JPS5932281A - カラ−撮像装置 - Google Patents
カラ−撮像装置Info
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- JPS5932281A JPS5932281A JP58132747A JP13274783A JPS5932281A JP S5932281 A JPS5932281 A JP S5932281A JP 58132747 A JP58132747 A JP 58132747A JP 13274783 A JP13274783 A JP 13274783A JP S5932281 A JPS5932281 A JP S5932281A
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Classifications
-
- H—ELECTRICITY
- H01—ELECTRIC ELEMENTS
- H01L—SEMICONDUCTOR DEVICES NOT COVERED BY CLASS H10
- H01L31/00—Semiconductor devices sensitive to infrared radiation, light, electromagnetic radiation of shorter wavelength or corpuscular radiation and specially adapted either for the conversion of the energy of such radiation into electrical energy or for the control of electrical energy by such radiation; Processes or apparatus specially adapted for the manufacture or treatment thereof or of parts thereof; Details thereof
- H01L31/02—Details
- H01L31/0216—Coatings
- H01L31/02161—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier
- H01L31/02162—Coatings for devices characterised by at least one potential jump barrier or surface barrier for filtering or shielding light, e.g. multicolour filters for photodetectors
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Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、凹凸のある基板５例えば固体撮像素子」二に
直接カラーフィルターを形成するカラー撮像装置に関す
る。
直接カラーフィルターを形成するカラー撮像装置に関す
る。
従来のカラー撮像装置のフィルターは、ガラス基板など
の平坦な基板上に、感光性材料を塗布してのち、所定の
パターンのマスクを介して露光し。
の平坦な基板上に、感光性材料を塗布してのち、所定の
パターンのマスクを介して露光し。
現像処理を行なってパターンを形成し、これを染料を用
いて染色して着色パターンを得ていた。しかし、基板表
面が平坦でなく凹凸面を有していると、露光の際基板面
に対して垂部に入射してきた紫外線は上記凹凸部で乱反
射を起し、紫外線を遮光すべきパターンの内側にまで回
り込んでパターンの形状を正確に形成しない。この様子
を従来のカラー撮像装置の断面を示した第１図を用いて
説明すると、■は８１基板、２は感光領域、３はＡＩの
配線、 ４１，４２．４３はそれぞれ赤、緑。
いて染色して着色パターンを得ていた。しかし、基板表
面が平坦でなく凹凸面を有していると、露光の際基板面
に対して垂部に入射してきた紫外線は上記凹凸部で乱反
射を起し、紫外線を遮光すべきパターンの内側にまで回
り込んでパターンの形状を正確に形成しない。この様子
を従来のカラー撮像装置の断面を示した第１図を用いて
説明すると、■は８１基板、２は感光領域、３はＡＩの
配線、 ４１，４２．４３はそれぞれ赤、緑。
青に染色したゼラチンパターン、５は混色を防止するた
めの保護層である。ここで、ゼラチン・ぐターンは、感
光領域を完全に被覆し、かつ隣跨する感光領域にはにじ
み出ないように形成しなくζ°はならない。しかしなが
ら感光化したゼラチンは解像度が悪く、かつ、配線部３
のＡ１面からの反射が大であるため、かぶりを生じ、隣
接した感光領域上ににじみ出ず。これにより、光透過率
