JPS5981850A - 電子レンズ - Google Patents
電子レンズInfo
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- JPS5981850A JPS5981850A JP19178782A JP19178782A JPS5981850A JP S5981850 A JPS5981850 A JP S5981850A JP 19178782 A JP19178782 A JP 19178782A JP 19178782 A JP19178782 A JP 19178782A JP S5981850 A JPS5981850 A JP S5981850A
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- JP
- Japan
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- coil
- magnetomotive force
- lens
- temperature
- excitation
- Prior art date
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-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J37/00—Discharge tubes with provision for introducing objects or material to be exposed to the discharge, e.g. for the purpose of examination or processing thereof
- H01J37/02—Details
- H01J37/04—Arrangements of electrodes and associated parts for generating or controlling the discharge, e.g. electron-optical arrangement, ion-optical arrangement
- H01J37/10—Lenses
- H01J37/14—Lenses magnetic
- H01J37/141—Electromagnetic lenses
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- Physics & Mathematics (AREA)
- Electromagnetism (AREA)
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は電子レンズ、特に電子顕微鏡をはじめとする各
種電子線装置の対物レンズに使用され、起磁力を段階的
又は連続的に変化させる場合において、レンズ内の一定
点、例えば試料位置近傍の磁極における温度がＩＩぼ一
定になるように改良した電子レンズに関するものである
。
種電子線装置の対物レンズに使用され、起磁力を段階的
又は連続的に変化させる場合において、レンズ内の一定
点、例えば試料位置近傍の磁極における温度がＩＩぼ一
定になるように改良した電子レンズに関するものである
。
′亀子線装置？Ｊ′に使われる電子レンズとして一般的
に、第１１￥ｌＩに示すように筒体ｊｌｌＪ造を有し内
周部分中央部にレンズ間隙２を形成しているヨーク１と
、ヨーク１内に配置１′Ｙされたコイル巻枠３に巻装さ
れた励磁コイル５と、励磁コイル５に電流を導通して励
磁させたときに発生するジュール熱を冷却するため、コ
イル巻枠３の外側に隣接して配置された冷却手段４とか
ら成り、励磁コイル５には所定の電気回路により電流を
導通するようにしたものがある。ところが、このような
電子レンズでは、冷却手段による冷却操作では、励磁コ
イル５とヨーク１との間を完全に熱的に遮断することに
関し未だ不充分百があり、その結果フォーカスドリフト
や試料ドリフトが生じ易い点に鑑み、これを改良した従
来例としてはたとえば第ゑ図に示すようなものがある。
に、第１１￥ｌＩに示すように筒体ｊｌｌＪ造を有し内
周部分中央部にレンズ間隙２を形成しているヨーク１と
、ヨーク１内に配置１′Ｙされたコイル巻枠３に巻装さ
れた励磁コイル５と、励磁コイル５に電流を導通して励
磁させたときに発生するジュール熱を冷却するため、コ
イル巻枠３の外側に隣接して配置された冷却手段４とか
ら成り、励磁コイル５には所定の電気回路により電流を
導通するようにしたものがある。ところが、このような
電子レンズでは、冷却手段による冷却操作では、励磁コ
イル５とヨーク１との間を完全に熱的に遮断することに
関し未だ不充分百があり、その結果フォーカスドリフト
や試料ドリフトが生じ易い点に鑑み、これを改良した従
来例としてはたとえば第ゑ図に示すようなものがある。
これは、励磁コイル５を複数個、例えば２個のコイル５
ａ、５ｂから構成し、各コイル５ａ、５ｂに相関した電
流が流れるようにし、励磁コイル５の起磁力とかえても
、各コイル５ａ 、 ５ｂで発生する熱量の総和がほぼ
一定になるようにしたものである。そして、この従来例
では励磁コイル５からの発熱ｆｉｔの総和は、比較的低
い値に抑えられている。
ａ、５ｂから構成し、各コイル５ａ、５ｂに相関した電
流が流れるようにし、励磁コイル５の起磁力とかえても
、各コイル５ａ 、 ５ｂで発生する熱量の総和がほぼ
一定になるようにしたものである。そして、この従来例
では励磁コイル５からの発熱ｆｉｔの総和は、比較的低
い値に抑えられている。
しかしながら、コイル５ａ 、 ５ｂは、寸法や配置が
互いに異なるため、コイル発熱量の総和１一定にしても
、コイル巻枠３、あるいはヨーク１における熱の流れは
大きく変ってしまい、レンズ間１１１２に隣接するコイ
ル巻枠３の部分における温度が変化する。この結果、レ
