JPS5963652A - 質量分析装置 - Google Patents
質量分析装置Info
- Publication number
- JPS5963652A JPS5963652A JP57173020A JP17302082A JPS5963652A JP S5963652 A JPS5963652 A JP S5963652A JP 57173020 A JP57173020 A JP 57173020A JP 17302082 A JP17302082 A JP 17302082A JP S5963652 A JPS5963652 A JP S5963652A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- magnetic field
- ion
- analysis
- optical axis
- end surface
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01J—ELECTRIC DISCHARGE TUBES OR DISCHARGE LAMPS
- H01J49/00—Particle spectrometers or separator tubes
- H01J49/26—Mass spectrometers or separator tubes
- H01J49/28—Static spectrometers
- H01J49/32—Static spectrometers using double focusing
Landscapes
- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Analytical Chemistry (AREA)
- Other Investigation Or Analysis Of Materials By Electrical Means (AREA)
- Electron Tubes For Measurement (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は質量分析相場とエネルギー分析用電場と更に質
量分析用磁場をこの順に直列に配置した型の質量分析装
置に関する。
量分析用磁場をこの順に直列に配置した型の質量分析装
置に関する。
質量分析用磁場を通して選別された特定質量のイオンを
更にエネルギー分析用電場を通してエネルギー分析する
二重収束型質量分析計で質量分析用磁場とエネルギー分
析用磁場との中間に衝突質を配置して衝突ガスを導入し
、質量分析用磁場を出射した特定質量のイオンを上記衝
突室に入射さ姦て衝突解離を起させ、生成されたイオン
を−ネルギー分析用場に入射させてエネルギー分析する
分析手法が用いられる。近時この分析手法において、二
重収束型質量分析装置に更に直列に質量分析用磁場を付
加して衝突解離によって生成したイオンをエネルギー分
析した上更に質量分析する方法即ちＭ’Ｓ／ＭＳと呼ば
れる分析法が用いられるようになって来た。
更にエネルギー分析用電場を通してエネルギー分析する
二重収束型質量分析計で質量分析用磁場とエネルギー分
析用磁場との中間に衝突質を配置して衝突ガスを導入し
、質量分析用磁場を出射した特定質量のイオンを上記衝
突室に入射さ姦て衝突解離を起させ、生成されたイオン
を−ネルギー分析用場に入射させてエネルギー分析する
分析手法が用いられる。近時この分析手法において、二
重収束型質量分析装置に更に直列に質量分析用磁場を付
加して衝突解離によって生成したイオンをエネルギー分
析した上更に質量分析する方法即ちＭ’Ｓ／ＭＳと呼ば
れる分析法が用いられるようになって来た。
Ｍｅ／ＭＳ法に用いられる質量分析装置は始めに３ｊｌ
ｌ□だように第１の質計分析用磁場とエネルキー分４ノ
１用電場と第２の質イ１分析用磁場の王者が直夕１１配
置されたものであるか、本発明はこの型の質：１：分析
記で特に優れノこイオン光学特性を有するものを提供す
るものである。
ｌ□だように第１の質計分析用磁場とエネルキー分４ノ
１用電場と第２の質イ１分析用磁場の王者が直夕１１配
置されたものであるか、本発明はこの型の質：１：分析
記で特に優れノこイオン光学特性を有するものを提供す
るものである。
先に磁場先行型の二重収束型質量分析側として優れ／ζ
イオノ光学特性を与える構成か本件特許出願人によって
特願昭５５− ’７２９０９号によって提案された。本
発明はこの既提案の構成に第２の質１５−分析用磁場を
後続さぜ、エネルギー分析用電場と第２のクツＩＦｉＴ
分析用磁場とよりなるイオン光学系のｊ忽合ｔＦキ件が
