JPS5957105A - ２次元図形位置ずれ補正装置 - Google Patents
２次元図形位置ずれ補正装置Info
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- JPS5957105A JPS5957105A JP57170054A JP17005482A JPS5957105A JP S5957105 A JPS5957105 A JP S5957105A JP 57170054 A JP57170054 A JP 57170054A JP 17005482 A JP17005482 A JP 17005482A JP S5957105 A JPS5957105 A JP S5957105A
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- G03—PHOTOGRAPHY; CINEMATOGRAPHY; ANALOGOUS TECHNIQUES USING WAVES OTHER THAN OPTICAL WAVES; ELECTROGRAPHY; HOLOGRAPHY
- G03F—PHOTOMECHANICAL PRODUCTION OF TEXTURED OR PATTERNED SURFACES, e.g. FOR PRINTING, FOR PROCESSING OF SEMICONDUCTOR DEVICES; MATERIALS THEREFOR; ORIGINALS THEREFOR; APPARATUS SPECIALLY ADAPTED THEREFOR
- G03F9/00—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically
- G03F9/70—Registration or positioning of originals, masks, frames, photographic sheets or textured or patterned surfaces, e.g. automatically for microlithography
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は、プリント基板パターン等の２次元図形を精
密に比較検査する装置に関するものであり、％に相互に
位置ずれが存在するパターンを電気的にその位置ずれを
補正して、パターンの短絡、断線等の欠陥部乞比較検査
する装置に関するものである。
密に比較検査する装置に関するものであり、％に相互に
位置ずれが存在するパターンを電気的にその位置ずれを
補正して、パターンの短絡、断線等の欠陥部乞比較検査
する装置に関するものである。
従来、この種の装置として第１図に示すものがあった。
同図において、１，２はプリント基板のよ５な撮像対象
物、３．４はテレビカメラ等の撮像装置、５，６は比較
器、７，８は前記比較器５゜６の一方の入力端子に印加
する一定電圧を発生する基準電圧発生器である。また、
９は前記比較器５．６からの出力信号を受け、比較処理
する比較検査回路である。
物、３．４はテレビカメラ等の撮像装置、５，６は比較
器、７，８は前記比較器５゜６の一方の入力端子に印加
する一定電圧を発生する基準電圧発生器である。また、
９は前記比較器５．６からの出力信号を受け、比較処理
する比較検査回路である。
第２図（ａ）は撮像画面中圧おける正常基板パターンの
部分図形（以下、Ｓ図形と称１）、第２図（ｂ）は撮像
画面中における被検査基板パターンの部分図形（以下、
Ｘ図形と称す）である。Ｘ図形には微小な突起部の不良
部分２Ｃや欠切部の不良部分２ｄが有り、また、位置決
めマーク２ａが設けである。位置決めマークはＳ図形に
も１ａのように存在する。不良部としてはＸ図形の２０
，２ｄを検出するものと考える。なお、Ｉｂ、２ｂはコ
ーナ部である。
部分図形（以下、Ｓ図形と称１）、第２図（ｂ）は撮像
画面中における被検査基板パターンの部分図形（以下、
