JPS5975765A - 電子ビ−ム偏向方法及びその装置 - Google Patents
電子ビ−ム偏向方法及びその装置Info
- Publication number
- JPS5975765A JPS5975765A JP18600582A JP18600582A JPS5975765A JP S5975765 A JPS5975765 A JP S5975765A JP 18600582 A JP18600582 A JP 18600582A JP 18600582 A JP18600582 A JP 18600582A JP S5975765 A JPS5975765 A JP S5975765A
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- JP
- Japan
- Prior art keywords
- signal
- deflection
- generated
- counter
- electron beam
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- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
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-
- H—ELECTRICITY
- H04—ELECTRIC COMMUNICATION TECHNIQUE
- H04N—PICTORIAL COMMUNICATION, e.g. TELEVISION
- H04N3/00—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages
- H04N3/10—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical
- H04N3/16—Scanning details of television systems; Combination thereof with generation of supply voltages by means not exclusively optical-mechanical by deflecting electron beam in cathode-ray tube, e.g. scanning corrections
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- Engineering & Computer Science (AREA)
- Multimedia (AREA)
- Signal Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の利用分野〕
本発明はＴＶカメラ、走査型電子顕微鏡などにおける電
子ビーム偏向方法及びその装置に関する○ 〔従来技術〕 従来よりＴＶカメラ、走査型電子顕微鏡などにおける電
子ビームの偏向には、偏向コイルあ。
子ビーム偏向方法及びその装置に関する○ 〔従来技術〕 従来よりＴＶカメラ、走査型電子顕微鏡などにおける電
子ビームの偏向には、偏向コイルあ。
るいは偏向板に鋸歯状波電流あるいは鋸歯状波電圧を加
えるととによシ行なっている。しかし第１図に示すよう
な理想的な鋸歯状波形を用いると多くの高調波成分を含
んでいるので、発生や増幅を行なうのが困難になる。す
なわち、第・１図の鋸歯状波形をフーリエ級数で示すと
、Ａｎ＝−（Ａｋ／ｒ１°ｆｆ ） ｃｏｓｎ ＴＴＡ
ｋ：鋸歯状波の振幅、ｎ：高調波次数となシ、高調波成
分が多い。そこで従来技術では、第２、図に示すような
走査期間Ｔｓと帰線期間ＴＲを有する鋸歯状波を用いる
。第２図に示す鋸歯状式形の場合、高調波成分の振幅Ａ
ｎは、 となシ、帰線期間の割合が多くなるにしたがい高調波成
分の振幅は小さくなる。現在、ＴＶでは水平偏向におい
て１６％、垂直偏向において５％の帰線期間を設けてい
る。しかし、このような従来技術では、帰線期間が走査
における無駄時間となシ、とくにＴＶカメラ、走査型電
子顕微鏡などを画像の入力手段とするパターン検査装置
などにおいて１＃ｉ：、検査時間が長くなる欠点があっ