最も望ましいものとなるような第２の質Ｉｉ１分析用磁
場の構成を−Ｉｊえるものである○第１図は本発明の一
実施例を示す。Ｉｖｌ １ばａすの質１，１分析用一様
磁場、Ｔはエネルギー分析用のトロイダル電場、Ｍ２は
第２の質量分析用一様磁場で、Ｓコはイオン入射スリン
ｌ−１ＳＯはイオン出射スリット、Ｄはイオン検出器で
Ｃは衝突室である。Ｎｆｊ突室は図点線Ｃ′の位置に置
くこともできる。第１図の符号によって示された各部の
寸法。
イオノ光学特性を与える構成か本件特許出願人によって
特願昭５５− ’７２９０９号によって提案された。本
発明はこの既提案の構成に第２の質１５−分析用磁場を
後続さぜ、エネルギー分析用電場と第２のクツＩＦｉＴ
分析用磁場とよりなるイオン光学系のｊ忽合ｔＦキ件が
最も望ましいものとなるような第２の質Ｉｉ１分析用磁
場の構成を−Ｉｊえるものである○第１図は本発明の一
実施例を示す。Ｉｖｌ １ばａすの質１，１分析用一様
磁場、Ｔはエネルギー分析用のトロイダル電場、Ｍ２は
第２の質量分析用一様磁場で、Ｓコはイオン入射スリン
ｌ−１ＳＯはイオン出射スリット、Ｄはイオン検出器で
Ｃは衝突室である。Ｎｆｊ突室は図点線Ｃ′の位置に置
くこともできる。第１図の符号によって示された各部の
寸法。
角度１曲率半径等の関係を１ニ一表に示す。・］−法関
係は第］の磁場Ｍ土におけるイオン光学系の光軸の曲率
半径Ａ ｍを］として表わしである。
係は第］の磁場Ｍ土におけるイオン光学系の光軸の曲率
半径Ａ ｍを］として表わしである。
Ａｍ 工
ａ ｅ Ｏ，’ｉ’ ５〜０．９ψＯ８
５〜９５゜ ψｅ ８５°〜９５゜ Ｒ１１ｆｉｌ −−］−〜−０，５（−は凹面の意
味）Ｅｌ −１４，００〜−６，０゜ ＲＥＩ −ａ ｅ−−ａ、 ｅ （図の紙面に垂直
な１ｆｉｉ内で曲率を有する） ＲＥ２ −２ａｅ 〜０．６ａｅ’（Ｊ二と同じ）
ＤＩ ０．８５〜１．２５ トロイダル電場定数Ｃ１ｏ、４５〜０．５５／：ｌ二１
ｍｌ ψｍ ９００ 、ＲＭ２ １／１．０５ Ｅ材 １２゜ Ｄ、３ ２．８２８１ １）４ ０．７７８３ ／Ｉ」： ｌ・ロイダル電場定数Ｃ１は）・ロイダル電
（ヴの図の紙面における曲率中心を通る垂直断面におけ
る電（・１２間中心線の曲率半径をＣｅとしてＣ１＝ａ
θ／ｃｅ である。
５〜９５゜ ψｅ ８５°〜９５゜ Ｒ１１ｆｉｌ −−］−〜−０，５（−は凹面の意
味）Ｅｌ −１４，００〜−６，０゜ ＲＥＩ −ａ ｅ−−ａ、 ｅ （図の紙面に垂直
な１ｆｉｉ内で曲率を有する） ＲＥ２ −２ａｅ 〜０．６ａｅ’（Ｊ二と同じ）
ＤＩ ０．８５〜１．２５ トロイダル電場定数Ｃ１ｏ、４５〜０．５５／：ｌ二１
ｍｌ ψｍ ９００ 、ＲＭ２ １／１．０５ Ｅ材 １２゜ Ｄ、３ ２．８２８１ １）４ ０．７７８３ ／Ｉ」： ｌ・ロイダル電場定数Ｃ１は）・ロイダル電
（ヴの図の紙面における曲率中心を通る垂直断面におけ
る電（・１２間中心線の曲率半径をＣｅとしてＣ１＝ａ
θ／ｃｅ である。
第２図は上述質沿分析計のイオン光学系を真直入射スリ
ン１〜の中心線上端ｙｏの位置で光軸からＸ方向に角度
αＯ２ｙ方向に角度βＯ傾いた一本のイオンビ＝１１を
考え、ｙｏの出射スリン）８６上の理想像をｙｏｌとし
、上記イオンビームの出射スリット面との交点をｙ □
ＩＩとする。こ＼で分解能と関係する収差は図示Δで
、Δば６個の２次収差係数を用いて、イオンビームのエ
ネルギー幅ヲδＯとして ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１）て−１
−３えられる。−１一連実施例における２次収差係数一 また像倍率Ａ ＸＬ １．０３ 、質量分ｉ７ｉ係数Ａ
ｔ−−−α８８８である。
ン１〜の中心線上端ｙｏの位置で光軸からＸ方向に角度
αＯ２ｙ方向に角度βＯ傾いた一本のイオンビ＝１１を
考え、ｙｏの出射スリン）８６上の理想像をｙｏｌとし
、上記イオンビームの出射スリット面との交点をｙ □
ＩＩとする。こ＼で分解能と関係する収差は図示Δで
、Δば６個の２次収差係数を用いて、イオンビームのエ
ネルギー幅ヲδＯとして ・・・・・・・・・・・・・・・・・・・（１）て−１
−３えられる。−１一連実施例における２次収差係数一 また像倍率Ａ ＸＬ １．０３ 、質量分ｉ７ｉ係数Ａ
ｔ−−−α８８８である。
なお前表における第２のタイ１吊分析用礒場Ｍ２に関す
るデータは一実施例であって、この表に示された値に限
定されるものではなく、前表に示された値の近辺であれ
ばよい。まだＭ２に関するファクターで主要なものはＤ
３． ψｍ及びＲＭ２でａｍ ＝＝ １として １）３ ２．５〜３．０ ψｍ ８’７．５°〜９２．５ Ｒ％ ０．８〜１．１ Ｅｌ １０ 〜１４ 但しａ ｍ ＝、 Ａ ｍである。
