JPS5930509A - カラ−固体撮像素子 - Google Patents
カラ−固体撮像素子Info
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- JPS5930509A JPS5930509A JP57139856A JP13985682A JPS5930509A JP S5930509 A JPS5930509 A JP S5930509A JP 57139856 A JP57139856 A JP 57139856A JP 13985682 A JP13985682 A JP 13985682A JP S5930509 A JPS5930509 A JP S5930509A
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- Japan
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- dye
- state image
- general formula
- solid
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- G—PHYSICS
- G02—OPTICS
- G02B—OPTICAL ELEMENTS, SYSTEMS OR APPARATUS
- G02B5/00—Optical elements other than lenses
- G02B5/20—Filters
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- Physics & Mathematics (AREA)
- General Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Optical Filters (AREA)
- Solid State Image Pick-Up Elements (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明は、カラー固体撮像素子に関するものである。
たとえば、ＶＴＲ用カメラなどにおいて、カラー画像に
対応するカラー信号を取り出すために、受光部にマイク
ロカラーフィルターを設けたカラー撮像管が従来より−
・般的に用いられている。これらのカラー撮像管は、た
とえば、サチコン、ビジコンなどと呼ばれる種類の撮像
管により代表されるものである。
対応するカラー信号を取り出すために、受光部にマイク
ロカラーフィルターを設けたカラー撮像管が従来より−
・般的に用いられている。これらのカラー撮像管は、た
とえば、サチコン、ビジコンなどと呼ばれる種類の撮像
管により代表されるものである。
一方、最近では撮像管に代るデバイスとして、たとえば
、ＣＣＤ、ＢＢＤ、Ｍｏｓなどの各種の固体撮像素子が
開発されたため、上記のＶＴＲ用−カメラなどの小型化
を主な目的として、固体撮像素子とマイクロカラーフィ
ルターとを組み合わせたカラー゛固体撮像素子の実用化
の検討が行なわれており、一部では既に実用化されてい
る。
、ＣＣＤ、ＢＢＤ、Ｍｏｓなどの各種の固体撮像素子が
開発されたため、上記のＶＴＲ用−カメラなどの小型化
を主な目的として、固体撮像素子とマイクロカラーフィ
ルターとを組み合わせたカラー゛固体撮像素子の実用化
の検討が行なわれており、一部では既に実用化されてい
る。
カラー固体撮像素子は、一般に微小の画素と呼ばれる光
電変換素子と、走査回路を集積化した平板状の撮像集積
回路（Ｉ Ｃ）とからなる固体撮像素子の受光部の表面
に、それぞれの画素に対応する赤、緑、青、シアン、マ
ゼンタ、およびイエローなどの微小の色分解フィルター
要素（着色樹脂膜）がモザイク状あるいはストライブ状
に数種類組み合わされたマイクロカラーフィルターが付
設された構１成から、なるものば２ある。
