JPS5946038A - ボンデイング装置 - Google Patents

ボンデイング装置

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JPS5946038A
JPS5946038A JP58135806A JP13580683A JPS5946038A JP S5946038 A JPS5946038 A JP S5946038A JP 58135806 A JP58135806 A JP 58135806A JP 13580683 A JP13580683 A JP 13580683A JP S5946038 A JPS5946038 A JP S5946038A
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JP
Japan
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wire
tip
capillary
electrode piece
ball
Prior art date
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JP58135806A
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English (en)
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Hisashi Yoshida
吉田　恒
Tomio Kobayashi
十三男 小林
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Hitachi Ltd
Original Assignee
Hitachi Ltd
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Publication date
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Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明はボンディング装置に関し、特に電気的スパーク
でアルミニウム線を溶かしボールを成形するボンディン
グ装置に関する。
従来、アルミニウム線をネールへソドボンディングで使
うことができなかった。その理由として、アルミニウム
線は水素トーチで熱してもボールができないこと、加熱
したときに酸化し、素子表面を汚すこと、これを防ぐた
め窒素雰囲気中で加熱しようとして本トーチが点火しな
いことが上げられる。
本発明はこのような従来の方法の欠点を解消するもので
あって、その目的とするところはアルミニウム線をつか
ってネールヘッドボンディングができるボンディング装
置を提供するにある。以下図面に関連して本発明の実施
例について説明する。
第１図は本発明に従ったボンディング装置の一部を断面
し一部を省略した正面図である。同図において、ネ・ｆ
ルヘッドボンディング用のキャピラリ１は軸線にそって
アルミニウム線２を通す穴３を有し、アルミニウム線２
はワイヤ・ボビン４にかなりの長さ巻き付けられていて
、必要に応じて穴３を通してキャピラリ１の先端から引
き出される。またキャピラリ１とワイヤ・ボビン４の間
にワイヤ・クランパ５を配置し適宜にアルミニウム線２
を把持するようにするとともに、これらの間にはキャピ
ラリ１の尻部に延長させて窒素（Ｎ２）などの不活性ガ
スを穴３を通してキヤビンＩＪ　］の先端に供給できる
よう不活性ガス供給管６を設けている。さらにキャピラ
リ１の近接位置に折曲した電極片７を配置し、キャピラ
リ１の先端からたとえば１語程度離れた低い位置にその
一端があるように設け、他端は電源８に接続し、やはり
電源８と接続させたアルミニウム線２との間で電気的回
路を構成させて、電極片７とアルミニウム線２の先端と
の間で、放電によるスパークを生じるようにしている。
また、電極片７はアルミニウム線２にボール９をつくる
ときのみキードピラリ１の先端に対応されるよう動かせ
るように設けている。
つぎに、この装置をつかってのアルミニウム線のボール
成形方法を第２図で説明すれば、第２図（ａ）はアルミ
ニウム線２にボールを形成する前の状態であって、電極
片７はその先端がキャピラリ１の先端から外れた位置に
くるように動かされた位置にある。この状態から第２図
（ｂｌのように、電極片７をキャピラリ１に近づくよう
に動かし、電極片７の先端内側をキャピラリ１の先端に
対応させて、同時に不活性ガス供給管６から窒素（Ｎ、
）ガスを穴３を通してキャピラリ１先端付近に流しなが
ら、電源８から任意の電流を流して電極片７の先端から
アルミニウノ、線２に向けて放電すれば、これらの間に
スパークが発生し、このスパークによりアルミニウム線
２は溶けて先端にボール９ができる。
そこで、再び電極片７をキャピラリ１かも遠ざけてから
、図示しない被ボンデイング側の電極とリード線の間を
往来させてネイルヘッドワイヤボンディングを行なう。
そして電極とリード線間のボンディングを１回路る都度
、電極片７をキャピラリ１に近づけてアルミニウム線２
の先端にボール９をつくる。
なお、前記実施例においては不活性雰囲気をつくるため
のガスとして窒素（Ｎ２　）ガスを用いたがアルゴン（
Ａｒ　）ガスを用いてもよい。また装置全体を窒素（Ｎ
２　）雰囲気中に置いて行ってもよい。また、電源８と
アルミニウム線２との電気的な接続は、第１図に示すよ
うにワイヤ・ボビン４側から行うのでなく、第３図に示
すようにワイヤ・ボビ／４とクランパ５の間で接点１０
を介してアルミニウム線２に接続を図る方法であっても
よい。
以上の説明から明らかなように本発明によれば、アルミ
ニウム線２の先端に電極片７を近づけて対応させ、この
電極片７かもアルミニウム線２の先端に向けて放電させ
ることによって生ずるスパークによりアルミニウム線２
を溶かしてアルミニウム線２の先端に任意の大きさのボ
ール９をつくることができ、かつ窒素（Ｎ２　）ガスな
どでスパーク発生付近を不活性化して酸化を防いでいる
ことから、従来では不可能であったアルミニウム線２の
ネールヘッドワイヤボンディングが可能となる。
したがって、アルミニウム線といった金（Ａｕ）などか
らみて安価な線材で所望のワイヤボンディングができ原
価低減が図れる上に、製品の信頼度の向上が図れかつ能
率向上の点においても寄与できる。
【図面の簡単な説明】
第１図は本発明に従ったボンディング装置、第２図（ａ
ｌ　、　（ｂ）は第１図の装置によりボールを形成する
方法を説明するに用いる説明図、第３図は電源とアルミ
ニウム線の他の接続方法を示す説明図である。 １・・・キャピラリ、２・・・アルミニウム線、３・・
・穴、４・・・ワイヤ・ボビン、５・・・ワイヤークラ
ンパ、６・・・不活性ガス供給管、７・・・電極片、８
・・・電源、９・・・ボール、１０・・・接点。 第　　１［，１ 第　３ （久］ 第３図

Claims (1)

    【特許請求の範囲】
  1. １、その先端からボンディング用金属線を導出させるた
    めのキャピラリと、前記キャピラリの先端から導出され
    た金属線との間に放電を生じさせて前記金属線の端部に
    ボールを形成させるための電極とを含み、前記電極は前
    記ボール形成時に前記キャピラリから導出された金属線
    に対して遠い位置からそれよりも近い位置に移動できる
    ように構成されて成ることを特徴とするボンディング装
    置。
JP58135806A 1983-07-27 1983-07-27 ボンデイング装置 Pending JPS5946038A (ja)

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JP58135806A JPS5946038A (ja) 1983-07-27 1983-07-27 ボンデイング装置

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JP58135806A JPS5946038A (ja) 1983-07-27 1983-07-27 ボンデイング装置

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JP8911476A Division JPS5314650A (en) 1976-07-28 1976-07-28 Ball forming of alminum wire

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JPS5946038A true JPS5946038A (ja) 1984-03-15

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ID=15160251

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JP58135806A Pending JPS5946038A (ja) 1983-07-27 1983-07-27 ボンデイング装置

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