JPS5950487A - 薄膜トランジスタ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 ′；１、発明は１ｌｌＵｌ・ランジスタ（以下、ＴＦＴ
と略す）を用いた液晶表示装置に関するものであって’
Ｆ！ｆにカラー表示を行なわせ工うどする際のＴＦ　’
ｒ上へのカラーフィルターの形成に関するものである。

近年、（ｒｊ−来のＣＲＴに代る表示装置として薄型の
表示装置の開発が盛んに進められている。薄型表示装置
の中でも液晶表示装置の電力、駆動ｎ１寿命の点で他を
凌駕してお即今後の表示装置としての期待しユ犬８い。

一般ＶＣ液晶表示装置はダイナミンク駆動方式と７タテ
インク駆動力式力・あり、稜渚の方が電力、地動電圧の
点で）ぐｉしている。

ヌタテインク駆動力式の液晶表示装置に、一般に上側ガ
ラス基板と、−ト側半導体集槓回路基板より構成さノ１
．ており、前記半導体集積回路上ｒ（マトリックス状に
配置された液晶駆動用素子を外部選択回路穴てべく択し
、液晶に□「（１，圧を印加することｉ／ｃ工り、任す
の文字、グフフ２ｉ、るいは画像の表示を行’Ｉｒ、：
）４のである。最近では、前記牛２４体築檀回路を、半
導体基板上ＶＣでｌ”ｔ、　’Ｉｔ　＜、大面積体、低
コスト化５ｒ４　：にける陣位ｔ！’Ｆ、に工り、絶縁
基板上にＴＰＴとして形成１−７た液晶表示装置１〆こ
関する仙究が特に活発である。その−１１！、町Ｉ々ｊ
η回路図を第１図に示す。

第１［ツ１（ａ）は従来のヌタ゛ゲーイノク駆動方式の
液晶表示パネルに用（０るぞへ縁基板千の’ｌ’　Ｆ　
Ｔ工り構成さ）１．た液晶駆動判子（絵素）のマ）　ｌ
）ノクス状配置ｊンＪの１部分である。１ツ、中の１で
団Ａノした領域が表低領Ｊ或であり、その中ＶＣ給素２
ａａ、２Ｒｂ＋２　ｈ　’、ツが７トリク、′７．状に
「妃ｊ首さ力、ている。３ａ。

’ｌ　１）は絵ジ（そへのビデオ信号ライン、寸た４ａ
、４ｂ６−↓絵素へのタイミングｍ号ライ、／である。

１つの絵素の回路図としてｔ時ＶＣ第１シＩ（ａ）Ｖｃ
示す絵素２ａ８につＩ／′１ての等価回路図を第１１ン
１（ｂ）中の５はＴ　Ｆ　Ｔ　ＶＣ、Ｊ：るヌイン千ン
グトランジスタである。

６−コンデンサーであり、データ信号の保持用として用
いられる。、７は液晶であり、７１は絶縁基板上の谷絵
素に刈応して形成でれた液晶駆動電極であり、７２はガ
ラスパイ・ル上に形成された共通電極である。一般に画
像表示用（テレビ用）として本液晶表示パイ・ルを用い
る場合は、線順次走査ＶＣより、各走査線毎にタイミン
グをかけ、各絵素に７１応じたコンデンサーにｆ３号電
圧を保持させる訳である。このように液晶表示パイ、ル
をテレビとして用いた場合には、液晶の応答も良く比較
的良Ｑ子ｌ］市百象がイ尋られる。

以上に述べた原理による数品表示装置においてカラー表
示を行なわせる場合に−、画素ことに単色フィルターを
構成しかつ七ｔしらフィルターが力ロ色混合系の３原色
、すｌわち赤２緑、宵〃・ら成るように配置σすｔ’ｔ
げよい。

例えは従来例を示す第２図ｒｔｃｓ、−いで２ｊ１，２
［。

２１５はそれぞれ赤色、緑巴９ｗ色フィルターであり、
フィルターの下部ｆ’Ｃ構成塾）したＴ　Ｆ　Ｔ　ｔＪ
−より液晶ＶＣＣ外界印力【ＪすることＫより几の透過
率を制イｔｉｌｌ　Ｌ、カラー表示を行なわせるもので
ある。