ンズ間Ｉｆ１ｉｔ２の距蔭や開口径、或は相対的な位１
ぺが熱膨張によって変動し、フォーカスドリフトが生じ
易くなる。特に、Ｘ線マイクロアナライザー等における
比較的大きな起磁力を要するミニ対物レンズ、或は分析
電子顕ｉ：を鏡等の内部で、対物レンズ近傍に設置され
たミニレンズ等においては、コイ゛ルの配置、寸法、冷
却系の設置Ｋｊ場所？自由に設定することができないこ
とが多い。このような場合、各コイルの発熱量の総和を
一定にしただけでは起磁力変化に伴なう試料ドリフト、
フォーカスドリフト等を抑えることが充分にできなかっ
た。
互いに異なるため、コイル発熱量の総和１一定にしても
、コイル巻枠３、あるいはヨーク１における熱の流れは
大きく変ってしまい、レンズ間１１１２に隣接するコイ
ル巻枠３の部分における温度が変化する。この結果、レ
ンズ間Ｉｆ１ｉｔ２の距蔭や開口径、或は相対的な位１
ぺが熱膨張によって変動し、フォーカスドリフトが生じ
易くなる。特に、Ｘ線マイクロアナライザー等における
比較的大きな起磁力を要するミニ対物レンズ、或は分析
電子顕ｉ：を鏡等の内部で、対物レンズ近傍に設置され
たミニレンズ等においては、コイ゛ルの配置、寸法、冷
却系の設置Ｋｊ場所？自由に設定することができないこ
とが多い。このような場合、各コイルの発熱量の総和を
一定にしただけでは起磁力変化に伴なう試料ドリフト、
フォーカスドリフト等を抑えることが充分にできなかっ
た。
本発明は、このような従来の問題点に着目してなされた
もので、その目的は、励磁コイルを！￥数のコイルによ
って構成し、これらのコイルの励磁を成る一定の条件を
満足しながら種々変化させて励磁コイル全体の起磁力を
作り出すと共に、当該励磁フィルの起磁力が変化しても
、その変化の前後においである一定点における温度がほ
ぼ一定となるようにした電子レンズを提供し、上記従来
の問題点を解決することである。
もので、その目的は、励磁コイルを！￥数のコイルによ
って構成し、これらのコイルの励磁を成る一定の条件を
満足しながら種々変化させて励磁コイル全体の起磁力を
作り出すと共に、当該励磁フィルの起磁力が変化しても
、その変化の前後においである一定点における温度がほ
ぼ一定となるようにした電子レンズを提供し、上記従来
の問題点を解決することである。
本発明は、上記目的を達成するために、励磁コイルを構
成する複数のコイルに流れる電流を多段又は連続的に変
化させ、この変化に伴ないレンズの起磁力を変化させる
一方、この間における各種レンズ起磁力に対して、コイ
ル巻枠部、あるいは磁気目−り部の定点、特にレンズ間
隙にＶＦ、接した点における温度がほぼ一定になるよう
にし、さらには、一定の起磁力を保ち、各コイルの起磁
力の配分を変化させることができる調整機構を有し、さ
らには成る定点に温度検出素子を設け、この点における
温度を測定し、この点における温度が一定となる如く、
コイルに相関した電流が流れるように制御することによ
り、起磁力変化に伴なうフォーカスドリフト或は試料ド
リフトを最小にした電子レンズを提供するものである。
成する複数のコイルに流れる電流を多段又は連続的に変
化させ、この変化に伴ないレンズの起磁力を変化させる
一方、この間における各種レンズ起磁力に対して、コイ
ル巻枠部、あるいは磁気目−り部の定点、特にレンズ間
隙にＶＦ、接した点における温度がほぼ一定になるよう
にし、さらには、一定の起磁力を保ち、各コイルの起磁
力の配分を変化させることができる調整機構を有し、さ
らには成る定点に温度検出素子を設け、この点における
温度を測定し、この点における温度が一定となる如く、
コイルに相関した電流が流れるように制御することによ
り、起磁力変化に伴なうフォーカスドリフト或は試料ド
リフトを最小にした電子レンズを提供するものである。
以下、本発明を添付の図面を参照して詳細に説明する。
第３図は、本発明が適用される電子レンズの一例を示す
図である。この′成子レンズ１０け、ヨーク１１内に配
置されたコイル巻枠１３に励磁コイル１５を巻装し、ま
たコイル巻枠１３の上側に隣接して冷却手段１４を配置
して成る。励磁フィル１５は、コイル巻枠１３の内径側
部分に巻装された第１のコイル１５ａと、この第１のコ
イ／Ｉ／１５ａよりも外側部分においてコイル巻−枠１
３に巻装された第２のコイル１５ｂとから成る。
図である。この′成子レンズ１０け、ヨーク１１内に配
置されたコイル巻枠１３に励磁コイル１５を巻装し、ま
たコイル巻枠１３の上側に隣接して冷却手段１４を配置
して成る。励磁フィル１５は、コイル巻枠１３の内径側
部分に巻装された第１のコイル１５ａと、この第１のコ
イ／Ｉ／１５ａよりも外側部分においてコイル巻−枠１
３に巻装された第２のコイル１５ｂとから成る。
励磁コイル１５を構成している第１のコイル１５ａけ、
第３図に示すように巻Ｉ？ｉｌの１１す（面積がａｓｂ
であり、レンズ中心軸１６から巻線中心までの距離がｒ
ｌに設定しである。他方、第２のコイル１５ｂけ巻線の
断面積が第１のコイル１５ａよりは小さなａｒｃに設定
してあり、レンズ中心軸１６から巻線中心までの距離が
ｒ２に設定しである。なお第１のコイル１５ａと第２の
コイル１５ｂとの間において・ζ上記の如く断面積が異
なって設定しであるが、更に幅寸法が異なっていてもよ
いし、或は両者の断面積が同じになっていてもよい。
第３図に示すように巻Ｉ？ｉｌの１１す（面積がａｓｂ
であり、レンズ中心軸１６から巻線中心までの距離がｒ
ｌに設定しである。他方、第２のコイル１５ｂけ巻線の
断面積が第１のコイル１５ａよりは小さなａｒｃに設定
してあり、レンズ中心軸１６から巻線中心までの距離が
ｒ２に設定しである。なお第１のコイル１５ａと第２の
コイル１５ｂとの間において・ζ上記の如く断面積が異
なって設定しであるが、更に幅寸法が異なっていてもよ
いし、或は両者の断面積が同じになっていてもよい。
このように第１及び第２のコイル１５ａｒ １５ｂによ