電変換素子と、走査回路を集積化した平板状の撮像集積
回路（Ｉ Ｃ）とからなる固体撮像素子の受光部の表面
に、それぞれの画素に対応する赤、緑、青、シアン、マ
ゼンタ、およびイエローなどの微小の色分解フィルター
要素（着色樹脂膜）がモザイク状あるいはストライブ状
に数種類組み合わされたマイクロカラーフィルターが付
設された構１成から、なるものば２ある。
カラー固体撮像素子は、一般には、「貼り合せ法」ある
いは「オン・ウェハー法」と呼ばれる方法により製造さ
れる。
いは「オン・ウェハー法」と呼ばれる方法により製造さ
れる。
このうち貼り合せ法は、固体撮像素子の各画素に対応す
る色分解フィルター要素をガラスなどの透明支持体上に
形成してマイクロカラーフィルターを製造し、これを固
体撮像素子の表面に接着し４てカラー固体撮像素子とす
る方法である。従って、この方法では、独立に製造した
マイクロカラーフィルターを固体撮像素子表面に接着す
る際に、固体撮像素子の各画素に対して色分解フィルタ
ー要素の各々が正確に対応するように厳密に制御する操
作が必要となる。
る色分解フィルター要素をガラスなどの透明支持体上に
形成してマイクロカラーフィルターを製造し、これを固
体撮像素子の表面に接着し４てカラー固体撮像素子とす
る方法である。従って、この方法では、独立に製造した
マイクロカラーフィルターを固体撮像素子表面に接着す
る際に、固体撮像素子の各画素に対して色分解フィルタ
ー要素の各々が正確に対応するように厳密に制御する操
作が必要となる。
一方、オン・ウェハー法は、固体撮像素子の上に直接マ
イクロカラーフィルターを形成する方法である。従って
、このオン・ウェハー法は、固体撮像素子の製造プロセ
スに組み込むことが可能となり、カラー固体撮像素子の
製造が容易となるとの利点がある。
イクロカラーフィルターを形成する方法である。従って
、このオン・ウェハー法は、固体撮像素子の製造プロセ
スに組み込むことが可能となり、カラー固体撮像素子の
製造が容易となるとの利点がある。
なお、オンφウェハー法には、固体撮像素子を多数個配
列したウェハー上にそれぞれの固体撮像素子の各画素に
対応した色分解フィルター要素を形成することにより多
数個のカラー固体撮像素子を同時に製造する方法と、固
体撮像素子を多数個配列したウェハーから単体の固体撮
像素子（チップ）を切り出し、この各チップの上に色分
解フィルター要素を形成することにより単一のカラー固
体撮像素子を製造する方法（オン・チップ法）が知られ
ているが、本明細書においては、これらのいずれの方法
をもオン・ウェハー法に含めるものである。
列したウェハー上にそれぞれの固体撮像素子の各画素に
対応した色分解フィルター要素を形成することにより多
数個のカラー固体撮像素子を同時に製造する方法と、固
体撮像素子を多数個配列したウェハーから単体の固体撮
像素子（チップ）を切り出し、この各チップの上に色分
解フィルター要素を形成することにより単一のカラー固
体撮像素子を製造する方法（オン・チップ法）が知られ
ているが、本明細書においては、これらのいずれの方法
をもオン・ウェハー法に含めるものである。
固体撮像素子は、前述のように光電変換素子と走査回路
とを高度に集積化した平板状のＩＣからなるなるもので
あり、このため固体撮像素子は、ごみ、ちり、アルカリ
金属などで代表される不純物による汚染を非常に嫌うも
のである。そのような不純物により汚染された固体撮像
素子は、予め予定された特性を示さない結果となること
が多く製品の歩留りの低下に直接結びつく。従って、固
体撮像素子にマイクロカラーフィルターを付設する工程
においても、そのような不純物の混入を極力避けるため
に高度な配慮がなされている。
とを高度に集積化した平板状のＩＣからなるなるもので
あり、このため固体撮像素子は、ごみ、ちり、アルカリ
金属などで代表される不純物による汚染を非常に嫌うも
のである。そのような不純物により汚染された固体撮像
