JPS5943207A - 流体アクチユエ−タ - Google Patents

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】

く技術分野〉 不発明は、アクチュエータの位置を示す、特にアクチュ
エータが完′代に突出したかまたは’７１’Ｅ全に後退
したかを示すＬＶＤＴフィードバック桟４漬４−有する
流体アクチュエータに関するものである。 〈技術的背景〉 アクチュエータの用途によってはアクチュエータの位置
を遠隔位＋ｉ／ｌにＪＪＩらせることが７１ｃ要な場合
がある。例えば、アクチュエータを飛行機のジェットエ
ンジンの逆スラスト装置１９を作動させるのに、使用す
るとき、パイロットはアクチュエータが完全に位置決め
した位１ｎまたは後退した１１“１１ｉ”ｉに１ヤした
時点を知らなければならない。Ｉｌｌ　ｔ’ｌ　’ｒク
チュエータが突出または後退する位置決め即１．）移１
助ザイクル中にはエンジンスロットル学アイドル状１塵
に保持しなければならないためであ２）。このト１的の
ために、これまでフィードバック（１３１’ｉ’７がｆ
り子ユ工−タに設けられた。しかし、従来の゛フィード
バック機構は逆スラスト訳５置のＲ（Ｓ＋Ｍθ）　、ｌ
ｌｌ　１１山により駆動されるのが一般的であった。′
？Ｊ、たこのようＸｒフィードバック機溝は装置全体の
寸法および１１（１ルを相当大きなものにしていた。 〈発明の目的、構成および効果〉 従って、不発明の目的は、アクチュエータ位置を示４−
１．二めにＬ　Ｖ　１）　Ｔフィードバック機構を使用
−挙る流体アクチェエータ全得るにある。 史に、不うを明の１」的は、アクチュエータわじ輔から
Ｌ　Ｖ　Ｄ　’１１’を駆動する流体アクチュエータを
得るにある。 ンに、＄：発明の川ものＨ的Ｇま、”ノ′クチュエータ
の移動行程がＬ　Ｖ　Ｉ）　Ｔの佳（第行桿を越える場
合にＬＶ　Ｄ　Ｔおよびアクチュエータの１１１１鋳を
１ＩＪｊ屯することができる流体アクチュエータを得イ
、　４．Ｔ：　、ちるワこれらの目的を達成するため、
不発明ｉ：ｊＬ　Ｖ　Ｄ　Ｔフィードバック鳴＋＜１′
ｔをアクチュ上−夕ねじ軸により駆動することをＷ徴と
４−　ｚ、。杢ｔｈ明の好尚な′！！施例においては、
Ｌ　Ｖ　Ｄ　Ｔフィードバック機構？アクチュエータハ
ウジングの内喘に；＋ｖｒ；Ｉけ、アクヂコーエータね
じＩｉ曲＋ｒｌより１白〕鐸駆４男する。 奉′＋６明の池の実１−１１例ＧＪおいては、Ｌ　Ｖ　
Ｄ　Ｔフィードバック機構をアクチュエータの父差４＃
ｂに１’、！　ｆ；Ｊける。この場合、歯車減速装置ｉ
！ｆを使１［Ｉシてり差軸の行程当りの回転数１ｄ：　
Ｌ　Ｖ　Ｄ　’ｒ　ｍねじの１イン＝ｆ（２５，４”ｍ
　）当りのねじ出の数に適合する数まで減少するとよい
。 このような歯車減３’Ｊｉ装＋１？ｊとして遊星歯車装
置１゛Ｉを使用して回転入力；！ｉ！　ＪｆｌＪをＺ減
速することもでき、またウオーム軸とウオーム両市の組
合せ２使用し一〇このような歯車減速を行うことができ
る。遊星歯車装置を使用するとき、ＬＶＤＴはアクチュ
エ−１りの交差軸から直線的に突出させ片持支持する。 ウオーム軸とウオーム歯車の、＋４１合せを使用する場
合、ＬＶＤＴの中心線はアクチュエータの中心線に手行
にすることができる。従って遊ＶＩＮ歯７１装置を使用
するときよりもウオーム軸とつ→゛−ム歯車組合せを使
用するときの方がアクチュエータからＬ　ＶＤＴを支持
するのが幾分容易である。 しかし、最初に述べたフィードバック機（１“１７をア
クチュエータの内端に直接取付ける取ＩＪ方法の方がＬ
ＶＤＴ機構を振動なく支持するのが容易でちり、またり
、ＶＤＴとアクチュエータねじ軸を直接駆動連結するた
め重量も軽くなる。それにもかかわらず、利用可能な空
間を考慮すると、他の２個の取付方法を採用した方が好
ましい場合もある。 各場合において、同一寸法のＬＶＤＴを１史用すること
ができる。更に、同一の保護クラッチ機、構を使用し、
アクチュエータの移動行程がＬＶＤＴの仕様行程を越え
る場合にＬＶＤＴまたはアクチュエータの損傷を防上す
るようにすることができる。 次に図面につき本発明のＲ唾例を、脱明する。 く実ｆｉｉｌｊ例〉 ＠１〜５文において、本）６明の一′にｌｉｆＭ例であ
る流体アクチュエータ全体を参照ね８・］で示す。（−
のようなアクチュエータは、例えＧ、を飛行機のジェッ
トエンジンの逆スラスト装置の１＼’ｒ　ｆｉｔ決ぬ制
御に使Ｉｔ（するものであつ゛Ｃ，本、１′へ明による
流体アクチュエータは、例えば米国特許出願２バ３５２
０４６号に記載のものとほぼ同じ型式ｔｔ）もσつとす
るこセ一ができる。 端的に云うと、このような流体性ｄｔＪ＋のりツク用ア
クチュエータは、１１（ｌＩ＋線方回に移動＋ｉ■能な
