JPH0659119A - カラーフィルターの作成方法 - Google Patents
カラーフィルターの作成方法Info
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- JPH0659119A JPH0659119A JP11154393A JP11154393A JPH0659119A JP H0659119 A JPH0659119 A JP H0659119A JP 11154393 A JP11154393 A JP 11154393A JP 11154393 A JP11154393 A JP 11154393A JP H0659119 A JPH0659119 A JP H0659119A
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Abstract
するパターン画素を有するカラーフィルターの作成方法
を提供する。 【構成】 透明基板上に多色パターン形成する工程、該
多色パターンを覆って該透明基板上の全面に遮光性感光
性樹脂層を転写により形成する工程、該透明基板を通し
て活性光線を照射し、該遮光性感光性樹脂層を硬化させ
る工程、該遮光性感光性樹脂層を現像して該多色パター
ンが存在しない部分に遮光性を有する画素を形成する工
程、を含む。また、遮光性感光性樹脂層の感光波長域に
おいて、該多色パターンを形成する各画素に、耐熱性で
かつ、該遮光性感光性樹脂層の感光波長域に対する光吸
収性が良好な化合物を含有させ、好ましくは、該多色パ
ターンを形成する各画素の400nm以下の光透過率が
2%以下(遮光性感光性樹脂組成物を実質的に感光させ
る波長の透過率で測定する)であるカラーフイルターの
作成方法。
Description
用いられるカラーフィルターの作成方法、特に遮光性を
有するパターン画素の作成方法に関する。
るカラーフィルターは、光モレを防止し、コントラスト
を向上させる目的でR、G、B各画素の間に遮光性を有
するパターン画素を設けている。この遮光性を有するパ
ターン画素には、クロム等の金属膜や感光性樹脂に黒色
色素等を分散させた物等を用いて形成している。クロム
等の金属膜の場合、蒸着等の手段によりガラス基板全面
に金属膜を蒸着し、その後レジストを塗布し、パターニ
ングし、エッチングすることにより金属膜をパターニン
グしている。この方法では非常に工程が複雑で、歩留り
も悪く、コスト的に問題があった。一方で感光性樹脂と
カーボン等を組合わせた感光性黒色樹脂による遮光性を
有するパターン画素の形成方法が知られているが、この
場合、ある程度の遮光性を得るためには膜厚が数μm必
要であり、通常カラーフィルターの作成は、アライメン
ト誤差等の問題から遮光性を有するパターン画素とR、
G、B画素とはある程度の重なりを有しているのが現状
であるので、カラーフィルターの表面には凹凸が生じ
る。良好な平坦性を得るためにはさらにその上に平坦化
層を設けたり、表面研磨を行っているのが実情である。
そこで、特開平3−209203や特開平4−6960
2にはR、G、B形成後に黒色感光性樹脂層を全面に塗
布し、裏面から露光し、RGBの間隙に遮光性を有する
パターン画素を形成する方法が検討されている。しかし
ながら、これらの方法では全面にわたりR、G、Bの各
画素間にそのR、G、Bと同じ膜厚で黒色感光性樹脂層
を塗布することは非常に困難であり、これらの方法で作
成したカラーフィルターを用いて、液晶パネルを作成し
たところ、セルギャップが均一にならず表示ムラが発生
してしまう等の問題があった。
は、全面にわたり平坦性の良好な遮光性を有するパター
ン画素を有するカラーフィルターの作成方法を提供する
ものである。本発明の第二の目的は、高い遮光性を有す
るパターン画素を形成する方法を提供することである。
透明基板上に、それぞれ光の3原色の1を有する画素に
より形成された多色パターン及び該画素が存在しない部
分を遮光する遮光性を有する画素を設けたカラーフィル
ターの製造方法において、透明基板上に該多色パターン
形成する工程、該多色パターンを覆って該透明基板上の
全面に遮光性感光性樹脂層を転写により形成する工程、
該透明基板を通して活性光線を照射し、該遮光性感光性
樹脂層を硬化させる工程、該遮光性感光性樹脂層を現像
して該多色パターンが存在しない部分に遮光性を有する
画素を形成する工程、を含むことを特徴とするカラーフ
ィルターの作成方法により達成された。本発明の第二の
目的は、遮光性感光性樹脂層の感光波長域において、該
多色パターンを形成する各画素に、耐熱性でかつ、該遮
光性感光性樹脂層の感光波長域に対する光吸収性が良好
な化合物を含有させ、好ましくは、該多色パターンを形
成する各画素の400nm以下の光透過率が2%以下
(遮光性感光性樹脂組成物を実質的に感光させる波長の
