割された太陽電池１１″
を搬出する開口部３４と、この切断槽３０内を最終成膜
槽１８とほぼ同等の真空度に減圧させる真空ポンプ３５
とを有して構成されている。３６は前記切断槽３０に開
口部３４を介して連続して設けられた太陽電池１１″の
大気中への搬出槽であり、この搬出槽３６は前記切断槽
３０から搬送された太陽電池１１“を搬入し、所定量蓄
積して大気中に間欠的に搬出させる搬出機構３７と、切
断槽３０の開口部３４を開閉させる第１のパルプ３８と
、この搬出槽３６°内を切断槽３０とほぼ同等の真空度
に減圧させる真空ポンプ３９と、この搬出槽３６内を大
気圧にリークあるいは所定の真空度に保持させるリーク
パルプ４０と、蓄積された太陽電池１１“を大気中に搬
出させる開口部４１と、との開口部４１を開閉させる第
２のパルプ４２とを有して構成されている。
例を示す要部断面構成図であシ、前述の図と同記号は同
一要素となるのでその説明は省略する。同図において、
３０は最終成膜槽１８にスリット２２を介して連続して
設けられた基板１１′の切断槽であシ、この切断層３０
は最終成膜槽１８内で薄膜太陽電池素子が多数個連続し
て形成された基板１１′を矢印Ｂ方向に駆動させて矢印
入方向に走行させる一対のピンチローラ３１と、このピ
ンチローラ３１で走行された基板１１′を矢印Ｃ方向に
駆動させて個々の大きさの太陽電池１１“に切断分割す
るカッタなどの切断機構３２と、切断分割された太陽電
池１１“を一時的に保持させかつ後述する搬出槽へ搬送
させる搬出機構３３と、切断分割された太陽電池１１″
を搬出する開口部３４と、この切断槽３０内を最終成膜
槽１８とほぼ同等の真空度に減圧させる真空ポンプ３５
とを有して構成されている。３６は前記切断槽３０に開
口部３４を介して連続して設けられた太陽電池１１″の
大気中への搬出槽であり、この搬出槽３６は前記切断槽
３０から搬送された太陽電池１１“を搬入し、所定量蓄
積して大気中に間欠的に搬出させる搬出機構３７と、切
断槽３０の開口部３４を開閉させる第１のパルプ３８と
、この搬出槽３６°内を切断槽３０とほぼ同等の真空度
に減圧させる真空ポンプ３９と、この搬出槽３６内を大
気圧にリークあるいは所定の真空度に保持させるリーク
パルプ４０と、蓄積された太陽電池１１“を大気中に搬
出させる開口部４１と、との開口部４１を開閉させる第
２のパルプ４２とを有して構成されている。
４３は大気中に搬送された太陽電池１１“を収容する収
納箱である。
納箱である。
このように構成された薄膜太陽電池の連続製造装置にお
いて、最終成膜槽１８内で表面に薄膜太陽電池素子が形
成された基板１１“は、ピンチローラ３１で切断槽３０
内に搬送されると、薄膜太陽電池素子をほぼ中央部分に
配置して切断機構３２によシ所定の長さを有する個々の
太陽電池１１“に切断して分割され、搬出機構３３上に
一時的に保持された後、第１のパルプ３Ｂを開放して搬
出槽３６内に移送され、搬出機％Ｈ７上に順次積層配置
される。そして、搬出機構３Ｔ上に蓄積された太陽電池
１１“は第１のパルプ３８を閉じリークバルブ４０を開
放して搬出槽３６内を大気圧にリ一りした後、第２のパ
ルプ４２を開放して大気中に搬出され、収納箱４３内に
収容される。次に第２のパルプ４２およびリークバルブ
４０を閉じて真空ポンプ３９によシ搬出槽３４内を所定
の真空度に排気減圧した後、初期の工程に戻り、前述と
同様な工程が順次連続して繰り返し行なわれる。なお、
搬出槽３６内の搬出機構３７上に移送された太陽電池１
１“の大気中への搬出は、前記基板１１′の切断分割毎
に行なっても良い。したがって、この場合は切断分割さ
れた太陽電池１１“は搬出機構３７上に蓄積されず、順
次連続的に大気中に搬出されることになる。また、前述
した実施例においては、薄膜太陽電池素子が形成された
基板１１′をピンチローラ３１で駆動させた場合につい
て説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく
、例えばスプロケット孔 良い。この場合、基板１１にはスプロケット孔を設ける
ことはいうまでもない。また、前述した実施例において
は、太陽電池１１“の最終成膜として上部゛電極６を形
成した場合について説明したが；本発明はこれに限定さ
れるものではなく、この上部電極６上にさらに絶縁膜、
保護膜等の膜を形成する成膜槽に連結して前述した切断
槽３０．搬出槽３６を連続して設けても前述と全く同等
の効果が得られることは勿論である。
いて、最終成膜槽１８内で表面に薄膜太陽電池素子が形
成された基板１１“は、ピンチローラ３１で切断槽３０
内に搬送されると、薄膜太陽電池素子をほぼ中央部分に
配置して切断機構３２によシ所定の長さを有する個々の
太陽電池１１“に切断して分割され、搬出機構３３上に