って励？Ｈコイル１５を構成した電子レンズ１０（ｃお
いては、任意の大きさのレンズ起磁力を得るにしして、
各々のコイル１５ａ 、 １５ｂの起磁力を適当に設定
すれば、」二記レンズ起磁力を得る一方で屯位時間当り
の励磁コイル１５からの発ｒ（量の総和を常に一定にし
ておくことができる。したがって、先ず電子レンズ１０
において、上記従来例と同様励磁コイル１５からの発熱
量総和を一定にする技術を考えるど、各コイルｉ５ａ
、 １５ｂに発生する単位時間当りのジュール熱（発熱
がをＷとする）は、次のように見積ることができる。
って励？Ｈコイル１５を構成した電子レンズ１０（ｃお
いては、任意の大きさのレンズ起磁力を得るにしして、
各々のコイル１５ａ 、 １５ｂの起磁力を適当に設定
すれば、」二記レンズ起磁力を得る一方で屯位時間当り
の励磁コイル１５からの発ｒ（量の総和を常に一定にし
ておくことができる。したがって、先ず電子レンズ１０
において、上記従来例と同様励磁コイル１５からの発熱
量総和を一定にする技術を考えるど、各コイルｉ５ａ
、 １５ｂに発生する単位時間当りのジュール熱（発熱
がをＷとする）は、次のように見積ることができる。
−ＩＩ ０９ ｔｃコイルＪＣ（ＡＴ ：アンペアータ
ーン）の起磁力を発牛させる場合、このコイルから発牛
する単位時間当りの発熱量Ｗは、コイル断面を流れる総
電流（従って起磁力）の二乗に比例シ、コイルの長さに
比例し、さらにコイルの断面積に反比例する。コイルは
通常導電性の金属細線を何回も巻いて作られるが、ここ
で７−ｆコイル束の断面ｒｆｆｉ４ （Ａ−Ｂとする）
をコイルの断面積とし、レンズ中心軸からコイル束断面
の中心までの圧部（ｒとする）の所にコイルが巻装しで
あるものとして考察する。コイルの抵抗率ρとすると、
次の式が成立する。
ーン）の起磁力を発牛させる場合、このコイルから発牛
する単位時間当りの発熱量Ｗは、コイル断面を流れる総
電流（従って起磁力）の二乗に比例シ、コイルの長さに
比例し、さらにコイルの断面積に反比例する。コイルは
通常導電性の金属細線を何回も巻いて作られるが、ここ
で７−ｆコイル束の断面ｒｆｆｉ４ （Ａ−Ｂとする）
をコイルの断面積とし、レンズ中心軸からコイル束断面
の中心までの圧部（ｒとする）の所にコイルが巻装しで
あるものとして考察する。コイルの抵抗率ρとすると、
次の式が成立する。
なお、抵抗率ρは、導線の４１ｉｉ Ｆ＋、コイル断面
Ａ・Ｊ３に占める導線部の割合１．コイル１１１１度等
に依存する定数であり、実験で求めることができる。
Ａ・Ｊ３に占める導線部の割合１．コイル１１１１度等
に依存する定数であり、実験で求めることができる。
この式（１）に基づき本発明の各コイル１５” ＋ １
５”における発熱量を求める。
５”における発熱量を求める。
第１のコイル１５ａの起磁力をＪい第２のコイル１５ｂ
の起磁力をＪ２とすｊＬば、各コイルで発生ずる発熱量
の総和をＶＶＴとすると、次の式が成立する。
の起磁力をＪ２とすｊＬば、各コイルで発生ずる発熱量
の総和をＶＶＴとすると、次の式が成立する。
Ｗｒ＝ ｋ、 Ｊ、’ ＋ ｋ、Ｊ２’・・・・・・・
・・・・・・・・（２）ここでに、 、 ｋ２は各コイ
ル１５ａ 、 １５ｂのコイル形状、その他の要素によ
って決まる定数である。
・・・・・・・・（２）ここでに、 、 ｋ２は各コイ
ル１５ａ 、 １５ｂのコイル形状、その他の要素によ
って決まる定数である。
また、レンズ間隙１２に発生する起磁力Ｊけ１、Ｔ ＝
Ｊ！＋Ｊ、・・・・・・・・・・・・・・・・・・（
３）で与えられる。レンズコイルを、レンズ中心軸１６
の」三方から見て反時計回りに電流が流れる場合の起磁
力を正、時計回りの場合を負とし、Ｊ。
Ｊ！＋Ｊ、・・・・・・・・・・・・・・・・・・（
３）で与えられる。レンズコイルを、レンズ中心軸１６
の」三方から見て反時計回りに電流が流れる場合の起磁
力を正、時計回りの場合を負とし、Ｊ。
及びＪ２は正又は負のイ１６をとり得るとする′。
いま、レンズ起磁力の最大値をＪＭとすると、総発熱量
ＷＴの極小値（ｗ１″ｍｉｎとする）は式（２）及び（
３）から求めることができ、 で与えられる。
ＷＴの極小値（ｗ１″ｍｉｎとする）は式（２）及び（
３）から求めることができ、 で与えられる。
また、Ｊ＝ＪＭにおける各コイルの励磁力Ｊ、 Ｉ２ｒ
Ｉｉ で与えられる。
Ｉｉ で与えられる。
このとき、式（２＋ 、 （３１、（４）から、０≦Ｊ
≦ＪＭなルａｃ ＩＩＪＩのレンズ起磁力Ｊに対して、
各コイル１５ａ。
≦ＪＭなルａｃ ＩＩＪＩのレンズ起磁力Ｊに対して、
各コイル１５ａ。
１５ｂで単位時間に発生する熱量の総和が常に式（４）
で与えられるＶＶＴｍ ｉｎであるような、各コイルの
起磁力Ｊ、 、 Ｊ２の値を求めることができる。−例
として、各コイル１５ａ＋ １５ｂ ＶＸついて、巻線
の断面積ａ −ｂ 、 ａ ＠ Ｃ及びレンズ中心ｌｌ
１ｌ１１１６から各巻線中心までの距Ｍ ｒ、 ＋ ｒ
２を所定の値に設定し、ＪＭ＝ ２０００ （ＡＴ）の
場合の０≦Ｊ≦ＪＭの範囲のレンズ起磁力に対して総発
熱Ｑｊ ＷＴが常に一定となるような各コイルｉｓａ
、 １５１）のＪ、 、 Ｊ、の値を求めると第４図に
示すようになる。このグラフにおいて縦軸は、第１のコ
イル１５ａ及び第２のコイル１５ｂの各々について与え
られた起磁力Ｊ１゜Ｊ２を個々に示す。また横軸Ｆｉｌ
記Ｊ、とＪ２とを加え合わせて得られる、励磁コ・イル
１５全体の起磁力Ｊを示す。このように、０≦Ｊ≦２０
００ （ＡＴ）の成る値の励磁コイル１５起磁力を得る
に際して、このグラフに示したＪ、 、 Ｊ、に各コイ
ルｉｓａ、 １５ｂの起磁力を設定すれば、励磁コイル
１５から発生する熱量を一定に保つことが出来る。もち
ろんコイルｉ５ａ 、 １５ｂからの発熱量は、各フィ
ル両端の電圧及び電流を測定することによっても、もと
めることができ、コイル１５における発熱量が一定とな
る各コイルの起磁力占＋Ｊ２を求めることが可能である