素子は、予め予定された特性を示さない結果となること
が多く製品の歩留りの低下に直接結びつく。従って、固
体撮像素子にマイクロカラーフィルターを付設する工程
においても、そのような不純物の混入を極力避けるため
に高度な配慮がなされている。
本発明は、上記のような技術的背景のもとに、固体撮像
素子に付設するマイクロカラーフィルターの着色樹脂膜
の着色を、特定の一般式で表わされるアルカリ金属を含
有しない色素を用いて行なうことにより、固体撮像素子
のアルカリ金属汚染の危険性を極力防ぐことを可能にし
たカラー固体撮像素子を提供することをその目的とする
ものである。
素子に付設するマイクロカラーフィルターの着色樹脂膜
の着色を、特定の一般式で表わされるアルカリ金属を含
有しない色素を用いて行なうことにより、固体撮像素子
のアルカリ金属汚染の危険性を極力防ぐことを可能にし
たカラー固体撮像素子を提供することをその目的とする
ものである。
すなわち、本発明は、マイクロカラーフィルターの着色
樹脂膜が一般式（１）： ％式％（） （ただし、Ｄは色素部分、Ｘは複数の非金属原子からな
るカチオン、そしてｍは１〜６の整数である）により表
わされる色素により着色されていることを特徴とするカ
ラー固体撮像素子からなるものである。
樹脂膜が一般式（１）： ％式％（） （ただし、Ｄは色素部分、Ｘは複数の非金属原子からな
るカチオン、そしてｍは１〜６の整数である）により表
わされる色素により着色されていることを特徴とするカ
ラー固体撮像素子からなるものである。
次に本発明の詳細な説明する。
本発明は、固体撮像素子の受光部表面に形成されるマイ
クロカラーフィルターの着色樹脂膜の調製に際して、そ
の色素として、従来より使用されてきた各種のアルカリ
金属含有色素の代りに、その一部あるいは全部を一般式
（１）： ％式％（１） により表わされる色素を用いることにより、固体撮像素
子のアルカリ金属などによる汚染の危険性を極力防ぐよ
うにしたカラー固体撮像素子を提供するものである。
クロカラーフィルターの着色樹脂膜の調製に際して、そ
の色素として、従来より使用されてきた各種のアルカリ
金属含有色素の代りに、その一部あるいは全部を一般式
（１）： ％式％（１） により表わされる色素を用いることにより、固体撮像素
子のアルカリ金属などによる汚染の危険性を極力防ぐよ
うにしたカラー固体撮像素子を提供するものである。
上記一般式（Ｉ）において、Ｄは色素部分、Ｘは複数の
非金属原子からなるカチオン、そしてｍは１〜６の整数
を表わす。
非金属原子からなるカチオン、そしてｍは１〜６の整数
を表わす。
Ｄの色素部分に対応する色素の好ましい例としては、ア
ゾ色素、ビスアン色素、およびフタロシアニン色素を挙
げることができる。
ゾ色素、ビスアン色素、およびフタロシアニン色素を挙
げることができる。
アゾ色素としては、一般式（■）：
Ａ−Ｎ＝Ｎ−Ｂ （ＩＩＩ）（ただし、
Ａはカップリング成分から誘導される基、そして、Ｂは
アゾ成分から誘導される基であり、前記の−（ＳＯ３Ｘ
）Ｔｒｌなる基は、ＡおよびＢの両方、あるいはいずれ
かの一方に結合している）で表わされるものが好ましい
。ここで、カップリング成分の例としては、フェノール
、ナフトール、５−ピラゾロン、ビリジノール、アニリ
ン、ナフチルアミン、５−アミノピラゾール、および、
アミノピリジン（これらは、いずれも置換基を有してい
てもよい）を挙げることができる。
Ａはカップリング成分から誘導される基、そして、Ｂは
アゾ成分から誘導される基であり、前記の−（ＳＯ３Ｘ
）Ｔｒｌなる基は、ＡおよびＢの両方、あるいはいずれ
かの一方に結合している）で表わされるものが好ましい
。ここで、カップリング成分の例としては、フェノール
、ナフトール、５−ピラゾロン、ビリジノール、アニリ
ン、ナフチルアミン、５−アミノピラゾール、および、
アミノピリジン（これらは、いずれも置換基を有してい
てもよい）を挙げることができる。