一時的に保持された後、第１のパルプ３Ｂを開放して搬
出槽３６内に移送され、搬出機％Ｈ７上に順次積層配置
される。そして、搬出機構３Ｔ上に蓄積された太陽電池
１１“は第１のパルプ３８を閉じリークバルブ４０を開
放して搬出槽３６内を大気圧にリ一りした後、第２のパ
ルプ４２を開放して大気中に搬出され、収納箱４３内に
収容される。次に第２のパルプ４２およびリークバルブ
４０を閉じて真空ポンプ３９によシ搬出槽３４内を所定
の真空度に排気減圧した後、初期の工程に戻り、前述と
同様な工程が順次連続して繰り返し行なわれる。なお、
搬出槽３６内の搬出機構３７上に移送された太陽電池１
１“の大気中への搬出は、前記基板１１′の切断分割毎
に行なっても良い。したがって、この場合は切断分割さ
れた太陽電池１１“は搬出機構３７上に蓄積されず、順
次連続的に大気中に搬出されることになる。また、前述
した実施例においては、薄膜太陽電池素子が形成された
基板１１′をピンチローラ３１で駆動させた場合につい
て説明したが、本発明はこれに限定されるものではなく
、例えばスプロケット孔 良い。この場合、基板１１にはスプロケット孔を設ける
ことはいうまでもない。また、前述した実施例において
は、太陽電池１１“の最終成膜として上部゛電極６を形
成した場合について説明したが；本発明はこれに限定さ
れるものではなく、この上部電極６上にさらに絶縁膜、
保護膜等の膜を形成する成膜槽に連結して前述した切断
槽３０．搬出槽３６を連続して設けても前述と全く同等
の効果が得られることは勿論である。
このように構成された薄膜太陽電池の連続製造装置によ
れば、表面に薄膜太陽電池素子が形成された基板１１は
、駆動用リールに巻き取らないで、順次側々の大きさに
切断分割され太陽電池１１“とじて得られるので、薄膜
太陽電池素子の損傷は皆無となるとともに、製造工程の
途中で太陽電池１１“を順次大気中に取り出して検査す
ることができるので、事故が発生した場合に早急な対応
が容易に行なうことができる。
れば、表面に薄膜太陽電池素子が形成された基板１１は
、駆動用リールに巻き取らないで、順次側々の大きさに
切断分割され太陽電池１１“とじて得られるので、薄膜
太陽電池素子の損傷は皆無となるとともに、製造工程の
途中で太陽電池１１“を順次大気中に取り出して検査す
ることができるので、事故が発生した場合に早急な対応
が容易に行なうことができる。
なお、前述した実施例においては、ステンレス製の可撓
性基板上に絶縁膜を介して太陽電池素子を形成した場合
について説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、ステンレス基板上に直接的に太陽電池素子を形
成しても良い。この場合、基板上に単一の太陽電池素子
が形成できるが、絶縁膜を介して形成する場合には素子
を複数個直列に接続させた太陽電池素子を形成すること
ができる。
性基板上に絶縁膜を介して太陽電池素子を形成した場合
について説明したが、本発明はこれに限定されるもので
はなく、ステンレス基板上に直接的に太陽電池素子を形
成しても良い。この場合、基板上に単一の太陽電池素子
が形成できるが、絶縁膜を介して形成する場合には素子
を複数個直列に接続させた太陽電池素子を形成すること
ができる。
以上説明したように本発明によれば、損傷および不良の
全くない高品質の薄膜太陽電池が生産性良く得られると
いう極めて優れた効果を有する。
全くない高品質の薄膜太陽電池が生産性良く得られると
いう極めて優れた効果を有する。
第１図は薄膜太陽電池の一例を示す要部断面構成図、第
２図は発明者らによって提案されている薄膜太陽電池の
連続製造装置の一例を示す要部断面構成図、第３図は本
発明による薄膜太陽電池の連続製造装置の一例を示す要
部断面構成図である。 １０・・・・真空容器、１１・・・・可捺性基板（基板
）、１１′・・・・薄膜太陽電池素子が形成された基板
、１１“・・・・太陽電池、１２・°・・・リール、１
３・・・・ローディング槽、１４・・・・第１の成膜槽
、１４ａ・・・・蒸発源、１５・・・・第１の中間槽、
１６・・・・第２の成膜槽、１６ａ・・・・成膜用電極
、１７・パ・・第２の中間槽、１８・・・・最終成膜槽
、１８ａ・・・・蒸発源、１９・・・・アンローディン
グ槽、２０・・・・駆動用リール、２１・・・・真空ポ
ンプＳ ２２°・・・スリット、３０・・・・切断槽、
３１・・・・ピンチローラ、３２・・・・切断機構、３
３・・・・搬出機構、３４・・・・開口部、３５・・・
・真空ポンプ、３６・・・・搬出槽、３７・・・・搬出
（幾ｆＩＩ￥、３８・・・・第１−のパルプ、３９・・
・・真空ポンプ、４ｏ・・・・リークバルブ、４１・・
・・開口部、４２・・・・第２のバルブ、４３・・・・
収納箱。 代理人 弁理士 薄 １）利 幸