Ｘ図形と称す）である。Ｘ図形には微小な突起部の不良
部分２Ｃや欠切部の不良部分２ｄが有り、また、位置決
めマーク２ａが設けである。位置決めマークはＳ図形に
も１ａのように存在する。不良部としてはＸ図形の２０
，２ｄを検出するものと考える。なお、Ｉｂ、２ｂはコ
ーナ部である。
第３図（ａ）は上記Ｓ図形とＸ図形とが位置ずれなしに
重ね合わされたもので相違部分を斜線で示しである。ま
た、同図（ｂ）はＳ図形とＸ図形の間にいくらかの位置
ずれがある場合に重ね合わされたもので相違部分をやは
り斜線で示しである。
重ね合わされたもので相違部分を斜線で示しである。ま
た、同図（ｂ）はＳ図形とＸ図形の間にいくらかの位置
ずれがある場合に重ね合わされたもので相違部分をやは
り斜線で示しである。
次に第１図に示すような従来装置を用いたプリント基板
等の撮像対象物１，２を比較検査する方法九ついて説明
する。
等の撮像対象物１，２を比較検査する方法九ついて説明
する。
第１図において、基板パターン等の撮像対象物１．２を
それぞれ撮像装置３．４で撮像し、電気信号に変換した
後、基準電圧発生器１，８から出力される一定電圧と比
較器５，６を通して２値化し、それぞれの２値化信号を
比較検査回路９で比較して検査するのである。撮像対象
物１として第２図（ａ）に示すようなＳ図形の基本パタ
ーンを、撮像対象物２として同図（ｂ）に示すようなＸ
図形の基本パターンを用いると、第３図（ａ）の如く、
撮像対象物１，２０図形に位置ずれかないときは、不良
部分２ｃ、２ｄのみが斜線部分２ｃ’、２ｄ’の２値化
信号の相違としてあられれる。従って位置ずれがなけれ
ば比較検査は容易である。しかし、一般には第３図（ｂ
）の如く２つの図形が位置ずれを起している場合が多く
、この場合には不良部分２ｃ、２ｄのみならず正常部に
おいて、相違か斜線部分２ ｅ’ ＋ ２ ｆ’ ａ
２ ｇ’のようにあられれるため単純に２つの２値
化信号の相違を検出するだけでは、不良部分２ｃ、２ｄ
のみの検出を行うことができない。このように上記従来
の比較検査による撮像対象物２０図形の不良部分２ｃ、
２ｄＹ検出する方法では、２つの撮像対象物１，２０図
形か相対的に位置ずれン起している場合には、単純に２
つの撮像装置３．４からの電気信号′ｆｔ２値化した後
、２つの２値化信号ン比較して相違点火見比重だけでは
不良部分７ｃ、２ｄのみを抽出して検査することが困難
であった。
それぞれ撮像装置３．４で撮像し、電気信号に変換した
後、基準電圧発生器１，８から出力される一定電圧と比
較器５，６を通して２値化し、それぞれの２値化信号を
比較検査回路９で比較して検査するのである。撮像対象
物１として第２図（ａ）に示すようなＳ図形の基本パタ
ーンを、撮像対象物２として同図（ｂ）に示すようなＸ
図形の基本パターンを用いると、第３図（ａ）の如く、
撮像対象物１，２０図形に位置ずれかないときは、不良
部分２ｃ、２ｄのみが斜線部分２ｃ’、２ｄ’の２値化
信号の相違としてあられれる。従って位置ずれがなけれ
ば比較検査は容易である。しかし、一般には第３図（ｂ
）の如く２つの図形が位置ずれを起している場合が多く
、この場合には不良部分２ｃ、２ｄのみならず正常部に
おいて、相違か斜線部分２ ｅ’ ＋ ２ ｆ’ ａ
２ ｇ’のようにあられれるため単純に２つの２値
化信号の相違を検出するだけでは、不良部分２ｃ、２ｄ
のみの検出を行うことができない。このように上記従来
の比較検査による撮像対象物２０図形の不良部分２ｃ、
２ｄＹ検出する方法では、２つの撮像対象物１，２０図
形か相対的に位置ずれン起している場合には、単純に２
つの撮像装置３．４からの電気信号′ｆｔ２値化した後
、２つの２値化信号ン比較して相違点火見比重だけでは
不良部分７ｃ、２ｄのみを抽出して検査することが困難
であった。
この発明は、上述の点圧かんがみてなされたもので、２
つの撮像図形を比較して不良部分を検出する図形比較検
査方式において、２つの撮像図形が相対的忙位置ずれを
起している場合でも、電気的処理により、２つの撮像図
