JPS5931924A - サ−モグラフイ装置 - Google Patents

サ−モグラフイ装置

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Publication number
JPS5931924A
JPS5931924A JP57141870A JP14187082A JPS5931924A JP S5931924 A JPS5931924 A JP S5931924A JP 57141870 A JP57141870 A JP 57141870A JP 14187082 A JP14187082 A JP 14187082A JP S5931924 A JPS5931924 A JP S5931924A
Authority
JP
Japan
Prior art keywords
lens
objective
field
image
objective lens
Prior art date
Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
Pending
Application number
JP57141870A
Other languages
English (en)
Inventor
Yuuichi Morishita
森下 侑一
Current Assignee (The listed assignees may be inaccurate. Google has not performed a legal analysis and makes no representation or warranty as to the accuracy of the list.)
Jeol Ltd
Original Assignee
Jeol Ltd
Nihon Denshi KK
Priority date (The priority date is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the date listed.)
Filing date
Publication date
Application filed by Jeol Ltd, Nihon Denshi KK filed Critical Jeol Ltd
Priority to JP57141870A priority Critical patent/JPS5931924A/ja
Publication of JPS5931924A publication Critical patent/JPS5931924A/ja
Pending legal-status Critical Current

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Classifications

    • GPHYSICS
    • G02OPTICS
    • G02BOPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
    • G02B13/00Optical objectives specially designed for the purposes specified below
    • G02B13/14Optical objectives specially designed for the purposes specified below for use with infrared or ultraviolet radiation

Landscapes

  • Physics & Mathematics (AREA)
  • Health & Medical Sciences (AREA)
  • Toxicology (AREA)
  • General Physics & Mathematics (AREA)
  • Optics & Photonics (AREA)
  • Radiation Pyrometers (AREA)
  • Measuring And Recording Apparatus For Diagnosis (AREA)

