JPS5935124B2 - 圧電磁器組成物 - Google Patents
圧電磁器組成物Info
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- JPS5935124B2 JPS5935124B2 JP51070513A JP7051376A JPS5935124B2 JP S5935124 B2 JPS5935124 B2 JP S5935124B2 JP 51070513 A JP51070513 A JP 51070513A JP 7051376 A JP7051376 A JP 7051376A JP S5935124 B2 JPS5935124 B2 JP S5935124B2
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/853—Ceramic compositions
- H10N30/8548—Lead-based oxides
- H10N30/8554—Lead-zirconium titanate [PZT] based
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Ceramic Engineering (AREA)
- Compositions Of Oxide Ceramics (AREA)
- Inorganic Insulating Materials (AREA)
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、表面波フィルタ等に適用して好適な圧電磁器
組成物に関する。
組成物に関する。
すでに知られている圧電磁器組成物の
Ｐｂ（Ｎｉｌ／ｌＮｂ２／３）ＸＴｉｙＺｒ２Ｏ３は、
その圧電性が優れているにもかかわらず、ＰｂＴｉｘＺ
ｒｙＯ３（即ちＰＺＴ）、Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂｉ）Ｘ
ＴｉｙＺｒＺ０３（即ちＰＣＭ）等の基本組成物と同様
、焼結温度が高いため、その特徴を充分生かすことがで
きない。
その圧電性が優れているにもかかわらず、ＰｂＴｉｘＺ
ｒｙＯ３（即ちＰＺＴ）、Ｐｂ（Ｍｇ１／３Ｎｂｉ）Ｘ
ＴｉｙＺｒＺ０３（即ちＰＣＭ）等の基本組成物と同様
、焼結温度が高いため、その特徴を充分生かすことがで
きない。
即ち、従来のＰｂＯを主成分とするペロブスカイト型圧
電磁器材料は、単結晶圧電材料に比し廉価で、生産性が
良く、更にその組成を適当に選定することによつて、諸
特性、例えば電気機械結合係数Ｋｐ）誘電率ε等を調整
することができるので、着火素子、濾波器、ピックアッ
プ等に広く利用されている。
電磁器材料は、単結晶圧電材料に比し廉価で、生産性が
良く、更にその組成を適当に選定することによつて、諸
特性、例えば電気機械結合係数Ｋｐ）誘電率ε等を調整
することができるので、着火素子、濾波器、ピックアッ
プ等に広く利用されている。
しかしながら、反面この磁器材料は、その組成中に大量
のＰｂＯを含むがために、その焼結を１２５０℃〜１３
５０℃の高温で行う場合、このＰｂＯの蒸発が激しくそ
れによる気孔の発生、或いは組成変化が起り均質で緻密
な磁器が得られない。さりとて、このＰｂＯの蒸発を抑
えるべく、その焼結温度を低めると、磁器中に反応が不
完全であることによるガスが残つて、多数の大きな気孔
が生じてしまう。したがつてこのような磁器では、その
密度が理論密度より格段的に低くなつてしまい、この密
度は市販品のもので理論密度の９５〜９６％程度である
。又、後述するように、その密度が理論密度より低くな
ればなるほど、この密度のばらつきが、圧電定数のばら