形を相対ずれのないように補正し一致させて、比較検査
による不良部分の検査を容易にする２次元図形位置ずれ
補正装置を提供することを目的とする。以下、この発明
を図面に基づいて説明する。
つの撮像図形を比較して不良部分を検出する図形比較検
査方式において、２つの撮像図形が相対的忙位置ずれを
起している場合でも、電気的処理により、２つの撮像図
形を相対ずれのないように補正し一致させて、比較検査
による不良部分の検査を容易にする２次元図形位置ずれ
補正装置を提供することを目的とする。以下、この発明
を図面に基づいて説明する。
第４図はこの発明の一実施例を示す要部のブロック図で
ある。同図において、１．２はプリント基板等の撮像対
象物、３，４はテレビカメラ等の撮像装置、５．６は比
較器、７．８は前記比較器５．６の一方の入力端子に一
定の電圧を印加する基準電圧発生器である。１０．１１
は遅延回路であり、例えばカウンタなどの出力制御信号
値に応じて一定時間、２値化信号を遅延させて出力する
もので、カウンタの出力制御信号値によって遅延させる
ことなく出力することもできる。１２はパターン位置差
算出回路で、遅延回路１０．１１からの信号を受けて各
々の撮像対象物１，２中の特定位置を検出し、その差ｙ
Ｉｌ−算出してその結果に応じて遅延回路１０，１１の
うちの１つを選び、選ばれ方の遅延回路１０または１１
に位置差に対応する出力制御信号値を出力するものであ
る。
ある。同図において、１．２はプリント基板等の撮像対
象物、３，４はテレビカメラ等の撮像装置、５．６は比
較器、７．８は前記比較器５．６の一方の入力端子に一
定の電圧を印加する基準電圧発生器である。１０．１１
は遅延回路であり、例えばカウンタなどの出力制御信号
値に応じて一定時間、２値化信号を遅延させて出力する
もので、カウンタの出力制御信号値によって遅延させる
ことなく出力することもできる。１２はパターン位置差
算出回路で、遅延回路１０．１１からの信号を受けて各
々の撮像対象物１，２中の特定位置を検出し、その差ｙ
Ｉｌ−算出してその結果に応じて遅延回路１０，１１の
うちの１つを選び、選ばれ方の遅延回路１０または１１
に位置差に対応する出力制御信号値を出力するものであ
る。
第５図は遅延回路１０．Ｉｔの詳細な示すプロッタ図で
ある。同図において、１３ａ〜１３ｅは２値化信号の１
水平走査線に含まれるデータな一時記憶することができ
る容量７もつシフトレジスタであり、１３ａ、１３ｂ、
・・・・・・の順に１水平走を 査線分だけ遅れｔこ２値化データが一時記憶されている
。また、１４ａ〜１４ｅは２値化信号の１水平走査線中
の１回当りのサンプリングにおける２値化データを一時
記憶丁７）１ビツトの容量を持つシフトレジスタである
。ま１こ、シフトレジスター５はシフトレジスター４ａ
〜１４ｅと合わせて、ｌ水平走査線分の２値化データを
一時記憶することができる容量χもっている。１６．１
７は例えばマルチプレクサのような複数信号入力の内１
つを選択し出力する切換スイッチであり、例えばカラら
の信号バスである。
ある。同図において、１３ａ〜１３ｅは２値化信号の１
水平走査線に含まれるデータな一時記憶することができ
る容量７もつシフトレジスタであり、１３ａ、１３ｂ、
・・・・・・の順に１水平走を 査線分だけ遅れｔこ２値化データが一時記憶されている
。また、１４ａ〜１４ｅは２値化信号の１水平走査線中
の１回当りのサンプリングにおける２値化データを一時
記憶丁７）１ビツトの容量を持つシフトレジスタである
。ま１こ、シフトレジスター５はシフトレジスター４ａ
〜１４ｅと合わせて、ｌ水平走査線分の２値化データを
一時記憶することができる容量χもっている。１６．１
７は例えばマルチプレクサのような複数信号入力の内１
つを選択し出力する切換スイッチであり、例えばカラら
の信号バスである。
第６図はパターン位置差算出回路１２の詳細を示すブロ
ック図である。同図において、２０．２１はそれぞれ前
記遅延回路１０．１１から出力された２値化信号が入力
する信号線、２２〜２４はフリップフロップであり、２
