JPS5944154B2 - レ−ザ切断方法およびその装置 - Google Patents
レ−ザ切断方法およびその装置Info
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- JPS5944154B2 JPS5944154B2 JP57040134A JP4013482A JPS5944154B2 JP S5944154 B2 JPS5944154 B2 JP S5944154B2 JP 57040134 A JP57040134 A JP 57040134A JP 4013482 A JP4013482 A JP 4013482A JP S5944154 B2 JPS5944154 B2 JP S5944154B2
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- JP
- Japan
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- laser beam
- cutting
- lens barrel
- hole
- cooling
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- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/1462—Nozzles; Features related to nozzles
- B23K26/1464—Supply to, or discharge from, nozzles of media, e.g. gas, powder, wire
- B23K26/147—Features outside the nozzle for feeding the fluid stream towards the workpiece
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
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- B23K26/14—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor
- B23K26/146—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring using a fluid stream, e.g. a jet of gas, in conjunction with the laser beam; Nozzles therefor the fluid stream containing a liquid
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K35/00—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting
- B23K35/22—Rods, electrodes, materials, or media, for use in soldering, welding, or cutting characterised by the composition or nature of the material
- B23K35/228—Selection of materials for cutting
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- Laser Beam Processing (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
溌明の技術分野〕
この発明は比較的厚い鋼板等の材料を適切に切断するレ
ーザ切断方法およびその装置に関する。
ーザ切断方法およびその装置に関する。
〔発明の技術的背景およびその問題点〕レーザ光による
鋼板等の厚物切断は一般の溶断加工と同様熱源が異なる
以外は大差ないものである。
鋼板等の厚物切断は一般の溶断加工と同様熱源が異なる
以外は大差ないものである。
すなわち、集束されたレーザー光を酸素ガスとともにノ
ズルより放出せしめて切断している。また、抜き板切断
加工や、スリット加工では加工開始部分に下穴をあける
工程が必要になるが、この下穴加工に対してはドリル加
工やもしくはレーザ光の照射にある加工が選ばれる。前
者の加工では工程や労力の増加のため、切断加工に供さ
れる後者の加工によつて行われることが多いが、酸素ガ
スの供給なしでは溶融物が下穴加工部分に付着すること
から切断時と同様に酸素ガスの供給の下に行なわれる。
しかしながら、このようにして下穴加工すると、穴の大
きさは切断される加工物の厚さに比例して大きくなる。
