JPS5974586A

JPS5974586A - 液晶表示パネル

Info

Publication number: JPS5974586A
Application number: JP57184886A
Authority: JP
Inventors: 徹坂井
Original assignee: Seiko Instruments Inc
Current assignee: Seiko Instruments Inc
Priority date: 1982-10-21
Filing date: 1982-10-21
Publication date: 1984-04-27

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】本発明は液晶表示パネルに関するものであって特にカラ
ー表示を行なわせようとする際のカラーフィルターの形
成に関するものである。

近年、従来のＣＲＴＩＣ代る告示装置として＃型の表示
装置の開発が盛んに進められている。薄型表示装置の中
−Ｃも７葎品表乃くパイ・ルは電力、駆動電圧、寿命の
点で他を凌駕しておシ今後の表２ｆｉ装置としての期待
は大きい。一般に、液晶表示パネルはタイカミンク駆動
方式とスタティック駆動方式がタンリ、後者の方がｍ力
、駆動電圧の点ですぐれている。スタティック駆動方式
の液晶吸水パネルは一般ＶＣ上側ガラス基板と″Ｔ−仰
ｊ半導体集積回路基板裏シ構成さｉしておシ、前記半導
体集積回路上にマトリックス状に配置された液晶駆動用
素子を外部選択回路ＩＣて、＋べ択し、液晶に電圧を印
加することＫＬす、任意の文字、クラ７あるいは画像の
表示を行なうものである。ｅ　ｉ！Ｔ−ｃｒ／ｉ、前記
半導体集積回路を、半導体基板上にではなく、大面積化
、低コスト化ＶＣＳ−ける優位性Ｖこより、絶縁性基板
上に薄膜トランジヌタ（以下、Ｔ１１Ｉ′Ｔと略す。）
として形成した液晶表示パネルに関する研究、開発力・
特に活発である。

ぞ“の一般的な回路図を４ｉ４１し１（ａ）と（ｂ）に
示す。

第１図（ａ）は、スタティック駆動方式の赦晶表示パオ
・ルに用いる絶縁ｔ／ｌＺ基板上のＴＦＴより構成され
た液晶駆動素子（絵素）の、マトリックス状配置図の一
部分で２−１る。４′１′４１図（ａ）中の１で囲１れ
た用板が表示１フ０域であり、・その中に転素２ａａ。

２ａｂ、２ｂａ、２ｂｂがマトリックス状に配置されて
いる。５ａ、３ｂは絵素へのビナ１１４うライン、また
４ａ、４ｂは絵素へのタイミング信号ラインである。１
つの絵素の回路は（として、特に絵素２ａａｌ／こつい
ての等価回路図を相１図（ｂ）に示フー。

第１１ＡＩ（ｂ）中の５はＴ　？　Ｔ　［，１：る、ス
イッチングトランジスタで凌）る。６げフンテンサーで
あり、データ信号の保持用として用いられる。７ｔま液
晶であり、７１は絶縁性基板上の各絵素に対応して形成
された液晶駆動素子極でめシ、７４１ま前記絶縁性基板
に相対するガラス基板上ＶＣ形成された共通電極である
。一般に、画像表示ｈ４　（アレビ用）として本液晶表
示パイ・ルを用いる場合は％線順次走査により、各走査
線毎にタイミングをかけ、各絵素に対応したフンテンサ
ーに信号電圧を保持させる訳である。このように液晶表
示パイ・ルをテレビとして用いた場合には、液晶の応答
も良く比較的良好な画像が得らｔＬる。

以上に連ぺた原理ＶＣよるＭ品表示パネルにおいてカラ
ー表示を竹なわせる場合には、絵素毎に単色フィルター
を対応させて村〜成し、かつそれらフィルターが加色混
合系の３原色、すなわち赤、緑。

背から成る工うに配置すればよい。

例えば、第２１において、２１１，２１２，２１３はそ
れぞれ赤色、緑色。′Ｗ青色ノイルターあり。

フィルターに相対するＴ　Ｐ　Ｔ　（Ｃより液晶番で両
売を印加することに工す光の透過率を制御し、カラー表
示を行なうことができる。

従来、カラーフィルターを用いた液晶表示パネルによる
カラー表示で特に間頃であったのけ、ガラス基！ｚｏｔ
ｂ上−＼のカラーフィルターの形成方法である。

従来からの方法としては、例えば、初めにガラスＭ＆２
ｏ　１ｂｚ…Ｊに赤色フィルター２１１を形成し、これ
１−Ｎｏ製造工程で用いられるものと同様のフォトリソ
グラフィーＩＩ（、工り利応する絵素に分割配置１〜５
次に縁沖フィルター２１２を、−後に青色ノイルター２
１５をぞれぞれ対応する絵素に分割配電し、赤、緑、１
ｉの色フィルターが規則正しく配列するように画面公休
を形成するというものである。

