JPS5952713A - 回転角度測定方法 - Google Patents
回転角度測定方法Info
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- JPS5952713A JPS5952713A JP16357482A JP16357482A JPS5952713A JP S5952713 A JPS5952713 A JP S5952713A JP 16357482 A JP16357482 A JP 16357482A JP 16357482 A JP16357482 A JP 16357482A JP S5952713 A JPS5952713 A JP S5952713A
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- 239000000758 substrate Substances 0.000 claims abstract description 22
- 230000003287 optical effect Effects 0.000 claims description 25
- 238000012545 processing Methods 0.000 claims description 6
- 238000007476 Maximum Likelihood Methods 0.000 claims description 4
- 238000005259 measurement Methods 0.000 claims description 4
- 230000003993 interaction Effects 0.000 claims 1
- 238000010586 diagram Methods 0.000 description 3
- 238000012937 correction Methods 0.000 description 2
- 230000000694 effects Effects 0.000 description 2
- 238000003491 array Methods 0.000 description 1
- 239000011521 glass Substances 0.000 description 1
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Classifications
-
- G—PHYSICS
- G01—MEASURING; TESTING
- G01D—MEASURING NOT SPECIALLY ADAPTED FOR A SPECIFIC VARIABLE; ARRANGEMENTS FOR MEASURING TWO OR MORE VARIABLES NOT COVERED IN A SINGLE OTHER SUBCLASS; TARIFF METERING APPARATUS; MEASURING OR TESTING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- G01D5/00—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable
- G01D5/26—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light
- G01D5/32—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light
- G01D5/34—Mechanical means for transferring the output of a sensing member; Means for converting the output of a sensing member to another variable where the form or nature of the sensing member does not constrain the means for converting; Transducers not specially adapted for a specific variable characterised by optical transfer means, i.e. using infrared, visible, or ultraviolet light with attenuation or whole or partial obturation of beams of light the beams of light being detected by photocells
- G01D5/36—Forming the light into pulses
-
- F—MECHANICAL ENGINEERING; LIGHTING; HEATING; WEAPONS; BLASTING
- F02—COMBUSTION ENGINES; HOT-GAS OR COMBUSTION-PRODUCT ENGINE PLANTS
- F02B—INTERNAL-COMBUSTION PISTON ENGINES; COMBUSTION ENGINES IN GENERAL