たとえば９−厚の場合では約１０−径の穴になる。さら
に、切断中においてレーザ光とともに供給される酸素ガ
ス雰囲気の純度が空気の混入で低下すると、酸化反応に
支障をきたし、レーザー光の照射部分は十分に吹き飛ば
されずに未切断部を形成する。
ズルより放出せしめて切断している。また、抜き板切断
加工や、スリット加工では加工開始部分に下穴をあける
工程が必要になるが、この下穴加工に対してはドリル加
工やもしくはレーザ光の照射にある加工が選ばれる。前
者の加工では工程や労力の増加のため、切断加工に供さ
れる後者の加工によつて行われることが多いが、酸素ガ
スの供給なしでは溶融物が下穴加工部分に付着すること
から切断時と同様に酸素ガスの供給の下に行なわれる。
しかしながら、このようにして下穴加工すると、穴の大
きさは切断される加工物の厚さに比例して大きくなる。
たとえば９−厚の場合では約１０−径の穴になる。さら
に、切断中においてレーザ光とともに供給される酸素ガ
ス雰囲気の純度が空気の混入で低下すると、酸化反応に
支障をきたし、レーザー光の照射部分は十分に吹き飛ば
されずに未切断部を形成する。
この未切断部において、切除予定部分は溶融塊とし残り
温度上昇する。これが発火源となつて自己発火（−ｅル
フバーニング）現象を引き起すこととなり、切断加工を
停止せざるを得なくなる。Ｃ明の目的〕 この発明は、自已発火現象が起こることなく正常にレー
ザ切断できる方法および装置を提供するものである。
温度上昇する。これが発火源となつて自己発火（−ｅル
フバーニング）現象を引き起すこととなり、切断加工を
停止せざるを得なくなる。Ｃ明の目的〕 この発明は、自已発火現象が起こることなく正常にレー
ザ切断できる方法および装置を提供するものである。
溌明の概要〕
加工開始における下穴の加工時には純酸素以外の空気等
の補助ガスのもとにレーザ加工し穴あけされた冷却した
後、切断中に用いる酸素ガスを高純度に保つてレーザ切
断するようにしたものである。
の補助ガスのもとにレーザ加工し穴あけされた冷却した
後、切断中に用いる酸素ガスを高純度に保つてレーザ切
断するようにしたものである。
第１図はこの発明の全体構成を示すもので、レーザ発振
器１と、この発振器１から放出されたレーザ光２を導入
する鏡筒３と、この鏡筒３を主体にして各種の補助ガス
を上記鏡筒３で形成された集束レーザ光とともに補助ガ
スを加工部に吹きつける照射部４と、レーザ光２を鏡筒
３へ導く第１の反射鏡５ａと、鏡筒３内に設けられた第
１の反射鏡５ａの反射光を受けて上記加工部へ偏向する
ための第２の反射鏡５ｂと、第１の反射鏡５ａと鏡筒３
を矢印Ａで示すＸ方向に同期的に走査させる第１の駆動
機構６と、鏡筒３のみを矢印Ｂで示すＹ方向に独立して
走査させる第２の駆動機構７と、レーザ発振器１と第１
の反射鏡５ａとの間の光路２′に第３の反射鏡８を出入
自在にする第３の駆動機構９と、第３の反射鏡８による
反射光を導入する熱吸収体１０、および上記第１乃至第
３の駆動機構６，ｒ，９と上記照射部４における補助ガ
ス噴出用の後述する電磁開閉弁１１ａ，１１ｂ，１１ｃ
，１１ｄとを加工程に従つて駆動または作動制御する制
御装置１２とから構成されている。
器１と、この発振器１から放出されたレーザ光２を導入
する鏡筒３と、この鏡筒３を主体にして各種の補助ガス
を上記鏡筒３で形成された集束レーザ光とともに補助ガ
スを加工部に吹きつける照射部４と、レーザ光２を鏡筒
３へ導く第１の反射鏡５ａと、鏡筒３内に設けられた第
１の反射鏡５ａの反射光を受けて上記加工部へ偏向する
ための第２の反射鏡５ｂと、第１の反射鏡５ａと鏡筒３
を矢印Ａで示すＸ方向に同期的に走査させる第１の駆動
機構６と、鏡筒３のみを矢印Ｂで示すＹ方向に独立して
走査させる第２の駆動機構７と、レーザ発振器１と第１
の反射鏡５ａとの間の光路２′に第３の反射鏡８を出入
自在にする第３の駆動機構９と、第３の反射鏡８による
反射光を導入する熱吸収体１０、および上記第１乃至第
３の駆動機構６，ｒ，９と上記照射部４における補助ガ
ス噴出用の後述する電磁開閉弁１１ａ，１１ｂ，１１ｃ
，１１ｄとを加工程に従つて駆動または作動制御する制
御装置１２とから構成されている。
ここで上記照射部４の部分を第２図にて詳細に説明する
。すなわち、鏡筒３内にはレーザ光２透過させ加工物１
３に集束レーザ光２１を照射するための集光レンズ１４
が保持されている。集束レーザ光２″の出口側になる鏡
筒３の先端部には連結具１５を介しノズル１６が取り付
けられている。また鏡筒３には供給管１７が集光レンズ
１４とノズル１６との間の鏡筒３内部に連通するように
接続されている。供給管１７＆＄それぞれ電磁開閉弁１
１ａ，１１ｂの設けられている加圧酸素供給管１９およ
び加圧空気供給管２０に分岐して接続されている。上記
ノズル１６にはその中央部に集光レンズ１４を透過した
集束レーザ光２Ｉを透過させる通過孔２１とこの通過孔
