JPS5981077U - 薄膜形成用基板収納ラツク構造 - Google Patents
薄膜形成用基板収納ラツク構造Info
- Publication number
- JPS5981077U JPS5981077U JP17654082U JP17654082U JPS5981077U JP S5981077 U JPS5981077 U JP S5981077U JP 17654082 U JP17654082 U JP 17654082U JP 17654082 U JP17654082 U JP 17654082U JP S5981077 U JPS5981077 U JP S5981077U
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- thin film
- substrate storage
- film formation
- storage rack
- rack structure
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Cooling Or The Like Of Electrical Apparatus (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
第１．２図は従来技術に基づく薄膜形成プラントの概略
説明断面図、第３図以下はこの考案の実施例の説明図で
あり、第３〜７図は近接体の斜視図、第８図は第７図Ａ
部拡大斜視図、第９，１０図は第３．６図近接体のラッ
ク取付縦断面図、第１１図は他の実施例の基体斜視図、
第１２図は同ラックセット状態の断面図、第１３図以下
は実験例の説明図であって、第１３図は１つの実験例の
実験例の平面図、第１４図は第１３図Ｂ−Ｂ断面図、第
１５図は製品斜視図、第１６図は別の実験例の近接体の
斜視図、第１７図は不均質薄膜の模様パターン平面図で
ある。 １１・・・・・・薄膜形成装置、１・・・・・・真空装
置、２・・・・・・処理室、３．３’、３″・・・・・
・収納室、７，１１゜１３．１５，１７，１９．２６・
・・・・・近接体、７・・・・・・基板、５・・・・・
・ラック、１３・・・・・・薄膜形成面、Ｈ・・・・・
・排気抵抗間隔。
説明断面図、第３図以下はこの考案の実施例の説明図で
あり、第３〜７図は近接体の斜視図、第８図は第７図Ａ
部拡大斜視図、第９，１０図は第３．６図近接体のラッ
ク取付縦断面図、第１１図は他の実施例の基体斜視図、
第１２図は同ラックセット状態の断面図、第１３図以下
は実験例の説明図であって、第１３図は１つの実験例の
実験例の平面図、第１４図は第１３図Ｂ−Ｂ断面図、第
１５図は製品斜視図、第１６図は別の実験例の近接体の
斜視図、第１７図は不均質薄膜の模様パターン平面図で
ある。 １１・・・・・・薄膜形成装置、１・・・・・・真空装
置、２・・・・・・処理室、３．３’、３″・・・・・
・収納室、７，１１゜１３．１５，１７，１９．２６・
・・・・・近接体、７・・・・・・基板、５・・・・・
・ラック、１３・・・・・・薄膜形成面、Ｈ・・・・・
・排気抵抗間隔。
Claims (1)
- 薄膜形成装置を有し真空装置に接続される処理室に連接
する基板の収納室に設けられた基板収納ラック構造にお
いて、該ラックの棚類の対基板近接体が該基板の薄膜形
成面に対向する面を実質的一定排気抵抗間隔を介して設
置されていることを特徴とする薄膜形成用基板収納ラッ
ク構造。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17654082U JPS5981077U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 薄膜形成用基板収納ラツク構造 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP17654082U JPS5981077U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 薄膜形成用基板収納ラツク構造 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5981077U true JPS5981077U (ja) | 1984-05-31 |
Family
ID=30383795
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP17654082U Pending JPS5981077U (ja) | 1982-11-24 | 1982-11-24 | 薄膜形成用基板収納ラツク構造 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5981077U (ja) |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS506195A (ja) * | 1972-11-21 | 1975-01-22 | ||
| JPS5681922A (en) * | 1979-12-06 | 1981-07-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Manufacture of thin film |
-
1982
- 1982-11-24 JP JP17654082U patent/JPS5981077U/ja active Pending
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS506195A (ja) * | 1972-11-21 | 1975-01-22 | ||
| JPS5681922A (en) * | 1979-12-06 | 1981-07-04 | Sumitomo Electric Ind Ltd | Manufacture of thin film |
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