- F02B75/00—Other engines
- F02B75/02—Engines characterised by their cycles, e.g. six-stroke
- F02B2075/022—Engines characterised by their cycles, e.g. six-stroke having less than six strokes per cycle
- F02B2075/025—Engines characterised by their cycles, e.g. six-stroke having less than six strokes per cycle two
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は微小回転角度の測定に適した回転角度測定方法
に関する。
に関する。
一般に、回転体の微小回転角度の計測は回転体の動きを
何段かの歯車をつか−、て機械的に増幅して行われる。
何段かの歯車をつか−、て機械的に増幅して行われる。
しかしながら、この種の方法によると計測器の構成が複
雑化するという欠点かある。
雑化するという欠点かある。
また、増幅用歯車の7つクラッシュ等によりH(測値に
誤差を生じ易いという欠点をも有している。
誤差を生じ易いという欠点をも有している。
本発明は上記事情に鑑みてなさねたもので、回転体の微
小回転角度を比較的部η1な方法て精度よく測定し得る
回転角度測定方法を提供することを目的としている。
小回転角度を比較的部η1な方法て精度よく測定し得る
回転角度測定方法を提供することを目的としている。
そして、そのために本発明は、円周上をn等分(nは任
意整数)する位#多こ素子Aを配列させl、−基板と、
前記円周とほぼ同一直径の円周上をn±m等分(mはn
より充分小さい整数)する位置に素子Bを配列させた回
転板とを同軸に配置し、素子Aと素子Bとの相互作用に
より素子A又は素子Bに生ずる情報量の配列順逐次変化
の波の位相を求め、前記位相の変化より基板と回転板の
相対的な回転角度を測定することを特徴としている。
意整数)する位#多こ素子Aを配列させl、−基板と、
前記円周とほぼ同一直径の円周上をn±m等分(mはn
より充分小さい整数)する位置に素子Bを配列させた回
転板とを同軸に配置し、素子Aと素子Bとの相互作用に
より素子A又は素子Bに生ずる情報量の配列順逐次変化
の波の位相を求め、前記位相の変化より基板と回転板の
相対的な回転角度を測定することを特徴としている。
以下、本発明に係る回転角度測定方法の実施例について
図面をもとに説明する。
図面をもとに説明する。
第1図は本発明に係る回転角度測定方法に用いられる基
板と回転板の一実施例を略示する斜視図、第2図は第1
図に示した実施例の動作波形図である。第1図において
、10は素子Aとして例えは、998個の光センサ11
が円周上に等間隔で配列された基板、20は前記光セン
サ11の配列する円周とほぼ同一直径の円周上に素子B
としての例えばJOOO個の小孔21を等間隔に配設し
た回転板である。
板と回転板の一実施例を略示する斜視図、第2図は第1
図に示した実施例の動作波形図である。第1図において
、10は素子Aとして例えは、998個の光センサ11
が円周上に等間隔で配列された基板、20は前記光セン
サ11の配列する円周とほぼ同一直径の円周上に素子B
としての例えばJOOO個の小孔21を等間隔に配設し
た回転板である。
基板】0は例えは固定されて設けられる一方、回転板2
0は例えは図示しない回転体の回転軸30に取り付けら
れる。
0は例えは図示しない回転体の回転軸30に取り付けら
れる。
そして、回転板20の上面側から一様な光を照射すれば
、回転板20の小孔21を通して、基板】0の各センサ
11か受光し、その出力は例えは、第2図の黒丸印で表
わされる様に配列順に変化する。すなわち、基板10に
周設された光センーリ用の配列順逐次変化は、極大値と
極小値かそれぞれ2個ある2サイクルの波になっている
。
、回転板20の小孔21を通して、基板】0の各センサ
11か受光し、その出力は例えは、第2図の黒丸印で表
わされる様に配列順に変化する。すなわち、基板10に
周設された光センーリ用の配列順逐次変化は、極大値と
極小値かそれぞれ2個ある2サイクルの波になっている
。
次に、回転板20を若干回転させると、各光センサの受
光量か変化し、前記波は例えは、第2図の白丸印で表わ
したようになる。、すなわち、同図より明らかなように
回転板20の僅な回転により、光センサ11の配列順逐
次変化の波の位相が大きく変化する。本実施例の場合、
回転板20の小孔21と基板10の光センサ11との数
の差は2個であるから、回転板20か小孔21の配列の
1ピンチ分たけ回転すると、前記波の位相は1800進
む。それ故、回転板20の回転角に対し、波の位相はそ
の500倍を移動することになる。
光量か変化し、前記波は例えは、第2図の白丸印で表わ
したようになる。、すなわち、同図より明らかなように
回転板20の僅な回転により、光センサ11の配列順逐
次変化の波の位相が大きく変化する。本実施例の場合、
回転板20の小孔21と基板10の光センサ11との数
の差は2個であるから、回転板20か小孔21の配列の
1ピンチ分たけ回転すると、前記波の位相は1800進
む。それ故、回転板20の回転角に対し、波の位相はそ