ピストン３を収容するシリンダ２をイｊ゛する。ピスト
ンは中空のピストンロッド４とし、このロッド４の端部
をシリンダから突出させ、ロッドの外部に露出した端部
に連結組立体５を設ける。このｉ！ｉ！結組立棒組立体
５、作！［ＩＩＪさせるべき装置のｉｉＪυＪｔ’ｉｌ
ｓ分にＩ小結するのが容易になる。適当なトラニオン取
「１部等をシリンダに設け、作Ｒ１＋させるべき装着の
池の部分に連結しやすくすることもできる。 ピストンの中心にリードの４にいアクタナツト６を設り
、このアクタナットＧまアクタねし１１η１１であるア
クチュエータねじ軸７に螺合する。アクチュエータねじ
軸の一端は、シリンダのヘッド端部に取付けたアクチュ
エータハウジング０内のｉ＋１当な軸受８に支承すると
ともに、アクチュエータねじ軸の（也端は中空のピスト
ンロッドに１’１人さｔ１′γクメナットから良い距離
にわたり突出さｌｊる。ビス１．１トンがシリンダ内で
前後に移動すると１〜．７゛クチユエータねじ軸はピス
トンの速度に比Ｉ’ｌｌ　ｒる速度で回転する。 軸受８は、アクチュエータねじ輔７の拡大外端部１０の
所定位置に軸受リテーナ１１により区持し、この軸受リ
テーナはアクチュエータねじ軸に螺着固定し、ねじ軸と
一緒に回転しつるようにする。 アクチュエータねじ軸の拡大外端部にリードの長いウオ
ーム歯車１２を取付け、このウオーム歯車１２を、アク
チュエータハウジングりの横穴］４に回転自在に取付け
たウオームｌｊ＋ｌ＋　１３に噛合させる。ウオームｉ
ｌ’ｑｌ＋の速度はピストンロッドの５・小開に比例す
るため、２個以上のアクチュエータのウオーム軸を同期
駆動軸等により共に連結するとき、当業考に［−Ｊ知の
ようＧこ位置および動作の双）ｊに関してすべてのアク
チュエータを機械的に同期させることができる。 ロック用アクチュエータが第１および２図に示す完全に
引込Ｘ７だ後Ｉ１４位１ｒｔにあるとき、このアクチュ
エータは１商当なロック機構１５によｔ）この位置にロ
ックされる３、こ・ｌ）ロック機構は上述の米国時Ｗ「
出願第３５２　＋１４６号に記載の型式とすることがで
きる。図示の」−うに、このようηｆ　ｎツク機構は可
動のロックスリーブ１Ｇを有し、この１１ツクスリーブ
１６はつＡ−ム歯車１２の隣接’ＡｉＡ部にＩＫ近した
り遠去つ７こり軸線方向に移動自在とする。 ロックスリーブとアクチュエータハウジング内のピスト
ン止部１８との間ごスプライン連結とし、ロックスリー
ブがアクチュエータハウジング内で回転しないようにす
るとともに、軸線方向に制限された範囲内で移動するこ
とができるようにする。 ウオーム歯車および可ｉｔ（！＋ロックスリーブの隣接
端面に、それぞれ互いに掛合する係止歯２０を設け、こ
の係止歯は導入傾斜角を有し、ピストンが突出位置では
なく後退位置にあるとき係止歯相互が掛合して可動ロッ
クスリーブに％Ｉ　Ｌウオーム歯車が噛合することがで
きる。ピストンは、ピストン止部Ｊ８に掛合するまで後
退移（ＷＪを稗、ける。しかし、ピストンの移動方向を
逆転しようどするときに係止歯が互いに接触している場
合には５係止歯は即座に噛合してねじ軸が回転するり）
を１（１４ｔｌ：し、従ってピストンが突出するのを阻
止する。 ピストンが完全に後退しているとき＋ＩＪ動ロックスリ
ーブ］６はばね２１によりウオーム歯車１２との掛合状
態に維持される。このばね２１はｉｚＪ動ロソロツクス
リーブストン３のヘッドとの間に介在させる。アクチュ
エータの後退中にピストンがそσ）移動行程の終点に近
づくにつれピストンへラドルまばねを圧縮し、これによ
り可動ロックスリープの歯を移動させてウオーム歯車の
歯に相合させる。 アクチュエータが突（−昌Ｃることかで、−Ｉｉ′乙に
ｉ：ｉ、ロックスリーブ１６をウオーム歯Ｔｌ１１２か
ら離０るよう移動して係１１−歯２）〕から離脱させ、
アクチュエータの突出用’！：Ａｆ部にシステム１１−
力を朋え４イければならない。このロックスリーブの移
１ＪｌｊとＩＩ−力寸与の作用はシーケンス：ＪＩｌ、
２２ｑ）動作Ｇ、−」二り行゛）ようにするとよい。こ
のシーケンス弁１ｊＪ−述の米国特許出願に記載Ｑ）も
４１式のものとす４）ことができる。 シーケンス弁にシステムＬｌ：、ノ〕をｊ且１えてロ゛
ンクｔｉ構１５を釈放するｆ）１１に後退用通［Ｉ２５
を経てシステム圧力をアクチュエータの後退用・瑞Ｆ（
Ｓに）ＪＩｌえ、アクチュエータにかかつている軸イ）
）方間Ｑ〕いかなる引張荷重も除去しておく。こＯ）引
張荷重を除去しておかないとロック機構の釈放を阻ｆ１
−することがある。後退用通日２５にシステム）１：、
刀を加えたままでロック釈放用通日２６を経てシステム
主力をシーケンス弁２２に加え、上述のようにロック機
構を釈放する。 ロック機構が釈放された後、シーケンス弁２２とアクチ