つきに大きく効いてくる。したがつてこのような磁器を
特に１０ＭＨ２以上の高周波振動子として用いる場合、
特性のばらつきが大きいばかりでなく、この磁器に存在
する直径数１０μｍの気孔のために伝播損失が大きく、
又、表面波フィルタのように、この磁器に幅５０μｍ以
下の櫛歯状電極等を被着するものであつては、電極切れ
が生じるなど、素子の性能及び歩留り悪化の原因となる
。又、焼結温度を下げるため、ＰｂＯ、、Ｂｉ２Ｏ３等
を添加或いは過剰に入れていたが、この場合その殆んど
が粒界（ｇｒａｉｎｂｏｕｎｄａｒｙ）に入り込む。
のＰｂＯを含むがために、その焼結を１２５０℃〜１３
５０℃の高温で行う場合、このＰｂＯの蒸発が激しくそ
れによる気孔の発生、或いは組成変化が起り均質で緻密
な磁器が得られない。さりとて、このＰｂＯの蒸発を抑
えるべく、その焼結温度を低めると、磁器中に反応が不
完全であることによるガスが残つて、多数の大きな気孔
が生じてしまう。したがつてこのような磁器では、その
密度が理論密度より格段的に低くなつてしまい、この密
度は市販品のもので理論密度の９５〜９６％程度である
。又、後述するように、その密度が理論密度より低くな
ればなるほど、この密度のばらつきが、圧電定数のばら
つきに大きく効いてくる。したがつてこのような磁器を
特に１０ＭＨ２以上の高周波振動子として用いる場合、
特性のばらつきが大きいばかりでなく、この磁器に存在
する直径数１０μｍの気孔のために伝播損失が大きく、
又、表面波フィルタのように、この磁器に幅５０μｍ以
下の櫛歯状電極等を被着するものであつては、電極切れ
が生じるなど、素子の性能及び歩留り悪化の原因となる
。又、焼結温度を下げるため、ＰｂＯ、、Ｂｉ２Ｏ３等
を添加或いは過剰に入れていたが、この場合その殆んど
が粒界（ｇｒａｉｎｂｏｕｎｄａｒｙ）に入り込む。
したがつて例えば表面波フィルタ素子を構成するに当つ
てその表面を化学的に洗浄する場合、その酸やアルカリ
性洗浄液で上記粒界のＰｂＯ）Ｂｉ２Ｏ３がとけ出し、
研磨面を荒してしまうことがある。本発明は上述した諸
欠点を回避し、焼結密度が高く特性の安定な圧電磁器組
成物を提供するものである。
てその表面を化学的に洗浄する場合、その酸やアルカリ
性洗浄液で上記粒界のＰｂＯ）Ｂｉ２Ｏ３がとけ出し、
研磨面を荒してしまうことがある。本発明は上述した諸
欠点を回避し、焼結密度が高く特性の安定な圧電磁器組
成物を提供するものである。
本発明に於いては、Ｐｂ（ＮｉｌΔＮｂ裏）ＸＴｉ，Ｚ
ｒｚＯ３（ｘ＋ｙ＋ｚ二１）に於いて、Ｐｂの一部をＣ
ｄに置換する。
ｒｚＯ３（ｘ＋ｙ＋ｚ二１）に於いて、Ｐｂの一部をＣ
ｄに置換する。
即ち、本発明に於いては、
Ｐｂｌ−ＡＣｄＡ（ＮｌｌΔＮｂ８／３）ＸＴｉ，Ｚｒ
２Ｏ３と表わしたとき、０．０５くｘ〈０．２５ ０．３０くｙく０．９５ ０＜．ｚ〈０．６５（ｘ＋ｙ＋ｚ二１） を満足する組成に於いて、０．００５〈Ａ５＜０．０２
を満足する範囲でＰｂの一部をＣｄで置換し、かかる主
成分にＣｄ，．Ｍｎ，．Ｗの１つ若しくは２つ以上を、
Ｃｄの場合はその置換と添加の総量がＣｄＣＯ３に換算
して０．７〜１．５重量％、Ｍｎの場合は１ｖｒ１０２
に換算して０〜１．５重量％、Ｗの場合はＷＯ３に換算
して０〜１．０重量％添加する。
２Ｏ３と表わしたとき、０．０５くｘ〈０．２５ ０．３０くｙく０．９５ ０＜．ｚ〈０．６５（ｘ＋ｙ＋ｚ二１） を満足する組成に於いて、０．００５〈Ａ５＜０．０２
を満足する範囲でＰｂの一部をＣｄで置換し、かかる主
成分にＣｄ，．Ｍｎ，．Ｗの１つ若しくは２つ以上を、
Ｃｄの場合はその置換と添加の総量がＣｄＣＯ３に換算
して０．７〜１．５重量％、Ｍｎの場合は１ｖｒ１０２