の500倍を移動することになる。
さらに、光センサ11の配列順逐次変化の波の位相は、
各光センサ11の出力を統計的に処理してその最尤度位
置を求めることにより、光センサ11の配列ピッチの1
0分の1以上の精度で算出することができる。
各光センサ11の出力を統計的に処理してその最尤度位
置を求めることにより、光センサ11の配列ピッチの1
0分の1以上の精度で算出することができる。
第3図は波の位相の最尤度位置を求める方法を示す説明
図である。すなわち、光センサ11の配列順逐次変化の
最っも確率高く表われるパターン(例えば第3図に鎖線
で示した波形)を予め求めおく。そして、位相を測定す
べき光センサ11の配列順逐次変化の波に前記予め求め
ておいたパターンを適合すると各光センサ11間の波の
形や、正しい波の形を推定することができる。例えば、
波のピークが光センサの配列iとi+l(iは整数)と
の間に表われる場合であっても、鎖線で示した前記予め
求められたパターンを適合すること1こより、ピークの
表われる位置を光センサ11のピッチの1゜分の1以上
の精度で推定できるので、結局、配列順逐次変化の波の
位相は光センサ11のピッチの10分の1以上の精度で
算出することができることになる。
図である。すなわち、光センサ11の配列順逐次変化の
最っも確率高く表われるパターン(例えば第3図に鎖線
で示した波形)を予め求めおく。そして、位相を測定す
べき光センサ11の配列順逐次変化の波に前記予め求め
ておいたパターンを適合すると各光センサ11間の波の
形や、正しい波の形を推定することができる。例えば、
波のピークが光センサの配列iとi+l(iは整数)と
の間に表われる場合であっても、鎖線で示した前記予め
求められたパターンを適合すること1こより、ピークの
表われる位置を光センサ11のピッチの1゜分の1以上
の精度で推定できるので、結局、配列順逐次変化の波の
位相は光センサ11のピッチの10分の1以上の精度で
算出することができることになる。
また、前述した如く光センサ11の出力を統計処理する
ことにより、例えは、第3図において示すように、配列
がi−2の光センサの位置が機械的誤差のためにずれた
ため、その出力か正常値より大きくなっても、該正常値
を推定し得るから、機械的誤差に基づく位相の算出値の
誤差を少くてきる。
ことにより、例えは、第3図において示すように、配列
がi−2の光センサの位置が機械的誤差のためにずれた
ため、その出力か正常値より大きくなっても、該正常値
を推定し得るから、機械的誤差に基づく位相の算出値の
誤差を少くてきる。
以下に具体的数値例をあけて回転角度の読み取り精度を
説明すると、上述した如く基板10に998個の光セン
サ、回転板20に1000個の小孔を設けた場合、波の
位相の移動は、回転板20の回転角度の500倍に拡大
されており、しかも基板10における位相の正確な位置
は998個の光センサ11の出力から統計的に最尤度位
置を求めるので、360 ’/(998×10)以上の
精度となる。従って、基板10と回転板20の相対的な
回転角度は、 より判るように、0.25”以上の精度で得ることかで
きる。
説明すると、上述した如く基板10に998個の光セン
サ、回転板20に1000個の小孔を設けた場合、波の
位相の移動は、回転板20の回転角度の500倍に拡大
されており、しかも基板10における位相の正確な位置
は998個の光センサ11の出力から統計的に最尤度位
置を求めるので、360 ’/(998×10)以上の
精度となる。従って、基板10と回転板20の相対的な
回転角度は、 より判るように、0.25”以上の精度で得ることかで
きる。
また、上述した実施例は、光センサ】1と小孔21の数
の差が偶数(2個)であるから、基板10と回転板20
の偏心誤差を大幅に減することができる。
の差が偶数(2個)であるから、基板10と回転板20
の偏心誤差を大幅に減することができる。
尚、上述した如き光センサ11を有する基板10は、比
較的大きな円形の板を加工して、光センサとしてのホト
タイオードやホトトランジスタの個別部品を配列するこ
とによって形成することもできるが、例えば半導体集積
回路技術によ−てホトダイオードを円形配列したホトダ
イオードアレイを実現しうるので極めて小さくすること
かできる。このとき、回転板20は例えは、薄いカラス
板に形成した非透過性の薄膜にホトエツチングにより小
孔を多数形成すれはよい。
較的大きな円形の板を加工して、光センサとしてのホト
タイオードやホトトランジスタの個別部品を配列するこ
とによって形成することもできるが、例えば半導体集積
回路技術によ−てホトダイオードを円形配列したホトダ
イオードアレイを実現しうるので極めて小さくすること
かできる。このとき、回転板20は例えは、薄いカラス
板に形成した非透過性の薄膜にホトエツチングにより小
孔を多数形成すれはよい。
以上の実施例の説明より明らかなように、本発明に係る
回転角度測定方法によれば、回転体の動きをes1械的
に増幅する必要がないので、角度計測器の構成を簡単か
つ小型に実現し得る。
回転角度測定方法によれば、回転体の動きをes1械的
に増幅する必要がないので、角度計測器の構成を簡単か
つ小型に実現し得る。
また、バックラ、7シユの如き機械的誤差かなく、さら
に、基板や回転板が熱膨張しても、これらの影響は打ち
消され合って計測誤差として表われない。それ故、本発