しかしながら、この方法ではカラーフィルターの形成に
際してフォトリソグラフィーの工程が少なくとも３回介
在し、工程が初雑であり、かっ歩ｍｔりと１１（いとい
う欠点があった。

また、ガラス基板と相対するＷ＆晶駆動用半導体集積基
板上にカラーフィルターを形成することによって、同様
のカラー表示を行なわせ工うとする方式もある。

しかしながら、この方式においては、半導体集積基板と
カラーマスクとの位置合せを、光感乳剤の感光を防ぐ為
Ｖこ、明視元を逆光した状態で行なわなければならず、
人為的な製造工程の管理に対して困難を有しており、さ
らに均一な膜質のカラーフィルターをｊし成するために
、表面に凹凸の形状を有する半折、体基板土シて均一に
光感乳剤を塗布しなければならないという技術的ｔても
極めて難しい問題も有している。

本発明ケま、このカラーフィルターを液晶駆動用半導体
集積基板と相対するガラス基板上に、３色間時に形成す
ることにより、ｉｊ！！造工程の大幅な削減ならびにコ
ストの低減を計ることを目的とするものである。

以下、本発明を実施例に従って図面に沿って詳細に説明
する。

絽６図は、本うｔ明の一絵素についてのＴＰＴ。

カラーフィルターより成る液晶表示パネルの断面図であ
る。絶縁性基板３０１ａ上にゲート電極５０２、ゲート
絶縁嗅５０９、半導体層５０５、ソース電極６０３、ド
レイン成極３０４エリ成るＴＰＴと、下部型枠５０６、
誘電体層３０７．上部％極ｓｏ８工υ成るビテオ伯号保
持用コンデンザーが構成されており、これが液晶駆動用
素子となり、かつ１絵素となる。

本発明で特に１に要な都外は、ＴＦＴお工びコ／デンサ
と液晶３１７を介して形成場れた５１１゜３１２．３１
３，３１４．、ｃり成ろ多層光感乳剤層であり、これが
絵素個々のカラーフィルターを構成することになる。

本実施例においては、多層光感乳剤１−として。

一般に１史用格ｔシているカラーリバーサルフィルムに
用いらｉｔでいる、主としてハロゲン化銀乳剤とカブラ
ーエり構成されているものを使用した。

カラーフィルターの形成は、初めに所望の形状。

配列ニジ族るカラーフィルター用カラーマスクを多層光
感乳剤層の形成されたガラス基板上に位置合せを行ない
、しかるのちにキセノンランプ等の白色光でカラーマス
ク上のカラーパターンを露光する。次に第１現僧として
黒白フィルム現像液で黒白ネガを形成する。第１＋Ｊｌ
像では、鉋画像のみ生じ、色素は形成さ７１ない。各乳
剤層ＶＣ残っている未現像ハロゲン化銀がポジ像に相当
する。次にタングステン電球等で未現像ノ・ロゲン化銀
を反転露光し感光δせる。そして、現像主薬としてＣＤ
５の五う胤バラミン―導体を用いた現像液で現像を行な
い、味像を生成し、乳剤層内にうら色現像主薬の酸化物
ができると、これが乳剤層に添加さ７ｔているカフーラ
ーと反応し王１色素を生成し、青感乳剤層６１４には黄
色ポジ稼、緑感乳剤層５１２にはマゼンタのポジ像、赤
感乳剤）（ｉｓｘｖｃｈシアンのポジ像ができる。

第１現像で生成したネガが銀像、発色現像ででき斤ポジ
銀１象の両方を、越白液で酸化して）・ロゲン化鋳に変
え、定着剤で溶解する。

第１現像とう６ρ功、像で現像された乳剤は、漂白液で
ハロゲン化銀になっておシ、第１現像と発色現像で現像
されなかった乳剤は、ノ・ロゲン化銀の１．−１−で、
ともらも定着液Ｖこ工つ°ＣＣ溶除除去れ、色素ポジ像
のみが残る。

