JPH0254141A - 封止体の気密度試験装置 - Google Patents
封止体の気密度試験装置Info
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- JPH0254141A JPH0254141A JP20529388A JP20529388A JPH0254141A JP H0254141 A JPH0254141 A JP H0254141A JP 20529388 A JP20529388 A JP 20529388A JP 20529388 A JP20529388 A JP 20529388A JP H0254141 A JPH0254141 A JP H0254141A
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は封止体の気密度試験装置に関し、特に電気機器
の気密封正体の気密度試験装置に関する。
の気密封正体の気密度試験装置に関する。
従来のこの種の気密度試験手段としては、第５図に示す
ように真空装置１１によって真空とした封止体収納器１
２内にヘリウムガス等を封入し、封止後にヘリウム分子
を真空引きして検出するヘリウム分子検出器１３と検出
したヘリウム分子の数を数えるカウンタ１４と、カウン
タ１４で計数した結果によって良否を判定する良否判定
器１５を有するものや、第６図に示すように１容器２２
中に入れた表面張力の小さい検出液２３に封止体２４を
浸け、容器２２を加熱器２１で加熱して封止体２４から
の発＋Ｌｉｔを肉眼２５で検出するバブル法が採用され
ている。
ように真空装置１１によって真空とした封止体収納器１
２内にヘリウムガス等を封入し、封止後にヘリウム分子
を真空引きして検出するヘリウム分子検出器１３と検出
したヘリウム分子の数を数えるカウンタ１４と、カウン
タ１４で計数した結果によって良否を判定する良否判定
器１５を有するものや、第６図に示すように１容器２２
中に入れた表面張力の小さい検出液２３に封止体２４を
浸け、容器２２を加熱器２１で加熱して封止体２４から
の発＋Ｌｉｔを肉眼２５で検出するバブル法が採用され
ている。
上述したような従来の封止体の気密度の試験手業時間が
長〜・ため多数個を１度に試験すると不良品の識別がで
きなくなる等の欠点がある。また、後者の場合は、フロ
ロカーボン等の検出液中から出るバブルの状態を目で見
て検出するため、検出レベルが低いことと、計量的なデ
ータが得られない等の欠点がある。さらに、これらは必
ず人手を介する必要があるため、多量生産時に無人で高
速に判定を下すことができないという大きな生産上の欠
点もある。
長〜・ため多数個を１度に試験すると不良品の識別がで
きなくなる等の欠点がある。また、後者の場合は、フロ
ロカーボン等の検出液中から出るバブルの状態を目で見
て検出するため、検出レベルが低いことと、計量的なデ
ータが得られない等の欠点がある。さらに、これらは必
ず人手を介する必要があるため、多量生産時に無人で高
速に判定を下すことができないという大きな生産上の欠
点もある。
本発明の目的は、上述のような従来の封止体の試験手段
の欠点を解消して、高速かつ自動的忙封止体の気密度を
計量することのできる封止体の気密度試験装置を提供す
ることにおる。
の欠点を解消して、高速かつ自動的忙封止体の気密度を
計量することのできる封止体の気密度試験装置を提供す
ることにおる。
本発明の封止体の気密度試験装置は、封止体を加熱する
加熱器と、封止体の外装部の個有撮動数を検出するだめ
の超音波を発射する複音貫と、封。
加熱器と、封止体の外装部の個有撮動数を検出するだめ
の超音波を発射する複音貫と、封。
正体から反射してきた超音波を受信する受音センサーと
、封止体の振動数を検出する検出回路部とを備えている
。
、封止体の振動数を検出する検出回路部とを備えている
。
すなわち、本発明の封止体の気密度試験装置は、封止体
を所定の温度に加熱して前記封止体内の気体を膨張させ
る加熱部と、前記封止体に対して超音波を発射する複音
器と、前記封止体から反射した前記超音波を受信する受
信センサと、前記受音センナからの信号を入力して前記
封止体の外装部の個有撮動数の変化を検出する封止体撮
動数変換器と、前記封止体振動数変換器からの信号によ
って前記封止体の良否を判定する良否判断回路とを備え
ている。
を所定の温度に加熱して前記封止体内の気体を膨張させ
る加熱部と、前記封止体に対して超音波を発射する複音
器と、前記封止体から反射した前記超音波を受信する受
信センサと、前記受音センナからの信号を入力して前記
封止体の外装部の個有撮動数の変化を検出する封止体撮
動数変換器と、前記封止体振動数変換器からの信号によ
って前記封止体の良否を判定する良否判断回路とを備え
ている。
次に、本発明の実施例について図面を参照して説明する
。
。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図であり、本
実施例の基本構成を示すものである。
実施例の基本構成を示すものである。
第１図に示すように、本実施例の基本構成要素として、
