JPS5977330A - グロスリ−ク試験装置 - Google Patents
グロスリ−ク試験装置Info
- Publication number
- JPS5977330A JPS5977330A JP18855682A JP18855682A JPS5977330A JP S5977330 A JPS5977330 A JP S5977330A JP 18855682 A JP18855682 A JP 18855682A JP 18855682 A JP18855682 A JP 18855682A JP S5977330 A JPS5977330 A JP S5977330A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- tested
- article
- test
- absence
- bubbles
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- Pending
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/06—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by observing bubbles in a liquid pool
- G01M3/10—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by observing bubbles in a liquid pool for containers, e.g. radiators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、半導体装ｆｉｌ（中空パッケージ）の気密
性を試験するためのグロスリーク試験装置に関するもの
である。
性を試験するためのグロスリーク試験装置に関するもの
である。
従来、この種の試験装置としては、第１図に示すものが
あった。
あった。
この図において、１は試験槽、２は不活性液体（フッ素
系）、３は前記不活性液体２を加熱し、対流を発生させ
るためのヒータ、４は半導体デバイス等の被試験品、５
は気密性不良のために発生した気泡を示す。６は液■で
ある。
系）、３は前記不活性液体２を加熱し、対流を発生させ
るためのヒータ、４は半導体デバイス等の被試験品、５
は気密性不良のために発生した気泡を示す。６は液■で
ある。
試験に際しては、あらかじめ加熱された不活性液体２中
へ、被試験品４を浸漬し、この被試験品４からの気泡５
０発生の有無を調べる方法が、グロスリーク試験方法で
ある。
へ、被試験品４を浸漬し、この被試験品４からの気泡５
０発生の有無を調べる方法が、グロスリーク試験方法で
ある。
上記した従来の装置では、不活性液体２中で、被試験品
４は静止状態であり、封止が不完全なものでも、かろう
じて接着され又いるものは気泡５０発生はなく、良品と
判断されるなど封止不完全品を完全に除去できない欠点
があった。
４は静止状態であり、封止が不完全なものでも、かろう
じて接着され又いるものは気泡５０発生はなく、良品と
判断されるなど封止不完全品を完全に除去できない欠点
があった。
この発明は、上記のような従来のものの欠点を除去する
ために、不活性液体中で、超音波振動を被試験品に与え
、接着不充分なものでも完全に検出できるグロスリーク
試験装置を提供することな目的としている。以下この発
明を図面に基づいて説明する。
ために、不活性液体中で、超音波振動を被試験品に与え
、接着不充分なものでも完全に検出できるグロスリーク
試験装置を提供することな目的としている。以下この発
明を図面に基づいて説明する。
第２図はこの発明の一実施例を示１断面略図である。
第２図において、１〜６は第１図と同じものを示し、Ｔ
は前記被試験品４に超音波振動を加える超音波発生用の
振動体である。振動体Ｔとしては≧２０ ＫＨ１のもの
を用いる。
は前記被試験品４に超音波振動を加える超音波発生用の
振動体である。振動体Ｔとしては≧２０ ＫＨ１のもの
を用いる。
次に動作について説明する。第２図において、あらかじ
め加熱された不活性液体２中へ、被試験品４を浸漬させ
、この後で、振動体Ｔから超音波振動を被試験品４に加
えながら、被試験品４からの気泡５の有無を検出する。
め加熱された不活性液体２中へ、被試験品４を浸漬させ
、この後で、振動体Ｔから超音波振動を被試験品４に加
えながら、被試験品４からの気泡５の有無を検出する。
このように超音波振動を与えると、封止不完全品も確実
に不良品とし℃検出することができる。
に不良品とし℃検出することができる。
以上説明したよう罠、この発明は、不活性液体中で、被
試験品に超音波振動を加えるようにしたので、従来見落
していた封止不完全品をも完全に検出できる効果がある
。
試験品に超音波振動を加えるようにしたので、従来見落
していた封止不完全品をも完全に検出できる効果がある
。
第１図は従来の半導体装置のグロスリーク試験装置を示
す断面略図、第２図はこの発明の一実施例を示す断面略
図である。 図中、１は試験槽、２は不活性液体、３は加熱用ヒータ
、４は被試験品、５は気泡、６は液面、７は振動体であ
る。 代理人 葛 野 信 −（外１名） 第１図 第２図
す断面略図、第２図はこの発明の一実施例を示す断面略
図である。 図中、１は試験槽、２は不活性液体、３は加熱用ヒータ
、４は被試験品、５は気泡、６は液面、７は振動体であ
る。 代理人 葛 野 信 −（外１名） 第１図 第２図
Claims (1)
- 加熱した不活性液体中に、被試験品を浸漬し気泡の発生
の有無から気密性試験を行なう装置において、超音波振
動を前記被試験品に加える振動体を設けたことを特徴と
するグロスリーク試験装ｆＩＬｅ
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18855682A JPS5977330A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | グロスリ−ク試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18855682A JPS5977330A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | グロスリ−ク試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5977330A true JPS5977330A (ja) | 1984-05-02 |
Family
ID=16225755
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18855682A Pending JPS5977330A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | グロスリ−ク試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5977330A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0540853A2 (de) * | 1991-11-06 | 1993-05-12 | CC KONTROLLANLAGEN GmbH | Verfahren zum Feststellen der Dichtigkeit von Behältnissen wie Flaschen, Dosen, Fässern, Kästen mit Flaschen, Kästen mit Dosen oder dergleichen, die mit durch ein Gas versetzten Getränken, z. B. mit Säften, Cola, Bier, Limonaden oder dergleichen gefüllt sind und mit einem geeignetem Verschluss abgedichtet und verschlossen sind und Einrichtung zum Durchführen des Verfahrens |
| EP0952439A1 (en) * | 1998-04-21 | 1999-10-27 | The Procter & Gamble Company | An improved water bath test for aerosols |
| JP2004245752A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 封止試験方法およびその装置 |
-
1982
- 1982-10-25 JP JP18855682A patent/JPS5977330A/ja active Pending
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0540853A2 (de) * | 1991-11-06 | 1993-05-12 | CC KONTROLLANLAGEN GmbH | Verfahren zum Feststellen der Dichtigkeit von Behältnissen wie Flaschen, Dosen, Fässern, Kästen mit Flaschen, Kästen mit Dosen oder dergleichen, die mit durch ein Gas versetzten Getränken, z. B. mit Säften, Cola, Bier, Limonaden oder dergleichen gefüllt sind und mit einem geeignetem Verschluss abgedichtet und verschlossen sind und Einrichtung zum Durchführen des Verfahrens |
| EP0952439A1 (en) * | 1998-04-21 | 1999-10-27 | The Procter & Gamble Company | An improved water bath test for aerosols |
| JP2004245752A (ja) * | 2003-02-17 | 2004-09-02 | Murata Mfg Co Ltd | 封止試験方法およびその装置 |
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