JPS5946004A - 感湿材料の製造方法 - Google Patents
感湿材料の製造方法Info
- Publication number
- JPS5946004A JPS5946004A JP57157311A JP15731182A JPS5946004A JP S5946004 A JPS5946004 A JP S5946004A JP 57157311 A JP57157311 A JP 57157311A JP 15731182 A JP15731182 A JP 15731182A JP S5946004 A JPS5946004 A JP S5946004A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- humidity
- moisture sensitive
- oxidizing atmosphere
- sensor
- atmosphere
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Pending
Links
Landscapes
- Investigating Or Analyzing Materials By The Use Of Fluid Adsorption Or Reactions (AREA)
- Non-Adjustable Resistors (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
この発明は雰囲気の漫用匝よる感１５１． ｒＸｔ（の
７１１．気抵抗の変化ケ利用した感（！ｊ、！木」利の
ｊｌ；−４苗方法に１９１４−るものである。
７１１．気抵抗の変化ケ利用した感（！ｊ、！木」利の
ｊｌ；−４苗方法に１９１４−るものである。
昨今では、前記のような（伜能ケイｊゴーる７Ｓｅ度セ
ンザどしてしよ雰囲気に対して物理・化学的に安定であ
り皮膜強度イ、高い金ｙ（酸化物系セラミックが最も多
く用いられてきた このような苗：来の湿扶シセンザは
、金厩ｒ＋＋呵り物の粉末ゲ高温（１２ｏ ｏ〜１５０
０℃）で焼結して４ｐ、１４作し、（幾わ）（的強度ケ
高めていた。しか［２なから、このようＱこして製作ｌ
〜だセンザレ」−焼結温間か高温であるため粉末粒子が
半溶Ｍ４１！！ （シンタリング）を起こすため、有効
感侵プぐ面積が減少してしまい、感度低下をきたすこと
、す６よび高温での焼結時にクラックが生じやすいため
、却って（虐械的強度の低ｉ威を招くなどの欠点かｋ）
す、また高温で）ｘ’０結１−るため省エネル＝ｙ−的
欽−４）Ｉｒ中しくなかった。さらに、セラミック洋度
センザは、測定可能湿度範囲か相対侵［’５０〜１００
％と比軸的狭く、高濁度領域に限られているものが多か
った。
ンザどしてしよ雰囲気に対して物理・化学的に安定であ
り皮膜強度イ、高い金ｙ（酸化物系セラミックが最も多
く用いられてきた このような苗：来の湿扶シセンザは
、金厩ｒ＋＋呵り物の粉末ゲ高温（１２ｏ ｏ〜１５０
０℃）で焼結して４ｐ、１４作し、（幾わ）（的強度ケ
高めていた。しか［２なから、このようＱこして製作ｌ
〜だセンザレ」−焼結温間か高温であるため粉末粒子が
半溶Ｍ４１！！ （シンタリング）を起こすため、有効
感侵プぐ面積が減少してしまい、感度低下をきたすこと
、す６よび高温での焼結時にクラックが生じやすいため
、却って（虐械的強度の低ｉ威を招くなどの欠点かｋ）
す、また高温で）ｘ’０結１−るため省エネル＝ｙ−的
欽−４）Ｉｒ中しくなかった。さらに、セラミック洋度
センザは、測定可能湿度範囲か相対侵［’５０〜１００
％と比軸的狭く、高濁度領域に限られているものが多か
った。
この発明は１世在の湿度センサの主流で・、らろ七ラミ
ックがもつ上記のような欠点ケ解消し＋ ｔ７ＰＪｐ、
ｆの検出感度かイ・賢れかつ９画定可６１薯剥Ｉ（畦間
か広く。
ックがもつ上記のような欠点ケ解消し＋ ｔ７ＰＪｐ、
ｆの検出感度かイ・賢れかつ９画定可６１薯剥Ｉ（畦間
か広く。
（幾誠的強度が大であるとともに、従来のもの、しりも
低温焼成で済む感湿相半：１の製造方法ア稈供−するも
のであ）ろ すなわちこの４１−明は、有（２′上上床素化物山６０