。
で与えられるＶＶＴｍ ｉｎであるような、各コイルの
起磁力Ｊ、 、 Ｊ２の値を求めることができる。−例
として、各コイル１５ａ＋ １５ｂ ＶＸついて、巻線
の断面積ａ −ｂ 、 ａ ＠ Ｃ及びレンズ中心ｌｌ
１ｌ１１１６から各巻線中心までの距Ｍ ｒ、 ＋ ｒ
２を所定の値に設定し、ＪＭ＝ ２０００ （ＡＴ）の
場合の０≦Ｊ≦ＪＭの範囲のレンズ起磁力に対して総発
熱Ｑｊ ＷＴが常に一定となるような各コイルｉｓａ
、 １５１）のＪ、 、 Ｊ、の値を求めると第４図に
示すようになる。このグラフにおいて縦軸は、第１のコ
イル１５ａ及び第２のコイル１５ｂの各々について与え
られた起磁力Ｊ１゜Ｊ２を個々に示す。また横軸Ｆｉｌ
記Ｊ、とＪ２とを加え合わせて得られる、励磁コ・イル
１５全体の起磁力Ｊを示す。このように、０≦Ｊ≦２０
００ （ＡＴ）の成る値の励磁コイル１５起磁力を得る
に際して、このグラフに示したＪ、 、 Ｊ、に各コイ
ルｉｓａ、 １５ｂの起磁力を設定すれば、励磁コイル
１５から発生する熱量を一定に保つことが出来る。もち
ろんコイルｉ５ａ 、 １５ｂからの発熱量は、各フィ
ル両端の電圧及び電流を測定することによっても、もと
めることができ、コイル１５における発熱量が一定とな
る各コイルの起磁力占＋Ｊ２を求めることが可能である
。
上述のごとく、コイルでの総発熱量を一定にミ
することにより、励磁変花に伴う発熱変化によるフォー
カスドリフトや試料ステージのドリフトを成る程度は防
Ｉトすることができる。
カスドリフトや試料ステージのドリフトを成る程度は防
Ｉトすることができる。
ところが、例えば第３図に示すような、各コイル１５ａ
、 １５ｂ、冷却手段１４等が特殊な配置をとらなけ
ればならないＸＭＡ（Ｘ線マイクロアナライザー）やＴ
ＥＭ（透過型電子類ｇｌ鏡）等の対物レンズ内で、比較
的試料近傍に設けられたミニレンズにおいて、」二の説
明に係る式（１１、（２） 、（３）。
、 １５ｂ、冷却手段１４等が特殊な配置をとらなけ
ればならないＸＭＡ（Ｘ線マイクロアナライザー）やＴ
ＥＭ（透過型電子類ｇｌ鏡）等の対物レンズ内で、比較
的試料近傍に設けられたミニレンズにおいて、」二の説
明に係る式（１１、（２） 、（３）。
（４）に従って電子レンズ１０の起磁力Ｊを第４図に示
すように可変した場合、なる程励磁コイル１５からの総
発熱量は一定に保つことが可能であるけれど、電子レン
ズ１０内の成る一定点における温度は、上記起磁力Ｊの
変化に伴って変化するということが起る。例えば、第３
図中点Ａに注目すると、この点Ａにおける温度は起磁力
Ｊの変化に伴って第５図に示すように変化する。この図
は、起磁力Ｊと第５図のグラフに従って２０００（ＡＴ
）から’０（ＡＴ）まで変化させた時の、点Ａにおける
温度の時間変化を示すもので、同図中符号Ｐ乃至Ｕはそ
れぞれ起磁力Ｊが２＋１００（ＡＴ）、 １６００（Ａ
Ｔ）、 １２００（Ａ’Ｊ’） 、 ８００（Ａ’ｌ’
） 。
すように可変した場合、なる程励磁コイル１５からの総
発熱量は一定に保つことが可能であるけれど、電子レン
ズ１０内の成る一定点における温度は、上記起磁力Ｊの
変化に伴って変化するということが起る。例えば、第３
図中点Ａに注目すると、この点Ａにおける温度は起磁力
Ｊの変化に伴って第５図に示すように変化する。この図
は、起磁力Ｊと第５図のグラフに従って２０００（ＡＴ
）から’０（ＡＴ）まで変化させた時の、点Ａにおける
温度の時間変化を示すもので、同図中符号Ｐ乃至Ｕはそ
れぞれ起磁力Ｊが２＋１００（ＡＴ）、 １６００（Ａ
Ｔ）、 １２００（Ａ’Ｊ’） 、 ８００（Ａ’ｌ’
） 。
４００ （Ａ’Ｉ’） 、 ０（Ａ’ｌ’）である場合
に対応する温度ＴＡを示している。
に対応する温度ＴＡを示している。
このような温度変化は、電子レンズ１ｏ内の他の点Ｂに
比べ、点Ａの位置が冷却手段１４から遠く、起磁力、Ｔ
の変化に対し大きく変化するためと考えられる。よって
、電子レンズ１ｏの起磁力の変化に対しでレンズ間隙１
２や穴径の変化が大きくなり、フォーカスドリフトをひ
きおこしたり、或は試料ステージ等に大きな温度変化を
生じ、試料ドリフトを起す。このように、励磁コイル１
５における総発熱量が一定であっても、上記した１・η
り各部品間における配買上の制約がら種々のドリフトを
生じてしまい、従来におけるドリフト防止は充分でない
。
比べ、点Ａの位置が冷却手段１４から遠く、起磁力、Ｔ
の変化に対し大きく変化するためと考えられる。よって
、電子レンズ１ｏの起磁力の変化に対しでレンズ間隙１
２や穴径の変化が大きくなり、フォーカスドリフトをひ
きおこしたり、或は試料ステージ等に大きな温度変化を
生じ、試料ドリフトを起す。このように、励磁コイル１
５における総発熱量が一定であっても、上記した１・η
り各部品間における配買上の制約がら種々のドリフトを
生じてしまい、従来におけるドリフト防止は充分でない
。
そこで、本発明では、電子レンズ１０内の一定点の温度
に着目し、この定点の温度が一定に保たれるように各コ
イル１５ａ 、 １５ｂの起磁力？設定するようにした
。上記一定点としては、弊えは上に述べた点Ａのような
、レンズ中心や試料台に比較的近い部位が選ばれる。
に着目し、この定点の温度が一定に保たれるように各コ
イル１５ａ 、 １５ｂの起磁力？設定するようにした
。上記一定点としては、弊えは上に述べた点Ａのような
、レンズ中心や試料台に比較的近い部位が選ばれる。
先ず、第２のコイル１５ｂの起磁力Ｊ２をいくつか選び
、この起磁力Ｊ２を一定に保ってＪ、 を変化（電子レ
ンズ１０の起磁力Ｊも当然変化）させたときの、点Ａに
おける温度変化（ΔＴＡとする。
、この起磁力Ｊ２を一定に保ってＪ、 を変化（電子レ
ンズ１０の起磁力Ｊも当然変化）させたときの、点Ａに
おける温度変化（ΔＴＡとする。
単位はＯａ）を求めると第６図に示すようになる。
この図中、曲線Ｅ乃至Ｉけ、それぞれ起磁力Ｊ２をＯ（