の減少すなわち、撮像テバイスの感度低下が生ずる。
めの保護層である。ここで、ゼラチン・ぐターンは、感
光領域を完全に被覆し、かつ隣跨する感光領域にはにじ
み出ないように形成しなくζ°はならない。しかしなが
ら感光化したゼラチンは解像度が悪く、かつ、配線部３
のＡ１面からの反射が大であるため、かぶりを生じ、隣
接した感光領域上ににじみ出ず。これにより、光透過率
の減少すなわち、撮像テバイスの感度低下が生ずる。
本発明は上記欠点を除去して、かぶりのない感度の良好
なカラー撮像装置を提供すること（−目的とする。
なカラー撮像装置を提供すること（−目的とする。
上記目的を達成するための本発明の構成は、基板面とカ
ラーフィルタ層との間に紫外線吸収剤を添加したかぶり
防止膜を設けてなることｆ ７１％徴とする。
ラーフィルタ層との間に紫外線吸収剤を添加したかぶり
防止膜を設けてなることｆ ７１％徴とする。
本発明は上記構成になるので、マスクパターンを使用し
て露光及び蝕刻を行ないフィルタパターンを形成する際
、フィルタ材料であるセラチンと基板表面との間に一定
の間隙が設けられ、かつその間隙にたとえば紫外線吸収
剤が混入されてなる高分子樹脂材料が介在されているの
で、ＡＩなどの凹凸面で乱反射して逆入射（Ｎ光源とは
逆方向からの光）してくる光が生じても殆ど吸収される
ので所定のパターン外のゼラチン裏面（基板側）を照射
することがなくなり、所期の正確なパターンに形成する
ことができるものである。
て露光及び蝕刻を行ないフィルタパターンを形成する際
、フィルタ材料であるセラチンと基板表面との間に一定
の間隙が設けられ、かつその間隙にたとえば紫外線吸収
剤が混入されてなる高分子樹脂材料が介在されているの
で、ＡＩなどの凹凸面で乱反射して逆入射（Ｎ光源とは
逆方向からの光）してくる光が生じても殆ど吸収される
ので所定のパターン外のゼラチン裏面（基板側）を照射
することがなくなり、所期の正確なパターンに形成する
ことができるものである。
この様に本発明によると５反射して感光樹脂内を通過す
る光は吸光性材料によって光が吸収もしくは弱められて
急激に減衰し、上記感光性樹脂を重合させることが少な
くなり、実質的に露光マスクに相当１〜た″ターンだけ
を正確に形成できる。
る光は吸光性材料によって光が吸収もしくは弱められて
急激に減衰し、上記感光性樹脂を重合させることが少な
くなり、実質的に露光マスクに相当１〜た″ターンだけ
を正確に形成できる。
この吸光性材料としては直接染料、酸性染料、塩基性染
料、媒染染料１反応性染料などがあるが。
料、媒染染料１反応性染料などがあるが。
４ Ｑ Ｑ ｎｍ以上の波長の光、すなわち可視光を透
光し、４００ｎｍ以下の波長の光、すなわち紫外光を吸
収する特性を有することが心安である。
光し、４００ｎｍ以下の波長の光、すなわち紫外光を吸
収する特性を有することが心安である。
以下具体的実施例を用いて詐細ｆＣＩ？明する。
第２間は本発明の一実施例としてのカラー撮像装置の概
略断面図である。
略断面図である。
所定の感光領域２．およびアルミ（ＡＩ）配線３含有し
たシリコン（Ｓｉ）基鈑ｌ上に、かぶり防止層６が形成
される。このかぶり防止Ｉ−の厚みは、この層の吸光度
、基板の凹凸に応じて設定される。一般には０．５μｍ
ないし２μｍ程度？用いている。上記層６上に所定のパ
ターンのゼ５ｉブンからなる赤色のカラーフィル化４１
か形成、′（れ。
たシリコン（Ｓｉ）基鈑ｌ上に、かぶり防止層６が形成
される。このかぶり防止Ｉ−の厚みは、この層の吸光度
、基板の凹凸に応じて設定される。一般には０．５μｍ
ないし２μｍ程度？用いている。上記層６上に所定のパ
ターンのゼ５ｉブンからなる赤色のカラーフィル化４１
か形成、′（れ。
上記防止層６及びフィルタ４１」−に混色防市イψ倖層
５が形成される。次いて同様に上記保護層５上に所定の
パターンのゼラチンからなる緑色のカラーフィルタ４２
が形成され、上記保膣層５及び上記フィルタ４２上に混
色保護層５が形成さ４１．、、）：・記保膜層５上に７
’Ｊｒ定のパターンのゼシ・ｆンか０なる青色のカラー
フィルタ４３が形成さイｔ、 １％、４（呆膿＃５及
び上記フィルタ４３上に混色防１１−保両層５が形成さ
れる。この様にしてカラー撮像装置が構成される。上述
のカラーフィルタ４１．４２および４３は互いに他の色
の感光領域２に重り合うことがないことは云・うまでも
ない。
５が形成される。次いて同様に上記保護層５上に所定の
パターンのゼラチンからなる緑色のカラーフィルタ４２
が形成され、上記保膣層５及び上記フィルタ４２上に混
色保護層５が形成さ４１．、、）：・記保膜層５上に７
’Ｊｒ定のパターンのゼシ・ｆンか０なる青色のカラー
フィルタ４３が形成さイｔ、 １％、４（呆膿＃５及
び上記フィルタ４３上に混色防１１−保両層５が形成さ