透過率で測定する)であるカラーフイルターの作成方
法、あるいは遮光性感光性樹脂層の感光波長域におい
て、該多色パターンを形成する各画素の光透過光率が2
%以下となる波長を有する光を照射するカラーフイルタ
ーの作成方法により達成された。
明基板上にR、G、Bの画素から成る多色パターンを形
成する方法としては、染色法、印刷法、顔料分散法、電
着法、転写法等の公知の方法をすべて用いることができ
る。遮光性感光性樹脂の感光波長領域に対するR、G、
B画素の光透過率が2%を超える場合は、あらかじめ
R、G、B画素の中に光吸収剤等を加え、その透過率を
2%以下にすることが好ましい。この際使用する光吸収
剤としては、公知の種々の化合物を用いることができ
る。例えば、ベンゾフェノン誘導体(ミヒラーズケトン
等)、メロシアニン系化合物、金属酸化物、ベンゾトリ
アゾール系化合物、クマリン系化合物等を挙げることが
できる。その中でも、光吸収性が良好で、かつ200℃
以上の熱処理の後でも25%以上の光吸収性能を保持す
るものが好ましく、具体的には酸化チタン、酸化亜鉛、
ベンゾトリアゾール系化合物、クマリン系化合物が挙げ
られる。これらの中では、クマリン系化合物が耐熱性、
光吸収性の両観点から特に好ましい。更に、クマリン系
化合物は、多色パターンを光重合性組成物を用いて作成
する場合に、これらの光重合を阻害することが無いこと
も好ましい。なお、上述の200℃以上の熱処理は、カ
ラーフィルター作成時に必要に応じてパターン画素を一
層硬化させるために行われる。
(II)もしくは(III)で示される化合物を挙げる
ことができる。
基、ジアルキルアミノ基、モノアルキルアミノ基、N置
換アミノアルキル基、ハロゲン、もしくはアルコキシ基
を表す。アルキル及びアルコキシとしては炭素数1〜4
のものが好ましい。 R3 :炭素数1〜7、好ましくは1〜4のアルキル
基を表す。 R4,R5:同一でも異なっていても良く、水素もしくは
炭素数1〜7、好ましくは1〜4のアルキル基を表す。 R6,R7:同一でも異なっていても良く、水素、炭素数
1〜7、好ましくは1〜4のアルキル基、もしくは炭素
数1〜4のアルコキシ基を表す。
リアジン−2−イル}アミノ}−3−フェニルクマリン 7−{{4−メトキシ−6−(ジエチルアミノ)−s−
トリアジン−2−イル}アミノ}−3−フェニルクマリ
ン 7−{{4−メトキシ−6−(ジエチルアミノプロピル
アミノ)−s−トリアジン−2−イル}アミノ}−3−
フェニルクマリン N−(γ−ジメチルアミノプロピル)−N’−{3−フ
ェニルクマリニル−(7)}ウレア 3−フェニル−7−(4’−メチル−5’−n−ブトキ
シ−ベンゾトリアゾリル−2)クマリン 等を挙げることができる。これらの中では、7−{{4
−クロロ−6−(ジエチルアミノ)−s−トリアジン−
2−イル}アミノ}−3−フェニルクマリンが特に好ま
しい。
て該透明基板上の全面に遮光性感光性樹脂層を転写によ
り形成する工程で用いる転写材料、転写方法、および現
像方法は、特願平2−400047、特願平3−929
2、特願平3−120223、特願平3−15322
7、特願平4−12980および特願平4−64870
に記載の感光性転写材料、転写方法および現像方法を用
いることができる。
る)に際して、光源としては、遮光性感光性樹脂層の感
光性に応じて選択され、超高圧水銀灯、キセノン灯、カ
ーボンアーク灯、アルゴンレーザー等の公知の光源が使
用できる。
域に対するR、G、B画素の光透過率が2%を超える場
合は、光学濃度(OD)1.5以上の遮光性を有するパ
ターン画素を形成する場合、R、G、B画素上に光硬化
した遮光膜が残留し、カラーフイルターとして実用する
ことが困難となる。R、G、B画素の光透過率が2%を
超える場合は、前述したようにあらかじめR、G、B画
素の中に光吸収剤等を加えるか、あるいは別の方法とし
て、光学フィルターを用いて所望の波長領域のみを選択
的に取りだしても良く、この場合には、少なくとも遮光
性感光性樹脂層の感光波長域の400nm以上の透過率
が2%以下の光学フィルターを用いるのが好ましい。ま
た、両者を組合わせても良い。この方法により、R、
G、Bの各画素の上に転写された遮光性感光性樹脂層
は、基板を通して露光をした際に、実質的に硬化せず、
引き続く現像処理により除去することが可能となる。以
下、本発明を実施例に基づいて更に詳細に説明するが、
本発明はこれらに限定されるものではない。
仮支持体の上に下記の処方H1からなる塗布液を塗布、
乾燥させ、乾燥膜厚が20μmの熱可塑性樹脂層を設け
た。
から成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が1.6μ
m厚の分離性を有する中間層を設けた。
支持体の上に、以下の処方C1からなる塗布液を塗布、