Abstract

(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。

Description

【発明の詳細な説明】 こ0)発明はr象界走査のザーモlラフィ装置に関する
ものである。
赤外線輻射を面測定し画r象にする−11−モクラフイ
装置においては、対物レンズを標準、広角、望遠などの
交換レンズ方式さするこ♂か行われている。第1図およ
び第2図は従来の1象界走査の一す゛−モクラーフイ装
置を示す光路図である。第1図fatにおいて、1は対
物レンズ、2はこの対物レンズの結隊面、6はこの結r
象面に焦点を一致させた二Jリメータレンズ、4はこの
コリメータレンズに対向して配置された走査ミラー、5
はこの走査ミラーにより走査された赤外線を集光する集
光レンズ、6はその焦点に設けられた赤外線検出素子、
f、はコリメータレンズ6の焦点圧加である。
上記のように構成された→l−−モクラフイ装置におい
ては、物体(視野)から放射さイする赤外線は対物レン
ズ1を通して結1象面2に結像17.7311メータレ
ンズ3により平行光線に変えろイ1、走査ミラー4で水
平方向および垂直方向に走査さイ11、さらに集光レン
ズ5により集光され、赤外線検出素子6によって検出さ
れる。
上記は対物レンズ1が標準レンズの場合を示(ッておC
)、この場合、人旧瞳位1作7か対物17・ンス1の位
置にあるので、対物レンズ1を小さく市るこさができる
第1図(hli二を対物1ンス1を交↑ヴ1シフて望遠
L ’/スにした場合のソr、略図であり、第1図(、
I)み同一91号(ま同一・才たけ相当部分を示ず。1
,1は交換さイまた対′吻1ンス゛で、望遠1.ンスの
場合を示している。、L記のよ・)に構成さIしたり一
一一モクラークf装置においては、第1図i、′Ilの
場合と同様に走査さイL検出さ1するが、対物レンズ1
a0Ll立置(i第1図にl)の入り、■瞳位置/、J
:は一致ぜす、対物レンズ18おしてt′i友1)すの
jうのを必曹とする。
第2図1.T)は対物l・゛/ス1さして標準トンスを
1吏用(7た場合、第2図(1))は対′吻しンス1,
1として望遠しンスを使用した場合の第1図(at、(
1))さは異なった光学配置にした光路図でI)す、G
)−i’れの場合も入り月1吊位置7は対物レンズ1.
1aσ)位置さ一致せず、大型の対物レンズを必要とす
る。
このように従来のリーモクラフィ装置においては、対物
レンズを標準、望遠、広角なとの交換し・ンス方式とし
た場合、入q、1瞳位置と対物レンズの位置を一致させ
るこさかでき一4゛、ずべCθ)交換L・ンスを小さい
構造とすることかできなかった。このため結鐵11:能
が悪fヒし、]ス1〜高を招くおいう問題点があった。
こθ)発明は土、記θ)よ・うな問題点を解決づ−るた
めのもので、対物レンズの結r象面の位置にノイールト
レンスを配置づ−ることにより、入射瞳位置を対物レン
ズの近傍に存在さぜ、交換レンズを小型イヒA−る。−
1:おもに、結[象性能を向上さぜることので六る一す
−モクラフイ装置を提供づ〜るこさを目的としている。
この発明は対物レンズ、コリメークレンズ、走査ミラー
、集ytレンスおよび検出素子づ]−有する像界走査の
ザーモクラフィ装置において、★で1物レンズの結1象
面の位置をコリメータレンズの焦点f〜’L Bさ一致
させ、かつこの位置にフィールドレンズを配置し、入射
瞳位置が対物レンズの近傍に存在するようにしたこさを
特徴とする一す−−モクラフィ装置である。
以F、本発明を図示実施例により緒、明する。第5図(
211、(1))は第2図1−+l、(hli・こ対1
.シ、する本発明の一実施例によるr象界ル査の−11
−−モクラーノイ装置を示す光路図であり、第1図およ
び第2図り同一符号は同一・または相当部分を示づ−0
8,8aはフィールドし・ノスであって、対物し・ンス
1の結1象而2の位置に配F、+さイア、でおり、これ
により対物レンズ1(7)位置に入射瞳位置7が6在す
−るようになる。第ろ図(atおよQ: l+lの光学
配置では、−フィールドレンズ8(才たは8a)の焦点
距+911は対物し・ンズ1(または1a)と結r象面
2の間隔さほぼ等しい値に設旧されている。第ろ図にI
)にお()る対物レンズ1は標準し・ンスの場合を示し
ている。第3図(1))では対物]・ンス1は望遠レン
ズ1aに置きかえらイアるさ同時に、フィールドレンズ
8もより長い焦点距離0)フィールドレンズ8aに置き
かえらイ′Iろ。
上記のように構成されたり−〔クラフィ装置においては
、従来のものと同様に走査され検出されるが、あらゆる
交換レンズの場合に、対物レンズ1の位置に入射瞳位置
7が存在するようになり、対物レンズ1を小型イヒでき
る。
第4図は第6図(alを変形した他の実施例を示す光路
図であり、フィールドレンズ8bとして焦点距離の短い
レンズを使用することにより、コリメークレンズ6を小
型化するこLができる。
以−ヒの説明において、各レンズは簡’I5化のため、
単レンズで代表して図示したが、組合1.]′L、ンズ
であってもよく、実際には2〜3枚の組合ぜレンズが実
用的である。また対物レンズ1.1J1とフィールドレ
ンズ8,8a、8b とを組合せC交換レンズを形成し
、両者を一体さして交換することがでキル。各レンズは
ノTルマニ゛ツノ1、ンリ二Yン等ニヨり形成さイする
第1図1alでは対物レンズ1さして標準し・ンズを使
用する場合について、フィールドレンズ8を配置する例
を示したが、標準L/ンズのS合は第1図(alに示す
ような光学配置にずれは、フィールドレンズ8を使用し
なくても、入射瞳位置7が対物し・ンス1さ一致するか
ら、標準レンズの場合は第1図1alの従来の光学系さ
し、望遠レンズおよび広角レンズ(Cついて、フイール
トレンス♂組合せるように構成するこLもできる。
またフィールドし・ンヌ8と同一平面で、視野を遮ら4
fい位置ζこ1個または複数の基準黒体を配置[7て、
この基べf11置を走査ミラー4て走査するよ′)にず
れは、表示される」J−千1象の基準温度僚乏(7て使
用できる。検出素子6の構造等については制限はなく、
多素子であってもよい。
以1−説明[7てきたように1本発明によれは、対物1
..・ス゛の結(象面のイゼ装置に一ノイールドレンス
を配置したので1入射瞳(,7置を対物し、ンスの近傍
に台rT:さぜ 対物レンズを小型fヒすることができ
ろ。
このため交換レンズを小型イヒしてコスト夕・°ノンす
るこきができる(!−おもに、結(象性能を向トさせる
ことができるなどの効果り、3ある、
【図面の簡単な説明】
第1図および第2図は従来の1家界走査のサーモグラフ
ィ装置を示す光路図であり、第1図Catは対物トンズ
に入射瞳位置を一致させた従来の1象界走査の(l−−
モクラフィ装置を示す光路図、第1図(b)は対物レン
ズを交換して望遠レンズにj7たfJ71会の光路図、
第2図(alは対物レンズとして標準し・ンスを使用し
た場合、第2図(I))は対物レン゛4として望遠レン
ズを使用した場合の第1図(al、(1+l (I: 
Iま異なった光学配置にした3、3合の光路図、午、3
図(,1)は第2図に旧こ対応する本発明の−・実施例
に−F、 /’l ′II−−−モグラフイAA置装示
ずう′C;路図1第6図(13+ 11第2図(1))
に対応する本発明の一実施例によるザニモクラフイ装置
を示す光路図、第4図は本発明の他の実施例によるサー
モグラフィ装置を示す光路図である。 各図中、同一符号は同−才たはイ目当部分を示し、1.
1aは対物レンズ、2は結f象面、6はコリメークレン
ズ、4は走査ミラー、5はS tレンズ、6は赤外線検
出素子、7は入射瞳位置、8.8a、 8bはフィール
ドレンズである。 代理人 弁理士 柳 原   成