るデータは一実施例であって、この表に示された値に限
定されるものではなく、前表に示された値の近辺であれ
ばよい。まだＭ２に関するファクターで主要なものはＤ
３． ψｍ及びＲＭ２でａｍ ＝＝ １として １）３ ２．５〜３．０ ψｍ ８’７．５°〜９２．５ Ｒ％ ０．８〜１．１ Ｅｌ １０ 〜１４ 但しａ ｍ ＝、 Ａ ｍである。
本発明によるときは衝突活性化されたイオンビームを効
率良く検出器に収束でき、感度向上が得られる。
率良く検出器に収束でき、感度向上が得られる。
第１図は本発明の一実施例の平面図、第２図はイオン光
学系の展開斜視図である。 Ｍｌ・・・第１の質６’：分析用磁場、Ｔ・・エネルギ
ー分析用の）・ロイグル、ＩＬ場、Ｍ２・・・第２の質
量分析用磁場、Ｓ］・・・入射スリノ１−１ＳＯ・・・
出射スリット、Ｃ・・・価突室、１）・・・イオン検出
器。 代理人 弁理士 蒜 浩 介
学系の展開斜視図である。 Ｍｌ・・・第１の質６’：分析用磁場、Ｔ・・エネルギ
ー分析用の）・ロイグル、ＩＬ場、Ｍ２・・・第２の質
量分析用磁場、Ｓ］・・・入射スリノ１−１ＳＯ・・・
出射スリット、Ｃ・・・価突室、１）・・・イオン検出
器。 代理人 弁理士 蒜 浩 介
Claims (1)
- 第１の質量分析用均一磁場とエネルギー分析用トロイダ
ル電□場と第２の質量分析用均一磁場の三者直列配置よ
シなシ、上記第１の均−磁場及びトロイダル電極の偏向
角が夫々９００前後、上記第１の均一磁場のイオン入射
端面が凹面でイオン出射端面がイオン光学系の光軸を含
む面内で同光軸と垂直よシ負側へ６〜１４°傾いておシ
、上記第２の均一磁場の偏向角が８７・５°〜９２・５
０１同磁場を通るイオン光軸の曲率径ａｍが上記第１の
ンｌ射端面が凹面で曲率半径が０・８ａｍ〜１．１ａｍ
、 トロイダル電場出射面から第２の均一磁場のイオ
ン入射端面までの距離が２．．５ａｍ〜３．ＯＡｍで、
第２の均一磁場のイオン感射端面がイオン光学系の光軸
を含む面内で同巻軸と垂直よシ正側にｌＯ〜１４ 傾い
ていることを特徴とする質量分析装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57173020A JPS5963652A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 質量分析装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57173020A JPS5963652A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 質量分析装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5963652A true JPS5963652A (ja) | 1984-04-11 |
Family
ID=15952714
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57173020A Pending JPS5963652A (ja) | 1982-09-30 | 1982-09-30 | 質量分析装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5963652A (ja) |
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62274544A (ja) * | 1986-05-15 | 1987-11-28 | フィソンス・ピーエルシー | 二重集中質量分析計 |
| JPH10206272A (ja) * | 1997-01-23 | 1998-08-07 | Ulvac Japan Ltd | 漏洩検知用磁場偏向型質量分析管の分解能向上方法 |
-
1982
- 1982-09-30 JP JP57173020A patent/JPS5963652A/ja active Pending
Cited By (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS62274544A (ja) * | 1986-05-15 | 1987-11-28 | フィソンス・ピーエルシー | 二重集中質量分析計 |
| JPH10206272A (ja) * | 1997-01-23 | 1998-08-07 | Ulvac Japan Ltd | 漏洩検知用磁場偏向型質量分析管の分解能向上方法 |
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