た。
えるととによシ行なっている。しかし第１図に示すよう
な理想的な鋸歯状波形を用いると多くの高調波成分を含
んでいるので、発生や増幅を行なうのが困難になる。す
なわち、第・１図の鋸歯状波形をフーリエ級数で示すと
、Ａｎ＝−（Ａｋ／ｒ１°ｆｆ ） ｃｏｓｎ ＴＴＡ
ｋ：鋸歯状波の振幅、ｎ：高調波次数となシ、高調波成
分が多い。そこで従来技術では、第２、図に示すような
走査期間Ｔｓと帰線期間ＴＲを有する鋸歯状波を用いる
。第２図に示す鋸歯状式形の場合、高調波成分の振幅Ａ
ｎは、 となシ、帰線期間の割合が多くなるにしたがい高調波成
分の振幅は小さくなる。現在、ＴＶでは水平偏向におい
て１６％、垂直偏向において５％の帰線期間を設けてい
る。しかし、このような従来技術では、帰線期間が走査
における無駄時間となシ、とくにＴＶカメラ、走査型電
子顕微鏡などを画像の入力手段とするパターン検査装置
などにおいて１＃ｉ：、検査時間が長くなる欠点があっ
た。
本発明の目的は上記した従来技術の欠点をなくしたビー
ム偏向方法及びその装置を提供するにある。
ム偏向方法及びその装置を提供するにある。
上記目的を達成するために、本発明による電子ビーム偏
向装置は、クロック発生器と、第１および第２のＡＮＤ
ゲートと、可逆カウンタと、Ｄ／Ａ変換器と、Ｒ−８型
フリツプフロツプとを有し、上記クロック発生器によっ
て発生させられたクロックは上記第１および第２のＡＮ
Ｄゲートの第１の入力に印加され、それらの第２の入力
には上記Ｒ−８型フリップフロップのそれぞれ第１およ
び第２の出力が印加され、上記第１およ゛び第２のＡＮ
Ｄゲートの出力は上記可逆カウンタのそれぞれＵＰ大入
力よびＤＯＷＮ入力に印加され、上記可逆カウンタのキ
ャリヤ信号およびボロウ゛信号は上記Ｒ−８型フリップ
フロップのそれぞれ第１および第２の入力に印加され、
上記可逆力・ウンタはキャリヤ信号が発生するまでカウ
ント・アップされ、キャリヤ信号が発生するとボロウ信
号が発生するまでカウント・ダウンされ、上記可逆カウ
ンタは上記Ｄ／Ａ変換器に入力され、そのようにして得
られた三角波形を電子ビーム。
向装置は、クロック発生器と、第１および第２のＡＮＤ
ゲートと、可逆カウンタと、Ｄ／Ａ変換器と、Ｒ−８型
フリツプフロツプとを有し、上記クロック発生器によっ
て発生させられたクロックは上記第１および第２のＡＮ
Ｄゲートの第１の入力に印加され、それらの第２の入力
には上記Ｒ−８型フリップフロップのそれぞれ第１およ
び第２の出力が印加され、上記第１およ゛び第２のＡＮ
Ｄゲートの出力は上記可逆カウンタのそれぞれＵＰ大入
力よびＤＯＷＮ入力に印加され、上記可逆カウンタのキ
ャリヤ信号およびボロウ゛信号は上記Ｒ−８型フリップ
フロップのそれぞれ第１および第２の入力に印加され、
上記可逆力・ウンタはキャリヤ信号が発生するまでカウ
ント・アップされ、キャリヤ信号が発生するとボロウ信
号が発生するまでカウント・ダウンされ、上記可逆カウ
ンタは上記Ｄ／Ａ変換器に入力され、そのようにして得
られた三角波形を電子ビーム。
を偏向するだめの偏向コイルあるいは偏向板に与える偏
向電流あるいは偏向電圧として使用し三角波の立上りも
立下シも走査期間とし、電子ビームの走査を往復方式と
することを要旨とする。すなわち、本発明は、偏向コイ
ルあるいは偏向板に加える走査電流あるいは走査電圧に
おいて、従来帰線期間として無駄になっていた部分を行
きの走査期間と同じ長さにとり、かつ戻シの走査期間と
した往復走査方式にすることによシ、無駄時間を除去し
たビーム偏向方式である０ 以下に、図面を参照しながら、実施例を用いて本発明を
一層詳細に説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明
の枠を越えることなしにいろいろな変形や改良があシ得
ることは勿論である０ 〔発明の実施例〕 本発明の実施例を第３図に示す。１はクロック発生器で
あり、２．３はＡＮＤゲートであシ、り只ツク発生器１
で発生させられたクロックはＡＮＤゲート２．３を介し
、可逆カウンタ４へ入力される。
向電流あるいは偏向電圧として使用し三角波の立上りも
立下シも走査期間とし、電子ビームの走査を往復方式と
することを要旨とする。すなわち、本発明は、偏向コイ
ルあるいは偏向板に加える走査電流あるいは走査電圧に