２１の周囲に複数個の補助用の通気孔２２・・・とが穿
設され、それぞれ供給管１７より送られてくるガスの噴
射口になつている。通気孔２２・・・は例えば８個等角
度に環状を呈するように形成してもよいが、第３図ａお
よびｂに示すようにほぼ半円弧状の二つのスリツト２３
ａ，２３ｂを同心円的に形成したノズル１５′あるいは
出口部のみ通気孔２２に連通する環状スリツト２４に形
成し５たノズル１６１′にしてもよい。なお、環状スリ
ツト２４にした場合はこのスリツトとの境になる通気孔
２２の端部は気体が拡散する形状にしておくことが望ま
しい。ところで、鏡筒３の外部には加工物１３に向けて
冷却用ガスを送る冷却管２５と、供給管１７に接続し、
加工中生じる飛散物を集束レーザ光２１１の軸線に直交
する方向に吹き飛ばす除去用ノズル２６とが鏡筒３を間
にし、支持部材２７ａ．２７ｂによつて鏡筒３と一体に
対向して取り付けられている。上記の冷却管２５と除去
用ノズル２６とには電磁開閉弁１１ｃ，１１ｄがそれぞ
れ接続されている。また、冷却管２５の他、上記加圧酸
素供給管１９および加圧空気供給管２０は鏡筒３の移動
に追従するようにそれぞれ耐圧ゴム管のような可撓管２
８に接続している。冷却管２５の先端部はノズル１６の
外側部に取り付けられている環状管２９に接続されてい
る。この環状管２９は加工物１３ｇＩＡに向けて穿設さ
れた多数の噴出口２９ａを有した冷却用気体の出口部分
になつている。３０は加工物１３載置用のテーブルで鏡
筒３が上記したような移動をしない場合には、加工物１
３を任意の方向に移動もしくは走査する機構が付加され
る。
。すなわち、鏡筒３内にはレーザ光２透過させ加工物１
３に集束レーザ光２１を照射するための集光レンズ１４
が保持されている。集束レーザ光２″の出口側になる鏡
筒３の先端部には連結具１５を介しノズル１６が取り付
けられている。また鏡筒３には供給管１７が集光レンズ
１４とノズル１６との間の鏡筒３内部に連通するように
接続されている。供給管１７＆＄それぞれ電磁開閉弁１
１ａ，１１ｂの設けられている加圧酸素供給管１９およ
び加圧空気供給管２０に分岐して接続されている。上記
ノズル１６にはその中央部に集光レンズ１４を透過した
集束レーザ光２Ｉを透過させる通過孔２１とこの通過孔
２１の周囲に複数個の補助用の通気孔２２・・・とが穿
設され、それぞれ供給管１７より送られてくるガスの噴
射口になつている。通気孔２２・・・は例えば８個等角
度に環状を呈するように形成してもよいが、第３図ａお
よびｂに示すようにほぼ半円弧状の二つのスリツト２３
ａ，２３ｂを同心円的に形成したノズル１５′あるいは
出口部のみ通気孔２２に連通する環状スリツト２４に形
成し５たノズル１６１′にしてもよい。なお、環状スリ
ツト２４にした場合はこのスリツトとの境になる通気孔
２２の端部は気体が拡散する形状にしておくことが望ま
しい。ところで、鏡筒３の外部には加工物１３に向けて
冷却用ガスを送る冷却管２５と、供給管１７に接続し、
加工中生じる飛散物を集束レーザ光２１１の軸線に直交
する方向に吹き飛ばす除去用ノズル２６とが鏡筒３を間
にし、支持部材２７ａ．２７ｂによつて鏡筒３と一体に
対向して取り付けられている。上記の冷却管２５と除去
用ノズル２６とには電磁開閉弁１１ｃ，１１ｄがそれぞ
れ接続されている。また、冷却管２５の他、上記加圧酸
素供給管１９および加圧空気供給管２０は鏡筒３の移動
に追従するようにそれぞれ耐圧ゴム管のような可撓管２
８に接続している。冷却管２５の先端部はノズル１６の
外側部に取り付けられている環状管２９に接続されてい
る。この環状管２９は加工物１３ｇＩＡに向けて穿設さ
れた多数の噴出口２９ａを有した冷却用気体の出口部分
になつている。３０は加工物１３載置用のテーブルで鏡
筒３が上記したような移動をしない場合には、加工物１
３を任意の方向に移動もしくは走査する機構が付加され
る。
次に上記の構成によるレーザ切断について第１図乃至第
４図とに基づいて説明する。
４図とに基づいて説明する。
先ずレーザ発振器１を作動し、第３の反射鏡８を光洛外
に出し、放出されていたレーザ光２を一時的に所定位置
に停止している鏡筒３内に導入するとともに、電磁開閉
弁１１ｂおよび１１ｄを開放し、ノズル１６の通過孔２
１および通気孔２２・・・より加圧空気を常時加工物１
３に向けて噴出させ、また、同時に除去用ノズル２６よ
り集束レーザ光２Ｉの軸線に直交する方向に向けて噴出
させながら上記集束レーザ光２１で加工物１３に下穴を
開ける加工をする。
に出し、放出されていたレーザ光２を一時的に所定位置
に停止している鏡筒３内に導入するとともに、電磁開閉
弁１１ｂおよび１１ｄを開放し、ノズル１６の通過孔２
１および通気孔２２・・・より加圧空気を常時加工物１
３に向けて噴出させ、また、同時に除去用ノズル２６よ
り集束レーザ光２Ｉの軸線に直交する方向に向けて噴出
させながら上記集束レーザ光２１で加工物１３に下穴を