Ａ’ｌ”）、２５０ （ＡＴ） 、 ５００（ＡＴ）
、 ７５０ （ＡＴ） 。
Ａ’ｌ”）、２５０ （ＡＴ） 、 ５００（ＡＴ）
、 ７５０ （ＡＴ） 。
１０００ （ＡＴ）に維持したときの点Ａにおける温度
変化ΔＴＡを表わしている。このグラフから、横軸に平
行な任意の直線Ｄ？引き（図ではΔＴＡ＝１１°Ｃ近辺
で引いであるが他の温度でもよい）、このｉ′ｉｌｆ線
りと各曲線Ｅ 、 Ｆ 、 Ｇ 、 Ｈ、Ｉとの交点を
求めることにより、ΔＴＡが一定になるＪｌとＪ、との
値及び相互の関係を得ることができる。
変化ΔＴＡを表わしている。このグラフから、横軸に平
行な任意の直線Ｄ？引き（図ではΔＴＡ＝１１°Ｃ近辺
で引いであるが他の温度でもよい）、このｉ′ｉｌｆ線
りと各曲線Ｅ 、 Ｆ 、 Ｇ 、 Ｈ、Ｉとの交点を
求めることにより、ΔＴＡが一定になるＪｌとＪ、との
値及び相互の関係を得ることができる。
いま、電子レンズ１０の起磁力を変化させた時の点Ａに
おける温度設定値とΔＴ、とすると、ΔＴＡ ＝ΔＴ１ におけるＩＪＩ Ｉ 、 ｌＪ？＋の相関図が第７図に
示しである。即ち、電子レンズ１０の起磁力Ｊｆ！：決
めるに当って、Ｊ、と５２との関係を第７図に示すよう
に維持しておけば、点Ａの湿度は ΔＴ人＝ΔＴ。
おける温度設定値とΔＴ、とすると、ΔＴＡ ＝ΔＴ１ におけるＩＪＩ Ｉ 、 ｌＪ？＋の相関図が第７図に
示しである。即ち、電子レンズ１０の起磁力Ｊｆ！：決
めるに当って、Ｊ、と５２との関係を第７図に示すよう
に維持しておけば、点Ａの湿度は ΔＴ人＝ΔＴ。
となって一定の状態を保つ。
このＩＪ、１とＩＪ２１との関係から、ＪＭ＝ ２００
０（ＡＴ ）の場合の０≦Ｊ≦ＪｔＪの範囲のレンズ起
磁力に対して点Ａにおける温度が一定となるような各コ
イル１５ａ 、 １５ｂにおけるＪ、 、 Ｊ、の値を
求めると第８図のようになる。このグラフにおいて縦軸
は、第４図に示したのと同様、第１のコイル１５ａ及び
＠２のコイル１５ａの各々について与えられた起磁力Ｊ
、 、 Ｊ、を個々に示す。また横軸は上記Ｊ１とＪ２
とを加え合わせて得られる、励磁コイル１５全体の起磁
力、■を示す。このように、０≦Ｊ≦２０００（ＡＴ）
の成る値の励磁コイル１５起磁カ２得るに際して、この
グラフに示したＪ、 、 Ｊ、に各コイル１５ａ 、
１５ｂの起磁力と設定すれば、電子レンズ１０内におけ
る点Ａの温度を一定に保つことが出来、励磁変化に伴う
電子レンズ１０部品の熱膨引φによってフォーカスドリ
フトや試料ステージのドリフトが生じるのを防止するこ
とが出来る。
０（ＡＴ ）の場合の０≦Ｊ≦ＪｔＪの範囲のレンズ起
磁力に対して点Ａにおける温度が一定となるような各コ
イル１５ａ 、 １５ｂにおけるＪ、 、 Ｊ、の値を
求めると第８図のようになる。このグラフにおいて縦軸
は、第４図に示したのと同様、第１のコイル１５ａ及び
＠２のコイル１５ａの各々について与えられた起磁力Ｊ
、 、 Ｊ、を個々に示す。また横軸は上記Ｊ１とＪ２
とを加え合わせて得られる、励磁コイル１５全体の起磁
力、■を示す。このように、０≦Ｊ≦２０００（ＡＴ）
の成る値の励磁コイル１５起磁カ２得るに際して、この
グラフに示したＪ、 、 Ｊ、に各コイル１５ａ 、
１５ｂの起磁力と設定すれば、電子レンズ１０内におけ
る点Ａの温度を一定に保つことが出来、励磁変化に伴う
電子レンズ１０部品の熱膨引φによってフォーカスドリ
フトや試料ステージのドリフトが生じるのを防止するこ
とが出来る。
このようなグラフ上で励磁コイル１５の所定の励磁力を
選択し、これに対して各コイル１５ａ。
選択し、これに対して各コイル１５ａ。
１５ｂに所定の起磁力、Ｔ、 、 、Ｊ２を発生させる
コイル励磁機構が第９図に示しである。ここに示したコ
イル励磁機構は、第１のコイル１５ａにおける励磁を調
整する第１コイル制御回路５と、第２のコイル１５ｂに
おける励磁を調整する第２コイル制御回路２６とを有し
、第１及び第２コイル制御回路２５ 、２６は共にコン
ピュータ３４に接続されて、ここからの指令により作動
するようになっている。コンピュータ３４には、励磁コ
イル１５によって生成される電子レンズ１０の起磁力に
対応する各コイル１５ａ 、 １５ｂの起磁力と決定す
るための、第８図に表わされたグラフに従った情報が記
憶されＬＬ ″）演算される。また、コンピュータ３４
には角、Ｔレンズ１０の起磁力とダイヤル操作等によつ
゛Ｃ設定するための設定機ｔ：Ｉ ３５が接続され、所
定の起磁力Ｊ（笛８図の例ではＯ≦Ｊ≦２０００（Ａ’
Ｌ’） ） を選択出来るようになっているう第１コイ
ル１１・１ｊら＋６回路２５は、？Ｊ？、源加＋ ｉｋ
列制御トランジスタ２１．電流値検出抵抗％、Ｓ１“目
ｐ増巾器２２．及びＪ）・Ａ変換器（ディジタル・アナ
ログ変換器）による基準電圧発生源２３によってｆＭ成
される、いわゆる定電流１ｊ−ｉｌ路であり、コイル１
５ａの励６７Ｊ ７ＩＬ流は、Ｄ ・Ａ変ｍ 器、？２
［入力＝＜ しるディジタル信号により制御される。
コイル励磁機構が第９図に示しである。ここに示したコ
イル励磁機構は、第１のコイル１５ａにおける励磁を調
整する第１コイル制御回路５と、第２のコイル１５ｂに
おける励磁を調整する第２コイル制御回路２６とを有し
、第１及び第２コイル制御回路２５ 、２６は共にコン
ピュータ３４に接続されて、ここからの指令により作動
するようになっている。コンピュータ３４には、励磁コ
イル１５によって生成される電子レンズ１０の起磁力に
対応する各コイル１５ａ 、 １５ｂの起磁力と決定す
るための、第８図に表わされたグラフに従った情報が記
憶されＬＬ ″）演算される。また、コンピュータ３４
には角、Ｔレンズ１０の起磁力とダイヤル操作等によつ
゛Ｃ設定するための設定機ｔ：Ｉ ３５が接続され、所
定の起磁力Ｊ（笛８図の例ではＯ≦Ｊ≦２０００（Ａ’
Ｌ’） ） を選択出来るようになっているう第１コイ
ル１１・１ｊら＋６回路２５は、？Ｊ？、源加＋ ｉｋ