れる。この様にしてカラー撮像装置が構成される。上述
のカラーフィルタ４１．４２および４３は互いに他の色
の感光領域２に重り合うことがないことは云・うまでも
ない。
」二記装置を構成′４−る際、カラーフィルタを所定の
パターンに形成するため３回の露光及び写真蝕刻が必要
となる。しかし、同様な露光方法及び写真蝕刻方法が繰
り返えされるだけなので、初めの方法だけ詳述し他を省
略することにする。
パターンに形成するため３回の露光及び写真蝕刻が必要
となる。しかし、同様な露光方法及び写真蝕刻方法が繰
り返えされるだけなので、初めの方法だけ詳述し他を省
略することにする。
上述のごとく１本発明のかぶり防止層６は波長４００
ｎｍ以下の光を吸収し、４００ｎｍ以上の光を完全に透
過Ａる層ずられちかぶり層６を設けることにより、かぶ
りを除去することが出来る。
ｎｍ以下の光を吸収し、４００ｎｍ以上の光を完全に透
過Ａる層ずられちかぶり層６を設けることにより、かぶ
りを除去することが出来る。
かぶり防止層としては例えばポリグリシジルメタクリレ
−）（１’ＵＭＡ）の如き高分子樹脂に２゜２’、４．
４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン（’１” ＨＴ
３１） ）の如き紫外線吸収剤を混入ずればよい。樹脂
膜形成（こは溶液塗布後加熱硬化せしめる。第３図に、
その分光透過率を示す。図はＰ（ＩＭＡ／ＴＨＢｐ＝＝
： １１０．４．膜厚１μｍの場合を示す。露光はこの
紫外線の吸、収特性に合致させて行なえば良い。
−）（１’ＵＭＡ）の如き高分子樹脂に２゜２’、４．
４’−テトラヒドロキシベンゾフェノン（’１” ＨＴ
３１） ）の如き紫外線吸収剤を混入ずればよい。樹脂
膜形成（こは溶液塗布後加熱硬化せしめる。第３図に、
その分光透過率を示す。図はＰ（ＩＭＡ／ＴＨＢｐ＝＝
： １１０．４．膜厚１μｍの場合を示す。露光はこの
紫外線の吸、収特性に合致させて行なえば良い。
通常、ゼラチンに重クロム酸アンモンヲ加工て感光化し
た勝ては４００ ｎｍ以」二の長波長光に対しても感度
ヲ有するため、この場合は、４００ｎｍ以上の光を吸収
するフィルタを紫外線光源ｌこ付加して露光した方がよ
り良い結果を得る。−力、アジド化したゼラチンでは、
４００ｎｍ以上の長波長光に対して感度がないため、高
ＦＴ：、水銀灯を使用して通常の露光すればよい。
た勝ては４００ ｎｍ以」二の長波長光に対しても感度
ヲ有するため、この場合は、４００ｎｍ以上の光を吸収
するフィルタを紫外線光源ｌこ付加して露光した方がよ
り良い結果を得る。−力、アジド化したゼラチンでは、
４００ｎｍ以上の長波長光に対して感度がないため、高
ＦＴ：、水銀灯を使用して通常の露光すればよい。
紫外線吸収剤としては前述の２．２’、４．４’−テト
ラヒドロキシベンゾフェノンの他、ジヒドロキシベンヅ
フェノン、２ヒドロキシ−Ｉｌメト・キシベンゾフェノ
ン、２（２’ヒドロギシ−５′−メチルフェニール）ペ
ンヅトリアヅール等がある。
ラヒドロキシベンゾフェノンの他、ジヒドロキシベンヅ
フェノン、２ヒドロキシ−Ｉｌメト・キシベンゾフェノ
ン、２（２’ヒドロギシ−５′−メチルフェニール）ペ
ンヅトリアヅール等がある。
前二渚は特にかぶり防止層の形成に際し、硬化温度２０
０°Ｃ程度にも十分使用出来るものてｔｉｅＮる。
０°Ｃ程度にも十分使用出来るものてｔｉｅＮる。
第４図は本発明の他の実施例としてのカラー撮像装置用
フィルタの断面図を示す。前述の第２図と構成はほぼ同
じであるかカラス基板１０上にかぶり防止層６が形成さ
れ、上記防止層６上にカラ−フィルタ４１．４２および
４３が形成され、さらに所定の位置に混色防止保獲層５
が形成されてなる。
フィルタの断面図を示す。前述の第２図と構成はほぼ同
じであるかカラス基板１０上にかぶり防止層６が形成さ
れ、上記防止層６上にカラ−フィルタ４１．４２および
４３が形成され、さらに所定の位置に混色防止保獲層５
が形成されてなる。
上記構成の撮像装置でカラーフィルタを形成する場合は
、従来の装Ｍを形成する場合と同じように、ガラス基板
１０の丁にＡＪ治具（図示せず）を保持台として露光が
行なわれる。ただ、従来はＡ／衣表面らの反射を避ける
ため上記Ａ４表面全面に遮光性の塗料等が塗布されでい
た。しかし本発明は、上述のようにかぶり防止層６が形
成されているのて ＡＪ表面から反射してくる光は殆ん
どかぶり層により吸収されてしまうので、塗料塗布層を
設りる必要がなく、ゼラチン層上に形成された写真蝕刻
用のホトレジ層ヲＤｆ定の・１−ン以外に感光させるこ
となく正確なフィルタ用のマスクパターンが形成できる
。
、従来の装Ｍを形成する場合と同じように、ガラス基板
１０の丁にＡＪ治具（図示せず）を保持台として露光が
行なわれる。ただ、従来はＡ／衣表面らの反射を避ける
ため上記Ａ４表面全面に遮光性の塗料等が塗布されでい