乾燥させ、乾燥膜厚が2μmの遮光性感光性樹脂層を形
成した。
プロピレン(厚さ12μm)の被覆シートを圧着し、遮
光性感光性転写材料を作成した。この遮光性感光性樹脂
層の感光波長は350nmから420nmであり、光源
に超高圧水銀灯を用いた場合の主感光波長は365nm
(i線)と405nm(h線)であり、ODは2.0で
あった(マクベス濃度計を用いて測定)。
(R)、青(B)、緑(G)の着色感光層を形成した。
ただし、R層のi線透過率が1%となるようにミヒラー
ズケトンを添加した。
m)上にR、G、B画素から成るカラーフィルターを形
成した。この場合のi線およびh線の透過率は表2の様
になった。
し、R、G、B画素から成る多色パターン上に、遮光性
感光性樹脂層面を多色パターン面にラミネーター(大成
ラミネータ(株)製VP−II)を用いて加圧(0.8
kg/cm2)、加熱(130℃)して貼り合わせ、続
いて仮支持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支
持体を除去した。
用いて全面露光を行ったが、この場合、表2に示したよ
うにB画素の、h線の透過率が2%を超えているので、
光源とガラス基板の間に、東芝ガラスフィルター(UV
D36c)を設置した。露光量は、100mj/cm2であっ
た。その後、1%炭酸ナトリウム水溶液で現像して非硬
化部を除去し、R、G、B各画素の間隙に遮光性を有す
るパターン画素を形成した。出来上がったカラーフィル
ターは、遮光性を有するパターン画素とRGB画素との
重なりが無く、平坦性は良好であり、更に、RGB各画
素の上には、実質的に遮光性感光性樹脂層の残留はなか
った。
しなかった以外は、実施例1と同じ方法でカラーフイル
ターを作成した。この場合、Bの画素上に遮光性感光性
樹脂層が残留し、カラーフイルターとしての使用は困難
であった。
緑(G)の着色感光層を用いて、ガラス基板(厚さ1.
1mm)上にR、G、B多色パターンを形成した。この
場合のi線およびh線の透過率は表3の様になった。
て、上記多色パターン上に遮光性感光性樹脂層を設け、
東芝ガラスフィルター(UVD36c)を通して、10
0mj/cm2で露光し、その後、1%炭酸ナトリウム水溶液
で現像して非硬化部分を除去し、R、G、B各画素の間
隙に遮光性を有するパターン画素を形成した。この場
合、Rのi線の透過率が2%を超えているので、Rの画
素上に遮光層が残る故障が発生した。
仮支持体の上に下記の処方H1からなる塗布液を塗布、
乾燥させ、乾燥膜厚が20μmの熱可塑性樹脂層を設け
た。 熱可塑性樹脂層処方H1: メチルメタクリレート/2−エチルヘキシルアクリレート/ベンジル メタクリレート/メタクリル酸共重合体(共重合組成比(モル比) =55/30/10/5、重量平均分子量=50000) 15.0重量部 ポリプロピレングリコールジアクリレート(平均分子量=822) 6.5重量部 テトラエチレングリコールジメタクリレート 1.5重量部 p−トルエンスルホンアミド 0.5重量部 ベンゾフェノン 1.0重量部 メチルエチルケトン 30.0重量部
から成る塗布液を塗布、乾燥させ、乾燥膜厚が1.6μ
m厚の中間層を設けた。 分離層処方B1: ポリビニルアルコール(クラレ(株)製PVA205、鹸化率=80%) 130重量部 ポリビニルピロリドン(GAFコーポレーション社製PVP、K−90) 60重量部 弗素系界面活性剤(旭硝子(株)社製サーフロンS−131) 10重量部 蒸留水 3350重量部
支持体の上に、以下の処方C1からなる塗布液を塗布、
乾燥させ、乾燥膜厚が2μmの遮光性感光性樹脂層を形
成した。 処方C1: ベンジルメタクリレート/メタクリル酸共重合体 (モル比=70/30、極限粘度=0.12) 30.00重量部 ペンタエリスリトールテトラアクリレート 7.40重量部 ミヒラーズケトン 0.04重量部 2(ο−クロロフェニル)−4,5−ジフェニル イミダゾール2量体 0.40重量部 カーボンブラック 2.80重量部 ハイドロキノンモノメチルエーテル 0.01重量部 メチルセロソルブアセテート 280.00重量部 メチルエチルケトン 140.00重量部
プロピレン(厚さ12μm)の被覆シートを圧着し、遮
光性感光性転写材料を作成した。この遮光性感光性樹脂
層の感光波長は350nmから420nmであり、光源
に超高圧水銀灯を用いた場合の主感光波長は365nm
(i線)と405nm(h線)であり、OD(光学濃
度)は1.5であった。(マクベス濃度計を用いて測
定) 次に、実施例1の表1に示した組成の赤、緑、青の着色
感光層を形成した。ただし、全色に7-((4-クロロ-6-(シ゛エチル
アミノ)-S-トリアシ゛ン-2-イル)アミノ)-3-フェニルクマリンを固形分8%にな
るように添加した。これを用い、ガラス基板(厚さ1.
