JPH02128450A - 半導体装置のバブル試験方法 - Google Patents
半導体装置のバブル試験方法Info
- Publication number
- JPH02128450A JPH02128450A JP28186988A JP28186988A JPH02128450A JP H02128450 A JPH02128450 A JP H02128450A JP 28186988 A JP28186988 A JP 28186988A JP 28186988 A JP28186988 A JP 28186988A JP H02128450 A JPH02128450 A JP H02128450A
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- 239000004065 semiconductor Substances 0.000 title claims description 3
- 238000012360 testing method Methods 0.000 title abstract description 23
- 238000001514 detection method Methods 0.000 claims description 44
- 238000010998 test method Methods 0.000 claims description 4
- 239000007788 liquid Substances 0.000 abstract description 17
- 230000008054 signal transmission Effects 0.000 abstract description 7
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 abstract description 4
- 238000000034 method Methods 0.000 abstract description 3
- 230000035945 sensitivity Effects 0.000 description 3
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 2
- 230000007547 defect Effects 0.000 description 1
- 230000002950 deficient Effects 0.000 description 1
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- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
Landscapes
- Testing Or Measuring Of Semiconductors Or The Like (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔産業上の利用分野〕
本発明は、半導体装置の気密試験方法に関し、特に、密
封封止形中空パッケージのバブル試験方法に関する。
封封止形中空パッケージのバブル試験方法に関する。
従来、この種の試験は、バブル試験用検出液に、試験す
るパッケージを浸し、パッケージの封止部にピンホール
等の密封されていない部分がある場合に発生する気泡を
、作業者が、目視にて確認し、そのパッケージの気密性
を判定していた。
るパッケージを浸し、パッケージの封止部にピンホール
等の密封されていない部分がある場合に発生する気泡を
、作業者が、目視にて確認し、そのパッケージの気密性
を判定していた。
上述した従来のバブル試験方法は、気泡の発生の判定を
、作業者の判断に頼っているため、見逃し等の作業ミス
が起きる可能性が大きく、特に、小さな気泡は見る方向
によって見逃しやすいという欠点がある。
、作業者の判断に頼っているため、見逃し等の作業ミス
が起きる可能性が大きく、特に、小さな気泡は見る方向
によって見逃しやすいという欠点がある。
さらに、気泡はほとんどが一度しか発生しないうえに、
パッケージから離れてしまうと、浸している数量が多す
ぎる場合は、どのパッケージから発生したものか判定で
きなくなるため、−人の作業者が一回に試験する数量が
限定され、作業工数の低減が制限されるという欠点があ
る。
パッケージから離れてしまうと、浸している数量が多す
ぎる場合は、どのパッケージから発生したものか判定で
きなくなるため、−人の作業者が一回に試験する数量が
限定され、作業工数の低減が制限されるという欠点があ
る。
本発明のバブル試験方法は、細い管のついた透明な器具
を用いてその中を、検出液で満たして、検出液中の試験
パッケージの上方に設置し、試験パッケージより発生す
る気泡を、逆ロート状の広い口の部分で受け、気泡を細
い管に導き、さらに、その管に、検出器を設置し、管内
の検出液中を通過する気泡を検出し、その検出の有無に
よって、試験パッケージの気密性を判定している。
を用いてその中を、検出液で満たして、検出液中の試験
パッケージの上方に設置し、試験パッケージより発生す
る気泡を、逆ロート状の広い口の部分で受け、気泡を細
い管に導き、さらに、その管に、検出器を設置し、管内
の検出液中を通過する気泡を検出し、その検出の有無に
よって、試験パッケージの気密性を判定している。
次に、本発明について図面を参照して説明する。
第１図は本発明の一実施例に用いる気泡検出器具である
。気泡除去弁１．気泡貯蔵部２．細管部３、円錐状の気