５はこのフリップフロップ２２〜２４の初期リセット信
号が入力する信号線である。２６はオア回路、２７．２
８はノット回路、２９〜３２はアンド回路、３３は２値
化信号の１水平走査線を一定周期でサンプリングするク
ロックパルス信号が入力する信号線である。
ック図である。同図において、２０．２１はそれぞれ前
記遅延回路１０．１１から出力された２値化信号が入力
する信号線、２２〜２４はフリップフロップであり、２
５はこのフリップフロップ２２〜２４の初期リセット信
号が入力する信号線である。２６はオア回路、２７．２
８はノット回路、２９〜３２はアンド回路、３３は２値
化信号の１水平走査線を一定周期でサンプリングするク
ロックパルス信号が入力する信号線である。
３４〜３Ｔはクロックパルス信号をカウントするカウン
タであり、カウンタ３４，３６はクロックパルス１発に
ついてカウントアツプし、そのカウント数が１水平走査
線分のサンプリングカウント数に達するとリセットされ
再び０″からカウントアツプされる。カウンタ３５，３
７はｌ水平走査線分のサンプリングカウント数に達する
ととＶＣｌずつカウントアツプする。従ってカウンタ３
４゜３６はパターンの水平位置ずれ量のカウンタであり
、カウンタ３５，３７は垂直位置ずれ量のカウンタとい
うことになる。１９．１８は前記カウンタ３４．３５の
信号バス、１９’、１Ｂ’は前記カウンタ３６，３７の
信号バスである。信号バス１９゜１８は遅延回路１１の
信号バス１９．１８に接続される。また、信号バス１９
’、１８’も遅延回路１０゜１１０信号バス１９．１８
に接続される。３８〜４１は各部分の１ｇ号が通る信号
線である。
タであり、カウンタ３４，３６はクロックパルス１発に
ついてカウントアツプし、そのカウント数が１水平走査
線分のサンプリングカウント数に達するとリセットされ
再び０″からカウントアツプされる。カウンタ３５，３
７はｌ水平走査線分のサンプリングカウント数に達する
ととＶＣｌずつカウントアツプする。従ってカウンタ３
４゜３６はパターンの水平位置ずれ量のカウンタであり
、カウンタ３５，３７は垂直位置ずれ量のカウンタとい
うことになる。１９．１８は前記カウンタ３４．３５の
信号バス、１９’、１Ｂ’は前記カウンタ３６，３７の
信号バスである。信号バス１９゜１８は遅延回路１１の
信号バス１９．１８に接続される。また、信号バス１９
’、１８’も遅延回路１０゜１１０信号バス１９．１８
に接続される。３８〜４１は各部分の１ｇ号が通る信号
線である。
第７図は第６図に示す回路が動作しているときの各部の
信号波形を示している。同図において、（Ａ）は信号線
３８の信号波形、（Ｂ）は信号線３９の信号波形、（Ｃ
）は信号線４０の信号波形、（Ｄ）は（ｉＮ号線４１の
信号波形を示す。
信号波形を示している。同図において、（Ａ）は信号線
３８の信号波形、（Ｂ）は信号線３９の信号波形、（Ｃ
）は信号線４０の信号波形、（Ｄ）は（ｉＮ号線４１の
信号波形を示す。
以下、第４図〜第６図に示すこの発明の実施例の回路の
動作を第７図に示す信号波形を参照しながら説明する。
動作を第７図に示す信号波形を参照しながら説明する。
撮像対象物１，２のパターンは撮像装置３，４により電
気信号に変換され比較器５゜６の一方の入力として加え
られる。比較器５，６の他方の入力には基準電圧発生器
７．８から一定電圧か印加され、撮像装置３，４の電気
出力信号はそれぞれ高低２つのレベルに２値化される。
気信号に変換され比較器５゜６の一方の入力として加え
られる。比較器５，６の他方の入力には基準電圧発生器
７．８から一定電圧か印加され、撮像装置３，４の電気
出力信号はそれぞれ高低２つのレベルに２値化される。
この２値化された信号はそれぞれ遅延回路１０．１１に
加えられる。遅延回路１０．１１では切換スイッチ１６
．１７が初期状態にセントされており、実質的には２値
化信号は遅延されずそのまま出力され、パターン位置差
算出回路１２に加えられる。
加えられる。遅延回路１０．１１では切換スイッチ１６