封止体を加熱して封止体内の気圧を上げるための加熱装
置ｔｌを有している。加熱装置１は被試験体の封止体４
１を試験のための最適温度すなわち検出時のＳ／Ｎ比が
最大となる温度に温度調節器４によって調節する。他の
構成要素として封止体の外装等の振動数を検出するため
の装＋＃を有している。すなわち封止体４１を加熱して
封止８し 体４１内圧かパ上昇すると封止体４１の外装部は膨張し
て固有撮動数が上昇する。この固有振動数を一一ノ′ 封止体４１超音波を複音してその反射音を受音すること
によって計算し、封止体の気層ノ屍の良否を判定する。
封止体を加熱して封止体内の気圧を上げるための加熱装
置ｔｌを有している。加熱装置１は被試験体の封止体４
１を試験のための最適温度すなわち検出時のＳ／Ｎ比が
最大となる温度に温度調節器４によって調節する。他の
構成要素として封止体の外装等の振動数を検出するため
の装＋＃を有している。すなわち封止体４１を加熱して
封止８し 体４１内圧かパ上昇すると封止体４１の外装部は膨張し
て固有撮動数が上昇する。この固有振動数を一一ノ′ 封止体４１超音波を複音してその反射音を受音すること
によって計算し、封止体の気層ノ屍の良否を判定する。
このための複音器は、音源４４とホーン４３と投置コン
トローラー５とを有している。
トローラー５とを有している。
反射音の受音は、ホーン４３で行ない、受音センサ３を
通して封止体撮動数変換器７でその撮動数を検出し、良
否の判断［ｑ路８で良否の判断を行なう。
通して封止体撮動数変換器７でその撮動数を検出し、良
否の判断［ｑ路８で良否の判断を行なう。
次に上述の冥施例の動作を第２図を参照して説明する。
封止体４１は、加熱器ｆｆｊｔ１によって最適温度に保
たれている。封止体４１の被測定部に向け′〔複音器の
ホー７４３がセットされている。ホーン−非し′ ４３は複音部および受音部となり、複音のときには検音
コントローラ５によって音源４４から超音波を封止体４
１に発射し、受音のときには封止体４１から反射した音
波を精度良くとらえ、受音センサ３を通して電気信号を
ケーブル４６を介して撮動体振動数変換器４７に送り、
良否判断回路８によってこのときの封止体撮動数からそ
の気密度を判定する。
たれている。封止体４１の被測定部に向け′〔複音器の
ホー７４３がセットされている。ホーン−非し′ ４３は複音部および受音部となり、複音のときには検音
コントローラ５によって音源４４から超音波を封止体４
１に発射し、受音のときには封止体４１から反射した音
波を精度良くとらえ、受音センサ３を通して電気信号を
ケーブル４６を介して撮動体振動数変換器４７に送り、
良否判断回路８によってこのときの封止体撮動数からそ
の気密度を判定する。
第３図は、上述の実施例における封止体の温度と撮動数
との関係を示すグラフである。
との関係を示すグラフである。
封止体が全くグロスリーク的な被試験体であれば、加熱
によって封止体の外装の固有振動数は上昇しないが、封
止体が気密封止されていると内圧によってその固有撮動
数が上昇する。固有振動数の上昇度が大きい程封正体気
密度の検出が容易である。
によって封止体の外装の固有振動数は上昇しないが、封
止体が気密封止されていると内圧によってその固有撮動
数が上昇する。固有振動数の上昇度が大きい程封正体気
密度の検出が容易である。
第３図において、ｆｏは常温Ｔｏ（２５℃）における封
止体の固有振動数であり、気密度が１０− ’ｃｃ／ｓ
ｅｃ以上の封止体の固有振動数は、温度Ｔ！のとき振動
数ｆ１となる。しかし、封止体の気密度が悪くなると、
温度Ｔ１のときに振動数がｆｌ迄上昇せずｆ２に下る。
止体の固有振動数であり、気密度が１０− ’ｃｃ／ｓ
ｅｃ以上の封止体の固有振動数は、温度Ｔ！のとき振動
数ｆ１となる。しかし、封止体の気密度が悪くなると、
温度Ｔ１のときに振動数がｆｌ迄上昇せずｆ２に下る。
このときの封止体の気密度の良否の判定基準は、第４図
に示すよう忙完全に良品の度数分布曲線Ｆ１と、設定し
た気密度の品物のバラツキを示す分布曲線Ｆ２の間の撮
動数ｆ、に固有振動数ｆを設定する。
に示すよう忙完全に良品の度数分布曲線Ｆ１と、設定し
た気密度の品物のバラツキを示す分布曲線Ｆ２の間の撮
動数ｆ、に固有振動数ｆを設定する。
以上説明したように、本発明の封止体の気密度試験装置
は、封止体を加熱してその内圧を上げ、度を検出するこ
とによって、封止体の気密度を計量的に測定できるとい
う効果がある。また封止体を非接触状態で計測すること
ができ、しかも超音波を利用するため、高速に測定がで
きるという効果があり、従って多量生産ライン中で封止
体を全数試験できるという効果がある。また、加熱器と
没前ホーン等を一体化することＫよって、小形軽址の試
験装置が得られるという効果もある。
は、封止体を加熱してその内圧を上げ、度を検出するこ
とによって、封止体の気密度を計量的に測定できるとい
う効果がある。また封止体を非接触状態で計測すること
ができ、しかも超音波を利用するため、高速に測定がで
きるという効果があり、従って多量生産ライン中で封止
体を全数試験できるという効果がある。また、加熱器と