ュエータハウジング９内の適当なｉ山路を経てシステム
圧力全アクチュエータの突出１丁１・Ｉｉ４１％に導入
する。ピストン３の突出圧力が力１］わる領域は後退圧
力が加わる領域よりも面積が大きいためアクチュエータ
は突出する。 アクチュエータ？後退させるには、アクチュエータの突
出用端１■≦に作用する圧力Ｘ、−％　Ｎ　；＜、　ｉ
；ｔ　１１ツク釈放用ｉｍ口２６を戻し圧力側にＩ／続
４−ることにより減圧するとともに、アクチュＪ、−夕
のイε’　！４　ｆｆ＋端部ニジステム圧力を維持する
。アク（コーエータが完全に後退し）ことき、システム
ＩＩ　力カＩ’ｇ（Ｊシーケンス弁に加わり、先ずロッ
ク機（：ｒｔの係上に１１１０余し、次にシステムｊ［
−力？上述の、Ｌ’＋＆、“１′り・ヂュエータの突出
用端ＨＩＳに加えるまでは、ア々チコ工−タはロック機
構により突出を阻■１−される。 ロック機構およびこのロック（幾構に関連するシーケン
ス弁をイＪする同一の構造σ入または有していない類似
構造の信器のアクチュエータを、これらアクチュエータ
のつＡ−ム輔相ｌＩ′、ｆｉ−，・１・’Ｓみ１１＋Ｉ
ＩＩ″′！′ｉにより１１１μとすることによって、イ
＼′装置およσＩＪＵ＋　ｆ＋の双方σ）点に関してロ
ック用アクチュエータ１にズ・１して（？１械的に同、
ＩＪＪさせるようにずろこともできど）。「１ツク用ア
クヂユエータの突出＋４４　端部に作用ずろ＝ｒ出ｉｆ
圧力は撓みｑ１ｔ＋　ｅ包囲する吋鎧骨紫経て池のＪｔ
：ｉ開のアクチュエータの突出用端部にも転ｉ″！、す
ご）。（こねにより突出用圧力は４−べてのアクチュエ
ータの突出Ｌｆ−１端部に同時にハ１１わり、このイη
にロック機構が釈放される。すべてのアクチュエータの
後退用奇４部も同１東に圧力導ｊ；Ｔにより相！ｉ七Ｍ
　緯し、システム１（−力が確実に同時に開わるように
する。 位Ｉα決めサイクルまたは後退−ｉ、ｌイクルのいず〕
１かのヅイクル中に−１“クチュエータが突出または後
退しているとき、１当関のスロットルはアイドル状態に
保持しなりｏ　ＩＩ：ならない。従って、アクチュエー
タが完全に位１１〆を決め？された（ｌ’ｆｆ（（＝ｉ
たは引込んだ位１ａに達したと、８アクチユエー々のイ
＼“ｆ　ｌｉ’ｔを／ドず信号を１′クチユエータから
飛行機のコックビットに伝送することが１１（要である
。 本発明によるアクチュエータの構造においては。 アクチュエータの位１ａをｔａ気気位位置センサ３）に
より知ることができ、この位置センサ３ｏはアクチュエ
ータに連結し、アクチュエータの位置を示す電気信号を
コックビットに供給する。この屯気的位１ａセンサは線
形ｉＪ変差動型変換器（ＬＶＤＴ）３１により構成する
とよく、このＬＶＤＴ８１を第２図に示すようにアクチ
ュエータねじ軸に直接連結するか、または第６〜１１図
に示すようにロック用アク千ユエータ若しくはロック用
ではないアクチュエータのウオーム輔１３に〆（

【結す
ることによって、アクチュエータのアクチュエータねじ
軸７により駆動されるようにする。 第１〜５図に示す実柿例においては、ＬＶＤＴ／”）　
シンク３２を複数個の取付ポル）　３３　＆こよりアク
チュエータハウジング９の外ｙ：Ｍに取吋りる。 ＬＶＤＴ親ねじ３４をアクチュエータハウジングの端壁
に形状した軸方向孔３５にｔｉｔ曲させ、がつアクチュ
エータねじ軸７の拡大外ｙｉＡＩ　ｆｆ１ｓの中心凹所
８７に突入させるとともに、軸受リテーナ１１の雌ねじ
叶中央孔；うＨに螺合させる○Ｌ　Ｖ　Ｄ　Ｔ親ねじは
保護クラッチ機Ｒ／Ｊ　４０により゛ド素回転しないよ
うにする。これによりアクチュエータねじ軸の回転によ
ってＬ　Ｖ　１）　’ｌ’親ねじ３４８よびこの現ねじ
に螺着したＬ　Ｖ　Ｄ　Ｔプローブ４，１量ピストンロ
ツド４の速度および位置に比例する速度Ｒ５よび位置に
軸線方向に移動する。このときＬ　Ｖ　Ｄ　Ｔプローブ
４］はＬＶＤＴ３１内で多かれ少かれ軸線方向に移動し
、゛γクチュエータの位置にズ４　Ｌｉｄ、し４る電気
信号を発生する。 第２図並びに第３よ５よひ４図に示すように、（呆護ク
ラッチ機構４ＩＯはポールラチェツト板４２により構成
するとよく、このボールンチェット枚の中心に非円形（
例えば方形）の貫ｉｆｆ！孔４３を設け、この貫通孔の
形状に対応する形状のＬＶＤＴの駆動軸の部分４４に沿
って摺動自在に掛合させる。 ポールラチェツト板の外側側ｉＡ１とＬ　Ｖ　Ｄ　Ｔ　
／％　ウシング８２の隣接端部との間にニードル軸受組
立体４５を配置ｎシ、以下に説明する過剰移動状態を生
じたときＬＶＤＴハウジングに対してポールラチ、エツ
ト板が回転することができるよ′）にする。ボールラチ
ェツト板の能力の側面には周縁方向に立いに離れたｌｆ
ｆ１数個の円錐状ボールポケット即ち窪み５０を設け、