泡収集部５は、ガラスにて一体化されて形成されており
、細管部３の途中に検出信号を伝送する検出信号伝送コ
ード６でつながれた、光学検出器４がとりつけられてい
る。
。気泡除去弁１．気泡貯蔵部２．細管部３、円錐状の気
泡収集部５は、ガラスにて一体化されて形成されており
、細管部３の途中に検出信号を伝送する検出信号伝送コ
ード６でつながれた、光学検出器４がとりつけられてい
る。
第２図は、第１図の気泡検出器具を実際に使用してバブ
ル試験をする際の装置の図である。気泡検出器具を検出
液７の中に、気泡収集部５の一部を浸し、その状態で気
泡排除弁１から、検出器具内の空気を吸いとり、気泡貯
蔵部２まで検出液７を吸い上げ、気泡除去弁１を閉める
。
ル試験をする際の装置の図である。気泡検出器具を検出
液７の中に、気泡収集部５の一部を浸し、その状態で気
泡排除弁１から、検出器具内の空気を吸いとり、気泡貯
蔵部２まで検出液７を吸い上げ、気泡除去弁１を閉める
。
検出信号伝送コード６は、合否判定の表示部８のついて
いる検出信号処理部９と接続されている。
いる検出信号処理部９と接続されている。
この状態で、検出液７中に試験パッケージ１０を入れ、
バブル試験を行なう。
バブル試験を行なう。
試験パッケージ１０より気泡が発生した場合、その気泡
は、検出液７中を上昇し、気泡収集部５によって細管部
３に導かれる。細管部３中を気泡が上昇し、光学検出器
４の間を追加する時に気泡を光量の差によって検出し、
信号を検出信号伝送コード６を通じて検出信号処理部９
に送り、検出信号処理部９内で処理させ、表示部８に気
泡が発生したことを示すランプを点燈させる。気泡は細
管部３を通過して、気泡貯臓部２に貯められる。
は、検出液７中を上昇し、気泡収集部５によって細管部
３に導かれる。細管部３中を気泡が上昇し、光学検出器
４の間を追加する時に気泡を光量の差によって検出し、
信号を検出信号伝送コード６を通じて検出信号処理部９
に送り、検出信号処理部９内で処理させ、表示部８に気
泡が発生したことを示すランプを点燈させる。気泡は細
管部３を通過して、気泡貯臓部２に貯められる。
ここで、気泡収集部５の内面及び細管部３の内面及びそ
れぞれのつなぎ部の部分は、気泡がひっかからない様に
平坦性を充分にとっである。
れぞれのつなぎ部の部分は、気泡がひっかからない様に
平坦性を充分にとっである。
また、検出感度の低下及び誤検出を防ぐため、細管部３
の内径は発生する気泡が確実に通過する様に、試験パッ
ケージの容積に合わせて決定されている。さらに、検出
装置全体を暗くし、検出感度を上げている。
の内径は発生する気泡が確実に通過する様に、試験パッ
ケージの容積に合わせて決定されている。さらに、検出
装置全体を暗くし、検出感度を上げている。
この実施例によって、作業者の気泡の見逃し等の作業ミ
スの削減が可能となり、この様の装置を複数台使用する
ことによって、作業工数も低減できる。
スの削減が可能となり、この様の装置を複数台使用する
ことによって、作業工数も低減できる。
第３図は本発明の他の実施例に用いる気泡検出器具であ
り、第１図に図示の気泡検出器具を複数個連ねて形成さ
れている。
り、第１図に図示の気泡検出器具を複数個連ねて形成さ
れている。
第４図は、第３図の気泡検出器具を用いてフレームのパ
ッケージを全自動にてバブル試験を行なう際の装置の図
であり、フレームキャリアエ３内に格納されているフレ
ームの試験パッケージを自動フレーム送り機１２にて、
フレーム搬送路１４上に送り出し、このフレーム搬送路
１４上をフレームが移動し、検出液槽１６内に入り、気
泡検出器具１５の下を通過する。この時の気泡の検出の
有無の信号は、検出信号処理部９内で処理され、切断機
制御信号伝送コード１１を通じて切断機１７に送られ、
対象フレームが切断機内に入った時に自動的に切断され
る。切断機１７を出たフレームは、自動フレーム送り機
１３により、再びフレームキャリア１３内に格納される
。
ッケージを全自動にてバブル試験を行なう際の装置の図
であり、フレームキャリアエ３内に格納されているフレ
ームの試験パッケージを自動フレーム送り機１２にて、
フレーム搬送路１４上に送り出し、このフレーム搬送路
１４上をフレームが移動し、検出液槽１６内に入り、気
泡検出器具１５の下を通過する。この時の気泡の検出の
有無の信号は、検出信号処理部９内で処理され、切断機
制御信号伝送コード１１を通じて切断機１７に送られ、
対象フレームが切断機内に入った時に自動的に切断され
る。切断機１７を出たフレームは、自動フレーム送り機
１３により、再びフレームキャリア１３内に格納される
。
この実施例においても気泡検出器具１６を先の実施例と
同様に検出感度を上げ、誤検出を防止する処置がなされ
ている。
同様に検出感度を上げ、誤検出を防止する処置がなされ
ている。
この実施例では、バブル試験及びその不良除去を全て自
動的に行ない、作業者は、フレームキャリアの取り換え
のみの作業を行なうこととなり、作業工数の大幅な低減
が実現できる。
動的に行ない、作業者は、フレームキャリアの取り換え
のみの作業を行なうこととなり、作業工数の大幅な低減
が実現できる。
以上説明したように、本発明は、検出液で満たされた、
気泡検出器具を、検出液中の試験パッケージの上方に設
置し、その器具の管状の部分に設置された検出器によっ
て気泡の有無を判定できる様にすることにより、従来の
作業者の気泡の見逃しを皆無にでき、−回に試験できる
数量も上記器具を増やすことによって容易に増加でき、
また、検出器の判定信号を試験パッケージ搬送機と連動
させ、不良品を除去できる様にすれば、全自動化が可能