．１７が初期状態にセントされており、実質的には２値
化信号は遅延されずそのまま出力され、パターン位置差
算出回路１２に加えられる。
パターン位置差算出回路１２では、まず遅延されない２
値化信号を信号線２０．２１を通して受けて撮像対象物
１．２中の特定パターンの位置を検出する。
値化信号を信号線２０．２１を通して受けて撮像対象物
１．２中の特定パターンの位置を検出する。
その方法の一例として、第２図に示すような位置決めマ
ーク１ａ、２ａのフーナ部１ｂ、２ｂＹ検出する方法に
ついて説明する。
ーク１ａ、２ａのフーナ部１ｂ、２ｂＹ検出する方法に
ついて説明する。
２つの撮像装置３，４の各々の画面の左上端から走査し
ていった場合、パターンの存在するところでは′１”、
そうでないところでは′０″なる２値化信号が得られる
ものとすると、位置決めマーク１ａで゛はコーナ部１ｂ
の位置で、また、位置決めマーク２ａではコーナ部２ｂ
の位置で２値化信号は′０″からｌ”Ｋ変化し、この時
点でコーナ部１ｂ、２ｂの位置が検出されたことになる
。このときフリップフロップ２２，２３の出力は第７図
の（Ａ）、 （Ｂ）に示すような波形の信号となり信号
線３８．３９上に出力される。次にこのフリップフロッ
プ２２，２３の出力信号はオア回路２６Ｙ：通してフリ
ップフロップ２４０セツト端子に入力される。このフリ
ップフロップ２４の出力はアンド回路２９．３０の一方
の入力端子に入力される。
ていった場合、パターンの存在するところでは′１”、
そうでないところでは′０″なる２値化信号が得られる
ものとすると、位置決めマーク１ａで゛はコーナ部１ｂ
の位置で、また、位置決めマーク２ａではコーナ部２ｂ
の位置で２値化信号は′０″からｌ”Ｋ変化し、この時
点でコーナ部１ｂ、２ｂの位置が検出されたことになる
。このときフリップフロップ２２，２３の出力は第７図
の（Ａ）、 （Ｂ）に示すような波形の信号となり信号
線３８．３９上に出力される。次にこのフリップフロッ
プ２２，２３の出力信号はオア回路２６Ｙ：通してフリ
ップフロップ２４０セツト端子に入力される。このフリ
ップフロップ２４の出力はアンド回路２９．３０の一方
の入力端子に入力される。
アンド回路２９の他方の入力端子には、信号線３８゜ノ
ット回路２７’Ｙ通ってフリップフロップ２２の出力信
号が入力される。アンド回路３０の他方の入力端子には
、信号線３９．ノット回路２８ン通って７リツプフロツ
プ２３の出力信号か入力される。アンド回路２９，３０
の出力は第７図の（Ｃ）。
ット回路２７’Ｙ通ってフリップフロップ２２の出力信
号が入力される。アンド回路３０の他方の入力端子には
、信号線３９．ノット回路２８ン通って７リツプフロツ
プ２３の出力信号か入力される。アンド回路２９，３０
の出力は第７図の（Ｃ）。
（Ｄ） Ｋ示すような波形となり信号線４０．４１上に
出力される。ここでアンド回路３０の出力信号すなわち
信号線４１の４ｉ号のレベルか１″になつている区間は
、位置滉めマークパターンのコーナ部１ｂ、２ｂの位置
の差を示していることになる。
出力される。ここでアンド回路３０の出力信号すなわち
信号線４１の４ｉ号のレベルか１″になつている区間は
、位置滉めマークパターンのコーナ部１ｂ、２ｂの位置
の差を示していることになる。
ツタパルスのカウント数として表現されることになる。
これ乞実現するために、アンド回路３１にて、信号線３
３乞通して入力されるクロックパルスとアンド回路２９
の出力信号の論理積ｌ取り、アンド回路３１の出力をカ
ウンタ３４，３５に入力する。また、アンド回路３２に
て、クロック、＜ルスとアンド回路３０の出力信号の論
理積を取り、アンド回路３２の出力ｔカウンタ３６．３
７に入力する。このとき第７図の（Ｃ）に示すように７
ン１８に出力される。一方、カウンタ３６，３７の出力
値がそれぞれｍ、ｎとなっており信号バス１９Ｓ１Ｂ′
に出力されているものとすると（この実施例ではｍ≦５
．ｎ≦５とする）、これらは制御信号値として遅延回路
１０に人力される。その結果、第５図に示すような切換
