JPS5944058A - 感光体の製造方法 - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 本発明は、例えば電子写真又は光電変換素子等に好適な
感光体の製造方法に関するものである。

従来、電子写真用の感光体として、セレンにテルルを添
加したセレン−テルル合金（Ｓｅ−Ｔｅ）からなる感光
体が知られている。この５ｅ−Ｔｅ感光体はテルルの含
有によって特に長波長域で良好な感度を示す。

例えば、特開昭５６−１２６４７号においては、５ｅ−
Ｔｅからなる電荷輸送層（以下、ＣＴＬと称する。）の
表面に、このＣＴ　ＬよりＴｅ含有量の多い５ｅ−Ｔｅ
からなる電荷発生層（以下、ＣＧ　Ｌと称する。）が設
けられてなる感光体が記載されている。

この種の５ｅ−Ｔｅ感光体を製造するには一般に真空蒸
着法が使用されるが、−例として、特開昭５６−１２６
４７号によれば、複数の蒸発源を用い、一方の蒸発源を
低テルル濃度の原料とし、他方の蒸発源を高テルル濃度
の原料とし、各蒸発源を順次加熱、蒸発させる方法が知
られている。この方法によって、低テルル濃度の原料の
蒸着で上記したＣ　Ｔ　Ｌを形成し、高テルル濃度の原
料の蒸着でＣ１’　Ｌ上にＣＧＬを形成できる。しかし
ながら、このように複数の蒸発源を用いた場合、蒸着槽
（ペルジャー）内の構造が複雑化したり、或いはゴミ等
が生じ易くなって得られる感光体の歩留が悪くなる。才
だ、蒸発源が複数存在するだめに、それだけ輻射熱が多
くなり、感光体自体が結晶化し易いという欠点があり、
しかも各蒸発源を温度制御することが困難である。

他方、別の方法として、特開昭５６−１１８６５８号に
開示されているように蒸発源を１つのみとし、この蒸発
源の下層に純セレンを配し、上層にセレン−テルル合金
を配して蒸着する方法がある。この方法では、蒸発源が
１つであるだめ、輻射熱は小さく、結晶化しにくい。し
かし、この方法は一定濃度プロフィルを得ることを目的
としているだめ、Ｃ’Ｊ”Ｌ、ＣＧＬの多層蒸着を行な
うには、結局複数の蒸発源を必要とする欠点がある。し
かも、下層ｄ：純セレンであるため上層のセレン−テル
ルとの混合状態が悪く作成した感光体ピ、感度ムラが生
じやすい。

本発明は、上記した如き欠点をすべて解消すべくなされ
たものであって、高感度、低疲労の感光体を作成するこ
とを目的とする。本発明の他の目的は、一つの蒸発源に
より多層構成の感光体を作成することにある。本発明の
更なる目的は、１つの蒸発源としての温度制御器により
、容易に多層構成の感光体を作成することにある。

即ち、本発明は、セレン及びテルルを主成分とする蒸着
材料を基体上に蒸着するようにした感光体の製造方法に
おいて、高テルル濃度の原料を上層としかつ低テルル濃
度の原料を」二層として１つの容器内に配１７た蒸発源
を使用し、上方からの加熱によって前記低テルル濃度の
原料の蒸着と前記高テルル濃度の原料の蒸着とを連続的
に行なうことを特徴とする感光体の製造方法に係るもの
である。

二 本発明の方法によれば、いわゆるマランゴｙ−数が１０
０以下、レイリー数が１７００以下では蒸発源中で対流
が生じず、この条件を溶融したセレン−テルルが充たし
得ることを利用して、上方からの加熱によって上層の低
テルル濃度及び下層の高テルル濃度の原料に夫々充填さ
れたときの濃度を維持させることができる。従って、上
方からの加熱によって低テルル濃度のセレン−テルル層
を内層（Ｃ（Ｊｌｌ、）として、高テルル濃度のセレン
−テルル層を表層（ＣＧＬ）として連続的に形成するこ
とが可能となり、目的とする感光体を作成することがで
きる。しかも、蒸発源の個数は１つで済むから、感光体
のテルル濃度プロファイルを容易に制菌できる上に、複
数の蒸発源を用いる場合に比べて熱源は１つで済むから
感光体の結晶化が生じりｉ′Ｉｆ＜なり、更に蒸発源の
温度制御を余裕をもつ−Ｃ行ない易く、収率が大幅に向
上する。

以下、本発明を実施例について図面参照下に詳細に説明
する。

第１図は、本実施例による真空蒸着方法を概略的に示す
ものである。

蒸着槽（図示せず）内には、蒸発源としての蒸着ボー　
ト１とドラム状感光体のアルミニウム等の導電性基体２
とを対向配置する。蒸着ボート１においては、容器：３
内に高テルル濃度（例えば２０重量％）の原料４を下層
として、低テルル濃度（例えば５重量％）の原料５を上
層として夫々充填せしめ、その真上にヒーター６を配置
する。原料の充填に際しては、下層４を真空下で溶融、
冷却した後、上層５を装填するのがよい。