た。しかし本発明は、上述のようにかぶり防止層６が形
成されているのて ＡＪ表面から反射してくる光は殆ん
どかぶり層により吸収されてしまうので、塗料塗布層を
設りる必要がなく、ゼラチン層上に形成された写真蝕刻
用のホトレジ層ヲＤｆ定の・１−ン以外に感光させるこ
となく正確なフィルタ用のマスクパターンが形成できる
。
また、これまで述べてきた撮像装置に限らず。
一般に凹凸面を有する基板にカラーフィルターを形成す
るに本発明に開示された方法を用いて有用なことはいう
までもない。
るに本発明に開示された方法を用いて有用なことはいう
までもない。
以上本発明について述べてきたがかぶり層樹脂中に吸光
剤を添加し、上記樹脂中の光の透過率を低下させること
により１表面に凹凸のある反射率の高い基板表面を有し
たもの、あるいは１反射率の高い保持台を用いるもので
あっても微細なパターンを形成することができる。なお
−Ｌ 、１ｙｌＳの実施例においてはかぶり層樹脂とし
ては前述の１） （ｌ Ｍ Ａを用いたがこれに限らな
いことはいうまでも１１゛い。
剤を添加し、上記樹脂中の光の透過率を低下させること
により１表面に凹凸のある反射率の高い基板表面を有し
たもの、あるいは１反射率の高い保持台を用いるもので
あっても微細なパターンを形成することができる。なお
−Ｌ 、１ｙｌＳの実施例においてはかぶり層樹脂とし
ては前述の１） （ｌ Ｍ Ａを用いたがこれに限らな
いことはいうまでも１１゛い。
又吸光剤としては前述の’Ｌ’ Ｈ１３Ｉ）に限らず樹
脂内に在って光を吸収さぜる性質の材料てあり、さらに
特徴としてはパターン形成後現像処理を行ｆ、； ’）
ことにより吸光剤が除去されるものてあイ１ば本発明が
適用できることはいうまでもない。
脂内に在って光を吸収さぜる性質の材料てあり、さらに
特徴としてはパターン形成後現像処理を行ｆ、； ’）
ことにより吸光剤が除去されるものてあイ１ば本発明が
適用できることはいうまでもない。
また、カラーフィルタの色とし、て赤、緑、肖について
のみ述べたが、これに限らず、シ゛Ｉン、・・「エロー
（黄）、マゼンダなどの７１１１色系統のものを用いて
もよいことは云うまでもなく、さらに３色に限定するこ
となく２色あるいは４色以上でも本考案が適用されるこ
とは当業者であれは容易に推察できるであろう。
のみ述べたが、これに限らず、シ゛Ｉン、・・「エロー
（黄）、マゼンダなどの７１１１色系統のものを用いて
もよいことは云うまでもなく、さらに３色に限定するこ
となく２色あるいは４色以上でも本考案が適用されるこ
とは当業者であれは容易に推察できるであろう。
以上詳述してきたように本発明は吸光剤を含有したかぶ
り層樹脂を用いて所定の露光マスクに対応させ正確な色
フィルタを製造てきるカラー撮像装置２−提供するもの
で工業的利益大なるものである。
り層樹脂を用いて所定の露光マスクに対応させ正確な色
フィルタを製造てきるカラー撮像装置２−提供するもの
で工業的利益大なるものである。
第１図は従来のカラー撮像装置の概略断面図。
第２図は本発明の一実施例としてのカラー撮像装置の概
略断面図、第３図は本発明のかぶり層の透光特性、第４
図は本発明の他の実施例としてのカラー撮像装置用フィ
ルタの概略断面図である。 ｌ・・・基板、２・２．感光領域、３・・、ＡＩ配線、
６９９．かぶり防１１−５層、５・・・混色防止保ｉｉ
Ｉ層、４１．４２および４３・・・カラーフィルタ（ゼ
ラチン層）、１．０・・・ガラス基板。 第 １ 口 第２図 ￥ｉ ３ 図 第１頁の続き ・７２・発 明 者 筒井謙 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ・７２）発 明 者 泉章也 茂原市早野３３０番地株式会社日 立製作所茂原工場内
略断面図、第３図は本発明のかぶり層の透光特性、第４
図は本発明の他の実施例としてのカラー撮像装置用フィ
ルタの概略断面図である。 ｌ・・・基板、２・２．感光領域、３・・、ＡＩ配線、
６９９．かぶり防１１−５層、５・・・混色防止保ｉｉ
Ｉ層、４１．４２および４３・・・カラーフィルタ（ゼ
ラチン層）、１．０・・・ガラス基板。 第 １ 口 第２図 ￥ｉ ３ 図 第１頁の続き ・７２・発 明 者 筒井謙 国分寺市東恋ケ窪１丁目２８０番 地株式会社日立製作所中央研究 所内 ・７２）発 明 者 泉章也 茂原市早野３３０番地株式会社日 立製作所茂原工場内
Claims (1)
- 基板上に形成された所定のパターンのカラーフィルタを
有するカラー撮像装置において、上記基板と上記カラー
フィルタとの間にかぶり防止層を設けてなることを特徴
とするカラー撮像装置。