２図は発明者らによって提案されている薄膜太陽電池の
連続製造装置の一例を示す要部断面構成図、第３図は本
発明による薄膜太陽電池の連続製造装置の一例を示す要
部断面構成図である。 １０・・・・真空容器、１１・・・・可捺性基板（基板
）、１１′・・・・薄膜太陽電池素子が形成された基板
、１１“・・・・太陽電池、１２・°・・・リール、１
３・・・・ローディング槽、１４・・・・第１の成膜槽
、１４ａ・・・・蒸発源、１５・・・・第１の中間槽、
１６・・・・第２の成膜槽、１６ａ・・・・成膜用電極
、１７・パ・・第２の中間槽、１８・・・・最終成膜槽
、１８ａ・・・・蒸発源、１９・・・・アンローディン
グ槽、２０・・・・駆動用リール、２１・・・・真空ポ
ンプＳ ２２°・・・スリット、３０・・・・切断槽、
３１・・・・ピンチローラ、３２・・・・切断機構、３
３・・・・搬出機構、３４・・・・開口部、３５・・・
・真空ポンプ、３６・・・・搬出槽、３７・・・・搬出
（幾ｆＩＩ￥、３８・・・・第１−のパルプ、３９・・
・・真空ポンプ、４ｏ・・・・リークバルブ、４１・・
・・開口部、４２・・・・第２のバルブ、４３・・・・
収納箱。 代理人 弁理士 薄 １）利 幸
Claims (1)
- 減圧された成膜槽内で長尺の可撓性基板上に複数種の薄
膜を順次積層して薄膜太陽電池素子を形成する薄膜太陽
電池の連続製造装置において、前記薄膜太陽電池素子が
形成され九可撓性基板を減圧された槽内で個々の基板に
分割する切断機構と、前記分割された基板を間欠的に大
気中に搬送する搬出機構とを設けたことを特徴とする薄
膜太陽電池の連続製造装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57194754A JPS5984584A (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | 薄膜太陽電池の連続製造装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57194754A JPS5984584A (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | 薄膜太陽電池の連続製造装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5984584A true JPS5984584A (ja) | 1984-05-16 |
Family
ID=16329672
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57194754A Pending JPS5984584A (ja) | 1982-11-08 | 1982-11-08 | 薄膜太陽電池の連続製造装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5984584A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4985654A (en) * | 1988-11-26 | 1991-01-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Brush device for a motor |
| JP2010163679A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 酸化物薄膜の成膜装置および成膜方法 |
| CN107263600A (zh) * | 2017-07-03 | 2017-10-20 | 武汉日新科技股份有限公司 | 薄膜电池切割装置、薄膜电池切割系统及其方法 |
-
1982
- 1982-11-08 JP JP57194754A patent/JPS5984584A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4985654A (en) * | 1988-11-26 | 1991-01-15 | Mitsubishi Denki Kabushiki Kaisha | Brush device for a motor |
| JP2010163679A (ja) * | 2008-12-18 | 2010-07-29 | Sumitomo Electric Ind Ltd | 酸化物薄膜の成膜装置および成膜方法 |
| CN107263600A (zh) * | 2017-07-03 | 2017-10-20 | 武汉日新科技股份有限公司 | 薄膜电池切割装置、薄膜电池切割系统及其方法 |
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