スイッチ１６の上からｎ＋１番目、または切換スイッチ
１Ｔの下からｎ＋１番目の端子が選択され、遅延回路１
０からはｌ水平走査線口本分、および水平サンプリング
ｍビット分遅延された比較器５かもの２値化信号が出力
されることになる。ところで、遅延回路１１においては
前述のようにカウンタ３４，３５の出力カビ０”となっ
ているため、比較器６かもの２値化信号は遅延されずに
そのまま出力される。従って遅延回路１０に入力された
２値化信号のみか、特定パターン位置差分だけ遅延され
、遅延回路１１圧入力される２値化信号は遅延をうけな
（・ため、結果的に、遅延回路ＩＱ、Ｉｉかも出力され
る２値化信号には２つの２次元図形が位置ずれ乞起して
いたとしても、同一対応箇所の情報か含まれていること
になる。すなわち電気的に位置ずれ補正をした２つの２
値化信号が得られることになる。
３乞通して入力されるクロックパルスとアンド回路２９
の出力信号の論理積ｌ取り、アンド回路３１の出力をカ
ウンタ３４，３５に入力する。また、アンド回路３２に
て、クロック、＜ルスとアンド回路３０の出力信号の論
理積を取り、アンド回路３２の出力ｔカウンタ３６．３
７に入力する。このとき第７図の（Ｃ）に示すように７
ン１８に出力される。一方、カウンタ３６，３７の出力
値がそれぞれｍ、ｎとなっており信号バス１９Ｓ１Ｂ′
に出力されているものとすると（この実施例ではｍ≦５
．ｎ≦５とする）、これらは制御信号値として遅延回路
１０に人力される。その結果、第５図に示すような切換
スイッチ１６の上からｎ＋１番目、または切換スイッチ
１Ｔの下からｎ＋１番目の端子が選択され、遅延回路１
０からはｌ水平走査線口本分、および水平サンプリング
ｍビット分遅延された比較器５かもの２値化信号が出力
されることになる。ところで、遅延回路１１においては
前述のようにカウンタ３４，３５の出力カビ０”となっ
ているため、比較器６かもの２値化信号は遅延されずに
そのまま出力される。従って遅延回路１０に入力された
２値化信号のみか、特定パターン位置差分だけ遅延され
、遅延回路１１圧入力される２値化信号は遅延をうけな
（・ため、結果的に、遅延回路ＩＱ、Ｉｉかも出力され
る２値化信号には２つの２次元図形が位置ずれ乞起して
いたとしても、同一対応箇所の情報か含まれていること
になる。すなわち電気的に位置ずれ補正をした２つの２
値化信号が得られることになる。
なお、第５図に示すようＶＣシフトレジスタ１３ａ〜１
３ｅおよび１４ａ〜１４ｅの数をさらに充分増せば、大
きな位置ずれに対しても補正カー可能となる。
３ｅおよび１４ａ〜１４ｅの数をさらに充分増せば、大
きな位置ずれに対しても補正カー可能となる。
以上詳細に説明したように、この発明に係る２次元図形
位置ずれ補正装置は、パターン位置差算出回路にて、各
々の対象図形の中の特定パターンの位置ケ検出し、その
位置検出信号からどの特定パターンがどの方向にどれだ
けの量位置ずれしているかケ検出し、２、その方向によ
り２つの遅延回路の内いずれか１つｔ選択し、その選ば
れた遅延回路に位置ずれの量に応じた制御信号値を送る
ようにして電気的に対象図形の位置ずれを補正するよう
にしたので、２つの撮像対象物の２次元図形が相互に位
置ずれｔ起している場合でも迅純な比較検査により不良
部分の検出が可能となるという極めてすぐれた効果を発
揮するものである。
位置ずれ補正装置は、パターン位置差算出回路にて、各
々の対象図形の中の特定パターンの位置ケ検出し、その
位置検出信号からどの特定パターンがどの方向にどれだ
けの量位置ずれしているかケ検出し、２、その方向によ
り２つの遅延回路の内いずれか１つｔ選択し、その選ば
れた遅延回路に位置ずれの量に応じた制御信号値を送る
ようにして電気的に対象図形の位置ずれを補正するよう
にしたので、２つの撮像対象物の２次元図形が相互に位
置ずれｔ起している場合でも迅純な比較検査により不良
部分の検出が可能となるという極めてすぐれた効果を発
揮するものである。
第１図は従来の２次元比較検査装置のブロック図、第２