おいて、従来帰線期間として無駄になっていた部分を行
きの走査期間と同じ長さにとり、かつ戻シの走査期間と
した往復走査方式にすることによシ、無駄時間を除去し
たビーム偏向方式である０ 以下に、図面を参照しながら、実施例を用いて本発明を
一層詳細に説明するが、それらは例示に過ぎず、本発明
の枠を越えることなしにいろいろな変形や改良があシ得
ることは勿論である０ 〔発明の実施例〕 本発明の実施例を第３図に示す。１はクロック発生器で
あり、２．３はＡＮＤゲートであシ、り只ツク発生器１
で発生させられたクロックはＡＮＤゲート２．３を介し
、可逆カウンタ４へ入力される。
可逆カウンタ４の内容はＤ／Ａ変換器５を介し、水平偏
向信号６を発生する。可逆カウンタ４のキャリヤ信号Ｃ
１ボロウ信号ＢはＲ−８型フリツプ７へ入力される。そ
のフリップフロップ７の出力ＱＸＱはＡＮＤゲートそれ
ぞれ２および３の入力となる。すなわち、可逆カウンタ
４にキャリ信号が発生するまで、カラ／り４はカウント
・アップされ、キャリ信号が発生すると、カラ。
向信号６を発生する。可逆カウンタ４のキャリヤ信号Ｃ
１ボロウ信号ＢはＲ−８型フリツプ７へ入力される。そ
のフリップフロップ７の出力ＱＸＱはＡＮＤゲートそれ
ぞれ２および３の入力となる。すなわち、可逆カウンタ
４にキャリ信号が発生するまで、カラ／り４はカウント
・アップされ、キャリ信号が発生すると、カラ。
ンタ４にボロウ信号が発生するまでカウントパダウンさ
れ、水平偏向信号６は第４図のような゛出力となる、第
４図において周期Ｔは、クロックの速度ｔ（”）、カウ
ンタ４の容量Ｎ（ｂｉｔ ）と。
れ、水平偏向信号６は第４図のような゛出力となる、第
４図において周期Ｔは、クロックの速度ｔ（”）、カウ
ンタ４の容量Ｎ（ｂｉｔ ）と。
するとＴ＝２ｔＮとなる。まだ、カウンタ４のキイリ信
号、ポロウ信号はＯＲゲート８、ＡＮＤゲー・ト９１０
を介し、可逆カウンタ１１へ入力される６カウンタ１１
の内容はＤ／Ａ変換器１２を介し、垂】０直偏向信号１
６を発生する。カウンタ１１のキヤ。
号、ポロウ信号はＯＲゲート８、ＡＮＤゲー・ト９１０
を介し、可逆カウンタ１１へ入力される６カウンタ１１
の内容はＤ／Ａ変換器１２を介し、垂】０直偏向信号１
６を発生する。カウンタ１１のキヤ。
り信号Ｃ１ポロウ信号Ｂはカウンタ４における。
と同様に、Ｒ−８型７リツプフロツプ１４へ入力される
。フリップフロップ１４の出力Ｑ１りはＡＮＤゲー）
（−れぞれ９および１０の入力となる。すなわち、カウ
ンタ１１にキャリ信号が発生するまで、カウンタ４にキ
ャリ信号あるいはボロウ信号が発生する（すなわち１水
平走査終了）ごζに、カウンタ１１はカウント・アップ
され、−キャリ信号が発生すると、カウンタ４にキャリ
信号あるいはボロウ信号が発生する（１水平走査終了）
ごとにカウンタ１１はカウント・ダウンされ、Ｄ／Ａ変
換器１２の出力を階段状に変化するようにすれば、垂直
偏向信号１３は第４図に示す山形を包絡線とする階段状
の波形となる。垂直偏向信号１６については第４図にお
ける周期Ｔは、カウンタ１１の容量をＭ（ｂｉｔ）とす
ると（すなわちＭは走査線の数） 、Ｔ＝２ｔＭＮとな
る。
。フリップフロップ１４の出力Ｑ１りはＡＮＤゲー）
（−れぞれ９および１０の入力となる。すなわち、カウ
ンタ１１にキャリ信号が発生するまで、カウンタ４にキ
ャリ信号あるいはボロウ信号が発生する（すなわち１水
平走査終了）ごζに、カウンタ１１はカウント・アップ
され、−キャリ信号が発生すると、カウンタ４にキャリ
信号あるいはボロウ信号が発生する（１水平走査終了）
ごとにカウンタ１１はカウント・ダウンされ、Ｄ／Ａ変
換器１２の出力を階段状に変化するようにすれば、垂直
偏向信号１３は第４図に示す山形を包絡線とする階段状
の波形となる。垂直偏向信号１６については第４図にお
ける周期Ｔは、カウンタ１１の容量をＭ（ｂｉｔ）とす
ると（すなわちＭは走査線の数） 、Ｔ＝２ｔＭＮとな
る。
第６図のような構成をとると、電子ビームの走査は第５
図に示すようになる。すなわち、第５図において、矢印
で示すように上から下へ水平走査を行なった後、下から
上へ矢印と反対方向に水平走査を行なう繰返しとなる。
図に示すようになる。すなわち、第５図において、矢印
で示すように上から下へ水平走査を行なった後、下から