開ける加工をする。
下穴の穿設後、電磁開閉弁１１ｂ．［１ｄを閉じ、冷却
管２５に接続している環状管２９より冷却用気体すなわ
ち、加圧空気を出し上記穿設された直後の下穴部分を好
ましくは常温程度にまで冷却する。この冷却においては
、第３の駆動機構９により第３の反射鏡８がレーザ光路
′２上に移動される。
管２５に接続している環状管２９より冷却用気体すなわ
ち、加圧空気を出し上記穿設された直後の下穴部分を好
ましくは常温程度にまで冷却する。この冷却においては
、第３の駆動機構９により第３の反射鏡８がレーザ光路
′２上に移動される。
第３の反射鏡８によつてレーザ光は熱吸収体１０に導か
れ、レーザ照射は停止状態になる。そして冷却管２５よ
りの加圧空気で下穴が十分冷却された後、再び第１の駆
動機構６で鏡筒３は下穴の加工位置に戻されるとともに
、電磁開閉弁１１ａ，１１ｂは切り換えられ、ノズル１
６より加圧酸素ガスが噴出される。次いで第３の反射鏡
８を光路外に移動し、切断加工図形に従つて第１・第２
の駆動機構２１を制御しつつ第１の反射鏡５ａと鏡筒３
とを移動させて切断加工を行う。この切断加工ではノズ
ル１６において切断部分にレーザ照射部およびその周囲
を加圧酸素で吹きつけているので切断部分は高純度の酸
素雰囲気に保たれる。さらに切断中電磁開閉弁８ｃは開
放したままになつているので、冷却管１５よりの加圧空
気で切断された部分は切断加工に追従しながら環状に冷
却されていく。切断終了後、次の加工物がある場合は、
上記の工程を繰り返し、ない場合はいうまでもなくレー
ザ発振器２０その他の駆動や気体供給を停止し作業を終
了する。なお上記実施例で下穴加工に供するガスに酸素
ガス以外の気体として空気を用いたが、窒素ガスでも代
替できるが、加工時間は空気に比べて遅くなる。〔発明
の効果〕 下穴加工において空気の如き純酸素以外の気体を吹きつ
けて行つたので、たとえば板厚が９臨以上でも直径が１
？程度の微小な下穴が得られ幅の狭いスリツト加工等が
可能となり加工範囲を拡げることができた。
れ、レーザ照射は停止状態になる。そして冷却管２５よ
りの加圧空気で下穴が十分冷却された後、再び第１の駆
動機構６で鏡筒３は下穴の加工位置に戻されるとともに
、電磁開閉弁１１ａ，１１ｂは切り換えられ、ノズル１
６より加圧酸素ガスが噴出される。次いで第３の反射鏡
８を光路外に移動し、切断加工図形に従つて第１・第２
の駆動機構２１を制御しつつ第１の反射鏡５ａと鏡筒３
とを移動させて切断加工を行う。この切断加工ではノズ
ル１６において切断部分にレーザ照射部およびその周囲
を加圧酸素で吹きつけているので切断部分は高純度の酸
素雰囲気に保たれる。さらに切断中電磁開閉弁８ｃは開
放したままになつているので、冷却管１５よりの加圧空
気で切断された部分は切断加工に追従しながら環状に冷
却されていく。切断終了後、次の加工物がある場合は、
上記の工程を繰り返し、ない場合はいうまでもなくレー
ザ発振器２０その他の駆動や気体供給を停止し作業を終
了する。なお上記実施例で下穴加工に供するガスに酸素
ガス以外の気体として空気を用いたが、窒素ガスでも代
替できるが、加工時間は空気に比べて遅くなる。〔発明
の効果〕 下穴加工において空気の如き純酸素以外の気体を吹きつ
けて行つたので、たとえば板厚が９臨以上でも直径が１
？程度の微小な下穴が得られ幅の狭いスリツト加工等が
可能となり加工範囲を拡げることができた。
また、穿設された下穴を一度冷却してから切断するので
、切断加工の開始時点でも発生していた自已発火現象を
防止し、さらに切断加工中においても切断部分の酸素雰
囲気が高純度に保たれるので、切断部分に切り残しを生
じなくなり自已発火現象なく安定した切断が達成された
。
、切断加工の開始時点でも発生していた自已発火現象を
防止し、さらに切断加工中においても切断部分の酸素雰
囲気が高純度に保たれるので、切断部分に切り残しを生
じなくなり自已発火現象なく安定した切断が達成された
。
第１図はこの発明の一実施例を示す模式図、第２図は第
１図における照射部の詳細を示す断面図、第３図ａおよ
びｂはノズル構造の他の実施例を示す平面図、第４図は
上記第１図、第２図の構成による切断を説明するための
工程図である。 １・・・レーザ発振器、３・・・鏡筒、１２・・・制御
装置、１４・・・集光レンズ、１６・・・ノズル、１９
・・・加圧酸素供給管、２０・・・加圧空気供給管、２
１―通過孔、２２・・・通気孔、２５・・・冷却管。
１図における照射部の詳細を示す断面図、第３図ａおよ
びｂはノズル構造の他の実施例を示す平面図、第４図は
上記第１図、第２図の構成による切断を説明するための
工程図である。 １・・・レーザ発振器、３・・・鏡筒、１２・・・制御
装置、１４・・・集光レンズ、１６・・・ノズル、１９
・・・加圧酸素供給管、２０・・・加圧空気供給管、２