１４磯質利料および炭素質粉末の？］１．紳物を絶縁ノ
、（ζ板上に塗布し、塗布！吻を非酸化性Ｈ［１ｎ気中
ｅこおいて１０００℃μ下の温度で焼成して硬化さ一１
！］、その後酸化性雰囲気中にて１０００℃以−トで（
，１１，ｊ成し、［二記炭素質粉末を気化させて多孔質
な感湿部ケ形成させることによる感湿材料の製造方法に
関すイ）７、この発明に用いられる有磯珪ジＺ化合物重
合体（〕シ。
低温焼成で済む感湿相半：１の製造方法ア稈供−するも
のであ）ろ すなわちこの４１−明は、有（２′上上床素化物山６０
１４磯質利料および炭素質粉末の？］１．紳物を絶縁ノ
、（ζ板上に塗布し、塗布！吻を非酸化性Ｈ［１ｎ気中
ｅこおいて１０００℃μ下の温度で焼成して硬化さ一１
！］、その後酸化性雰囲気中にて１０００℃以−トで（
，１１，ｊ成し、［二記炭素質粉末を気化させて多孔質
な感湿部ケ形成させることによる感湿材料の製造方法に
関すイ）７、この発明に用いられる有磯珪ジＺ化合物重
合体（〕シ。
シロキザン結合（Ｂ１０ Ｓよ−０−）の１則４１１
１ に炭化水素基か結合した構造に／、（つており、こ）１
゜火まず非酸化性雰囲気中でＩ焼成−４−イ、ことに、
１、す（＋！１１鎖の炭化水素基σ）加熱酸化分解を抑
制しつつ皮股乞硬化するど９強固１．ｒ固形物が残留す
る、そし７てさらに、酸化性雰囲気中で焼成−４るど、
ｋ）もがしめ含有させておいた炭素質粉末Ｊ、：よび側
（１１の炭化水素基が除々に分解されて、前記残留固形
＋ｔ／、、の表面が気体発生のため、皮膜の多孔）１４
化が（）＋ｉ；ｉ梵れる。
１ に炭化水素基か結合した構造に／、（つており、こ）１
゜火まず非酸化性雰囲気中でＩ焼成−４−イ、ことに、
１、す（＋！１１鎖の炭化水素基σ）加熱酸化分解を抑
制しつつ皮股乞硬化するど９強固１．ｒ固形物が残留す
る、そし７てさらに、酸化性雰囲気中で焼成−４るど、
ｋ）もがしめ含有させておいた炭素質粉末Ｊ、：よび側
（１１の炭化水素基が除々に分解されて、前記残留固形
＋ｔ／、、の表面が気体発生のため、皮膜の多孔）１４
化が（）＋ｉ；ｉ梵れる。
発明者らは、粉末又は％：１ｉｌ子状のく１ン！パ酸化
物苓・感１昇拐として用い、こ牙１会−有９７１月士素
化合物１■イ１体の非酸化ス（１゛貯囲気中での加熱分
解残留物ｆｒ７より強固／、（皮膜に結合して／、ｒる
ものか周囲の湿１パ変化（（１１対群度Ｏ〜１００％）
Ｋよる電気−ＪＪＦＨ抗１直の変化率が太きく １ｆ１
１１定用ｆｉｔ”ｌ与＋＋度・１・１ｌ間が広いこと火
傷？１出し、感湿月８：１として先に提案している７、
この発明←〕ｔ、上記のものにさらに炭素”Ｉ’４１１
５）末Ｙａ−含有さぜたもθ弓−・非酸化雰１１ｔｌ気
中（−９：ｌ’、ｒ；成？Ｌ、 ｉ’＋ν化性雰囲気中
でＥｔ、成−［ると、感洋皮１凡の多孔１７４化が促進
された結果、より良好な感ｔテ（ｊマ能が？！）られた
ことを見出しブ３−ことＶＸ井いてノ、「されたもので
Ｊ’＋イ）。
物苓・感１昇拐として用い、こ牙１会−有９７１月士素
化合物１■イ１体の非酸化ス（１゛貯囲気中での加熱分
解残留物ｆｒ７より強固／、（皮膜に結合して／、ｒる
ものか周囲の湿１パ変化（（１１対群度Ｏ〜１００％）
Ｋよる電気−ＪＪＦＨ抗１直の変化率が太きく １ｆ１
１１定用ｆｉｔ”ｌ与＋＋度・１・１ｌ間が広いこと火
傷？１出し、感湿月８：１として先に提案している７、
この発明←〕ｔ、上記のものにさらに炭素”Ｉ’４１１
５）末Ｙａ−含有さぜたもθ弓−・非酸化雰１１ｔｌ気
中（−９：ｌ’、ｒ；成？Ｌ、 ｉ’＋ν化性雰囲気中
でＥｔ、成−［ると、感洋皮１凡の多孔１７４化が促進
された結果、より良好な感ｔテ（ｊマ能が？！）られた
ことを見出しブ３−ことＶＸ井いてノ、「されたもので
Ｊ’＋イ）。
感？昇杉と１．「る無磯質月朽としてし」２，１列えに
”’ ”ｊ−０２＋ＳｉＯ２＋ ＭＩＺＣ）＋ Ｃ
ｒ２Ｏ３＋ ＭＯ”＋＋ Ｆθ２０Ｓなどの金属酸
化物や＋ ”Ｇ＋ ”ｅ＋ Ｌ Ｚｒ＋ ｃｒ、 ”
１＋ ＭＯなどの金属及び炭酸Ｊ１ｍ、ｌ硝酸塩、何ｆ
酸１甚、酢酸塩、？１夕酸塙、アルコギシドなど熱酸化
により金属酸化物乞生成するものである。
”’ ”ｊ−０２＋ＳｉＯ２＋ ＭＩＺＣ）＋ Ｃ