上へ矢印と反対方向に水平走査を行なう繰返しとなる。
また、第６図（ａ）および（ｂ）のようにそれぞれ水平
偏向信号および垂直偏向信号を生成すれば、第７Ｖのよ
うな走査が可能となシ、往復走査方式の機越し走査が可
能となる。
偏向信号および垂直偏向信号を生成すれば、第７Ｖのよ
うな走査が可能となシ、往復走査方式の機越し走査が可
能となる。
ここで本発明の往復走査方式における高調波成分につい
て検討してみる。往復走査方式は従来技術における帰線
期間をも走査期間としだものである。（２）式において
高調波の振幅が最も小さくなるのは、Ｔ’Ｓ＝Ｔ／２と
したときである。
て検討してみる。往復走査方式は従来技術における帰線
期間をも走査期間としだものである。（２）式において
高調波の振幅が最も小さくなるのは、Ｔ’Ｓ＝Ｔ／２と
したときである。
すなわち、本発明の方式は、ＴＳ＝Ｔ／２ としたとき
、帰線期間を走査期間としたものであシ、電子ビームの
偏向方式としては最適なものに他・ならない。
、帰線期間を走査期間としたものであシ、電子ビームの
偏向方式としては最適なものに他・ならない。
以上説明した通り本発明によれば電子ビーム・偏向の無
駄時間であった帰線期間を除去するこ・とができ、かつ
高調波成分の影響を最大限に押（。
駄時間であった帰線期間を除去するこ・とができ、かつ
高調波成分の影響を最大限に押（。
えているので、偏向信号の発生、増幅をやシや。
すくすることが可能となる。
第１図は理想的な鋸歯状波形を示す図、第２゜図は従来
技術に用いられる鋸歯状波形を示す目、第６図は本発明
による電子ビーム偏向装置の構成を示すブロック図、第
４図は本発明による電子ビーム偏向装置の偏向信号波形
を示す図、第５図は本発明によるビーム走査の１例を示
す図、第６図は電子ビーム偏向装置の水平および垂直偏
向信号波形を示す図、第７図は本発明による他の一つの
ビーム走査の例を示す図である。 第１已 一一丁一一 オ ２図 一一一 Ｔ□ 竹 ３ 閃 剖’４１２１ オＳ図
技術に用いられる鋸歯状波形を示す目、第６図は本発明
による電子ビーム偏向装置の構成を示すブロック図、第
４図は本発明による電子ビーム偏向装置の偏向信号波形
を示す図、第５図は本発明によるビーム走査の１例を示
す図、第６図は電子ビーム偏向装置の水平および垂直偏
向信号波形を示す図、第７図は本発明による他の一つの
ビーム走査の例を示す図である。 第１已 一一丁一一 オ ２図 一一一 Ｔ□ 竹 ３ 閃 剖’４１２１ オＳ図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、 電子ビームを偏向するために、偏向コイル（また
は偏向板に与える偏向電流、または偏向・電圧の波形を
三角波とし、三角波の立上シ、立下シともに走査期間と
し、電子ビームの走・査を往復させることを特徴とすル
ーム偏向方法。 ２、 クロック発生器と、第１および第２のＡＮＤゲー
トと、可逆カウンタと、Ｄ／Ａ変換器と、Ｒ＝Ｓ型フリ
フリップフロップ有し、上記りｑツク発生器によって発
生させられたクロッ久は上記第１および第２のＡＮＤゲ
ートの第１の入力に印加され、それらの第２の入力には
上記Ｒ−’Ｓ型フリラフリップフロップぞれ第１および
第２の出力が印加され、上記第１および第２のＡＮＤゲ
ートの出力は上記可逆カウンタのそれぞれＵＰ大入力よ
びＤＯＷＮ入力に印加され、上記可逆カウンタのキャリ
ヤ信号およびボロウ信号は上記Ｒ−８型７リツプフロツ
プのそれぞれ第１および第２の入力に印加され、上記可
逆カウンタはキャリヤ信号が発生するまでカウント・ア
ップされ、キャリヤ信号が発生するとボロウ信号が発生
するまでカウン゛ト・ダウンされ、上記可逆カウンタは
上記Ｄ／Ａ変換器に入力され、そのようにして得られた
三角波形を電子ビームを偏向するため偏向コイルあるい
は偏向板に与える偏向電流あるいは偏向電圧として使用
し、三角波の立上シも立下υも走査期間とし、電子ビー
ムの走査