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58132747A JPS5932281A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | カラ−撮像装置 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP58132747A JPS5932281A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | カラ−撮像装置 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5932281A true JPS5932281A (ja) | 1984-02-21 |
| JPH0149239B2 JPH0149239B2 (ja) | 1989-10-24 |
Family
ID=15088634
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP58132747A Granted JPS5932281A (ja) | 1983-07-22 | 1983-07-22 | カラ−撮像装置 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5932281A (ja) |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4721999A (en) * | 1983-04-26 | 1988-01-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Color imaging device having white, cyan and yellow convex lens filter portions |
| JPH01213089A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-25 | Nec Kyushu Ltd | 光素子用フィルタ |
| JP2009065178A (ja) * | 2008-10-03 | 2009-03-26 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子 |
Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5511036A (en) * | 1978-07-07 | 1980-01-25 | Sanyo Electric Co | Garbage disposal plant |
| JPS55132077A (en) * | 1979-03-31 | 1980-10-14 | Dainippon Printing Co Ltd | Manufacture of color solid image pickup element plate |
-
1983
- 1983-07-22 JP JP58132747A patent/JPS5932281A/ja active Granted
Patent Citations (2)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| JPS5511036A (en) * | 1978-07-07 | 1980-01-25 | Sanyo Electric Co | Garbage disposal plant |
| JPS55132077A (en) * | 1979-03-31 | 1980-10-14 | Dainippon Printing Co Ltd | Manufacture of color solid image pickup element plate |
Cited By (3)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US4721999A (en) * | 1983-04-26 | 1988-01-26 | Kabushiki Kaisha Toshiba | Color imaging device having white, cyan and yellow convex lens filter portions |
| JPH01213089A (ja) * | 1988-02-22 | 1989-08-25 | Nec Kyushu Ltd | 光素子用フィルタ |
| JP2009065178A (ja) * | 2008-10-03 | 2009-03-26 | Toppan Printing Co Ltd | 固体撮像素子 |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0149239B2 (ja) | 1989-10-24 |
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