列制御トランジスタ２１．電流値検出抵抗％、Ｓ１“目
ｐ増巾器２２．及びＪ）・Ａ変換器（ディジタル・アナ
ログ変換器）による基準電圧発生源２３によってｆＭ成
される、いわゆる定電流１ｊ−ｉｌ路であり、コイル１
５ａの励６７Ｊ ７ＩＬ流は、Ｄ ・Ａ変ｍ 器、？２
［入力＝＜ しるディジタル信号により制御される。
’ＰＲ２’：Ｉ イｆｉｖ ｔｉｔｆｌ ｆａｌｌ １
ｌｉｌ ｖｉｉ ２６ｆＪ、Ｒ（ｆ’ｓ：’、 ２１
＋ ２１３、ｎ列制御トランジスタ２９ 、３０．１に
流値検出抵抗３３、誤差増巾器３１、及びＤ−Ａ変Ｐ監
による〕１仁準７１ｊ圧発生源によって４９１７７すさ
れる、いわゆる両極１・１゜定電流源であり、コイル１
５＋、の励磁電流ｔ：Ｉ１．１）・Ａ変換器３２に入力
されるディジタル信号によりｊＥ力方向ら逆方向までの
電源が制御される。
ｌｉｌ ｖｉｉ ２６ｆＪ、Ｒ（ｆ’ｓ：’、 ２１
＋ ２１３、ｎ列制御トランジスタ２９ 、３０．１に
流値検出抵抗３３、誤差増巾器３１、及びＤ−Ａ変Ｐ監
による〕１仁準７１ｊ圧発生源によって４９１７７すさ
れる、いわゆる両極１・１゜定電流源であり、コイル１
５＋、の励磁電流ｔ：Ｉ１．１）・Ａ変換器３２に入力
されるディジタル信号によりｊＥ力方向ら逆方向までの
電源が制御される。
かかるも“η成と有するコイル励磁イ幾構において、コ
ンピュータ３４から第１コイル制御厄回路四へは第８図
中ＪＩの変化曲線に従ったディジタル信号が送られる一
方、第２コイル制御回路２６へは同図中Ｊ、の変化曲線
に従ったディジタル信号が送られ、それぞれに対応した
励磁電流がコイル１５ａ。
ンピュータ３４から第１コイル制御厄回路四へは第８図
中ＪＩの変化曲線に従ったディジタル信号が送られる一
方、第２コイル制御回路２６へは同図中Ｊ、の変化曲線
に従ったディジタル信号が送られ、それぞれに対応した
励磁電流がコイル１５ａ。
１５ｂに流れる。したがって、いま設定機構３５２作動
することにより、電子レンズ１０に所定の起磁力（例え
ばＪ ＝ １０００（ＡＴ）とする）を発生させるもの
とする。この場合、第８図のグラフによれば、 であれば、上記起磁力Ｊ ＝１０００（ＡＴ）が得られ
、且つ点Ａにおける温度は所定の値に保たれることがわ
かる。
することにより、電子レンズ１０に所定の起磁力（例え
ばＪ ＝ １０００（ＡＴ）とする）を発生させるもの
とする。この場合、第８図のグラフによれば、 であれば、上記起磁力Ｊ ＝１０００（ＡＴ）が得られ
、且つ点Ａにおける温度は所定の値に保たれることがわ
かる。
また、コンピュータ３４には調節機構３７を接続してお
き、この調Ｎ′ｉ機構３７を作動させることにより、レ
ンズ起磁力可変範囲の任意の起磁力に対し、この起磁力
の大きさを一定に保ったままで、各コイルにおける励磁
比を変化させるようにすることも出来る。
き、この調Ｎ′ｉ機構３７を作動させることにより、レ
ンズ起磁力可変範囲の任意の起磁力に対し、この起磁力
の大きさを一定に保ったままで、各コイルにおける励磁
比を変化させるようにすることも出来る。
さらに、この様なコイル励磁機構において、コンピュー
タ３４には、電子レンズ１０の起磁力変化に伴なう温度
変化を検出する温度検出器３６を接続し、温度検出器３
６の検出朱子を電子レンズ和の成る定点（例えば点Ａ）
に設定すると共に、この温度検出器３１Ｊからの信号に
基づいてコンピュータ３４が１１バ幻し且つ所定の指令
を発する俤に１台成し、各コイルｉ５ａ 、 １５ｂの
起磁力をＷ１１節することにより電子レンズ１０の励Ｍ
ｉｊ変化に伴なう府Ａにおける温度変化が０となるよう
にすることも出来る。これにより、点Ａでは現実の温度
測定値を基にして温度が一定になるように調整される。
タ３４には、電子レンズ１０の起磁力変化に伴なう温度
変化を検出する温度検出器３６を接続し、温度検出器３
６の検出朱子を電子レンズ和の成る定点（例えば点Ａ）
に設定すると共に、この温度検出器３１Ｊからの信号に
基づいてコンピュータ３４が１１バ幻し且つ所定の指令
を発する俤に１台成し、各コイルｉ５ａ 、 １５ｂの
起磁力をＷ１１節することにより電子レンズ１０の励Ｍ
ｉｊ変化に伴なう府Ａにおける温度変化が０となるよう
にすることも出来る。これにより、点Ａでは現実の温度
測定値を基にして温度が一定になるように調整される。
この調整は、起磁力変化後のある一定時間だけ作動し、
後解除してもよい。このとき各コイルの励磁は、作動後
の励磁を保持するようにする。また、総体的な温度調整
は既に述べたように第８図に示すグラフ図に従った指令
をコンヒュータ３４が送シ出すことによって行い、上記
温度検出器３６け各コイルｉ５ａ 、 １５ｂの励磁の
微調整に用いるという方法もある。
後解除してもよい。このとき各コイルの励磁は、作動後
の励磁を保持するようにする。また、総体的な温度調整
は既に述べたように第８図に示すグラフ図に従った指令
をコンヒュータ３４が送シ出すことによって行い、上記
温度検出器３６け各コイルｉ５ａ 、 １５ｂの励磁の
微調整に用いるという方法もある。
以上説明したように、本発明によれば、電子レンズの励
磁コイルを複数個の電流を可変し得るコイルから構成し
、所定のコイル励磁機構によってコイルを流れる電流を
可変し、コイル巻枠或はこれをとり囲む磁気ヨークの一
定点の温度がレンズ起磁力によらずほぼ一定となるよう
にしたため、フォーカスドリフトや試料ドリフトが発生
しなくなり、極めて作動性能のよい電子レンズを提供す
ることが出来るようになった。
磁コイルを複数個の電流を可変し得るコイルから構成し
、所定のコイル励磁機構によってコイルを流れる電流を
可変し、コイル巻枠或はこれをとり囲む磁気ヨークの一
定点の温度がレンズ起磁力によらずほぼ一定となるよう
にしたため、フォーカスドリフトや試料ドリフトが発生
しなくなり、極めて作動性能のよい電子レンズを提供す
ることが出来るようになった。
第１図は電子レンズの一従来例を示す断面図、第２図は