に換算して０〜１．５重量％、Ｗの場合はＷＯ３に換算
して０〜１．０重量％添加する。
本発明による磁器組成物の製造は、例えば次の方法によ
る。
る。
即ち、先ず材料の混合及び粉砕を行うがこれは従来の圧
電磁器材料の製法と何ら変ることなくＰｂへＺｒＯ２、
ＷＯ３、ＮｉＯ，．Ｎｂ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＣｄＣＯ３
、ＭｎＯ２を所定量即ち、上述した組成を形成するよう
に秤量し、湿式或いは乾式で混合する。仮焼は組成物に
合せて８００℃〜８５０℃で行う。粉砕は同じくポット
中で湿式或いは乾式で行う。このようにして得た仮焼粉
末を１ｔ／Ｃ７ｌでプレス成型し、所定の焼成温度で酸
素ガス０２を１１／分〜５１／分をもつて流しながら１
〜３時間の焼成を行う。この酸素の流量は、内容積１１
の試料カバーで焼成した際の流量であつて、この容積が
増加すれば、之に見合つてその流量を増す。表１に本発
明による磁器組成物に於いてその組成を変化させたもの
に於ける夫々の焼成温度、焼成密度及び気孔率に関する
測定結果を示す。
電磁器材料の製法と何ら変ることなくＰｂへＺｒＯ２、
ＷＯ３、ＮｉＯ，．Ｎｂ２Ｏ５、ＴｉＯ２、ＣｄＣＯ３
、ＭｎＯ２を所定量即ち、上述した組成を形成するよう
に秤量し、湿式或いは乾式で混合する。仮焼は組成物に
合せて８００℃〜８５０℃で行う。粉砕は同じくポット
中で湿式或いは乾式で行う。このようにして得た仮焼粉
末を１ｔ／Ｃ７ｌでプレス成型し、所定の焼成温度で酸
素ガス０２を１１／分〜５１／分をもつて流しながら１
〜３時間の焼成を行う。この酸素の流量は、内容積１１
の試料カバーで焼成した際の流量であつて、この容積が
増加すれば、之に見合つてその流量を増す。表１に本発
明による磁器組成物に於いてその組成を変化させたもの
に於ける夫々の焼成温度、焼成密度及び気孔率に関する
測定結果を示す。
表１からわかるように本発明組成物によれば、その焼成
温度が従来１２５０℃〜１３５０℃であつたものに比し
、２０００Ｃ〜３００℃低められて居り、この焼成によ
つて高い焼結密度が得られている。即ち理論密度は、組
成によつて多少異るが、８±０．１程度であるが各組成
の焼結密度はこの理論密度に充分近い値をしている。第
１図は、（Ｐｂｌ−ＡＣｄＡ）（Ｎｉｌ／３Ｎｂ２／３
）０３（Ｐｂｌ−ＡＣｄＡ）ＴｉＯ３−（Ｐｂｌ−ＡＣ
ｄＡ）ＺｒＯ３系三元図を示し、表１に於ける各試料１
〜１９の組成は、同図中１〜１９の符号を付して示した
位置をとる組成となる。
温度が従来１２５０℃〜１３５０℃であつたものに比し
、２０００Ｃ〜３００℃低められて居り、この焼成によ
つて高い焼結密度が得られている。即ち理論密度は、組
成によつて多少異るが、８±０．１程度であるが各組成
の焼結密度はこの理論密度に充分近い値をしている。第
１図は、（Ｐｂｌ−ＡＣｄＡ）（Ｎｉｌ／３Ｎｂ２／３
）０３（Ｐｂｌ−ＡＣｄＡ）ＴｉＯ３−（Ｐｂｌ−ＡＣ
ｄＡ）ＺｒＯ３系三元図を示し、表１に於ける各試料１
〜１９の組成は、同図中１〜１９の符号を付して示した
位置をとる組成となる。
そして、本発明に於いては、この三元図に於いて、点ａ
−ｂ−ｃ−ｄ−ａを直線で結ぶ範囲内に選ばれる。そし
て、この範囲内に選定する理由は、第１図に於いて、直
線Ａｂを含まず、これより上方の組成ではキユ一り一点
が極端に低くなつて温度特性が悪化し、又、ペロブスカ
イト型になりにく＼なり、直線Ｂｃを含まず、これより
右方でもキユ一り一点が低くなつて温度特性が悪くなり
、又、直線Ｄｃを含まず、これより下方では結晶性の低
下が認められることに因る。又、表２は、Ｐｂｌ−ＡＣ
ｄＡ（Ｎｉｌ／３Ｎｂ２／Ｓ）ＸＴｉ，Ｚｒ２Ｏ３なる
組成にＣｄＣＯ３、ＭｎＯ２、ＷＯ３を添加する場合の