ｒ２Ｏ３＋ ＭＯ”＋＋ Ｆθ２０Ｓなどの金属酸
化物や＋ ”Ｇ＋ ”ｅ＋ Ｌ Ｚｒ＋ ｃｒ、 ”
１＋ ＭＯなどの金属及び炭酸Ｊ１ｍ、ｌ硝酸塩、何ｆ
酸１甚、酢酸塩、？１夕酸塙、アルコギシドなど熱酸化
により金属酸化物乞生成するものである。
さらにこの全開に用いられるｉｌへ縁基板としては。
例えはアルミナ絶Ｆ＋、基板などの少ノ２［くとも前記
焼成温度に耐えろ絶縁材料板が用いられる。
焼成温度に耐えろ絶縁材料板が用いられる。
甲、−ト実施例ケ示すことによりこの発明火計細に説［
９Ｊ ｊるか、これによりこσバｉ明ケ１観定１−るイ
）のて゛はない、 圭施例１ 珪素樹脂（メチルシリコーン）を′キシレ／Ｖｔ７溶乃
γしたシリコーンワンスを御粘合剤の出発原料どして用
い、こ第１に感７時利となる無磯’ｆ＋椙刺として。
９Ｊ ｊるか、これによりこσバｉ明ケ１観定１−るイ
）のて゛はない、 圭施例１ 珪素樹脂（メチルシリコーン）を′キシレ／Ｖｔ７溶乃
γしたシリコーンワンスを御粘合剤の出発原料どして用
い、こ第１に感７時利となる無磯’ｆ＋椙刺として。
シリコーンワンスの２倍の型鋼の４’ｉ＞ 床払Ｔ １
０２ オよびＯａＯどその２０分の１倍のＭｉ、：ｔｊ
３：の、１４）末？１にカーボンフ゛ラックヶ）貨１合
１ｖ月牢しブこ？ＪＩ士（ｉ勿をティッピングによりア
ルミナ絶１舒基板−にに厚さ約４０μｍの皮膜４ＪＳに
形成したものを多数１（＾］膜製造た。このものを８０
℃、 １３０℃、 ２００”にの渦ｌ］（″て・孝−
牙１：ｆｆ＋２０分間の予イＨＭＡ１四に労、ア）Ｌボ
ン気がｒ中て５００°ｉ ；、’））温度で２時間９．
ｌｔ ＤＶ、 Ｌ 、 こＪｌげ引き紡いて７気中で
５５０℃の温度で１時間４１ｉび＋Ｉ７．’、ｌ成しく
９１＋１’、−１こンザηぐ」？μ造する。
０２ オよびＯａＯどその２０分の１倍のＭｉ、：ｔｊ
３：の、１４）末？１にカーボンフ゛ラックヶ）貨１合
１ｖ月牢しブこ？ＪＩ士（ｉ勿をティッピングによりア
ルミナ絶１舒基板−にに厚さ約４０μｍの皮膜４ＪＳに
形成したものを多数１（＾］膜製造た。このものを８０
℃、 １３０℃、 ２００”にの渦ｌ］（″て・孝−
牙１：ｆｆ＋２０分間の予イＨＭＡ１四に労、ア）Ｌボ
ン気がｒ中て５００°ｉ ；、’））温度で２時間９．
ｌｔ ＤＶ、 Ｌ 、 こＪｌげ引き紡いて７気中で
５５０℃の温度で１時間４１ｉび＋Ｉ７．’、ｌ成しく
９１＋１’、−１こンザηぐ」？μ造する。
第１図はこの発明の一実ｐＩＩＩ例て平↓造さ牙また？
４１す１（センサの斜視図で七）イ）。図において、
ｆＩＩ４Ｊ、絶縁基板、（２）は屯１７−１（３）は感
洋Ｒｔ（＋ ＋４）しＪリードだ−である。
４１す１（センサの斜視図で七）イ）。図において、
ｆＩＩ４Ｊ、絶縁基板、（２）は屯１７−１（３）は感
洋Ｒｔ（＋ ＋４）しＪリードだ−である。
ブＣ：ｌ・；、この湿度十ンリ（先使用［−７ｌ、−電
（但（，１，］゛ルルミナ基板上にＰｔ−Ｐａ＋合金系
ペーストにて。
（但（，１，］゛ルルミナ基板上にＰｔ−Ｐａ＋合金系
ペーストにて。
化１図に示し２ブ、二１５なくし形状７１１．１１俵ヶ
ノクリーン印刷し、Ｐｔ リード細を゛数例けた後ヅ
尭何不・行なったものである１、 〜）、２図はこのようにして製造したこの発明による湿
用センーリ」沁［び従来の最も一般的７．Ｃｉ！ｉｒ
Ｊｕ：センサである５ｉ０２Ａ／！２Ｃ）７．糸上ラミ
ック１ｊｊＩ！度セン°すについて、交？Ｉｉ、Ｉｖヶ
印加して、相対湿度Ｃ３→変化による１１記気抵抗哨（
ｎ）変化ン示−ｆ感湿／ｌ’￥・ｌｉｔ：ｌ？＜１であ
る。
ノクリーン印刷し、Ｐｔ リード細を゛数例けた後ヅ
尭何不・行なったものである１、 〜）、２図はこのようにして製造したこの発明による湿
用センーリ」沁［び従来の最も一般的７．Ｃｉ！ｉｒ
Ｊｕ：センサである５ｉ０２Ａ／！２Ｃ）７．糸上ラミ
ック１ｊｊＩ！度セン°すについて、交？Ｉｉ、Ｉｖヶ
印加して、相対湿度Ｃ３→変化による１１記気抵抗哨（
ｎ）変化ン示−ｆ感湿／ｌ’￥・ｌｉｔ：ｌ？＜１であ
る。
図において９曲Ｉｉ／Ｊ！（Ａｌ＆：１この発明によろ
湿ｍ゛センザ曲、１Ｖ１（Ｂ）＆′、し従来のＳｊ’１
２−’Ｗ２ｏ３系士ラミックう７４（セフ サ１７）感
湿’！’！ｊ”？Ｙ−）示す。これより＋ ５ｊＯ２