電子レンズの他の従来例と示す断面図、第３図は本発明
が適用される電子レンズを示す断Ｗｉ図、第４図は第３
図に示す電子レンズにおいて従来におけるごとく励磁コ
イルからの総発熱量が一定となるようにしたときの、各
コイルの起磁力Ｊ、 、 Ｊ２の相関例？示すグラフ図
、第５図は第４１ｆｌのグラフ図に従って励磁コイルの
励磁を変化させた際の＠３図中点Ａにおける温度変化を
記録したチャート図、第６図は、第３図に示す電子レン
ズにおいてＪ２を各挿具なった一定の値に保ったま一！
Ｊ、ｅ変化させたときの点Ａにおける温度変化の状郭を
示ずグラフ図、第７図は第６図において直線りによって
示される如く、点Ａにおける温度設定値と一定にするた
めのＪ、とＪ、との相関例を示すグラフ図、第８図は第
７図の４１−Ｔ開園と基に求めた、任意のレンズ起磁力
Ｊに対して点Ａにおける温度を一定にするための各コイ
ルの起磁力Ｊ、 、 Ｊ２の相関例を示す図、第９図は
第８図に示す４１１関図に基づいて、レンズの励磁変化
に伴ない各コイルに流れる電流２制御するコイル励磁機
構の一例を示す図である。 １ 、１１・・・ヨーク ２ 、１２・・・レン
ズ間隙３．１３・・・コイル巻枠 ４，１４・・・冷
却手段５．１５・・・励磁コイル ２５・・・第１コ
イル制御回路２６・・・第２コイル制御回路 ３４・・
・コンピュータ３５・・・設定機構 ３６・・
・温度検出器３７・・・調ｆｆｉ’ｉ櫨構 特許出願人 株式会社国際精工１ 代理人 弁理士 土 橋 皓 ・第１図 第２図 第３図 第４図 第６図 Ｊ、（ＡＴ） 第７図 ０”００１Ｊ＋Ｉ（ＡＴ）
電子レンズの他の従来例と示す断面図、第３図は本発明
が適用される電子レンズを示す断Ｗｉ図、第４図は第３
図に示す電子レンズにおいて従来におけるごとく励磁コ
イルからの総発熱量が一定となるようにしたときの、各
コイルの起磁力Ｊ、 、 Ｊ２の相関例？示すグラフ図
、第５図は第４１ｆｌのグラフ図に従って励磁コイルの
励磁を変化させた際の＠３図中点Ａにおける温度変化を
記録したチャート図、第６図は、第３図に示す電子レン
ズにおいてＪ２を各挿具なった一定の値に保ったま一！
Ｊ、ｅ変化させたときの点Ａにおける温度変化の状郭を
示ずグラフ図、第７図は第６図において直線りによって
示される如く、点Ａにおける温度設定値と一定にするた
めのＪ、とＪ、との相関例を示すグラフ図、第８図は第
７図の４１−Ｔ開園と基に求めた、任意のレンズ起磁力
Ｊに対して点Ａにおける温度を一定にするための各コイ
ルの起磁力Ｊ、 、 Ｊ２の相関例を示す図、第９図は
第８図に示す４１１関図に基づいて、レンズの励磁変化
に伴ない各コイルに流れる電流２制御するコイル励磁機
構の一例を示す図である。 １ 、１１・・・ヨーク ２ 、１２・・・レン
ズ間隙３．１３・・・コイル巻枠 ４，１４・・・冷
却手段５．１５・・・励磁コイル ２５・・・第１コ
イル制御回路２６・・・第２コイル制御回路 ３４・・
・コンピュータ３５・・・設定機構 ３６・・
・温度検出器３７・・・調ｆｆｉ’ｉ櫨構 特許出願人 株式会社国際精工１ 代理人 弁理士 土 橋 皓 ・第１図 第２図 第３図 第４図 第６図 Ｊ、（ＡＴ） 第７図 ０”００１Ｊ＋Ｉ（ＡＴ）
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １）電子レンズの励磁コイルを複数個のコイルからｔ１
１成し、当該複数個のコイルのうち、少なくとも二個具
Ｊ二のコイルに、当該コイルを流れるｔｔＬ流の大きさ
が０以外に二段以上、または連続的に可変するようにコ
イル励磁機構を接続し、このコイル励磁機構によって、
コイル巻枠或はこれと取シ囲む磁気ヨークの一定点の温
度がレンズ起磁力によらず峰は一定となるように、レン
ズ起磁力に応じて各コイ次に互いに相関した大きざの電
流を導通させるようにしたことを特徴とする電子レンズ
。 ２）レンズ起磁力可変範囲の任意の起磁力に対し、この
起磁力の大きさを一定に保ったままで、各コイルにおけ
る起磁力の配分を変化させることができる調ｆＩｒｉ機
構を有する特許請求の範囲第１項記載の電子レンズ。 ３）コイル励磁機構には、コイル巻枠あるいは磁気ヨー
クの定点に温度検出素子と設けた温度検出器と組込み、
この温度検出素子により上記２１点における温度を検出
し、レンズ起磁力を変えても上記定点における温度が一
定となるように各コイルに流れる′■流を制御するよう
にした・ことと特徴とする特１１４’ ｍｆ４求の範囲
第１項又は第２項記載の電子レンズ。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19178782A JPS5981850A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 電子レンズ |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP19178782A JPS5981850A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 電子レンズ |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5981850A true JPS5981850A (ja) | 1984-05-11 |
| JPH0234419B2 JPH0234419B2 (ja) | 1990-08-03 |
Family
ID=16280529
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP19178782A Granted JPS5981850A (ja) | 1982-11-02 | 1982-11-02 | 電子レンズ |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5981850A (ja) |