であり、作業工数も大幅に削減できるという効果がある
。
気泡検出器具を、検出液中の試験パッケージの上方に設
置し、その器具の管状の部分に設置された検出器によっ
て気泡の有無を判定できる様にすることにより、従来の
作業者の気泡の見逃しを皆無にでき、−回に試験できる
数量も上記器具を増やすことによって容易に増加でき、
また、検出器の判定信号を試験パッケージ搬送機と連動
させ、不良品を除去できる様にすれば、全自動化が可能
であり、作業工数も大幅に削減できるという効果がある
。
第１図は本発明の一実施例に用いる気泡検出器具の側面
図、第２図は、第１図の気泡検出器具を使用したバブル
試験装置の簡略断面図、第３図は本発明の他の実施例に
用いる気泡検出器具の側面図、第４図は第３図の気泡検
出器具を使用したバブル試験装置の簡略斜視図である。 １・・・・・・気泡排除弁、２・・・・・・気泡貯臓部
、３・・・・・・細管部、４・・・・・・光学検出器、
訃・・・・・気泡収集部、６・・・・・・検出信号伝送
コード、７・・・・・・検出液、８・・・・・・表示部
、９・・・・・・検出信号処理部、１０・・・・・・試
験パッケージ、１１・・・・・・切断機制御信号伝送コ
ード、１２・・・・・・自動フレーム送り機、１３・・
・・・・フレームキャリア、１４・・・・・・フレーム
搬送路、１５・・・・・・気泡検出器具、１６・・・・
・・検出液槽、１７・・・・・・切断機。 代理人 弁理士 内 原 晋 句へ
図、第２図は、第１図の気泡検出器具を使用したバブル
試験装置の簡略断面図、第３図は本発明の他の実施例に
用いる気泡検出器具の側面図、第４図は第３図の気泡検
出器具を使用したバブル試験装置の簡略斜視図である。 １・・・・・・気泡排除弁、２・・・・・・気泡貯臓部
、３・・・・・・細管部、４・・・・・・光学検出器、
訃・・・・・気泡収集部、６・・・・・・検出信号伝送
コード、７・・・・・・検出液、８・・・・・・表示部
、９・・・・・・検出信号処理部、１０・・・・・・試
験パッケージ、１１・・・・・・切断機制御信号伝送コ
ード、１２・・・・・・自動フレーム送り機、１３・・
・・・・フレームキャリア、１４・・・・・・フレーム
搬送路、１５・・・・・・気泡検出器具、１６・・・・
・・検出液槽、１７・・・・・・切断機。 代理人 弁理士 内 原 晋 句へ
Claims (1)
- 密封封止形中空パッケージのバブル試験方法において、
発生した気泡を細管に導き、気泡が細管内を通過する際
に細管に備えつけられた検出器によって検出する機能を
有する気泡検出器具を用いてバブルの有無を判定するこ
を特徴とする半導体装置のバブル試験方法。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28186988A JPH02128450A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 半導体装置のバブル試験方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP28186988A JPH02128450A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 半導体装置のバブル試験方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPH02128450A true JPH02128450A (ja) | 1990-05-16 |
Family
ID=17645114
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP28186988A Pending JPH02128450A (ja) | 1988-11-07 | 1988-11-07 | 半導体装置のバブル試験方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPH02128450A (ja) |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56110522A (en) * | 1980-01-31 | 1981-09-01 | Shiyaku Fuu On | Rotary engine |
| JPS58123439A (ja) * | 1982-01-20 | 1983-07-22 | Hitachi Ltd | バブルリ−ク検出装置 |
| JPS63182538A (ja) * | 1987-01-23 | 1988-07-27 | Mitsubishi Electric Corp | 気密性検査装置 |
-
1988
- 1988-11-07 JP JP28186988A patent/JPH02128450A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS56110522A (en) * | 1980-01-31 | 1981-09-01 | Shiyaku Fuu On | Rotary engine |
| JPS58123439A (ja) * | 1982-01-20 | 1983-07-22 | Hitachi Ltd | バブルリ−ク検出装置 |
| JPS63182538A (ja) * | 1987-01-23 | 1988-07-27 | Mitsubishi Electric Corp | 気密性検査装置 |
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