このような方式ＶＣ，１：るカラー表示において特ＶＣ
問題となるの１．−１．　’、［’　Ｆ　１’　Ｊ二へ
のカラーノイルターの形ハ（＋方法である。

これ寸で行ｌわえしてきた方ｆ人としては、１タリえば
初めにＴＦＴルイ全而に面色フィルターを形成ｊ−５こ
〕ＬをｉＣ製造７０ヒヌで用いろノしるのと同（県のフ
ォトリノグラフィーにまりン’４Ｌ乙、′□Ｊ″る１山
ｊ素ＶＣ分割配ＩＩぽｊし、次に４．９１１えは緑色ノ
イルターを、ｆ、少後に宵帥、フィルターをそれぞｌ上
ス１応する両軍に分割配置１〜、；１１ｅ、＃１．爵の
餡フィルターが規則正しく配列するように両！用全体を
形ルνするというものである。

１７かし１７′バら、この方法ではカラーノイルターの
形成に１芹して）第１・す゛ノブラフイーの工程が少な
くとも５　ｋｊｌ介在し、工程が複４゛イｒ、ｌ！：〃
す、かつ歩留まりも１ｊ（、い７欠め、コストが極めて
島く〃るという欠点があった。

本発明６−、Ｊ、このカラーフィルターの形成を６色Ｉ
ＬＴ１１寺に形成することにより製造工程の大幅な削減
ｌらび（ｆこコ″）、１・の低減をｔ」ることを目的と
するものである。

以下、本発明を実施例に従って図面ＶＣｌｉ：ｉつて説
明する。

舶５図は、本発明の一絵索（″こついてのＴＰＴおよび
カラーフィルターの断ｍ１図である。１吉明絶縁性基板
′）０１上に、ゲート電極５０２、ゲート絶縁１摸３１
Ｊ９、半導体層６０５、ノース車枠３０６、ドレイ／７
に極５０４より成るＴＰＴと、■部電枠６０６、ｉ：Ｊ
５屯体層５０７、上部′市榛５０８工り成るビデオ惰号
保持用コンデンザが構成さｆしており、こノｔが該晶駆
動用素子となり、７〉・つ−絵素となる。

本発明でＩ４．ｌｊに重要１部フナは、ＴＦＴ＃よび：
フ／欠ンリー」二部に形成沁ｊｌた３１１，３１２，３
１５゜６１４Ｊ−り成る多層ツし感乳剤層であり、こノ
シが、絵素個々のカラーフィルターの形成をすることに
なる。

本ダシ施例ｉｔ　ｓ−いては、多層光感乳剤１粥として
。

一般に使用さｔｔているカラーリバーザルフィルムに用
いらＩしている、主として・・ロゲン化欽乳剤とノＪフ
フー」、リイ１４成をノＬ又いるものを使用した。

カラーフィルターの形成６−［、初めに７’＋＋望の形
状、配列より成るカラーノイルター１（］カラーマスク
を多層光感乳剤層の形成びノシたｒＴ”　１’アレイ上
シ（位１メイ１合し−ｔ’ｉ’ｆ’、？い、し刀＼るの
もしＣキー（ニノンク／〕゛等の白色芳、てカラーマス
ク土のカラーパターンを露九する。次Ｑ′Ｃ第１＞＋ｌ
像とし７て黒白ノーｆルム現イ埃欣で黒白ネガを形成う
る。ｌ’４　＋　ｉｌＪ、簡ｊで１・廿、硼１曲田′の
み４にじ、色素はル５．Ｖ、沁ノＬない。７乳剤層に残
っている未４Ｊ、１＼ハロケン化銀がホジ像に相当３る
。次ｉｃタ／グスデン′屯球等で未現像ハロゲン体調を
反転露光し感光さぜる。そして、現１１４主薬としてＣ
１）６のようなバラミン誘導体を用いた現像液で」、１
象をｒｉ　７．７：い、銀像を生成し、乳剤層内π発色
現像主薬の階化物ができると、これが乳剤１−に添加＠
１ｔ−ｃいるカノラーと反応して、色素を生威し、ｒｃ
感乳剤八へ４（／（−は創知＋′ン１ぼ、緑感乳剤層に
はマゼンタのポジ像、赤ｇ乳剤層にｄシアンのポジ像が
できる。

舶１現像で生成し〕でネガ銀像、発色現像でできたポジ
観像の両方を、標白液で量化して・・ロゲン化銀に変え
、定着剤で溶解する。

８＋８１現像と発色現像で現像された乳剤は、ひ白計で
ハログ／化釦に１つて２す、第＋１．１象と発色現像で
」、像さｉＬなかった乳剤ｄ、ノ・ロゲン化釦のま捷で
、どちらも定着准洗よって溶解除去され、ｐ累ポジ１号
のみが残る。１ 色素（′、↓、ンアン、マゼンタ、黄の６色であり、黄
とマゼンタにエリ赤色ノイルター、溝とンアント（−よ
り緑色フィルター、マゼンタと／アノにより一９帥フィ
ルターが形成されることになる。