また、アゾ成分の例としては、アニリン、ナフチルアミ
ン、および芳香族複素環アミン（これらは、いずれも置
換基を有していてもよい）を挙げることができる。
ン、および芳香族複素環アミン（これらは、いずれも置
換基を有していてもよい）を挙げることができる。
ビスアゾ色素としては、一般式（ＩＶ） ：Ａ−Ｎ＝
Ｎ−Ｂ’−Ｎ−Ｎ−Ａ’ （ＩＶ）（ただし、Ａ
およびＡ′はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、カ
ップリング成分から誘導される基を表わし、そして、Ｂ
ｏはアゾ成分から誘導される基であり、前記の−（ＳＯ
３Ｘ）、なる基は、Ａ、Ａ’およびＢのすべて、あるい
はいづれか一つに一個あるいは複数個結合している）で
表わされるものが好ましい。ここで、カップリング成分
の例としては、フェノール、ナフトール、５−ピラゾロ
ン、ビリジノール、アニリン、ナフチルアミン、５−ア
ミノピラゾール、およびアミノピリジン（これらは、い
ずれも置換基を有していてもよい）を挙げることができ
る。また、アゾ成分から誘導されるＢｏの例としては、
（これらの各基は、いずれも置換基を有していてもよい
）を挙げることができる。
Ｎ−Ｂ’−Ｎ−Ｎ−Ａ’ （ＩＶ）（ただし、Ａ
およびＡ′はそれぞれ同一でも異なっていてもよく、カ
ップリング成分から誘導される基を表わし、そして、Ｂ
ｏはアゾ成分から誘導される基であり、前記の−（ＳＯ
３Ｘ）、なる基は、Ａ、Ａ’およびＢのすべて、あるい
はいづれか一つに一個あるいは複数個結合している）で
表わされるものが好ましい。ここで、カップリング成分
の例としては、フェノール、ナフトール、５−ピラゾロ
ン、ビリジノール、アニリン、ナフチルアミン、５−ア
ミノピラゾール、およびアミノピリジン（これらは、い
ずれも置換基を有していてもよい）を挙げることができ
る。また、アゾ成分から誘導されるＢｏの例としては、
（これらの各基は、いずれも置換基を有していてもよい
）を挙げることができる。
フタロシアニン色素の例としては、銅フタロシアニン色
素を挙げることができる。
素を挙げることができる。
上記一般式（Ｉ）において、Ｘにより表わされる複数の
非金属原子か・らなるカチオンの例としては、置換基が
含まれることもあるピリジニウムカチオン、および、置
換基が含まれることもあるキノリニウムカチオンなどの
芳香族ヘテｂ環塩基より導かれるカチオン、そして、一
般式（■）：（Ｒ’）（Ｒ”）（Ｒ３）（Ｒ４）Ｎ＋
（ｎ）（ただし、Ｈｔ、Ｈｚ、Ｒ３およびＲ４はそ
れぞれ同一でも異なっていてもよく、水素原子、脂肪族
基あるいは芳香族基を表わす）で表わされる第四級イオ
ンを挙げることができる。
非金属原子か・らなるカチオンの例としては、置換基が
含まれることもあるピリジニウムカチオン、および、置
換基が含まれることもあるキノリニウムカチオンなどの
芳香族ヘテｂ環塩基より導かれるカチオン、そして、一
般式（■）：（Ｒ’）（Ｒ”）（Ｒ３）（Ｒ４）Ｎ＋
（ｎ）（ただし、Ｈｔ、Ｈｚ、Ｒ３およびＲ４はそ
れぞれ同一でも異なっていてもよく、水素原子、脂肪族
基あるいは芳香族基を表わす）で表わされる第四級イオ
ンを挙げることができる。
、なお、上記の一般式（Ｉｌ、）のＲ１，Ｒ２、Ｒ３お
よびＲ４の内、少なくとも一つは水素原子であり、かつ
、その他は、炭素数１〜６の低級アルキル基、あるいは
、フェニル基（炭素数１〜６の低級アルキル基もしくは
、炭素数１〜６の低級アルコキシル基で置換されていて
もよい）であることが好ましい。
よびＲ４の内、少なくとも一つは水素原子であり、かつ
、その他は、炭素数１〜６の低級アルキル基、あるいは
、フェニル基（炭素数１〜６の低級アルキル基もしくは
、炭素数１〜６の低級アルコキシル基で置換されていて
もよい）であることが好ましい。
次に、前記の一般式（Ｉ）により表わされ、本発明にお
いて好ましく使用される色素の例を挙げる。
いて好ましく使用される色素の例を挙げる。