Claims (1)

  1. 【特許請求の範囲】 111  対物レンズ、=1リメーク1.ンス、走査ミ
    ラー、集ゲ(4レンズおよび検出素子を有するけ界走査
    のリーモクラフイ装置において、対物レンズの結像面の
    1i′r、凶をコリメータレンズの焦点位置き一致さゼ
    、かつこの位置にフィールドし・ンズを配置し、入射瞳
    位置が対物し・ンズの近傍に存在するよ・)に[ッたこ
    とを特徴とずろり−−モクラーフイ装賄(21対物レン
    ズとフィールドレンスサヲ一体として交換++J能さし
    た特8′[請求の範囲第1項記載のリーモクラフイ装置 (つ)  フィールドレンズと同一・3F而で視野を遮
    うない位置に基準黒体を配置した′持許請求の範囲第1
    項または第2項記載のり゛−モクラフイ装置
JP57141870A 1982-08-16 1982-08-16 サ−モグラフイ装置 Pending JPS5931924A (ja)

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JP57141870A JPS5931924A (ja) 1982-08-16 1982-08-16 サ−モグラフイ装置

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JP57141870A JPS5931924A (ja) 1982-08-16 1982-08-16 サ−モグラフイ装置

Publications (1)

Publication Number Publication Date
JPS5931924A true JPS5931924A (ja) 1984-02-21

Family

ID=15302073

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Application Number Title Priority Date Filing Date
JP57141870A Pending JPS5931924A (ja) 1982-08-16 1982-08-16 サ−モグラフイ装置

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Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5560913A (en) * 1978-10-31 1980-05-08 Fujitsu Ltd Infrared video apparatus

Patent Citations (1)

* Cited by examiner, † Cited by third party
Publication number Priority date Publication date Assignee Title
JPS5560913A (en) * 1978-10-31 1980-05-08 Fujitsu Ltd Infrared video apparatus

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