没前ホーン等を一体化することＫよって、小形軽址の試
験装置が得られるという効果もある。
第１図は本発明の一実施例を示すブロック図、第２図は
第１図の実施例の構成の概略を示す模式図、第３図は第
１図の実施例における温度と固有振動数の関係を示すグ
ラフ、第４図は封止体の気密度と固有振動数分布との関
係を示すグラフ、第５図は従来の封止体の気密度試験装
置の一例を示すブロック図、第６図は従来のバブル法に
よる封止体の気密度試験手段の一例を示す模式図である
。 ｌ・・・・・・加熱装置、３・・・・・・受音センサ、
４・・・・・・温度調節器、５・・・・・・投置コント
ローラ、７・・・・・・封止体振動数変換器、８・・・
・・・良否判断回路、１１・・・・・・真空！ｆ４ｔ、
１２・・・・・・封止体収納器、１３・・・・・・ヘリ
ウム分子検出器、１４・・・・・・カウンタ、１５・・
・・・・良否判定器、２１・・・・・・加熱器、２２・
・・・・・容器、２３・・・・・・検出液、２４・４１
・・・・・・封止体、２６・・・・・・肉眼、４３・・
・・・・ホーン、４４・・・・・・音源、４６・・・・
・・ケーブル。 代理人 弁理士 内 原 晋 蕩廣 （丁う ＊３ 父 条Ｚ図 豹４−図
第１図の実施例の構成の概略を示す模式図、第３図は第
１図の実施例における温度と固有振動数の関係を示すグ
ラフ、第４図は封止体の気密度と固有振動数分布との関
係を示すグラフ、第５図は従来の封止体の気密度試験装
置の一例を示すブロック図、第６図は従来のバブル法に
よる封止体の気密度試験手段の一例を示す模式図である
。 ｌ・・・・・・加熱装置、３・・・・・・受音センサ、
４・・・・・・温度調節器、５・・・・・・投置コント
ローラ、７・・・・・・封止体振動数変換器、８・・・
・・・良否判断回路、１１・・・・・・真空！ｆ４ｔ、
１２・・・・・・封止体収納器、１３・・・・・・ヘリ
ウム分子検出器、１４・・・・・・カウンタ、１５・・
・・・・良否判定器、２１・・・・・・加熱器、２２・
・・・・・容器、２３・・・・・・検出液、２４・４１
・・・・・・封止体、２６・・・・・・肉眼、４３・・
・・・・ホーン、４４・・・・・・音源、４６・・・・
・・ケーブル。 代理人 弁理士 内 原 晋 蕩廣 （丁う ＊３ 父 条Ｚ図 豹４−図
Claims (1)
- 封止体を所定の温度に加熱して前記封止体内の気体を膨
張させる加熱部と、前記封止体に対して超音波を発射す
る投音器と、前記封止体から反射した前記超音波を受信
する受信センサと、前記受信センサからの信号を入力し
て前記封止体の外装部の個有振動数の変化を検出する封
止体振動数変換器と、前記封止体振動数変換器からの信
号によって前記封止体の良否を判定する良否判断回路と
を備えることを特徴とする封止体の気密度試験装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20529388A JPH0254141A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | 封止体の気密度試験装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP20529388A JPH0254141A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | 封止体の気密度試験装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH0254141A true JPH0254141A (ja) | 1990-02-23 |
Family
ID=16504571
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP20529388A Pending JPH0254141A (ja) | 1988-08-17 | 1988-08-17 | 封止体の気密度試験装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH0254141A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5880359A (en) * | 1996-07-26 | 1999-03-09 | Kirin Techno-System Corporation | Container inspecting apparatus |
-
1988
- 1988-08-17 JP JP20529388A patent/JPH0254141A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5880359A (en) * | 1996-07-26 | 1999-03-09 | Kirin Techno-System Corporation | Container inspecting apparatus |
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