図は撮像対象物であるプリント基板のパターンを示す図
、第３図は第２図に示すパターンが位置ずれ２起した場
合と起さない場合との重ね合せた状態を示１°図、第４
図はこの発明の一実施例を示す２次元図形位置ずれ補正
装置のブロック図、第５図は遅延回路の詳細を示すブロ
ック図、第６図はパターン位置差算出回路の詳細を示す
グ図中、１，２は撮像対象物、３，４は撮像装置、５．
６は比較器、１０．１１は遅延回路、１２はパターン位
置差算出回路である。なお、図中の同一符号は同一また
は相当部分！示す。 代理人 葛野信−（ほか１名） 第１図 第２図 （ａ） 第３図 （ａ） 第４図 ＠６図 Ｕ 第７図 ２ 手続補正書 （自発） １１゛許１）長官殿 ］、 ’ＩＣ（’１１の表示 １１・願昭５７
−１７００５４号２、発明の名称 ２次元図形
位置ずれ補正装置３、 ？＋１ｉＩＦをする台 ・１１件との関係 ↑−１゛許出腐１人住 所
東京都千代１１１区丸の内二Ｉ’ １−１２ 計
３シ、’名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表
者片由仁八部 ４、代理人 ｆｉｇ 所 東３；〔都丁−代１１１区丸の
内二Ｉ’ｌｌＺ釣３５〕・５、補正の対象 ４１１害の発明のａＴＭｌｌな説明の根１および図面６
、補正の内容 （１） 明細書第３頁４行の「不良部」を、「不良部
分」と補正する。 （２）同じく第６頁４〜５行の「選ばれ方」を、「選ば
れた方」と補正する。 （３）同じく第８頁９〜ｌＯ行の「また、信号バス１９
’、 １８′も遅延回路１０．１１の信号バス」を、
「また、信号バス１９′、１８′はと延回路１０の信号
バス」と補正する。 （４）図面の第５図、第７図を別紙のように補正する。 以」二
図は撮像対象物であるプリント基板のパターンを示す図
、第３図は第２図に示すパターンが位置ずれ２起した場
合と起さない場合との重ね合せた状態を示１°図、第４
図はこの発明の一実施例を示す２次元図形位置ずれ補正
装置のブロック図、第５図は遅延回路の詳細を示すブロ
ック図、第６図はパターン位置差算出回路の詳細を示す
グ図中、１，２は撮像対象物、３，４は撮像装置、５．
６は比較器、１０．１１は遅延回路、１２はパターン位
置差算出回路である。なお、図中の同一符号は同一また
は相当部分！示す。 代理人 葛野信−（ほか１名） 第１図 第２図 （ａ） 第３図 （ａ） 第４図 ＠６図 Ｕ 第７図 ２ 手続補正書 （自発） １１゛許１）長官殿 ］、 ’ＩＣ（’１１の表示 １１・願昭５７
−１７００５４号２、発明の名称 ２次元図形
位置ずれ補正装置３、 ？＋１ｉＩＦをする台 ・１１件との関係 ↑−１゛許出腐１人住 所
東京都千代１１１区丸の内二Ｉ’ １−１２ 計
３シ、’名 称（６０１） 三菱電機株式会社代表
者片由仁八部 ４、代理人 ｆｉｇ 所 東３；〔都丁−代１１１区丸の
内二Ｉ’ｌｌＺ釣３５〕・５、補正の対象 ４１１害の発明のａＴＭｌｌな説明の根１および図面６
、補正の内容 （１） 明細書第３頁４行の「不良部」を、「不良部
分」と補正する。 （２）同じく第６頁４〜５行の「選ばれ方」を、「選ば
れた方」と補正する。 （３）同じく第８頁９〜ｌＯ行の「また、信号バス１９
’、 １８′も遅延回路１０．１１の信号バス」を、
「また、信号バス１９′、１８′はと延回路１０の信号
バス」と補正する。 （４）図面の第５図、第７図を別紙のように補正する。 以」二
Claims (1)
- ２つの対象図形の各々を撮像しアナログ電気信号に変換
する２つの撮像装置と、これらの撮像装置よりの出力ア
ナログ信号を基準電圧と比較し、高低２つのレベルに２
値化する２つの比較回路と、これらの比較回路より出力
された２値化信号を制御信号値に応じて一定時間だけ遅
延させる２つの遅延回路と、前記各比較回路より出力さ
れた２値化信号により各々の対象図形の中の特定パター
ンの位置を検出しその位置検出信号よりどの特定パター
ンがどの方向にどれだけの量位置ずれしているかを検出
するパターン位置差算出回路とからなり、前記パターン