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
色素−３（イエロー）
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
色素−６（イエロー）
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
Ｙ＋はピリジこラムカチオンを意味する。
Ｙ＋はピリジこラムカチオンを意味する。
−９（イエロー
５ｏ−ｙ”
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
ｓｏ”’ｙ＋
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
色素−１２（イエロー）
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
色素−１６（イエロー）
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
色素−１７（イエロー）
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
ＯＹ
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
Ｙ＋はピリジニウムカチオンを意味する。
色 −２２（イエロー）
色素２１の式を有し、Ｙ＋が（Ｃ２Ｈｓ）３ ＮＨ＋で
ある色素 色素−２３（イエロー） 色素２１の式を有し、Ｙ＋が（Ｃ２Ｈ５）２ＮＨ２＋で
ある色素 である色素 である色素 である色素 ある色素 Ｙ＋はピリジニウムカチオンを、Ｒ５はＨを、そしてＲ
６はＣ（ＣＨ３）３を意味する。
ある色素 色素−２３（イエロー） 色素２１の式を有し、Ｙ＋が（Ｃ２Ｈ５）２ＮＨ２＋で
ある色素 である色素 である色素 である色素 ある色素 Ｙ＋はピリジニウムカチオンを、Ｒ５はＨを、そしてＲ
６はＣ（ＣＨ３）３を意味する。
仮１ニヱ」（マゼンタ）
色素２８を有し、Ｒ５がＨｌそして、Ｒ６かに→ であ
る色素。
る色素。
／ｆ″！−３０（マゼンタ）
色素２８を有し、Ｒ５がＨｌそして、Ｒ６が色素２８に
おいて、Ｒ５とＲ６が共にＣＨ２５ である色素。
おいて、Ｒ５とＲ６が共にＣＨ２５ である色素。
ｂ−−−３２（マゼンタ
Ｙ十はピリジニウムカチオンを、Ｒ７はＨを、モしてＲ
８はｃ（ＯＨ３）３を意味する。
８はｃ（ＯＨ３）３を意味する。
色素−３３（マゼンタ）
色素３２を有し、Ｒ７がＨｌそして、Ｒ８が色素３２を
有し、ＲがＨｌそして、Ｒ８が色素２８において、ｈ７
とＲ８が共にＣ２Ｈ５である色素。
有し、ＲがＨｌそして、Ｒ８が色素２８において、ｈ７
とＲ８が共にＣ２Ｈ５である色素。
色素−３６（シアン）
（ＣｕＰｃ）−（Ｓｏ、 Ｙ＋） ４［（Ｃｕｒｅ）
は銅フタロシアニン核を意味し、そしてＹ＋はピリジニ
ウムカチオンを意味するコ 色素−３７（シアン） 色素３６の式を有し、Ｙ十が（ＯＨ）ＮＨ＋で ５３ あるフタロシアニン色素。
は銅フタロシアニン核を意味し、そしてＹ＋はピリジニ
ウムカチオンを意味するコ 色素−３７（シアン） 色素３６の式を有し、Ｙ十が（ＯＨ）ＮＨ＋で ５３ あるフタロシアニン色素。
あるフタロシアニン色素。
色素−３９（シアン）
であるフタロシアニン色素。
色素−４０（シアン）
色素３６の式を有し、Ｙ＋がＮＨ十であるフタ０シアニ
ン色素。
ン色素。
色素−４１（シアン）
色素３６の式を有し、Ｙ＋がＣＨ３Ｎ）Ｉ３＋であるフ
タロシアニン色素。
タロシアニン色素。
色素−４２（シアン）
色素３６の式を有し、Ｙ＋がＣ２Ｈ５ＮＨ３＋であるフ
タロシアニン色素。
タロシアニン色素。
色素−４３（シアン）
色素３６の式を有し、Ｙ＋が（Ｃ２Ｈ５）２ ＮＨ十で
であるフタロシアニン色素。
であるフタロシアニン色素。
であるフタロシアニン色素。