’１４２ｏ５系セラミック洋ｌ１１−センサは、低耀１
’ｊ （ＱｌｌでＴＪｊ、慨世抗値力稗＾く、高？界Ｉ
ＪＩ （Ｉ’１１で雷、慨世４１′１変化率が小さく〕
Ｉ−っており、市（τ５０％ＲＨ以下の低湿ｐ、ｔ？１
へ知するセンサとして用いるには好ましいどは言えない
っこれに対して、この発明シこよる溝ｒ’ｆ十ンザば５
０％ＲＨ以下の領域に」ｄいても市気折抗１直か小さく
。
湿ｍ゛センザ曲、１Ｖ１（Ｂ）＆′、し従来のＳｊ’１
２−’Ｗ２ｏ３系士ラミックう７４（セフ サ１７）感
湿’！’！ｊ”？Ｙ−）示す。これより＋ ５ｊＯ２
’１４２ｏ５系セラミック洋ｌ１１−センサは、低耀１
’ｊ （ＱｌｌでＴＪｊ、慨世抗値力稗＾く、高？界Ｉ
ＪＩ （Ｉ’１１で雷、慨世４１′１変化率が小さく〕
Ｉ−っており、市（τ５０％ＲＨ以下の低湿ｐ、ｔ？１
へ知するセンサとして用いるには好ましいどは言えない
っこれに対して、この発明シこよる溝ｒ’ｆ十ンザば５
０％ＲＨ以下の領域に」ｄいても市気折抗１直か小さく
。
かつ低湿度から置湿度までの全１・【１域におい゛（相
対ｉｌ＋ｂ ｌｌ’ｔ： 気化ば」−石ＩＩ（，１：ハ
ゴ直０ ） ９＋１．化か゛１′均泊り（−人、＼イ（
ハで、ｆ七好／Ｉ、感湿’！’４ｉ １’ｔ、う・有１
シ）１、ので簿１石ことか明らかとノ“、「つだ５、 まブこ、−ト言１巳のこのミ・西明によるｉｌ？ ＩＲ
セセンｔ′こメ；Ｊし。
対ｉｌ＋ｂ ｌｌ’ｔ： 気化ば」−石ＩＩ（，１：ハ
ゴ直０ ） ９＋１．化か゛１′均泊り（−人、＼イ（
ハで、ｆ七好／Ｉ、感湿’！’４ｉ １’ｔ、う・有１
シ）１、ので簿１石ことか明らかとノ“、「つだ５、 まブこ、−ト言１巳のこのミ・西明によるｉｌ？ ＩＲ
セセンｔ′こメ；Ｊし。
船体劣化試験どして沸綺水中１１（キ１１（１の沢渾ゲ
？−ｊ ｉ、ｒつだが、い−Ｉ′れも皮膜の７ｊ、１．
１ ）ｉｌｃ 、クラックなどは全く生じず、また試験
後の感洋特性い丁おいて土１．試験前と比べてほとんど
変化か見られなかった。（ｒ（ｑって、セラミックのも
のと同様に、この発明による湿度七ンーリは、皮Ｊｌり
強度おＪ−び物理的、化学的安定性か茜いことか擢かめ
られた。
？−ｊ ｉ、ｒつだが、い−Ｉ′れも皮膜の７ｊ、１．
１ ）ｉｌｃ 、クラックなどは全く生じず、また試験
後の感洋特性い丁おいて土１．試験前と比べてほとんど
変化か見られなかった。（ｒ（ｑって、セラミックのも
のと同様に、この発明による湿度七ンーリは、皮Ｊｌり
強度おＪ−び物理的、化学的安定性か茜いことか擢かめ
られた。
実施例２
イ吉合剤とし゛Ｃ実加Ｉ例１と全く回１９・θノイ、の
ｉ・用い。
ｉ・用い。
これに敲、湿ＪＩＡと７ＬろイアＨ＋：、 ｊ６′へ月
ｔ２１とし゛Ｃ屁旨”−’、ｔｉｌｊ ｔ７）２１音の
重重の粉末状（粒径約ｌ μｎｌ ’） Ｒｉ ０２
Ｍ、Ｈ，０およびワニス゛１ノ、結合・削と同卸量θ
）補６Ｍ’、剤（ア、・ｌベナ）さらに全体σ）重Ｍ゛
の１％に相当Ｊ−る１フリＰ′（ｊ：カーボンプラック
不−′混合１岑拌した混抄物ｌ・用いて、′逮ｈ（ｑ例
１ど同様に湿度七ン１）−ケ製造しブ乙、ｌ、−だＬ７
．予備焼成後、蒙木気流中で、５００℃の温度で２１１
５＋間焼成後、空気中で、６００℃の温度で１１１−１
１１！！ｌフ、１°７１成ケ行ブエつブこ。
ｔ２１とし゛Ｃ屁旨”−’、ｔｉｌｊ ｔ７）２１音の
重重の粉末状（粒径約ｌ μｎｌ ’） Ｒｉ ０２
Ｍ、Ｈ，０およびワニス゛１ノ、結合・削と同卸量θ
）補６Ｍ’、剤（ア、・ｌベナ）さらに全体σ）重Ｍ゛
の１％に相当Ｊ−る１フリＰ′（ｊ：カーボンプラック
不−′混合１岑拌した混抄物ｌ・用いて、′逮ｈ（ｑ例
１ど同様に湿度七ン１）−ケ製造しブ乙、ｌ、−だＬ７
．予備焼成後、蒙木気流中で、５００℃の温度で２１１
５＋間焼成後、空気中で、６００℃の温度で１１１−１
１１！！ｌフ、１°７１成ケ行ブエつブこ。
上聞の・二の発明Ｇで、しる？！ｌｌ：度センサについ
て、実施例１ど同）ｌＩＩＸ［、ｇ肩兄！１冒ζ１”７
測定し７ブニところ刺５ｉ二ｊｉｌａ１テ湿度ハ１１χ
囲か７）’： ＜ ＋ まｌ、−沸騰・水中浸漬にＪ
−るｊ；１）速劣化３＾１験〉・行なったところ、物理
的化：ツ゛的にも安定でｋ・ろという実施１列１θ）用
