JPS58123439A - バブルリ−ク検出装置 - Google Patents
バブルリ−ク検出装置Info
- Publication number
- JPS58123439A JPS58123439A JP598282A JP598282A JPS58123439A JP S58123439 A JPS58123439 A JP S58123439A JP 598282 A JP598282 A JP 598282A JP 598282 A JP598282 A JP 598282A JP S58123439 A JPS58123439 A JP S58123439A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- light
- bubbles
- bubble
- reference light
- liquid
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01M—TESTING STATIC OR DYNAMIC BALANCE OF MACHINES OR STRUCTURES; TESTING OF STRUCTURES OR APPARATUS, NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01M3/00—Investigating fluid-tightness of structures
- G01M3/02—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum
- G01M3/04—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point
- G01M3/06—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by observing bubbles in a liquid pool
- G01M3/10—Investigating fluid-tightness of structures by using fluid or vacuum by detecting the presence of fluid at the leakage point by observing bubbles in a liquid pool for containers, e.g. radiators
Landscapes
- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Examining Or Testing Airtightness (AREA)
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は気体封止の部品、例えばＬＳＩパッケージなど
の気密性を検査するバブルリーク検出装置に関するもの
である。
の気密性を検査するバブルリーク検出装置に関するもの
である。
ＬＳＩパッ’ｙ−ジでは中板部のシリコンテツブが封止
されている。チップから多数のリード線が引き出される
と共にヒートシンクが取付けられた構成をパッケージは
成している。この様な構成に於いては極めて小さな封止
欠陥が存在しても外部から水分の浸入が生ずる危険性が
ある。また、パッケージにはセラミックが一般に使用さ
れているが、このセラミックも欠陥を内在させやすい材
料であることから水分の浸入を起しゃすい。水分の浸入
は極めて小さい穴から行なわれるため、その検出が困難
である。
されている。チップから多数のリード線が引き出される
と共にヒートシンクが取付けられた構成をパッケージは
成している。この様な構成に於いては極めて小さな封止
欠陥が存在しても外部から水分の浸入が生ずる危険性が
ある。また、パッケージにはセラミックが一般に使用さ
れているが、このセラミックも欠陥を内在させやすい材
料であることから水分の浸入を起しゃすい。水分の浸入
は極めて小さい穴から行なわれるため、その検出が困難
である。
パズル発生を観察する最も簡単な方法としては観察用ガ
ラス窓を設けて目視する方法が採られている。
ラス窓を設けて目視する方法が採られている。
一方、気密性を検出するバブルリーク検出方法としては
、特開昭５４−２５８８７号があるが、パッケージから
漏れる気体の量は１／１０００ｃｍ” ｓｅｃ −ｔと
極めて少量であムバプルの径も０．５ Ｗ以下と極めて
小さい。また欠陥が小さい場合には漏れる気体が時間経
過と共に減少し、１０秒はどでパプルの発生が止まる場
合がある。このため前述のバブル検出方法ではバブル検
出が困難であり、短時間の間に微菫なバブル検出ができ
なくてはならない。
、特開昭５４−２５８８７号があるが、パッケージから
漏れる気体の量は１／１０００ｃｍ” ｓｅｃ −ｔと
極めて少量であムバプルの径も０．５ Ｗ以下と極めて
小さい。また欠陥が小さい場合には漏れる気体が時間経
過と共に減少し、１０秒はどでパプルの発生が止まる場
合がある。このため前述のバブル検出方法ではバブル検
出が困難であり、短時間の間に微菫なバブル検出ができ
なくてはならない。
本発明は上述の事柄にもとづいてなされたもので、被試
験体の気密性を容易に且つ正確に検出することができる
バブルリーク検出装置を提供することを目的とするもの
である。
験体の気密性を容易に且つ正確に検出することができる
バブルリーク検出装置を提供することを目的とするもの
である。
本発明の特徴とするところは被試験体を液体槽内に入れ
て内圧を高めることによって欠陥箇所から内部気体を泡
として漏出させ、この漏出した泡を集め、この集められ
た泡に光線を照射することによシ、光強度の変化を計測
して被試験体のバブルの漏出を検出する装置において、
槽内液体を通過させた光線を参照光とし、バブルの信号
を含んだ光線との減法演算によシノイズを除去するよう
にしたものである。 パ 以下、本発明のバブルリーク検出装置の実施例を図面を
用いて説明する。
て内圧を高めることによって欠陥箇所から内部気体を泡
として漏出させ、この漏出した泡を集め、この集められ
た泡に光線を照射することによシ、光強度の変化を計測
して被試験体のバブルの漏出を検出する装置において、
槽内液体を通過させた光線を参照光とし、バブルの信号
を含んだ光線との減法演算によシノイズを除去するよう
にしたものである。 パ 以下、本発明のバブルリーク検出装置の実施例を図面を
用いて説明する。
バブル検出は能率的に行なうためＬＳＩパックージを数
個以上同時に計測した。この場合、ノ（ツケージー個の
計測のくり返しであるので）くツケージ単体の計測例を
説明する。
個以上同時に計測した。この場合、ノ（ツケージー個の
計測のくり返しであるので）くツケージ単体の計測例を
説明する。
液体容器１に貯蔵される液体２をヒータ３によシ加熱し
、ＬＳＩパッケージ４を温めた。ＬＳＩパッケージ４は
内部気体が加熱され内圧が増す。
、ＬＳＩパッケージ４を温めた。ＬＳＩパッケージ４は
内部気体が加熱され内圧が増す。
欠陥箇所から漏れた気体（バブル）５は浮上する。
バブル５はパッケージ４の欠陥箇所から場所を選ばず発
生するが泡状体である漏斗６により一ケ所に集められる
。バブル５は気体であるため浮上するが、浮力のみでは
浮上速度は遅く、壁面に付着されることもある。しかし
、ヒータ３の加熱により液体２が対流を起しているため
液体２の流れに乗シ素速く浮上する。光源７はレーザー