その添加料と焼成温度、焼結密度、気孔率の関係を測定
したもので、これにより、ＭｎＯ２が一定でＷＯ３を添
加しない場合、ＣｄＣＯ３のＰｂとの置換分及び添加分
の総量が０．７重量％（０．７重量％は、この表に於い
て０．０１ｍｘ）１ｅ置換、０．２重量％添加に相当）
未満と、１．５重量％は同表で０．０１ｍ０１ｅ置換、
１．０重量％添加に相当）を超えると焼結性が低下し、
気孔率が悪化してくることがわかる。又、ＣｄＣＯ３が
一定で、ＷＯ３を添加しない場合、ＭｎＯ２は１．５重
量％以下の添加で焼結性が良好（ＣｄＣＯ３の効果が大
）となり、１．５重量％を超えると焼結性が低下するこ
とがわかる。そして、このＭｎＯ２がＬ５重量％を超え
ると、これの粒界への析出が多くなり不安定性を増すこ
とも確められた。更に又、ＣｄＣＯ３が一定でＭｎＯ２
を添加しない場合、ＷＯ３の量も１．０重量％以下では
焼結性が良く１．０重量％を超えると焼結性が悪化（気
孔率大）となることがわかる。こ＼に本発明に於いてＣ
ｄをＣｄＣＯ３に置換して０．７〜１．５重量％、Ｍｎ
をＭｎＯ２に換算してＯ〜１．５重量？に、ＷをＷＯ３
に換算してＯ〜１．０重量？に特定する所以である。又
、表３は、ＣｄＣＯ３とＭｎＯ２とＷＯ３との添加量を
変化させた場合の誘電率（ε３３）、誘電体損（Ｔａｎ
δ）、電気機械結合係数（Ｋｐ）、周波数定数（ＦＲ）
、メカニカルＱ（ＱＭ）のを測定したものであり、これ
によりＣｄＣＯ３とＭｎＯ２、ＣｄＣＯ３とＷＯ３及び
ＣｄＣＯ３とＭｎＯ２とＷＯ３との複合添加によりＫｐ
、ε、ＱＭの圧電特性を制御できることがわかる。
−ｂ−ｃ−ｄ−ａを直線で結ぶ範囲内に選ばれる。そし
て、この範囲内に選定する理由は、第１図に於いて、直
線Ａｂを含まず、これより上方の組成ではキユ一り一点
が極端に低くなつて温度特性が悪化し、又、ペロブスカ
イト型になりにく＼なり、直線Ｂｃを含まず、これより
右方でもキユ一り一点が低くなつて温度特性が悪くなり
、又、直線Ｄｃを含まず、これより下方では結晶性の低
下が認められることに因る。又、表２は、Ｐｂｌ−ＡＣ
ｄＡ（Ｎｉｌ／３Ｎｂ２／Ｓ）ＸＴｉ，Ｚｒ２Ｏ３なる
組成にＣｄＣＯ３、ＭｎＯ２、ＷＯ３を添加する場合の
その添加料と焼成温度、焼結密度、気孔率の関係を測定
したもので、これにより、ＭｎＯ２が一定でＷＯ３を添
加しない場合、ＣｄＣＯ３のＰｂとの置換分及び添加分
の総量が０．７重量％（０．７重量％は、この表に於い
て０．０１ｍｘ）１ｅ置換、０．２重量％添加に相当）
未満と、１．５重量％は同表で０．０１ｍ０１ｅ置換、
１．０重量％添加に相当）を超えると焼結性が低下し、
気孔率が悪化してくることがわかる。又、ＣｄＣＯ３が
一定で、ＷＯ３を添加しない場合、ＭｎＯ２は１．５重
量％以下の添加で焼結性が良好（ＣｄＣＯ３の効果が大
）となり、１．５重量％を超えると焼結性が低下するこ
とがわかる。そして、このＭｎＯ２がＬ５重量％を超え
ると、これの粒界への析出が多くなり不安定性を増すこ
とも確められた。更に又、ＣｄＣＯ３が一定でＭｎＯ２
を添加しない場合、ＷＯ３の量も１．０重量％以下では
焼結性が良く１．０重量％を超えると焼結性が悪化（気
孔率大）となることがわかる。こ＼に本発明に於いてＣ
ｄをＣｄＣＯ３に置換して０．７〜１．５重量％、Ｍｎ
をＭｎＯ２に換算してＯ〜１．５重量？に、ＷをＷＯ３
に換算してＯ〜１．０重量？に特定する所以である。又
、表３は、ＣｄＣＯ３とＭｎＯ２とＷＯ３との添加量を
変化させた場合の誘電率（ε３３）、誘電体損（Ｔａｎ
δ）、電気機械結合係数（Ｋｐ）、周波数定数（ＦＲ）
、メカニカルＱ（ＱＭ）のを測定したものであり、これ
によりＣｄＣＯ３とＭｎＯ２、ＣｄＣＯ３とＷＯ３及び