台と同様σ）傾向・ン見出した。１ とこｂで、シ？明者らは、この発明による涌１．．１．
ｌ’ｌセンサのシリコーンワ；ス、金属酸化物オ、Ｔ
、ｈ ｉＪ・カーボンブラックの？、ｌ＋’ ｆｌ ’
ｌＪＩｎｗアルコ゛ンガス９−７流中で。
て、実施例１ど同）ｌＩＩＸ［、ｇ肩兄！１冒ζ１”７
測定し７ブニところ刺５ｉ二ｊｉｌａ１テ湿度ハ１１χ
囲か７）’： ＜ ＋ まｌ、−沸騰・水中浸漬にＪ
−るｊ；１）速劣化３＾１験〉・行なったところ、物理
的化：ツ゛的にも安定でｋ・ろという実施１列１θ）用
台と同様σ）傾向・ン見出した。１ とこｂで、シ？明者らは、この発明による涌１．．１．
ｌ’ｌセンサのシリコーンワ；ス、金属酸化物オ、Ｔ
、ｈ ｉＪ・カーボンブラックの？、ｌ＋’ ｆｌ ’
ｌＪＩｎｗアルコ゛ンガス９−７流中で。
５００χ〕の温度で２時間焼成後、空気中焼成し人′：
貌、成残留物についてｒ ＸＩｊｉ回折等で分析ｌ−
行プ、Ｃつたつこの結果、この短、族３’５．留物の主
成分であり、しかも金属酸化物の結合成分どフ、仁って
いるのシ゛よ、非晶質な５１Ｃ１Ｓｉ０２．炭素領分で
あることかわかった。従って、前述のように、この発明
によるセンサかもつ良好な強度ならびに安定性は、Δ１
１記非晶質分に起因づ−ろものと考えら」する８また。
貌、成残留物についてｒ ＸＩｊｉ回折等で分析ｌ−
行プ、Ｃつたつこの結果、この短、族３’５．留物の主
成分であり、しかも金属酸化物の結合成分どフ、仁って
いるのシ゛よ、非晶質な５１Ｃ１Ｓｉ０２．炭素領分で
あることかわかった。従って、前述のように、この発明
によるセンサかもつ良好な強度ならびに安定性は、Δ１
１記非晶質分に起因づ−ろものと考えら」する８また。
この発明σ）ｔＪψ造方法において、非酸化性ｊ、ｊ
１ｆｌｉ気中焼成後、酸化性雰囲気中！尭成ゲ２段南に
分けて行なうことにより、低温で９強固な多孔ａ化した
皮膜ケ有Ｊ−る感？、９部が得らハた ただし。
１ｆｌｉ気中焼成後、酸化性雰囲気中！尭成ゲ２段南に
分けて行なうことにより、低温で９強固な多孔ａ化した
皮膜ケ有Ｊ−る感？、９部が得らハた ただし。
非酸化性雰ｊｊｌｌ気中で焼成する鳴合、焼成瀞； Ｉ
ＪＧ：は必ず１０００°（、以下で、望貧しくは３５０
℃１Ｊ、−Ｖて゛なげればならない。なゼなら、３５０
℃の温度以下の焼成の場合には、有機珪素化合物Ｆ１１
合体の分子’ｓ’（ＩＦ一時間かかかり過ぎ、また１０
００℃以」−の７７！度で焼成したものｔよ、セラミッ
ク浸度センサどし−ＣＯ） ｒ ｆ５Ｂ。
ＪＧ：は必ず１０００°（、以下で、望貧しくは３５０
℃１Ｊ、−Ｖて゛なげればならない。なゼなら、３５０
℃の温度以下の焼成の場合には、有機珪素化合物Ｆ１１
合体の分子’ｓ’（ＩＦ一時間かかかり過ぎ、また１０
００℃以」−の７７！度で焼成したものｔよ、セラミッ
ク浸度センサどし−ＣＯ） ｒ ｆ５Ｂ。
！１“ケす生を有するよう１７なってしまうからでキ）
イ）。さらに、 ｒＩｅ、化性雰囲気中の焼成において
はｌ ’）’Ｖｊ成温度は、必ず１００［１”に以下で
、望ましくは８００℃以下で４００℃以上でｌｊげＪし
はｌｆらない。
イ）。さらに、 ｒＩｅ、化性雰囲気中の焼成において
はｌ ’）’Ｖｊ成温度は、必ず１００［１”に以下で
、望ましくは８００℃以下で４００℃以上でｌｊげＪし
はｌｆらない。
／、ＣぜＩｃら、４００℃μ下テ＆’、’Ｌ 、 ５
ｆ！ｒｌ！ｔｅｌ！ ＪＵ膜内の炭素領分の気化に時間
かかがり過ぎ、多孔質化か促進されず、また、 ８ｎ
ｏ”ｃ リ、士で＆、ｌ：、 ＝；＋記シロキーリ゛
ン結Ｙｒ （７） ＋国領の炭化水素基σ）分解が進み
−うぎ。
ｆ！ｒｌ！ｔｅｌ！ ＪＵ膜内の炭素領分の気化に時間
かかがり過ぎ、多孔質化か促進されず、また、 ８ｎ
ｏ”ｃ リ、士で＆、ｌ：、 ＝；＋記シロキーリ゛
ン結Ｙｒ （７） ＋国領の炭化水素基σ）分解が進み
−うぎ。
や【１、リー１ζラミックと同２（子の′向背かできで
しまうがらでハｉ）る１、尚、非酸化性’／）囲気中で
は＋ ［１（ｌＱ”６以上の温度でＩハ１９成か？’
ｊｌ；ｔ、えたのは、このδｌ）：囲気中では、 １ｉ
Ｑ（ｌ’ｊの炭化１）＜素糸の加熱ｍ化分１１ｉ’＋“