色素は、シアン、マゼンタ、黄の３色であり。

負とマゼンタＩＬ　Ｌり赤曽フィルター、黄とシアンＫ
Ｌシ緑色ンイルター、マゼンタとシアンにエル肯色フィ
ルターが形成されることＫなる。

以上から分力・る↓うに５本実施例においては。

ただ一度のカラーマスク上ぜを行ない側光し現像。

漂白、定着と連続して現像処理を行なうことにより簡単
にカラーフィルターを形成可能となった。

また、鞭晶駆動用手導体集積基板上にカラーフィルター
を形成する場合と異なり、平坦なガラス基板上にカラー
フィルターを形成する為、膜質。

１模厚の均一性を極めて向上でき、大幅な工程数の削減
。歩留りの向上、コストの低減が可能となった。

以上の説明から、カラー表示の液晶表示パネルを製造す
る上で、本発明の利用価値は極めて大きいものである。

【図面の簡単な説明】

第１図（ａ）は従来の液晶表示パネルのマ）　ＩＪンク
ヌ配置図、第１区１（ｂ）は従来の液晶表示絵素の一つ
につい１の等価回路図１ある。第２図は従来のカラーフィルターが形成されている液晶
表示パネルの５色の絵素についての断面図、絹３１％ｌ
＆ま本発明によるカラーフィルターが形成ｇ　ｉｔ　Ｃ
いる液晶表２Ｊ＜パネルの１絵累６′Ｃついての断四図
である。２０１ａ、２０ｆｂ・・・ガラ、＜ｌ板２０２ａ、　　
　２０２ｂ、　　　２０２ｃ　・・・　ゲ　−　ト　゛
ｄｉ極２１）３ａ、２０５ｂ、２０５ｃｍ・・ソースＴ
［ｔｉｉｆｆ２ｄ４ａ、２０４ｂ、２０４ｃ・・・ドレ
イン厖極２０５ａ、２０５ｂ、２０５ｃｍ・、半導体層
２０ｓａ、２０６ｂ、２０６ｃｍ＠＠下部曳極２０７ａ
、２０７ｂ、２０７ｃｍ−−誘電体層２０８ａ、２０８
ｂ、２０８ｃ・−・容敏土部屯祢２０９ａ、２０９ｂ、
２０９ｃｍ１．ゲート絶縁膜２１０ａ、２１１］ｂ、２
１０ｃｍ、保護ｆＱ２１１　・・・赤色フィルター２１２　・・・緑色フィルター２１５　・・・ｗ色フィルター２１４　・・・保護膜２１５・・・透明導電膜２１６・・・准晶５０１ａ、５０１ｂ　　−・・ガラス基板５０２　・・
・ゲート電極　　５０５　・・・ソース転極３０４・・
・ドレイン南極　５０５・・・半導体ｌ−３０６・・・
宕Ｍ′Ｔ一部１Ｌ荊１７５ｔ１７　・・・誘電体層５０
８・・・谷叶土部電極　６０９・・・ゲート絶縁膜５１
０　・・・１ず護膜５１１　・・・シアン発ρカプラーを含む赤感乳剤層５
１２・・・マゼンタ発色カプラーを含む緑感乳剤層　　
　　　　う１３　・・・黄フィルター５１４・・・黄発
色カプラーを含む青感乳剤層３１５・・・透明導電膜　
　３１６・・・保護膜３１７・・・ぴ晶以　　　上出願人　株式会社　姐二精工舎代理人　弁理士　最上　　務第１冊（シ）ｎ

Claims

【特許請求の範囲】（１）複数個の液晶駆動用素子をマ）　リンクス状に配
置した基板を用いる液晶表示パイ・ルにおいて、該基板
と相対するガラス基板上に、少、なくとも２層以上の光
感乳剤層重す形成されるカラーフィルターを有すること
を特徴とする液晶表示パイ・ル。（２）前記液晶ル動用素子が、絶縁性基板上に形成され
次ソース電極とドレインｕ　４ｆＬＩＷＩを連結するチ
ャイ・層領域を有する薄膜トランジスタであることを特
徴とする特許請求の範囲第１項に記載の液晶表示パネル
。（３）前記光感乳剤層が、ノ・ロゲン化銀乳剤を主感光
乳剤とすることを特徴とする特許３＾求の範囲第１項ま
たけ第２項記載の液晶表示パネル。（４１Ａｆｔ記元感乳剤層が、カラーフィルター形成時
における光受光面に対して最上部より１１＠に、第１層
目が少なくども實（号ら色カフラーを含むハロゲン化銀
乳剤を青感乳剤と成す青感層、第２１！１目が黄フィル
ター、、第３１軸重が少なくともマゼンタ発色カプラー
を含むハロゲン化銀乳剤を繰越乳剤とＩｙＶす緑感層、
１１４層目が少なくともシアン発色カプラーを含むハロ
ゲン化銀乳剤を赤感乳剤と成す赤感層より構成されるこ
とを特徴とする特許稍・求の範囲第１項から閉５墳甘で
の何れか記載の液晶表示パネル。（５）前記カラーフィルターとガラス基板間に、透明導
電１層を有することを特徴とする特許請求の範囲糖１墳
から第４墳までの何れか記載の液晶表示パネル。（６）　　前記カラーフィルターを有するガラス基板上
に、透明導電層を有フることを特徴とする特許請求の範
囲第１項から第５墳寸での何れか記載の液晶表示パネル
。