同数個のボール５１を収容しうるようにする。これらボ
ールはボール案内リング５２により支持し、ボールポケ
ットに接近したり遠去ったりすることができるようにす
る。例えば、８個の円錐状ボールポケットと３個のボー
ルを設け、各ボールポケットに１個のボーノ１を収ｄす
る。 ボール５１４ｉ、平素ばね受は座金５　；Ｉ　＆−二、
ＩＩ）ポールラチェツト板のポケット５　Ｕ　ｉ、−（
１４ｓ持される。 コノばね受けｌ’（４金は、アクチュエー　タハウジン
グに取Ｒけたピンであり、ばね受は座金のソ寺ット５ｒ
＋にｋＪ入ｆる複数個のビン５４（、二」二つＣアクチ
ュエータハウジング９に対して相ス、［回転しないよう
にする。ばね受けＰ（３金５３とア・クチ：Ｌ　Ｌ−タ
ハウジング９との間（こ介在させた＜Ｊ　ｕ　ｌ’ｉ　
ｌｉによりはね受は座金をボールの方向に押１’［＋、
　Ｌでボールに負荷を！ｊ−え、このことによりポール
ラチェツト板のポケットからボールが抜は出ないように
する。ポールラチェツト板のポケットと同様の形伏の円
陣状のポケット５７をばね受け、１１４金５（３にも設
け、ポールラチェツト板のポケット５Ｆ］かじ）ボール
が４友は出るのを阻ｆＬする抵抗を生ずるように４“る
。 ばね受は座金５３およびアクチュエータハウジング９の
それぞれに互いに整列するソケット５９゜６（）を設け
、ばね５６：１ｌ１７容する。 アクチュエータの平素の作動中クラツヂ機構のボールは
ポケット内に留まり、これによりポールラチェツト板４
２の回転が阻止さＩｔ、従つこＬＶＤ、Ｔ親ねし３４才
５よびプローブｔ】σ）回転が！Ｌｉｔ　ｔｔ−される
。従ってアクヂュエー々ねじ＠７０回転によってＬＶＤ
Ｔ親ねじツ５よびこの親ねじＭ連結したＬＶＤＴプロー
ブを軸線方向に並進させ、アクチュエータの移動に比例
する電気Ｄｉ号を発生−ｒる。 Ｌ　Ｖ　Ｉ）　Ｔ親ねじのｌインヂＩ　２５．４　ｍＷ
　１当りの７、）じ山の数を適切に選択することによっ
て親ねじおよびプローブの軸線方向の移動をピスト〉・
の移動よりも相当小さくすることができる。 逆スラスト装置にアクチュエータの組立体を絹込む作業
中にピストンロッド４が回転する場合ＬＶＤＴの仕様行
程をオーバーする恐れがあり、以下に説明するＬＶＤＴ
の過剰移動を１〜１１上する保護クラッチ機構４　＋、
１がない場合にはＬＶＤ’Ｉ’またはアクチュエータに
損傷を与えることがある。 アクチュエータのピストンの突出脣たは後退行程中にＬ
ＶＤＴの移動行程がピストンの移動行程に適切にス・１
応しない場合、アクチュエータねじ軸７はＬＶＤＴプロ
ーブ４１を過剰に移動しようとする。この事態を生ずる
とき、ＬＶＤＴの外端の拡大六角レンチナツト６１がＬ
　Ｖ　Ｄ　Ｔノ１ウジングまたはポールラチェツト板の
いずれかに衝合してＬＶＤＴ親ねじのそれ以上の軸線方
向移動を１１シ毛止する。 アクチュエータねじ軸がＬＶＤＴ親ねじが阻止されるに
もかかわらず、このＬ　Ｖ　Ｄ　ｉ’親ねじを同一方向
に駆動し続ける場合ＬＶＤＴ親ねじの軸線方向移動に対
する阻Ｉヒカによりポールラチェツト板にトルクが発生
する。こ（ハトルクがプリセットしたクラッチトルク値
に達すると、ボール５１を転動させ、ばね５６に抗して
ばね座金を押圧して円錐状のボケツ）　５０　、５７が
ら抜＋ｊ／Ｉｉさせる。ポールラチェツト板はポケット
内のボールＢ、ｍ　Ｊ：る回転阻止を受けないため、ボ
ールラチェ゛ノド板、並びにＬＶＤＴ親ねじ４，５よび
プローブはアク”ｆ　ニーＬ　：ｒ−−タねじ軸と一緒
に自由１ｑ１転する。ポールラチェツ）　板４．２はボ
ール５１とニードル軸・ン４５との間で転動するため、
ピストンが移動４！停止１−するまではこのようなポー
ルラチェツト板θ）回転には極く僅かな摩擦力しか発生
しない。 ピストン３が充分に移動し続りると、ボール５１は次の
組のポケット５０．５７に落ち込み、クラッチに加わる
トルク値に変化がない場合には再び転動して抜は出る。 ボールは転ｄ（１）してポケットに自由に出入りするた
め、クラッチ機構ｉ；ｊ　ＪＩＸ擦係数に依存すること
なく、極めて安７、）テし入−トルク釈政セツティング
を得ることができる。 次に第６−１１図に示すＬＶＤＴフィードバック機構と
保護クラッチ機構の実施例を説明するが、これらの実施
例は第１〜５図の実施例のものとはぼ同一であり、従っ
て同一部分は同一の参照符号で示す。異なる点はそれら
をアクチュエータに連結する方法である。これら池の実
施例の双方はロック用のアクチュエータ１またはロック
用でないアクチュエータ１′のウオーム軸１３に取付け
るよう設計する。このウオーム軸１３はアクチュエータ
ｌまたは１′の軸線方向に交差するため以下交差軸と称
する。このことは、歯車減速装置を使用して交差軸１３