明は極めて精度よく回転角度を計測することができる。
に、基板や回転板が熱膨張しても、これらの影響は打ち
消され合って計測誤差として表われない。それ故、本発
明は極めて精度よく回転角度を計測することができる。
さらに、光センサ等の素子の情報量の配列順逐次変化は
、各素子の情報量を統計処理して、例えは回帰直線を用
いることにより、各素子の位置的バラツキ等の機械的精
度の悪さや各素子の感度のバラツキをデータ処理で補う
ことかできるのでたいへん合理的である。
、各素子の情報量を統計処理して、例えは回帰直線を用
いることにより、各素子の位置的バラツキ等の機械的精
度の悪さや各素子の感度のバラツキをデータ処理で補う
ことかできるのでたいへん合理的である。
尚、実施例1こおいて、基板1こ配列される素子Aは光
センサであり、また回転板に配列される素子Bは小孔で
あるとして説明したが、本発明はこれに限られるもので
はない。例えは、素子A及び素子Bとして電極を形成し
、これらの間の静電容量を計測するものであってもよい
。また、素子Aをボール素子等の磁気センサとし、素子
BをN極又はS極とするものであっても実施例で説明し
たと同様の効果を奏する。このように、本発明に用いら
れる素子A及び素子Bは相互作用の及はし合う組み合せ
であればよいから、種々の変形を採り得るものである。
センサであり、また回転板に配列される素子Bは小孔で
あるとして説明したが、本発明はこれに限られるもので
はない。例えは、素子A及び素子Bとして電極を形成し
、これらの間の静電容量を計測するものであってもよい
。また、素子Aをボール素子等の磁気センサとし、素子
BをN極又はS極とするものであっても実施例で説明し
たと同様の効果を奏する。このように、本発明に用いら
れる素子A及び素子Bは相互作用の及はし合う組み合せ
であればよいから、種々の変形を採り得るものである。
また、実施例において、光セン→ノと小孔の数の差は2
個であるとしているが、これに限られるものではなく、
例えば1個又は3個以上であってもよい。そして、この
差の採り方によって、回転角の計測倍率を変えることが
できる。
個であるとしているが、これに限られるものではなく、
例えば1個又は3個以上であってもよい。そして、この
差の採り方によって、回転角の計測倍率を変えることが
できる。
第】図は本発明に係る回転角度測定方法に用いられる基
板と回転板の一実施例を略示する斜視図、第2図は第1
図に示した実施例の動作波形図、第3図は波の位相の最
尤度位置を求める方法を示す説明図である。 ]0・・・基板、11・・光センサ、20・・・回転板
、21・・・小孔、30・・・回転軸。 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人弁理士大西孝冶 第3図 i −3i−2i−1i i+1 i+2 i+3 i+4 手続補正書(自発) 昭和58年 9月24日 特許庁長官若杉和夫殿 2、 発明の名称 回転角度測定方法 7、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 8、補正の内容 (1)明細書第5頁第10行目の「各光センサ11間の
波の形や」を抹消する。 (2)明細書第5頁第11行目のr形」を「位相jに補
正する。 (3)明細書第5頁第15行目〜第16行目の「ピーク
の・・・結局、」を抹消する。 73−
板と回転板の一実施例を略示する斜視図、第2図は第1
図に示した実施例の動作波形図、第3図は波の位相の最
尤度位置を求める方法を示す説明図である。 ]0・・・基板、11・・光センサ、20・・・回転板
、21・・・小孔、30・・・回転軸。 特許出願人 株式会社島津製作所 代理人弁理士大西孝冶 第3図 i −3i−2i−1i i+1 i+2 i+3 i+4 手続補正書(自発) 昭和58年 9月24日 特許庁長官若杉和夫殿 2、 発明の名称 回転角度測定方法 7、補正の対象 明細書の「発明の詳細な説明」の欄 8、補正の内容 (1)明細書第5頁第10行目の「各光センサ11間の
波の形や」を抹消する。 (2)明細書第5頁第11行目のr形」を「位相jに補
正する。 (3)明細書第5頁第15行目〜第16行目の「ピーク
の・・・結局、」を抹消する。 73−
Claims (3)
- (1)円周上をn等分(nは任意整数)する位置に素子
Aを配列させた基板と、前記円周とほぼ同一直径の円周
上をn±m等分(mはnより充分小さい整数)する位置
に素子Bを配列させた回転板とを同軸に配置し、素子A
と素子Bとの相互作用により素子A又は素子Bに生ずる
情報量の配列順逐次変化の波の位相を求め、前記位相の
変化より基板と回転板の相対的な回転角度を測定する回
転角度測定方法。 - (2)前記基板に配列された素子Aの数と回転板に配列
された素子Bの数との差mは、偶数であることを特徴と
する特許請求の範囲第1項記載の回転角度測定方法。 - (3)前記情報量の配列順逐次変化の波の位相は素子の
情報量を統泪処理することにより、その最尤度位置か求
めらI7るものであることを特徴とする特許請求の範囲
第1項記載の回転角度測定方法7(4)前記素子Aは光
センサであり、素子Bは小孔であることを特徴とする特
許請求の範囲第1項記載の回転角度測定方法。