そして、ヒーター６によシ上方からまず上層５を加熱、
蒸発させ、蒸着ボート１の上部間ロアから飛翔させて基
体２上に低テルル濃度のＣｉ’　Ｌ　８を所定厚みに形
成し、更にこれに連続して下層４を加熱、蒸発させ、上
記ＣＴ　Ｌ上にＣＧ　Ｌ　９−ｉ所定厚みに形成する（
第２図参照）。この際、上層５及び下層４の連続加熱時
に対流が生じ々いように温度コントロールを行ない、マ
ランゴｉ−数を１００以下、レイリー数を１７００以下
とする。

第３図には、上記した方法で作成した感光体のテルル濃
度プロファイルを示しだが、制御性良く蒸着できるだめ
に、ＣＴＬのテルル濃度が低くてほぼ平担となり、電荷
輸送及び保持機能が良好となり、かつＣＧ、Ｔ、のテル
ル濃度が高くて光キヤリア発生能が良好となる。

次に、上記した方法を更に具体的に説明する。

第１図に示した蒸発源中に、Ｔｅ濃度が２０重量係のＳ
　ｅ　−Ｔ　ｃを２００ｇ、この上に′ｒＣ濃度が５重
量係のＳ　ｃ　−Ｔｃを３００ｙ充填した。そして、厚
さ４ｙｒｒａのアルミニウム基板を７０°Ｃに保持し、
蒸着槽内の真空度を１×川−５Ｔｏｒｒとした。しかる
後、ヒーターによって上方から加熱して、蒸着原料を３
００°Ｃどし、蒸着を５０分間行ない、ＣＴ　Ｌ及びＣ
（］■」を順次形成した。

こうして得られた感光体を高滓製作所製のＥ　ＭＸで断
面分析したところ、第３図に示した如き＋ｐｅ濃度プロ
ファイルが形成されていることが分っメこ。

壕だ、この感光体を小西六写真工業■製の電子写真複写
機Ｕ　−Ｂ　ｉ　ｘ　ｖに蒸着して試験した結果、良好
な画像が得られた上に、１００回の繰返し試験によって
も画像濃度の低下、カブリを生じず、画質の劣化がなか
った。

以上、本発明を例示したが、上述の例は本発明の技術的
思想に基いて更に変形が可能である。

例えば、原料の゛ｖＣ濃度の選択等により感光体中のそ
のプロファイルを様々に変化させてよい。

また、蒸発源の構成やヒーターの配■等も変更してよい
。

【図面の簡単な説明】

図面は本発明の実施例を示すものであって、第１図は真
空蒸着装置の要部概略図、 第２図は作成され７′ｃ感恍休の断面図、第３図は仁の
感光体のテルル濃度プロファイルを示す図 である。 外お、図面に示されている符号において、１・・・・・
・・・蒸発源 ２・・・・・・・・・基体 ４・・・・・・・・・高テルル濃度の原料５・・−・・
・・・・低デルノ”’　ｆｌＫ度の原料６・・・・・・
・・・ヒー　ター ８・・・・・・・・Ｃｉ’　Ｌ　（電荷輸送層）９・・
・・・・・・・ＣＧＬ（電荷発生層）である。 代理人　弁理士　　逢　坂　　宏 第１　日 第２日 第３日 イ則　　　　　　　　　　　　　　　　イ９」（自発）
　　２ト牟・７５７ｉ１ｉ　ｊｌ−巳で１−昭和５３）
年１１月、’ｌ（Ｈ’１ １、事イ１１の表示 昭和１１７４１’ｔ！ｒ許　願第］　５４２４　：（冒
２、発明の名称 感光体の製造方法 ３、補ｊ「をする膚 事件との関係　特Ｒ’ｌ’　Ｉｌｌ　１９ＩＩ人４１　
所　東京都新宿区西新宿ＩＩ目２６番２号名　称（＋　
２７　）　小西六月：　Ｉｙ、−１−業株式会？１４、
代即人 ｆｊ、袖ｉト、　ｌ：：より増加−」る発明の数７、補
正の対象 （１）、明た１１１書第５頁３行目の１’　ＣＧ　１．
　ｊを１−　ＣＴ　Ｌ、　Ｊと躬止しまず。 （２）、同第５頁下から４行目の「感光体」を削除しま
゛づ。 （３）、同第６頁４行目の１装填」を１充Ｉａ１と訂正
します。 ｔ／１１、同第７頁１３行目の［−蒸着」を［−装着１
と訂正します。 −以　　　　に　−

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 １、セレン及びテルルを主成分とす不蒸着材料を基体上
   に蒸着するようにした感光体の製造方法において、高テ
   ルル濃度の原料を下層としかつ低テルル濃度の原料を上
   層として１つの容器内に配した蒸発源を使用し、上方か
   らの加熱によって前記低テルル濃度の原料の蒸着と前記
   高テルル濃度の原料の蒸着とを連続的に行なうことを特
   徴とする感光体の製造方法。 ２、高テルル濃度の原料を真空下で溶融、冷却した後、
   この上に低テルル濃度の原料を特徴する特許請求の範囲
   の第１項に記載した方法。