1mm)上にR、G、Bカラーフィルターを作成した。
この場合、各色毎に220℃20分の熱処理を行い、各
画素を完全硬化させた。得られた各色画素のi線および
h線の透過率は、表4の通りであった。
し、遮光性感光性樹脂層面を上記のR、G、B画素を有
するカラーフィルター面にラミネーター(大成ラミネー
タ(株)製VP−II)を用いて加圧(0.8kg/c
m2)、加熱(130℃)して貼り合わせ、続いて仮支
持体と熱可塑性樹脂層との界面で剥離し、仮支持体を除
去した。次にカラーフィルター面とは反対の側から超高
圧水銀灯を用いて裏露光を行ったが、この際、表4に示
したようにBのh線の透過率が2%を超えているので、
光源とサンプルの間に東芝ガラスフィルター(UVD3
6c)を介して露光量は100mj/cm2で行った。その
後、1%炭酸ナトリウム水溶液で現像して不要部を除去
し、R、G、B各画素間隙に遮光膜を形成した。出来上
がったカラーフィルターは遮光膜とRGB層との重なり
は無く、平坦性は良好であった。
ノ)-3-フェニルクマリンを7-((4-メトキシ-6-シ゛エチルアミノ)-s-トリアシ゛ン-2-イ
ル)アミノ)-3-フェニルクマリンに代えた以外は実施例2と同様にし
てカラーフィルターを作製した。この時、得られた各色
画素のi線およびh線の透過率は、表5の通りであっ
た。
ろ、同様の良好な結果を得た。
では、遮光性を有する感光性樹脂層を多色パターン上に
転写し、該画素上にある遮光性樹脂層が実質的に硬化し
ない状態で裏露光できるので、平坦性の優れたカラーフ
イルターを容易に作成することができる。
Claims (5)
- 【請求項1】 透明基板上に、それぞれ光の3原色の1
を有する画素により形成された多色パターン及び該画素
が存在しない部分を遮光する遮光性を有する画素を設け
たカラーフィルターの製造方法において、透明基板上に
該多色パターン形成する工程、該多色パターンを覆って
該透明基板上の全面に遮光性感光性樹脂層を転写により
形成する工程、該透明基板を通して活性光線を照射し、
該遮光性感光性樹脂層を硬化させる工程、該遮光性感光
性樹脂層を現像して該多色パターンが存在しない部分に
遮光性を有する画素を形成する工程、を含むことを特徴
とするカラーフィルターの作成方法。 - 【請求項2】 請求項1において、該多色パターン画素
が、耐熱性でかつ、該遮光性感光性樹脂層の感光波長域
に対する光吸収性が良好な化合物を含有することを特徴
とするカラーフィルター作成方法。 - 【請求項3】 請求項2において、該遮光性感光性樹脂
層の感光波長域における該多色パターン画素の光透過率
が2%以下であることを特徴とするカラーフィルター作
成方法。 - 【請求項4】 請求項1において、該透明基板を通し
て、該遮光性感光性樹脂層の感光波長域における該多色
パターン画素の光透過率が2%以下である波長を有する
光を照射することを特徴とするカラーフィルター作成方
法。 - 【請求項5】 請求項1において、該活性光線の光源と
該透明基板の間に、少なくとも該遮光性感光性樹脂層の
感光波長域の400nm以上の波長の光透過率が2%以
下であるフィルターを設けることを特徴とするカラーフ
ィルターの作成方法。
Priority Applications (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP11154393A JP3308038B2 (ja) | 1992-06-10 | 1993-05-13 | カラーフィルターの作成方法 |
US08/241,571 US5489621A (en) | 1993-05-12 | 1994-05-12 | Process for forming colored partial picture element and light-shielding light-sensitive resin composition used therefor |
US08/556,090 US5780203A (en) | 1993-05-12 | 1995-11-09 | Process for forming colored partial picture element and light-shielding light-sensitive resin composition used therefor |
Applications Claiming Priority (3)
Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
---|---|---|---|
JP4-150691 | 1992-06-10 | ||
JP15069192 | 1992-06-10 | ||
JP11154393A JP3308038B2 (ja) | 1992-06-10 | 1993-05-13 | カラーフィルターの作成方法 |
Publications (2)
Publication Number | Publication Date |
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-
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- 1993-05-13 JP JP11154393A patent/JP3308038B2/ja not_active Expired - Fee Related
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