１―通過孔、２２・・・通気孔、２５・・・冷却管。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ 加工物の加工開始部およびその周囲に酸素ガス以外
の補助ガスを吹きつけながら集束レーザ光を照射して下
穴をあける工程と、上記集束レーザ光の照射を断ち上記
下穴の部分を冷却する工程と、上記冷却された下穴より
上記集束レーザ光照射を開始し照射部およびその周囲に
純酸素ガスを吹き付けて切断する工程と、上記切断中に
既切断部を冷却する工程とを備えることを特徴とするレ
ーザ切断方法。 ２ レーザ発振器と、鏡筒に保持され上記レーザ発振器
より放出されたレーザ光を加工物に集光する光学系と、
上記鏡筒に取り付けられ上記光学系を透過した集束レー
ザ光の通過孔およびこの通過孔を包囲して穿設された通
気孔とを有するノズルと、上記ノズルより加工工程にし
たがつて酸素ガスとその他のガスの加圧気体を別々に噴
出させる加熱気体供給装置と、上記鏡筒の外部に配設さ
れ加工部分を空冷する冷却装置と、加工工程にしたがつ
て上記加圧気体供給装置および冷却装置のそれぞれの作
動操作に基づく上記レーザ光照射の操作とを制御する制
御装置と、この制御装置の指令に基づいて上記冷却装置
を含むレーザ光照射系と工作物とを相対的に移動する移
動機構とを備えるレーザ切断装置。 ３ 冷却装置は円弧状噴出口もしくは多数の噴出孔をも
つ環状管からなる噴出部分がノズルの外側部に設けられ
ていることを特徴とする特許請求の範囲第２項記載のレ
ーザ切断装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57040134A JPS5944154B2 (ja) | 1982-03-16 | 1982-03-16 | レ−ザ切断方法およびその装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57040134A JPS5944154B2 (ja) | 1982-03-16 | 1982-03-16 | レ−ザ切断方法およびその装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS58157587A JPS58157587A (ja) | 1983-09-19 |
| JPS5944154B2 true JPS5944154B2 (ja) | 1984-10-26 |
Family
ID=12572323
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57040134A Expired JPS5944154B2 (ja) | 1982-03-16 | 1982-03-16 | レ−ザ切断方法およびその装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5944154B2 (ja) |
Families Citing this family (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS60200909A (ja) * | 1984-03-26 | 1985-10-11 | Toyota Auto Body Co Ltd | レ−ザ加工による焼入れ方法およびその装置 |
| DE9013943U1 (ja) * | 1990-10-06 | 1991-01-03 | Trumpf Gmbh & Co, 7257 Ditzingen, De | |
| KR100597907B1 (ko) | 2005-06-15 | 2006-07-06 | 한국기계연구원 | 레이저빔을 이용한 공작물 가공장치 및 가공방법 |
| DE102008053729C5 (de) * | 2008-10-29 | 2013-03-07 | Trumpf Werkzeugmaschinen Gmbh + Co. Kg | Laserbearbeitungsdüse zum Bearbeiten von Blechen |
| CN105081579B (zh) * | 2015-08-04 | 2017-10-03 | 大族激光科技产业集团股份有限公司 | 一种激光加工方法 |
| CN111185667B (zh) * | 2020-01-21 | 2022-04-29 | 上海精测半导体技术有限公司 | 一种抽排装置及激光切割装置 |
-
1982
- 1982-03-16 JP JP57040134A patent/JPS5944154B2/ja not_active Expired
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS58157587A (ja) | 1983-09-19 |
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