か抑制されているから゛（′ある 以上説明したどうり、このうｔ明−１９打（；゛！珪素
化合′吻重自体、無（にｐ Ｉｕ＋月ニド１および炭努
、′Ｊ１［粉斗の混秤物馨絶、れ基叛十にとｈ布し、塗
布物会・Ｊ１酢化（’Ｉｇ ＝：；囲気中におい″Ｃ１
ｏｏｏ°Ｃ以−Ｆのイ１１ｉｌＸ瓜で１焼成して硬化さ
せ、その後乍ｆ１割１（′、３．ｒ；囲気中に−Ｃ１０
００’ｔ、以［のＴ１υ、バじＱ ４’ｌ’、１１ Ｊ
ｒＷ Ｌ、 、 −１，Ｈｅ炭素す（粉末を１、（（
化とτ；（二て多孔質１．（感洋音１−苓ｐ ｊＪｉ’
ｊ造−ｆるという方法に１戸Ｊ、 ＋ｒｉ中に（Ｆ湿
月料ン・“）製造て゛き一１通常の４１：Ｉ〕往ζ化！
１ニア１焼結型のものに比べて低＋７ｒＡか１．成で済
吟、省エイ刀しギー性に即［７て・＃）りまた皮膜強度
も比、Ｎ的おくかつより良好な感停特性ケ有゛する感湿
相旧？製造でＬ例えば、湿度センサや結露センサとして
広く利用できろものである、
しまうがらでハｉ）る１、尚、非酸化性’／）囲気中で
は＋ ［１（ｌＱ”６以上の温度でＩハ１９成か？’
ｊｌ；ｔ、えたのは、このδｌ）：囲気中では、 １ｉ
Ｑ（ｌ’ｊの炭化１）＜素糸の加熱ｍ化分１１ｉ’＋“
か抑制されているから゛（′ある 以上説明したどうり、このうｔ明−１９打（；゛！珪素
化合′吻重自体、無（にｐ Ｉｕ＋月ニド１および炭努
、′Ｊ１［粉斗の混秤物馨絶、れ基叛十にとｈ布し、塗
布物会・Ｊ１酢化（’Ｉｇ ＝：；囲気中におい″Ｃ１
ｏｏｏ°Ｃ以−Ｆのイ１１ｉｌＸ瓜で１焼成して硬化さ
せ、その後乍ｆ１割１（′、３．ｒ；囲気中に−Ｃ１０
００’ｔ、以［のＴ１υ、バじＱ ４’ｌ’、１１ Ｊ
ｒＷ Ｌ、 、 −１，Ｈｅ炭素す（粉末を１、（（
化とτ；（二て多孔質１．（感洋音１−苓ｐ ｊＪｉ’
ｊ造−ｆるという方法に１戸Ｊ、 ＋ｒｉ中に（Ｆ湿
月料ン・“）製造て゛き一１通常の４１：Ｉ〕往ζ化！
１ニア１焼結型のものに比べて低＋７ｒＡか１．成で済
吟、省エイ刀しギー性に即［７て・＃）りまた皮膜強度
も比、Ｎ的おくかつより良好な感停特性ケ有゛する感湿
相旧？製造でＬ例えば、湿度センサや結露センサとして
広く利用できろものである、
第１図はこの発明の−１・、施例によるイ！ｌ璽（ヒン
ザの斜視図、第２図はこの発明による湿度センサと従来
の湿度センサを比較１−ろ相対ｌ昇囲−ｊ」【抗匝特性
図すなわち感湿特性図である。 （２）Ｏ→（タノ 図において慟はｍ５．１飢、桝し１ダＨ’も（９）は基
；１１７ 、け）（′よ感湿部、（Ａ）はこの発明Ｖこ
よるｉ：ｊυ）１４センザの特性（Ｂ）は従来例の特性
である。 代理人 ｐ 腎 ば − 第１図 第２図 Ｑ ５０ １００ 矛目 文４５星 度 （・ｈ） 昭和 年 月 １１ 寺許庁長官殿 事件の表示 ′１．′ｌ′願昭５７−１５７３１
１号２、発明の名称 ノ盛湿材料の製造方法補正
をすると 事ｆ′１．との関係 隼ｉ１ｆ’ｌ’ｌ°Ｉ冒（１
人代表右片山１゛八部 代理人 ６ ？ｎｉ正の対象 図面 ７、補止の内容 図面中第１図紮別紙のとお勺柚圧する。 第１図 丁’ ｉ４）’ＬＦ市 正 ｕＦ（１発）昭和
５８年７月 ５１１ １”Ｎ ｊ’ｌ’ ｌ Ｊ長″１°Ｙ殿１ ・Ｉ ｒ’
ｌの！〈小 １１．に旧制５７−１５７３１１
号２ づと明の？目０・ 感湿材料の製造方法３、
？＋１ｉＩＩ６．・ １ つ古ｌｔｒ’ｌ トｔ
／）関ｒ系 ｉ”Ｉ’１ｊ’Ｂｌ’漕［ｉ 人ｆｉ
所 屯卓゛都「−代Ｉｌ１区）しの内１１
’ｌ＋２計：３シＪ−名 （’ｉ； ｔ＋；川）
−妃、Ｉｆ １Ｆｌｔ株式会ｔ）代ノ：！８Ｊ“＋’
ＩＩＩ ｆ’、 八 部４代理人 ＩＩ−所 東車都「°代１１１区丸の内’、Ｉ
’１１２爵；３シＪ・５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 明細１の第５頁第１４行および第１６行にそれぞれ「ワ
ンス」とあるのを［−１フエス］と訂正する。 以ト
ザの斜視図、第２図はこの発明による湿度センサと従来
の湿度センサを比較１−ろ相対ｌ昇囲−ｊ」【抗匝特性
図すなわち感湿特性図である。 （２）Ｏ→（タノ 図において慟はｍ５．１飢、桝し１ダＨ’も（９）は基
；１１７ 、け）（′よ感湿部、（Ａ）はこの発明Ｖこ
よるｉ：ｊυ）１４センザの特性（Ｂ）は従来例の特性