Cited By (10)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62100936A (ja) * | 1985-10-28 | 1987-05-11 | Shimadzu Corp | 荷電粒子線を用いた分析装置の試料汚染防止方法 |
| US4735288A (en) * | 1986-01-24 | 1988-04-05 | Ckd Kabushiki Kaisha | Detachably attaching mechanism for cup of lubricator or filter used with air-actuated device |
| EP0596529A1 (en) * | 1992-11-06 | 1994-05-11 | Hitachi, Ltd. | Electron lens |
| US6429607B1 (en) | 2000-08-15 | 2002-08-06 | International Business Machines Corporation | Constant power dynamic focus coil |
| EP1498929A2 (en) * | 2003-07-14 | 2005-01-19 | FEI Company | Magnetic lens |
| JP2005038853A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-10 | Fei Co | 二重ビーム装置 |
| JP2007335134A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
| US8183547B2 (en) | 2009-05-28 | 2012-05-22 | Fei Company | Dual beam system |
| JP2019050189A (ja) * | 2017-08-08 | 2019-03-28 | エクスロン インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＹｘｌｏｎ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｇｍｂｈ | Ｘ線管用の対物レンズ及び集束レンズ、ｘ線管並びにそのようなｘ線管を操作する方法 |
| JP2020087701A (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の制御方法 |
Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57151160A (en) * | 1981-03-16 | 1982-09-18 | Internatl Precision Inc | Electron lens |
-
1982
- 1982-11-02 JP JP19178782A patent/JPS5981850A/ja active Granted
Patent Citations (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS57151160A (en) * | 1981-03-16 | 1982-09-18 | Internatl Precision Inc | Electron lens |
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| JP2005038857A (ja) * | 2003-07-14 | 2005-02-10 | Fei Co | 磁界レンズ |
| EP1498929A2 (en) * | 2003-07-14 | 2005-01-19 | FEI Company | Magnetic lens |
| EP1498929A3 (en) * | 2003-07-14 | 2009-09-02 | FEI Company | Magnetic lens |
| JP2011151042A (ja) * | 2003-07-14 | 2011-08-04 | Fei Co | 磁界レンズ |
| US8013311B2 (en) | 2003-07-14 | 2011-09-06 | Fei Company | Dual beam system |
| JP2007335134A (ja) * | 2006-06-13 | 2007-12-27 | Hitachi High-Technologies Corp | 走査電子顕微鏡 |
| JP4719628B2 (ja) * | 2006-06-13 | 2011-07-06 | 株式会社日立ハイテクノロジーズ | 走査電子顕微鏡 |
| US8183547B2 (en) | 2009-05-28 | 2012-05-22 | Fei Company | Dual beam system |
| JP2019050189A (ja) * | 2017-08-08 | 2019-03-28 | エクスロン インターナショナル ゲゼルシャフト ミット ベシュレンクテル ハフツングＹｘｌｏｎ Ｉｎｔｅｒｎａｔｉｏｎａｌ Ｇｍｂｈ | Ｘ線管用の対物レンズ及び集束レンズ、ｘ線管並びにそのようなｘ線管を操作する方法 |
| JP2020087701A (ja) * | 2018-11-26 | 2020-06-04 | 日本電子株式会社 | 荷電粒子線装置及び荷電粒子線装置の制御方法 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0234419B2 (ja) | 1990-08-03 |
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