以上刀・ら分るように、不実施例（′こおいて１＃１、
ただ−Ｉルのカラーマスク合わせを行ない露光し現ｆ１
３゜δμ白、定矯と連続して現像処理をイ°Ｉ々うこと
により簡単にカラーフィルターを形成でき、かつ工程の
ｆＲｊ単イヒならびに工程数の削減ｔ／Ｃより太幅η歩
留りの向上、コストの低減が可能となった。

寸た、本実施例においては単ｒ（カラーフィルターの形
成のみについて述べたが、カラーマ７りに黒色部分を形
成することにエリ、゛）′１邊Ｃよるリーク電流を低減
する為の元部断層も簡単Ｋ　Ｔ　Ｆ　Ｔ−ｊ’レイ十に
形成できるという利点も折ンる。

以上の説明から、カラー表示の沿晶表示パイ・ルに作る
上で４＼発明の利用価価ＩＩ：　＜４＋ｉめで大きいも
のである。

【図面の簡単な説明】

第１　［１（ａ）は従来の液晶表示パイ・ルのマトリノ
クヌ配置図、第１シ１（ｂ）は第１図（ａ）　ＶＣ示す
液晶用駆動素子の回路］ン１である。 第２図は従来のカラーフィルターが形成きれている５つ
の＃素についての断面図、第３図は本発明によるカラー
フィルターの形成されている一絵素の断面図である。 ２０１・・透明銘！　Ｒｔ／１′基板 ２０２ａ、　　　２０２ｂ、　　　２０２ｃｍ・　ゲ　
−　ト　屯イ＋２０３ａ、２０３ｂ、２Ｌ１５ｃ・−・
ソース電極２０４ａ、２０４ｂ、２０４ｃｍ・ドレイン
電析２０５ａ、２０５ｂ、２０５ｃ・・・半導体層２０
６ａ、２０６ｂ、２０６Ｃ−谷歌下部電極２０７ａ、２
０７ｂ、２Ｑ７Ｃ誘電体層２０８ａ、２０８ｂ、２０８
ｃｍ’ｄ厳上部１ｉ４Ｗ２０９ａ　　　　　２０９ｂ、
、２Ｑ９ｃ　　・−ゲ　−　ト　ＫＱ　ｋ　ｑｕ２　１
　０ａ、＋　　　２　１　０ｂ、　　　２　１　０ｃｍ
＝ｒ呆を棚験２１１・・赤色フィルター ２１２・・緑色フィルター ２１５・・青色フィルター ５０１・・透明絶縁性ノ、（５仮 ３０２　・ゲート電樋２ ３０５・・・ソース市、極 ６０４・・・ドレイン電極 ６０５・・半導体層 ５０６・界隈下部電極 ３０７・・・誘電体層 ３０８・・・谷Ｍ−土部電極 ５０９・・・ゲート絶縁膜 ５１０・・・保護膜 ５１１・・・シアン発色カプラーを含む赤感乳剤層５１
２・・・マゼンタ発色力ダラーを含む緑感乳剤１腎 ５１６・・・黄発色カプラーを含む青感乳剤層う１４・
・黄フィルター 以　　　上 出願人　株式会社　絹二精工舎 代理人　弁理士　最　上　　務 第１図（θ） 第１図（ｂ）

Claims (2)

【特許請求の範囲】
1. （１）絶縁性基根土に形成伴れたソース電極とドレイン
   喝桁間を連結するチャイ・ル頃域を有する薄膜トランジ
   スタにおいて、ｉｉ１記Ｍ嘆トランジ、スタ上に少ｌく
   とも２層以上の光感乳剤層より形成されるカラーノイル
   ターが設けらＪｌ、でいることを特徴と−Ｊ−る薄ｊｊ
   ＋；’！トラ２・ジスタ。
2. （２）　　前記多層光感乳剤層がハロゲン化銀乳剤を主
   感元乳剤であることを特徴とする特許請求の範１７１１
   　妃１　ｒｒ４記載の台模トランジスタ。 （：Ｗ）　　前記多層プ「；感乳剤層が、最上部より順
   に、第１１？づ口か少４くともｆ７発色カプラーを含む
   ハロゲン化研；乳剤な竹ｒ、乳剤と成す有感病、紀２層
   目が菌フィルター、第５層目が少なくともマゼンタ発色
   カフラーを含むハロゲン化銀乳剤を緑感乳剤と成す緑感
   層、々−，４層目が少ηくともシアン発色カダラーを含
   む・・ロゲ／化鏝乳剤を赤感乳剤と成す赤感層より構成
   さｉＬること全特徴どする特許請求の範１ノｔＪ第１項
   甘７ζは祐２勇記載の婢嗅トランジスタ。