である。 代理人 ｐ 腎 ば − 第１図 第２図 Ｑ ５０ １００ 矛目 文４５星 度 （・ｈ） 昭和 年 月 １１ 寺許庁長官殿 事件の表示 ′１．′ｌ′願昭５７−１５７３１
１号２、発明の名称 ノ盛湿材料の製造方法補正
をすると 事ｆ′１．との関係 隼ｉ１ｆ’ｌ’ｌ°Ｉ冒（１
人代表右片山１゛八部 代理人 ６ ？ｎｉ正の対象 図面 ７、補止の内容 図面中第１図紮別紙のとお勺柚圧する。 第１図 丁’ ｉ４）’ＬＦ市 正 ｕＦ（１発）昭和
５８年７月 ５１１ １”Ｎ ｊ’ｌ’ ｌ Ｊ長″１°Ｙ殿１ ・Ｉ ｒ’
ｌの！〈小 １１．に旧制５７−１５７３１１
号２ づと明の？目０・ 感湿材料の製造方法３、
？＋１ｉＩＩ６．・ １ つ古ｌｔｒ’ｌ トｔ
／）関ｒ系 ｉ”Ｉ’１ｊ’Ｂｌ’漕［ｉ 人ｆｉ
所 屯卓゛都「−代Ｉｌ１区）しの内１１
’ｌ＋２計：３シＪ−名 （’ｉ； ｔ＋；川）
−妃、Ｉｆ １Ｆｌｔ株式会ｔ）代ノ：！８Ｊ“＋’
ＩＩＩ ｆ’、 八 部４代理人 ＩＩ−所 東車都「°代１１１区丸の内’、Ｉ
’１１２爵；３シＪ・５、補正の対象 明細書の発明の詳細な説明の欄 ６、補正の内容 明細１の第５頁第１４行および第１６行にそれぞれ「ワ
ンス」とあるのを［−１フエス］と訂正する。 以ト
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 （１）有１六珪素（ヒ色物重合体、炉、磯質月料および
炭素質粉末を混紳１−る工程、混練物ケ絶縁基板上に皮
膜状に塗布する工程ならびに塗布物を°非１′°：化ｔ
、ｔ：雰囲気中にて１ ＋１００°（、以下で焼ｒ〕Ｖ
、 して硬化させた後に、酸化性雰囲気中において１０
００℃」）、けで焼成し、ト記ＩＡ素質粉末列゛気化さ
せて多孔４．１ｊ フ；、感湿部を形成″スー石工程ケ
Ｍ＋ｉ、 ｊことを％ Ｇ’ｔ、とする感洋月利の隼、
“１造方法。 （２： 非酸化性雰囲気にて、−１ユ記すｒ布物ケＪ
、＋’）成する淵１ｙか３５０〜１０００℃の範囲内て
、ｆ９）不・こと八′！［コ「徴ト′１− ル特ｒｉ′
ｆ請求の軸間ｕ’、 １ ｆｆ叶（７ｉ！ｉ、’ｊ、
（７） ｒ ｊ！’ｌ’ ＋４’ Ｈノ製造方法。 （３）酸化性雰囲気にて、ヒ記塗布物ケ灯、モ成−イ“
る温ｎ’ｔ−が、４００〜８００℃で’ｈｒ Ｚｒこと
ｙ（（７１−’ｌ徴とＪ−４，！［猶許請求のり・ＩＪ
、囲２＋Ｉ目シ１１又は第２項記載の感湿４０１σ）製
造方法３、 （４） 無機Ｊｌｑ旧料か、；セ、１〜酸化に、ｌ、
り全屈【−゛化物を生ｒｒｖ−４−るものであることケ
特心（と１−るｆ＋ｉ訂市′；求の範ＩＩ（（第１項記
イクｙの感湿相料の製造方法２．
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57157311A JPS5946004A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 感湿材料の製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57157311A JPS5946004A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 感湿材料の製造方法 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5946004A true JPS5946004A (ja) | 1984-03-15 |
Family
ID=15646895
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57157311A Pending JPS5946004A (ja) | 1982-09-09 | 1982-09-09 | 感湿材料の製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5946004A (ja) |
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132803A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-05-22 | Seiko Epson Corp | 湿度センサ |