の行程当りの回転数ｅＬＶＤＴ駆動軸の１インチ（２５
，４ｍ、ｗ　）当りの相応の、ねじ山の数に適合する回
転数まで減少することが必斐であることを意味する。 第６および７図に示す実施例にＪ、５いＣは、ＬＶＤＴ
フィードバック機構６５をアクチュこし一夕の交差軸１
３から直線的に突出させて片持支持し、遊星歯車装置６
６紮使用しＺＬＶＤＴ親ねじにス・［する回転入力運動
を減少する。遊星歯車装置のハウジング６７の外端にＬ
ＶＤＴハウジング８１４・ボルト連結し、遊星歯車組立
体ハウジングＪ３よびＬＶＤＴハウジングの対向表面間
に第１〜５図の実１ｉ＋１ｉ例と同様の保護クラッチ機
構４０を介在させる。 遊星歯車装置ハウジングの軸線方向内端において駆動軸
７０をころがり軸受７１により回転自在に支承し、かつ
リテーナビン７２によりハウジング内に保持する。この
リテーナビン７２全駆動軸に貫通させ、ハウジングの環
状溝７３に突入させる。駆Ｕ）軸７υの最外端はハウジ
ング６７から突出させ、この最外端の非円形断面状部分
全アクチュエータの交差軸１８の端部に対応形成した非
円形断］ｍの穴または窪みに駆動掛合させる。遊星歯■
（装置ハウジングの内端の管状連結ナツト７４により、
交差軸１３を支承する横穴］４のｙ’Ｗ　１ｌｌｓを寓
囲するアクチュエータハウジング９の取付部７５に螺合
してＬＶＤＴフィードバック機構をアクチュエータハウ
ジングに取付けるようにする。 アクチュエータの交差軸１３の速度はアクチュエータの
ピストンロッド４の速度に比例するため、駆動軸７０も
ピストンロッドの速度に比例する速度で同様に回転する
。駆動軸７０のこの回転は遊星歯車装置の駆動軸７６に
よってＬ　Ｖ　Ｄ　Ｔ親ねじ、３４に伝達される。この
遊星歯車装［ｉｆの駆（ＩＩＩＪ軸７６の一方の端部は
ＬＶＤＴ親ねじに個ス“１し、一方の端部に設けた複数
個の遊星歯車７７４：、遊星歯車装置ハウジング６７の
内壁に取［］けたリング歯車７８および駆動軸７（）の
内方端部の爾１１（７≦）の双方に噛合させる。 第８ＳＪ１１図に示すＬＶＤＴフィードバック機構８０
の実順例は、ウオーム軸Ｂ１とウオーム歯車８２の組合
せを使用し、Ｌ　Ｖ　］）　Ｔ親ねじに云達するアクチ
ュエータの交差軸１３の回転入力運動の歯車減速２行う
。第１０および１１図に示すように、歯車減速装置のハ
ウジング８４に貝通する横孔８３を設け、この横孔８８
にウオーム軸８１？支承する。横孔８８の他端にウオー
ム軸゛受すテーナ８５陀取寸け、軸受８６およびウオー
ム１１ｑｆ＋８１をハウジング内に医持する。ウオーム
軸の外端に非円形の突出部８７を設け、アクチュエータ
の交差軸１３の突出部の形状に対応する形状の穴または
窪みに突出部８７を収容し、交差＋Ｍによってウオーム
軸を回転することができるようにするウオーム軸の突出
部を？Ｔ状の連結ナラ）８８により包囲し、交差軸の端
部を包囲するアクチュエータハウジング９の取［・１′
部７５に螺着し、Ｉ、　Ｖ　Ｄ　Ｔフィードバック機構
ｆ−７’クチユエータハウジングに取付けることができ
るようにする。 歯車減速装置ハウジング８４１には、Ｇ／ｊ　孔８３に
直交しかつアクチュエータｌまたは１′の縦方向軸線に
平行な縦方向孔８１１を設ける。この縦方向孔８９には
ウオーム歯車８２を支承し、このウオーム歯車をウオー
ム軸８１に噛合させる。ウオーム歯車８２およびこのウ
オーム歯車８２のための軸受を縦方向孔の一端の端Ｆｆ
ｌＳキャップリテーナ９１により縦方向孔に取付ける。 縦方向孔の他端にＬ　Ｖ　Ｄ　Ｔ　３１を設ける。ハウ
ジング８４の隣接端ｉ鴇に取Ｎ′ボルト等によりＬＶＤ
Ｔ　３１を取付けるｂ保護クラッチ機構４０も縦方向孔
の他端に隣接してハウジング８４内に収納し、−ヒ述の
ようにＬＶ　ＤＴの仕様行程を越えてピストンロッドが
過剰に移動する場合にＬＶＤＴ−）：た（ゴ、アクチュ
エータが破損するのを防止する。ウオーム歯車８２の−
”；ＡｌｉにはＬＶＤＴ親ねじ９ｔの一端を収容４’　
Ｚ＋　ｆ、二めの管吠。 軸９２を設ける。つ、ｔ　−Ａ　（ｆ４　ｉｔ　（７）
　１ｌｌｌｌ　トＬ　Ｖ　Ｉ）　ＴＯ）親ねじとはねじ
連結とし、つＡ−ム１１ｎｉ＋によってウオーム歯車が
回転するときＬ　Ｖ　Ｄ　Ｔ　２１１．ねじおよびプロ
ーブ４１１も回転させる。 第８〜１１図に示す実施例の歯車減ｉ’ｔｉ装置ＦＪは
第６および７図に示す歯車減速装置よりも部品点数が少
なくてすむ。第８〜１１図の実Ｍｌｉ例のＬＶＤＴの中
心線はアクチュエータの中心線に平行にする。 これにより第６および７図に示すようにＬＶＤＴを直線
的にアクチュエータの交差軸から突出させて片持支持す
るときよりも、アクチュエータからＬＶＤＴを支持する
のが容易になる。 Ｌ述したところから５、本発明による流体アクチュエー
タが、完全に突出−１′たは引込んだ状態にｐｌつでも