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18600582A JPS5975765A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | 電子ビ−ム偏向方法及びその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP18600582A JPS5975765A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | 電子ビ−ム偏向方法及びその装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5975765A true JPS5975765A (ja) | 1984-04-28 |
Family
ID=16180696
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP18600582A Pending JPS5975765A (ja) | 1982-10-25 | 1982-10-25 | 電子ビ−ム偏向方法及びその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5975765A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6139442A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-25 | エヌ・ベー・フイリツプス・フルーイランペンフアブリケン | 走査透過顕微鏡 |
| WO2017056171A1 (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55141056A (en) * | 1979-04-20 | 1980-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Scanning method of electron beam and apparatus therefor |
| JPS55165559A (en) * | 1979-06-11 | 1980-12-24 | Hitachi Ltd | Scanning electron microscope |
| JPS57167078A (en) * | 1981-04-07 | 1982-10-14 | Sanyo Electric Co | Low voltage deflection circuit |
-
1982
- 1982-10-25 JP JP18600582A patent/JPS5975765A/ja active Pending
Patent Citations (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS55141056A (en) * | 1979-04-20 | 1980-11-04 | Matsushita Electric Ind Co Ltd | Scanning method of electron beam and apparatus therefor |
| JPS55165559A (en) * | 1979-06-11 | 1980-12-24 | Hitachi Ltd | Scanning electron microscope |
| JPS57167078A (en) * | 1981-04-07 | 1982-10-14 | Sanyo Electric Co | Low voltage deflection circuit |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS6139442A (ja) * | 1984-07-25 | 1986-02-25 | エヌ・ベー・フイリツプス・フルーイランペンフアブリケン | 走査透過顕微鏡 |
| WO2017056171A1 (ja) * | 2015-09-29 | 2017-04-06 | 株式会社 日立ハイテクノロジーズ | 荷電粒子線装置 |
| US10546715B2 (en) | 2015-09-29 | 2020-01-28 | Hitachi High—Technologies Corporation | Charged particle beam device |
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