-
1982
- 1982-09-09 JP JP57157311A patent/JPS5946004A/ja active Pending
Cited By (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPH02132803A (ja) * | 1988-06-27 | 1990-05-22 | Seiko Epson Corp | 湿度センサ |
Similar Documents
| Publication | Publication Date | Title |
|---|---|---|
| KR950032543A (ko) | Si-O 함유 피막을 형성시키는 방법 | |
| KR920008113A (ko) | 퍼하이드로실록산 공중합체 및 피복물질로서의 이의 용도 | |
| JPS5946004A (ja) | 感湿材料の製造方法 | |
| GB1599810A (en) | Graphite or similar mouldings with corrosion-resistant protective layer | |
| JPS6317202B2 (ja) | ||
| Lodge et al. | XXVI. On the phenomena exhibited by dusty air in the neighbourhood of strongly illuminated bodies | |
| Schooley | Evaporation in the laboratory and at sea | |
| JP2006206453A (ja) | 植物の加工方法 | |
| Eremenko et al. | Thermodynamic properties of vanadium silicides V 5 Si 3 and V 3 Si | |
| O'Bryan Jr et al. | On the sintering of single crystal rutile | |
| JP3281098B2 (ja) | 複合固体電解質およびその製造方法 | |
| Narisawa et al. | Microstructure of SiC-Si-Al2O3 composites derived from silicone resin-metal aluminum filler compounds by low temperature reduction process | |
| FR2437049A1 (fr) | Materiau de resistance contenant un rhodate metallique et resistance obtenue | |
| JPS6155865A (ja) | 電池焼結基板用ニッケルスラリー | |
| JPS5872046A (ja) | 感湿素子の製作方法 | |
| Eriksson et al. | Materials for Radiative Cooling to Low Temperatures | |
| KR880009272A (ko) | 일산화탄소 검출 소자 및 그 제조 방법 | |
| Humphrey | Heats of combustion of some cyclic hydrocarbons | |
| JPS5832766B2 (ja) | 非直線抵抗体の外部閃絡防止用絶縁体層の形成方法 | |
| JPS6035993B2 (ja) | 多孔質微粒子層の製造方法 | |
| JPS62260372A (ja) | 太陽電池用絶縁膜およびその製造方法 | |
| JPS60182701A (ja) | サ−ミスタ | |
| SU664942A1 (ru) | Защитное покрытие дл стекла | |
| SU871230A1 (ru) | Резистивный материал | |
| JPS59127374A (ja) | 燃料電池用炭素電極板の製造方法 |