アクチュエータの位置？正１１（ｌｉに決定するようＬ
ＶＤＴＥ駆動する新規なＩ’３１ｉ　Ｒ７？をイｊ４る
こと明らかでちろう。ＬＶＤＴはアクチュエータねじ軸
に１α接連結するか、または交差軸？介して間接的にア
クチュエータねじ軸により駆動されるようにし、これに
よりピストンがｉ′ＩｉＪ後ｉ、−移４４１１　ｉイ）
ときピストンのｍｌ１１丈に比例するザ４−ミｊ朝でＬ
　Ｖ　Ｄ“Ｊ゛がイ？：　Ｉｔ！＋する。どちらの場合
でも同一の１呆護クラツチｆｌ　！′＋’ｉを使用して
ＬＶＤＴの仕様行程以Ｉ−，にアクチュエータが移１山
するときのＬＶＤＴまたはアク千ユエータの損傷を１ｉ
Ｊｊ　＋Ｉニすること−ができる。 ］−述したとごろは゛本発明の例祭示し１４−に過ぎず
、請求の範囲において４４ｉｔ々の変用を加え／′）こ
とができること勿論である。

【図面の簡単な説明】

へＡ１図は、本発明によるＬＶ　ＤＴフィードバック機
（１１°１久有する流体アクチュエータの好適な実施例
の一部切除した部分側面図、 第２図Ｇま、第１図のアクチュエータとＬＶＤＴフィー
ドバック機構との駆動ｉ９４結部の拡大部、分級ｉＪｔ
　ｒｆｔｉ図、 第３および４図は、それぞれ、第２図の３−１３線上お
よび４−４ｉＪ−の部分横断面図５第５１図は第１図の
５−５線上から（ジた端ｔｎ１図、第６図は交差軸に（
１ｍの形式のＬ　Ｖ　Ｄ　Ｔフィードバック機構を連結
した流体アク−ｆ　：］−ｊ：、　−タの１ｌｌｌｌ而
図、 第７図ｃ才、第６１閾の丁ＬＶＤＴフ−ｒ　−ドバンク
機構の拡大部分縦断面図、 第８図は、交差軸に連結する更に１ｌ１１１のｒ＋＝を
式の瞥Ｌ　Ｖ　Ｄ　Ｔ　７　イートハ７　りＲ’４　Ｊ
ｉｆｆ　ｋ有４−　Ｚ＋　Ｔ（＜　［ｉ図の実）面倒に
類似の流体アクチュエータの）端面［・４、第９］旬は
、第８図の９−９、線上から（ジだ１届分叫１ｍ図、 第１’　０図（ｊ５第８ｔ￥Ｊ（７）ＬＶＤＴフィード
ｔ＜ツタ機構の詳細を示す一部断面とする拡大端１１１
１図、第１１図は、第１　Ｆ１図の１１−１１線上の拡
大部分縦断面図である。 １・・・流体アクチュエータ　２・・・シリンダ８・・
・ピストン　　　　　　４１・・・ピストンロッド５・
・・連結組立体　　　　６・・・アクタナット７・・・
アクチュエータねじ軸（アクタねじ軸）８・・・軸受　
　　　　　　　　　９・・・アク子ュエータハウジング
１２　　、　８２・・・ウオーム歯車　　１３．８１・
・・ウオーノ＼１ｌｂｌ＋　＋交差軸）１５・・・ロッ
ク機構１６−・・ロックスリーブ１８・・・ピストン＋
、Ｉ−ｉη１１２２・・・シーケンス弁３０・・・位ｆ
ｉｔセンザ ３１・・・線形ｉｊＪ変差動４１ｉ（Ｉ変換器（Ｌ　Ｖ
　Ｉ）　Ｔ　＋３２・・・ＬＶＤＴハウジング　８・１
・・・ＬｖＤＴｌねじ４０・・・保護クラッチ機構　１
，１・・・ＬＶＤＴプローブ４Ｉ２・・・ポールラヂエ
ット板　４５・・・ニードル軸受組立体５２・・・ボー
ル案内リング　　５３・・・ばね°ジけ）′Ｉ６全６金
・・・ばね ６５・・・ＬＶＤ　Ｔフィードバック機構６６・・・遊
星歯ｊｐ装置？ｔ ６７・・・遊星歯車装置ｆｔハウジング７６・・・遊星
歯車装置ｎの駆動軸 ８４・・・・歯車減速装置ハウジング。

Claims (1)

1. 【特許請求の範囲】 Ｌ　シリンダと、このシリンダ内で輔ｔＱｉ！方向に移
   動口■能なピストンと、ピストンの軸線方向移動により
   回転を受けるようピストンに連結した回転部材と、回転
   部材により駆動され−Ｃピストンの軸線方向の位置を表
   示する衣示手段と、を具え、この表示手段にはＬＶＤＴ
   を設け、ピストンの移動速度ど位置に比例する運動を生
   ずるプローブをＬＶＬＩＴに設けたことを特徴とする流
   体アクチュエータ。 ２　前記ＬＶＤＴは、親ねじと、＋ｉｉｌ記回転部材の
   回転にｊ６答して親ねじを軸、線方向に移動させる親ね
   し移動手段を有するものとして構、成し、［１１１記プ
   ローブは親ねじに＋１：　４’ｉ　して親イコじととも
   に軸線方向に移動自在に構成し・ｌこことを特徴とする
   特許請求の範囲１記Ｉ尚の流体アクチュエータ。 ＆　親ねし移動手段は、親ねじの回転を阻＋ｈ、するｆ
   呆護りラ゛ンチ（幾Ｎ’：を・イノ′するものとしＬ＝
   こ□−をネジ？（☆とする′１シＶ　Ｌｊ’ｌ’　１；
   ｎ・１その・ＩＱ囲２．１已・１邑ヴ）訛１本−ｊ′り
   　ザコ、−ｒ　−タ　。 ４　　＋ｉｉｆ記１呆護クラツり手段は、アク（ユ且−
   々の移Ｑ１１行稈がＬ＋　Ｖ　Ｄ　Ｔの（Ｌ様行桿を］
   ；ζえインとさに生ずる恐れのあるＬＶＤＴおよびアク
   ヂュｆｆ−−タニ、Ｒ１する４（１（Ｌ５を防止するた
   め、このような過剰移Ｕ１の際に親ねじ」、５よびこの