位置差検出回路が特定パターンの位置ずれ方向と位置ず
れ量ヲ検出したとき、位置ずれ方向により前記２つの遅
延回路の内１つを選択し、その遅延回路に位置ずれ量に
応じた制御信号値を送るようＩ／ｒシたことな％徴とす
る２次元図形位置ずれ補正装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57170054A JPS5957105A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | ２次元図形位置ずれ補正装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57170054A JPS5957105A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | ２次元図形位置ずれ補正装置 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5957105A true JPS5957105A (ja) | 1984-04-02 |
Family
ID=15897763
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57170054A Pending JPS5957105A (ja) | 1982-09-27 | 1982-09-27 | ２次元図形位置ずれ補正装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5957105A (ja) |
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61294342A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-25 | ビジヨネテイクス コ−ポレ−シヨン | 不整合／歪み補正方式 |
| JPS63265104A (ja) * | 1987-04-23 | 1988-11-01 | Shigumatsukusu Kk | 物体検査装置 |
| JP2841866B2 (ja) * | 1992-03-06 | 1998-12-24 | オムロン株式会社 | 画像処理装置および方法ならびにその応用装置 |
| US6153209A (en) * | 1999-09-28 | 2000-11-28 | The Procter & Gamble Company | Article having a transferable breathable skin care composition thereon |
-
1982
- 1982-09-27 JP JP57170054A patent/JPS5957105A/ja active Pending
Cited By (4)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS61294342A (ja) * | 1985-06-17 | 1986-12-25 | ビジヨネテイクス コ−ポレ−シヨン | 不整合／歪み補正方式 |
| JPS63265104A (ja) * | 1987-04-23 | 1988-11-01 | Shigumatsukusu Kk | 物体検査装置 |
| JP2841866B2 (ja) * | 1992-03-06 | 1998-12-24 | オムロン株式会社 | 画像処理装置および方法ならびにその応用装置 |
| US6153209A (en) * | 1999-09-28 | 2000-11-28 | The Procter & Gamble Company | Article having a transferable breathable skin care composition thereon |
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