ＣｄＣＯ３とＭｎＯ２とＷＯ３との複合添加によりＫｐ
、ε、ＱＭの圧電特性を制御できることがわかる。
尚、表３の試料黒は第３図の各点に対応する。
次に表４に、市販圧電磁器と本発明による表１に於ける
試料１３−３の磁器との夫々の気孔の大きさと、気孔率
を比較して示した。これによれば、本発明による磁器で
は大きな気孔が全く存在せず、又、気孔率が約−に減少
していることがわかる。尚、この気孔の測定は被測定磁
器を鏡面研磨して３００μｍ×３００ｔｔｍの面積に関
して顕微鏡観察によつて測定したものである。又、第２
図は、各種の焼成密度を持つ同組成の材料によつて構成
された表面波フイルタの、その焼成密度と、中心周波数
Ｆ。
試料１３−３の磁器との夫々の気孔の大きさと、気孔率
を比較して示した。これによれば、本発明による磁器で
は大きな気孔が全く存在せず、又、気孔率が約−に減少
していることがわかる。尚、この気孔の測定は被測定磁
器を鏡面研磨して３００μｍ×３００ｔｔｍの面積に関
して顕微鏡観察によつて測定したものである。又、第２
図は、各種の焼成密度を持つ同組成の材料によつて構成
された表面波フイルタの、その焼成密度と、中心周波数
Ｆ。
の関係を示したものである。これによれば、市販品によ
る磁器の焼結密度が７．７２ｇｒ／ＣＣとすると．．こ
の材料の密度が小さく？腎叉±０．２０１）変動したと
すると（実際では数係のばらつきがある）、ＦＯは±６
０ＫＨｚもばらついてしまう。これに比し、本発明によ
る磁器は、その焼結密度が８．００ｇｒ７々Ｃ以上であ
るので±０．２（ｆ）程度ばらついても、±１０ＫＨｚ
程度変動するに過ぎない。このように本発明磁器ではこ
れ自体、焼結密度の変動が少ないばかりか、この変動に
よる圧電定数への影響も小さくすることができる。又、
本発明による試料屈１４によつて１０．７ＭＨｚの表面
波フイルタを構成した場合の中心周波数ＦＯの分布を第
３図に黒点をもつて表示した。
る磁器の焼結密度が７．７２ｇｒ／ＣＣとすると．．こ
の材料の密度が小さく？腎叉±０．２０１）変動したと
すると（実際では数係のばらつきがある）、ＦＯは±６
０ＫＨｚもばらついてしまう。これに比し、本発明によ
る磁器は、その焼結密度が８．００ｇｒ７々Ｃ以上であ
るので±０．２（ｆ）程度ばらついても、±１０ＫＨｚ
程度変動するに過ぎない。このように本発明磁器ではこ
れ自体、焼結密度の変動が少ないばかりか、この変動に
よる圧電定数への影響も小さくすることができる。又、
本発明による試料屈１４によつて１０．７ＭＨｚの表面
波フイルタを構成した場合の中心周波数ＦＯの分布を第
３図に黒点をもつて表示した。
この場合、試料は２０ツト（１０ｔ）で、各３プロツク
計５４素子構成した。この時、±０．２％を超えたもの
は、２素子に過ぎず、±０．２（ｆ）内に全素子の９６
．３％が入り、±０．１５（ｆ）に７７．８％の素子が
入つている。因みに、従来の磁器材料を用いた市販のセ
ラミツクフイルタのカタログ値は、１０．７ＭＨｚ±０
．１３ＭＨｚという約土１．２％のばらつきを示してい
るものであり、このような大きなばらつきが存在すると
、その選別の手間を要し、コスト高となるを免れ得ず、
又、使用するチユーナ等も何段階かに仕様を分けなくて
はならない。しかるに本発明によればそのばらつきを±
０．２（ｆ）以下に抑えることができるので、このよう
な欠点も回避できる。上述したように本発明によれば、
焼成温度を下げることができ、焼結密度の向上、ばらつ
きの低減化をはかることができ、又、緻密化をはかるこ
とができるので特性の均一化、再現性の向上、伝播効率
の向上がなされ、又、電極切れの発生を回避できて歩留
りの向上がはかれる。
計５４素子構成した。この時、±０．２％を超えたもの