色素−４６（シアン）
色素３６の式を有し、Ｙ＋が（Ｃ２Ｈ５）３８）ｌ＋で
あるフタロシアニン色素。
あるフタロシアニン色素。
色素−４７（イエロー）
カラーインデックス（Ｃ，１，）アシッドイエロー１４
１のピリジニウム塩。
１のピリジニウム塩。
本発明で使用する一般式（Ｉ）の色素は、たとえば、一
般式（Ｖ）： Ｄ （Ｓ ｏ、 Ｍ） ｍ （Ｖ）（Ｄは
前述の意味を表わし、そして、Ｍはアルカリ金属イオン
である）で表わされる色素にハロゲン化剤を作用させて
、一般式（ＶＩ） ：Ｄ （ＳＯｚＨａｌ ） ｍ
（Ｖｌ）（Ｄは前述の意味を表わし、そし
て、Ｈａｌはハロゲン原子である）で表わされる化合物
を得たのち、これに、複数の非金属原子からなる有機塩
基もしくはアンモニア、およびプロトン源（好ましくは
、水）を作用させることにより製造することができる。
般式（Ｖ）： Ｄ （Ｓ ｏ、 Ｍ） ｍ （Ｖ）（Ｄは
前述の意味を表わし、そして、Ｍはアルカリ金属イオン
である）で表わされる色素にハロゲン化剤を作用させて
、一般式（ＶＩ） ：Ｄ （ＳＯｚＨａｌ ） ｍ
（Ｖｌ）（Ｄは前述の意味を表わし、そし
て、Ｈａｌはハロゲン原子である）で表わされる化合物
を得たのち、これに、複数の非金属原子からなる有機塩
基もしくはアンモニア、およびプロトン源（好ましくは
、水）を作用させることにより製造することができる。
上記の製造法において使用するハロゲン化剤の例として
は、オキシ塩化リン、五塩化リン、クロルスルホン酸、
塩化チオニルのようなりロル化剤を挙げることができる
。
は、オキシ塩化リン、五塩化リン、クロルスルホン酸、
塩化チオニルのようなりロル化剤を挙げることができる
。
本発明の一般式（Ｉ）で表わされる色素を含む着色樹脂
膜を固体撮像素子に付設してマイクロカラーフィルター
を備えたカラー固体撮像素子とする方法としては、一般
に次のような方法を利用することができる。
膜を固体撮像素子に付設してマイクロカラーフィルター
を備えたカラー固体撮像素子とする方法としては、一般
に次のような方法を利用することができる。
固体撮像素子の受光部に１重クロム酸ゼラチンなどの光
硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂層を形成し、−
その表面に露光用パターンを通過した光を照射して、樹
脂層にモザイク状あるいはストライプ状の硬化部分を生
成させる。次いで、この樹脂層を適当な溶媒で洗浄する
ことにより、未硬化部分を溶解除去して、モザイク状あ
るいはストライプ状の硬化樹脂層を得て、次に、この硬
化樹脂層を、一般式（Ｉ）で表わされる赤、緑、青、シ
アン、マゼンタ、あるいはイエローなどの内の一種の色
素で染色して、色分解フィルター要素（着色樹脂膜）Ｉ
を形成する。
硬化性樹脂溶液を塗布して光硬化性樹脂層を形成し、−
その表面に露光用パターンを通過した光を照射して、樹
脂層にモザイク状あるいはストライプ状の硬化部分を生
成させる。次いで、この樹脂層を適当な溶媒で洗浄する
ことにより、未硬化部分を溶解除去して、モザイク状あ
るいはストライプ状の硬化樹脂層を得て、次に、この硬
化樹脂層を、一般式（Ｉ）で表わされる赤、緑、青、シ
アン、マゼンタ、あるいはイエローなどの内の一種の色
素で染色して、色分解フィルター要素（着色樹脂膜）Ｉ
を形成する。
次いで、このように形成した色分解フィルター要素の上
に色汚染防止層を形成し、更にその上に同様にして光硬
化性樹脂層を形成し、その表面に別の露光用パターンを
通過した光を照射して、樹脂層に別のモザイク状あるい
はストライプ状の硬化部分を生成させる。そして、同様
にして未硬化樹脂部分を除去し、硬化樹脂層を別の色素
（一般式（Ｉ）で表わされる色素を用いることが望まし
い）で染色して色分解フィルター要素（着色樹脂膜）■
を形成する。さらに、必要によりこのような色分解フィ
ルター要素形成の操作を繰り返して所望の色分解フィル