Priority Applications (4)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16357482A JPS5952713A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 回転角度測定方法 |
EP83109286A EP0111642B1 (en) | 1982-09-20 | 1983-09-19 | Method and apparatus for measuring a displacement of one member relative to another |
DE83109286T DE3382706T2 (de) | 1982-09-20 | 1983-09-19 | Verfahren und Vorrichtung zur Relativwegmessung. |
US06/533,779 US4654524A (en) | 1982-09-20 | 1983-09-19 | Method and apparatus for measuring a displacement of one member relative to another using a vernier with an even numbered difference of elements |
Applications Claiming Priority (1)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP16357482A JPS5952713A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 回転角度測定方法 |
Publications (1)
Publication Number | Publication Date |
---|---|
JPS5952713A true JPS5952713A (ja) | 1984-03-27 |
Family
ID=15776494
Family Applications (1)
Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
---|---|---|---|
JP16357482A Pending JPS5952713A (ja) | 1982-09-20 | 1982-09-20 | 回転角度測定方法 |
Country Status (1)
Country | Link |
---|---|
JP (1) | JPS5952713A (ja) |
Cited By (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03150383A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-26 | Japan Carlit Co Ltd:The | フィルタープレス型複極電解槽 |
CN108827142A (zh) * | 2018-06-28 | 2018-11-16 | 广东工业大学 | 一种绝对式旋转编码器及其测量方法 |
Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS577515A (en) * | 1980-06-17 | 1982-01-14 | Tokyo Optical Co Ltd | Encoder |
JPS57104815A (en) * | 1980-12-20 | 1982-06-30 | Asahi Optical Co Ltd | Angle measuring apparatus employing line sensor |
-
1982
- 1982-09-20 JP JP16357482A patent/JPS5952713A/ja active Pending
Patent Citations (2)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPS577515A (en) * | 1980-06-17 | 1982-01-14 | Tokyo Optical Co Ltd | Encoder |
JPS57104815A (en) * | 1980-12-20 | 1982-06-30 | Asahi Optical Co Ltd | Angle measuring apparatus employing line sensor |
Cited By (3)
Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
---|---|---|---|---|
JPH03150383A (ja) * | 1989-11-08 | 1991-06-26 | Japan Carlit Co Ltd:The | フィルタープレス型複極電解槽 |
CN108827142A (zh) * | 2018-06-28 | 2018-11-16 | 广东工业大学 | 一种绝对式旋转编码器及其测量方法 |
CN108827142B (zh) * | 2018-06-28 | 2020-03-10 | 广东工业大学 | 一种绝对式旋转编码器及其测量方法 |
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