   也ねじに連結したプローブを［１ｎｌ、：回転部４３と
   ともに回転させることができる１ｒｌｌ　＝ｌ（・−１
   ＋’ｌ奮手段を有するものとしたことをＴｒｉ　６☆と
   １゛る腸’　ｉｆ′「謂・１マの範囲３記載の流体アク
   チュエータ。 ５［ｉｔｌ記クツクラッチ機構親１ねじがＴｆｔｉｆＴ
   ３する中心孔を有しかつこの中心孔の形状と親ねじのこ
   の中心孔に［Ｔ　ｉｊｌする部分の形状を非円ノビの対
   応形状にして親ねじとの相ｋ］的なｌｑｌ；線方向移動
   ｆ　ＩＪ能にするが相対同転４′：イ＜■ｉしにする仮
   部拐と、この板１）１〜イ゛４の回転を１ｉｆｔ　ｄｔ
   するとともに親ねじの回転もＵｔ、を止する回転阻止手
   ＩＱとにより構成したことを特徴とする待１ｒ［請求の
   １ｆ直囲４記載の流体アクチュエータ。 代　前記板部材の回転を１冠止するｌｌＬ［＋１１手段
   は、前記板部材の一方の側ＬＩＩ＋に形１ｊｌ、Ｅ　し
   たｆり別個のポケットに収容しうる同数個σ）ボールど
   、これらボールを前記ポケットに押Ｉ（号して突入させ
   、前記板部材の回転に抵抗６・生ずる抑圧手段とにより
   構成したことを特徴とする％：　、ＹＦ請求の範囲５記
   載の流体アクチュエータ。 ？、　　前記抑圧手段は、１坐金と、この１ｔ１４金の
   回転を阻市する座金回転１１止手Ｉ９と、ヒ１４金をボ
   ールの方向に押圧偏倚してボールをポケット内に押し込
   み、ポケットからボールが抜は出るのに抵抗を生ずるば
   ね手段とにより構成したことを特徴とする特ＩＦ請求の
   範囲６記或の流体アクチュエータ。 ＆　前記座金は、ボールを収容する池のポケットを有す
   るものとして構成し、板部材のポケットからボールが抜
   は出るのに−ｒ？ｌ’７低抗を生ずるよう構成したこと
   を特徴とする特許の＋１（ｉ囲７記代の流体アクチユ工
   ーり。 ９、　　前記Ｌ　Ｖ　Ｄ　Ｔ　Ｈま、プローブが仕様行
   程を越えて軸線方向に移動ずるのを１＋ｌｔ　ｔｌ−１
   −るｒ］一，手段をイ１゛ずろものとして＋１“ｙ”ｔ
   　＋戊し、＋ｉｉｌ　ｎ己１呆獲りラ゛ンチ機＃ＩＱは
   、アクチュエータの移動室ぜ■Ｉがプローブの仕様行程
   全域えるときプローブの軸線方向の移動をｌｉｌ［　＋
   ｌ　ｔるｌｌｊ止力により生ずるトルクに応募しで親ね
   じおよびこの親ねじにｆ毬結したプローブを回転部材と
   ともに回転させ過剰＃期中にＬＶＤＴおよびアクチュエ
   ータに損傷を与えないようにする応答手段をイアするも
   のとして構成したことを特徴とする特許『ｎ求の範囲３
   記載の流体アクチュエータ。 １０、　　前記止手段は、プローブに形成した肩部によ
   り構成し、プローブの仕様行程の両端ｆｔ６ではこの肩
   部がＬＶＤＴまたは板部椙に重合してそれ以上軸線方向
   に移動しないよう構成したこと？特徴とする特許請求の
   範囲９記載の流体アクチュエータ。 ＩＬ　　前記肩部はプローブに形成した六角レンチナツ
   トにより構成したことを特徴とする特許；ｊｎ求の範囲
   １０記戦の流体アクチュエータ０１２、　　回転許容手
   １リは、所定トルク１１（口こ応答して０↑ｊ記板部材
   をＬＶＤＴに対して回転させるようＬＶＤＴと前記板部
   材との間に配置したニードル軸受？有するものとして（
   １リ１成したことを特徴とする特許請求の範囲！）記・
   同の流体アクチュエータ。 １＆　　Ｌ　Ｖ　Ｄ　Ｔ　ヲ＋４ｔｌ　Ｗｔ回転部材Ｌ
   　同１１＋　状Ｌ　’ｆｔ％　列サせてアクチュエータ
   の内端に取［４゛けたことを特徴とする特許請求の範囲
   １記戟の流体アクチュエータ。 １４ＬＶＤＴは、親ねじと、前記回転部材のｉ−ｔ−１
   転に応答して親ねじ企軸線方回に移動させる親ねじ移動
   手段とを有し、前記プローブを親ねじに連結し、親ねじ
   と一緒に軸線方向に移動…能に構成したことを特徴とＡ
   る：］゛・テ許謂求の範囲ｌ８記載の流体アクチュエー
   タ。 比　親ねじを軸線方向に移動させる親ねじ移動手段は、
   回転部材と一緒に回転白イ１ミにＩ＋！１転部拐に取付
   けた部材であり親ねじに螺合するねじ孔を有する第２１
   耶材と、親ねじの回・ｊｌ，、＜を４止する現ねじ回’
   ｋ　ｌ＜ｔＬ市止段とに，↓こり＋１１，＋４帖し、回
   転部材の正逆両方の回転により現ねじ？回転部材に対し
   でｌ’ｌｆ対的に軸線方向に移１σノ＋杜能にしたこと
   を特徴とする特ｉｉ’ｌ’　ｆ！ｉ’Ｊ求の範囲１４記
   載の流体アクチュエータ。 １＆　前記回転部材により駆動される交差Ｉ！ＩｌｌＩ
   を設け、ｒｉｔｌ記Ｌ＋ＶしＴは、親ねじと、回転部材