は、２素子に過ぎず、±０．２（ｆ）内に全素子の９６
．３％が入り、±０．１５（ｆ）に７７．８％の素子が
入つている。因みに、従来の磁器材料を用いた市販のセ
ラミツクフイルタのカタログ値は、１０．７ＭＨｚ±０
．１３ＭＨｚという約土１．２％のばらつきを示してい
るものであり、このような大きなばらつきが存在すると
、その選別の手間を要し、コスト高となるを免れ得ず、
又、使用するチユーナ等も何段階かに仕様を分けなくて
はならない。しかるに本発明によればそのばらつきを±
０．２（ｆ）以下に抑えることができるので、このよう
な欠点も回避できる。上述したように本発明によれば、
焼成温度を下げることができ、焼結密度の向上、ばらつ
きの低減化をはかることができ、又、緻密化をはかるこ
とができるので特性の均一化、再現性の向上、伝播効率
の向上がなされ、又、電極切れの発生を回避できて歩留
りの向上がはかれる。
尚、本発明磁器を得るに当つて、その焼成を０２ガス中
で行うときはＰｂＯの蒸発を、より抑える効果が生ずる
ので、上述の効果はより顕著となる。又、本発明によれ
ば、Ｐｂの一部をＣｄど？換しているので、化学的にも
安定となり、磁器表面を洗浄したり、これの上に電極を
選択的に形成するフオトエツチングに際して酸性エツチ
ング液を用いても極めて安定であることを確めた。
で行うときはＰｂＯの蒸発を、より抑える効果が生ずる
ので、上述の効果はより顕著となる。又、本発明によれ
ば、Ｐｂの一部をＣｄど？換しているので、化学的にも
安定となり、磁器表面を洗浄したり、これの上に電極を
選択的に形成するフオトエツチングに際して酸性エツチ
ング液を用いても極めて安定であることを確めた。
第１図は（Ｐｂｌ−ＡＣｄＡ）（Ｎｉｌ／３Ｎｂめ）０
３−（Ｐｂｌ−ＡＣｄＡ）ＴｉＯ３−（Ｐｂｌ−ＡＣｄ
Ａ）ＺｒＯ？三元図、第２図は本発明磁器組成物の中心
周波数分布図、第３図は焼結密度一中心周波数特性曲線
図である。
３−（Ｐｂｌ−ＡＣｄＡ）ＴｉＯ３−（Ｐｂｌ−ＡＣｄ
Ａ）ＺｒＯ？三元図、第２図は本発明磁器組成物の中心
周波数分布図、第３図は焼結密度一中心周波数特性曲線
図である。
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １ Ｐｂ＿１＿−＿ＡＣｄ＿Ａ（Ｎｉ＿１＿／＿３Ｎｂ
＿２＿／＿３）＿ｘＴｉ＿ｙＺｒ＿ｚＯ＿３と表わした
とき、０．０５≦ｘ≦０．２５ ０．３０≦ｙ≦０．９５ ０≦ｚ≦０．６５（ｘ＋ｙ＋ｚ＝１） を満足する組成において、 ０．００５≦Ａ≦０．０２を満足する範囲でＰｂの一部
をＣｄで置換して成る主成分に、Ｃｄ、Ｍｎ、Ｗの１つ
若しくは２つ以上を、Ｃｄの場合は上記置換と添加の総
量がＣｄＣＯ＿３に換算して０．７〜１．５重量％、Ｍ
ｎの場合はＭｎＯ＿２に換算して０〜１．５重量％、Ｗ
の場合はＷＯ＿３に換算して０〜１．０重量％添加して
成ることを特徴とする圧電磁器組成物。
Priority Applications (5)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51070513A JPS5935124B2 (ja) | 1976-06-16 | 1976-06-16 | 圧電磁器組成物 |
| NL7706603A NL7706603A (nl) | 1976-06-16 | 1977-06-15 | Piezoelektrisch keramisch materiaal. |
| GB25045/77A GB1565137A (en) | 1976-06-16 | 1977-06-15 | Piezoelectric ceramic compositions |