あるいは白色光源である。光源７から発生した光をビー
ムスプリッタ−８で２分し、光線１０をバブル検出光線
とし、参照光１１ｉミラー９を介して光線１０の近傍を
走らせると１箱時にバブル５及び漏斗６を避けて通過さ
せた。光線１０及び参照光１１は各々受光素子１２及び
参照光用の受光素子１３でその光量を計測する。受光索
子１２及び１３で捕えた光の強度は電圧又は電流に変換
される。両者の減算を減法演算装置１４で行なう。減算
処理した信号は増幅器１５にかけ、さらにバンドパスフ
ィルター１６を通し判研装［１７で選択の信号を提示し
た。
生するが泡状体である漏斗６により一ケ所に集められる
。バブル５は気体であるため浮上するが、浮力のみでは
浮上速度は遅く、壁面に付着されることもある。しかし
、ヒータ３の加熱により液体２が対流を起しているため
液体２の流れに乗シ素速く浮上する。光源７はレーザー
あるいは白色光源である。光源７から発生した光をビー
ムスプリッタ−８で２分し、光線１０をバブル検出光線
とし、参照光１１ｉミラー９を介して光線１０の近傍を
走らせると１箱時にバブル５及び漏斗６を避けて通過さ
せた。光線１０及び参照光１１は各々受光素子１２及び
参照光用の受光素子１３でその光量を計測する。受光索
子１２及び１３で捕えた光の強度は電圧又は電流に変換
される。両者の減算を減法演算装置１４で行なう。減算
処理した信号は増幅器１５にかけ、さらにバンドパスフ
ィルター１６を通し判研装［１７で選択の信号を提示し
た。
またパッケージ４と漏斗６０間は狭いほどバブル上昇時
間を短くできるため、１５間以内とした。
間を短くできるため、１５間以内とした。
光線１０は漏斗６の直径を覆うことができるように拡大
させた。この拡大光の場合はスリット状とした。加熱媒
体である液体にはフロリナートを用い、その温度は１２
０Ｃである。
させた。この拡大光の場合はスリット状とした。加熱媒
体である液体にはフロリナートを用い、その温度は１２
０Ｃである。
本発明によれば浮遊するゴミや流体のゆらぎによるノイ
ズは参照光を用いて差し引かれるためバブル検出の誤差
がきわめて低く押えられる。
ズは参照光を用いて差し引かれるためバブル検出の誤差
がきわめて低く押えられる。
図面は本発明のバブルリーク検出装置の一実施例を示す
ものである。 ４・・・被試験体、５・・・泡、６・・・泡状集体、７
・・・光源、８・・・ビームスプリッタ、９・・・ミラ
ー、１０・・・光線、１１・・・参照光、１２．１３・
・・受光素子、１４・・・減法演算器、１５・・・増幅
器、１６・・・フィルタ、１７・・・判定装置。 ；（、攬ｌ ）−Ｊ−
ものである。 ４・・・被試験体、５・・・泡、６・・・泡状集体、７
・・・光源、８・・・ビームスプリッタ、９・・・ミラ
ー、１０・・・光線、１１・・・参照光、１２．１３・
・・受光素子、１４・・・減法演算器、１５・・・増幅
器、１６・・・フィルタ、１７・・・判定装置。 ；（、攬ｌ ）−Ｊ−
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、被試験体を液体槽内に入れて内圧を高めることによ
って欠陥箇所から内部気体を泡として漏出させ、この漏
出した泡を集め、この集められた泡に光線を照射するこ
とによυ光強度の変化を計測して被試験体のバブルの漏
出を検出する装置において、槽内液体を通過させた光線
を参照光とし、バブルの信号を含んだ光線との減法演算
によシノイズを除去するようにしたことを特徴とするバ
ブルリーク検出装置。 ２、バブルの信号を含んだ光線と参照光との減法演算で
ノイズを除去した信号に周波数選択を行うことを特徴と
する特許請求の範囲第１項記載のバブルリーク検出装置
。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP598282A JPS58123439A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | バブルリ−ク検出装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP598282A JPS58123439A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | バブルリ−ク検出装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58123439A true JPS58123439A (ja) | 1983-07-22 |
Family
ID=11626017
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP598282A Pending JPS58123439A (ja) | 1982-01-20 | 1982-01-20 | バブルリ−ク検出装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS58123439A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02128450A (ja) * | 1988-11-07 | 1990-05-16 | Nec Corp | 半導体装置のバブル試験方法 |
| US5237856A (en) * | 1991-06-20 | 1993-08-24 | Expertek, Inc. | Bubble emission volume quantifier |
| US5317901A (en) * | 1985-12-10 | 1994-06-07 | United Technologies Corporation | Nondestructive test for coated carbon-carbon composite articles |
| US11326975B2 (en) * | 2020-03-05 | 2022-05-10 | Mas Automation Corp. | Method of sensing leaking gas |
-
1982
- 1982-01-20 JP JP598282A patent/JPS58123439A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US5317901A (en) * | 1985-12-10 | 1994-06-07 | United Technologies Corporation | Nondestructive test for coated carbon-carbon composite articles |
| JPH02128450A (ja) * | 1988-11-07 | 1990-05-16 | Nec Corp | 半導体装置のバブル試験方法 |
| US5237856A (en) * | 1991-06-20 | 1993-08-24 | Expertek, Inc. | Bubble emission volume quantifier |
| US11326975B2 (en) * | 2020-03-05 | 2022-05-10 | Mas Automation Corp. | Method of sensing leaking gas |
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