   により駆動される交差軸の回転に応答して１］１ｆ記視
   ねじ５−軸線方向に移動させる親ねじ移動手段と陀イｊ
   するものとして構成し、前記プローブを前記親ねじに連
   結して親ねじと一緒に（ｉ−ｉ１転１１在に構成したこ
   とを特徴とする待ｉＦ　：＋４求の＋ｊ％ｌ囲ｌ記載の
   流体アクチュエータ。 １７　　親ねじの軸線方向の移動をイｉわせる手段は、
   交差軸と親ねじとの１用の歯車減速装置としたことを特
   徴とする特許請求の範囲１Ｇ記載の流体アクチュエータ
   。 １８、　　シリンダと、このシリンダ内で軸線方向に移
   動自在のピストンと、このピストンのｉｌｉｌ１７線方
   向の移動中に回転するようピストンにへ連結したアクチ
   ュエータねじ軸と、この゛γクチュ１−　タ；ｔ：ｌ　
   Ｌ、　１ｌｉｌｌ＋に連結したプローブ４５よヒアクチ
   ュエータねじ情の回転連！Ｉｉｌ＋に１ノｉ＼にしでプ
   ローブを軸線方向に移動させるプｔＪ−ブイ・ｇ動手段
   を有し、このプローブの＋ｌｉｌ＋線ノｊ向移動がピス
   トンの移動速度および位１ｒｔに比ｔ’ｌｌ　−４−２
   ＋　Ｊ：う構成したＬＶＤＴとを↓Ｊ、えたこと６何１
   守徴とする流体アクチュエータ。 １９１１、前記プローブを軸線方向にイに動ｉΣせるプ
   ローブ移動手段は、プローブの回転を阻止するクラッチ
   手段？有「るものとじだことを特徴とする特′ｇ′Ｆｉ
   ｉ１′！求の範囲１８記載の流体アクチュエータ。 ２０、ＬＶＤＴはアクチュエータねじ軸に同軸状に整列
   させてアクチュエータの内端に取付けたことを特徴とす
   る特許請求の範囲１９記載の流体アクチュエータ。 ｚｔＬＶＤＴは、アクチュエータねじ輔の一端にねじ連
   結した親ねじを有Ｕ−るものとし、この親ねじの回転を
   前記クラッヂト段により目１ｆ］二し、これによりアク
   チュエータねし「１曲がｌ〕逆逆方方向ｌ「ｊｌ　４Ｉ
   、’ζすることによって親りじをアクチュエータねじ１
   ｑｌ＋に’！ｆ　シテ＋１１１１　Ｎ　ＩＪ　回内’ｊ
   ｉ　’５↓び外方に移動さ忙、またプローブを・狂（ね
   じに連結して硯ねじと一緒に軸イ享万回イ２ＩＩ！Ｉｌ
   することができるよう構成したことを特徴とする’４’
   ：ｆ＋ｒ′Ｆ請求の範囲２（）記・夫の流体アクチュエ
   ータ。 ｕ　ｔｉｉｌ記クラッり手段は、アクヂュエー′ノの移
   ωＪ行（Ｊ４がプローブの仕団行稈を越えるときこのよ
   うな過剰ｆｉｌ：　ｌ１ｉｌｒ中に生ずる恐れのあるＬ
   　Ｖ　Ｄ　Ｔおよびアクチュエータの損傷をＩＩＪｊ　
   ＋ｈするよう過剰移動中にプローブをアクチュエータね
   じ軸と一緒に回転させる回転許容手段をイ１゛するもの
   としたことを特徴とする特ｉｆｌ’　Ｗ１’ｌ求のＱｉ
   （ｊ囲１９記戦の流体アクチュエータ。 ２８、　　＋ｆｉＪ記アクチュエータねじ軸に駆動され
   る交差軸？設け、ＬＶＤＴは親ねじと、アクチュエータ
   ねじ１１＋による前記交差軸の同転に応答して親ねじを
   １袖線方向に移動させる親ねじ移１１υ１手段とをイ１
   ゛するものとし、プローブを親ねじに連結して親ねじと
   一緒に軸線方向に移動自在に構成したことを特徴とず？
   ）′１−〒許請求の範囲１９記戎の流体アクチュエータ
   。 ２４　　親ねじを軸線方向に移動さ亡る親ねじ移動手段
   は交差軸と親ねじとの間の爾７１減ｍｌ！装置をイイす
   るものとしたことを１４Ｑｉ＋徴と４−る特許’＋ｈ１
   求の範囲２３記、成の流体アクチュエータ。 ２丘　歯車減速装置は、交差軸から親ねじに大連される
   同転入力運動を減速さ、Ｉ”、　Ｚ）　Ｊ’ｌ　ｋＡ歯
   屯装置としたことを特徴とする特許請求の範囲２４記載
   ・′７）流体アクチュエータ。 ２ａＬＶＤＴを交差軸から直線的に突出させて片持支持
   したことを特徴とする特許請求の範囲２５記戒の流体ア
   クチュエータ。 ２７、　　歯ｊ４を減速装置はウオーム軸とウオーム歯
   車の組合せをイイするものとしたことを特徴とする特ｉ
   ’ｒ　ｉｔ＃求の範囲２４記載の？ｄｒ、　Ｎ＼アクチ
   ュエータ。 訊　ウオーム軸を交差軸により）１１＜仙し、Ｖ（、ね
   じをウオーム歯車により１制動することをパト“「敵と
   する′ｌ″ｒ、！”１．ｉ青水の１１眞囲２７ごピル■
   のυ１シ１本γクヂコーエータ。 ２９、　　ウオーム４１＋を交差軸に同軸状に整列ε）
   せ、ウオーム歯車とＬ’ｉ’ｌ）Ｔの］ｔｌ＋　＠をア
   クチュエータの軸線に平ｆＪ′にしたことを待ｊ・ｌ（
   とする！Ｉテｒハ′「請求の範囲２８記載の流体アクチ
   コーコーーータ。