| DE19772727321 DE2727321A1 (de) | 1976-06-16 | 1977-06-16 | Piezoelektrisches keramikmaterial |
| FR7718548A FR2355379A1 (fr) | 1976-06-16 | 1977-06-16 | Ceramique piezoelectrique |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP51070513A JPS5935124B2 (ja) | 1976-06-16 | 1976-06-16 | 圧電磁器組成物 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS52154099A JPS52154099A (en) | 1977-12-21 |
| JPS5935124B2 true JPS5935124B2 (ja) | 1984-08-27 |
Family
ID=13433676
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP51070513A Expired JPS5935124B2 (ja) | 1976-06-16 | 1976-06-16 | 圧電磁器組成物 |
Country Status (5)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5935124B2 (ja) |
| DE (1) | DE2727321A1 (ja) |
| FR (1) | FR2355379A1 (ja) |
| GB (1) | GB1565137A (ja) |
| NL (1) | NL7706603A (ja) |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3444177A1 (de) * | 1984-12-04 | 1986-06-12 | Siemens AG, 1000 Berlin und 8000 München | Piezokeramik |
-
1976
- 1976-06-16 JP JP51070513A patent/JPS5935124B2/ja not_active Expired
-
1977
- 1977-06-15 GB GB25045/77A patent/GB1565137A/en not_active Expired
- 1977-06-15 NL NL7706603A patent/NL7706603A/xx not_active Application Discontinuation
- 1977-06-16 FR FR7718548A patent/FR2355379A1/fr active Granted
- 1977-06-16 DE DE19772727321 patent/DE2727321A1/de not_active Withdrawn
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| FR2355379A1 (fr) | 1978-01-13 |
| JPS52154099A (en) | 1977-12-21 |
| DE2727321A1 (de) | 1977-12-29 |
| FR2355379B1 (ja) | 1983-12-09 |
| NL7706603A (nl) | 1977-12-20 |
| GB1565137A (en) | 1980-04-16 |
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