タ一群を形成させたのち、最後に表面被覆層を形成する
ことによりマイクロカラーフィルターの形成を完了する
。
に色汚染防止層を形成し、更にその上に同様にして光硬
化性樹脂層を形成し、その表面に別の露光用パターンを
通過した光を照射して、樹脂層に別のモザイク状あるい
はストライプ状の硬化部分を生成させる。そして、同様
にして未硬化樹脂部分を除去し、硬化樹脂層を別の色素
（一般式（Ｉ）で表わされる色素を用いることが望まし
い）で染色して色分解フィルター要素（着色樹脂膜）■
を形成する。さらに、必要によりこのような色分解フィ
ルター要素形成の操作を繰り返して所望の色分解フィル
タ一群を形成させたのち、最後に表面被覆層を形成する
ことによりマイクロカラーフィルターの形成を完了する
。
なお、上記の各々の操作の間あるいはその前後には、回
路形成のために必要なポンディングパッド部の露出化操
作なども含まれることもあるが、これらの操作は本発明
とは直接関係がないため、説明を省略する。
路形成のために必要なポンディングパッド部の露出化操
作なども含まれることもあるが、これらの操作は本発明
とは直接関係がないため、説明を省略する。
また、各々の着色樹脂膜に色汚染防止のための表面改質
処理を行なうことにより前記の色汚染防止層の付設を省
略することもできる。
処理を行なうことにより前記の色汚染防止層の付設を省
略することもできる。
前記の一般式（Ｉ）により表わされる色素によって右色
された着色樹脂膜よりなるマイクロカラーフィルターが
付設された本発明のカラー固体撮像素子は、その固体撮
像素子部分が、従来より使用されているアルカリ金属含
有色素を用いた場合に比較して、有害なアルカリ金属成
分による汚染から、はるかに有効に保護され、得られる
カラー固体撮像素子が所定の特性を示さなくなる危険性
は顕著に低下するため、実用上優れたカラー固体撮像素
子となる。
された着色樹脂膜よりなるマイクロカラーフィルターが
付設された本発明のカラー固体撮像素子は、その固体撮
像素子部分が、従来より使用されているアルカリ金属含
有色素を用いた場合に比較して、有害なアルカリ金属成
分による汚染から、はるかに有効に保護され、得られる
カラー固体撮像素子が所定の特性を示さなくなる危険性
は顕著に低下するため、実用上優れたカラー固体撮像素
子となる。
次に本発明の実施例を示す。
なお、以下の実施例で使用した色素−４７は次の［製造
例１］に記載する方法により製造したもので、前述の色
素−４７に対応するものである。
例１］に記載する方法により製造したもので、前述の色
素−４７に対応するものである。
また、色素−１〜色素−３５も同様な方法により製造し
たもので、同じく、前述の各色素番号に対応するもので
ある。
たもので、同じく、前述の各色素番号に対応するもので
ある。
［製造例１］
カラーインデックス（Ｃ，１，）・アシッドイエロー１
４１（２４ｇ）をＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミド４８ｍ
Ｍに溶解し、この溶液に、オキシ塩化リン４８ｍ文を３
０分間かけて４０〜５０℃の温度にて滴下した。この混
合物を、室温で１時間撹拌したのち、約５００ｍＭの氷
水中に注加した。析出した結晶を濾取し、水洗、乾燥し
た。このようにしてスルホニルクロリド（５、５ｇ）を
得た。
４１（２４ｇ）をＮ、Ｎ−ジメチルアセトアミド４８ｍ
Ｍに溶解し、この溶液に、オキシ塩化リン４８ｍ文を３
０分間かけて４０〜５０℃の温度にて滴下した。この混
合物を、室温で１時間撹拌したのち、約５００ｍＭの氷
水中に注加した。析出した結晶を濾取し、水洗、乾燥し
た。このようにしてスルホニルクロリド（５、５ｇ）を
得た。
上記のスルホニルクロリド（５、０ｇ）をＮ。
Ｎ−ジメチルアセトアミド２５ｍＭに溶解し、この溶液
に、ピリジン５ｍＭを攪拌下に滴下した。
に、ピリジン５ｍＭを攪拌下に滴下した。
次いで、この溶液に水１ｍＪ１を加え、室温にて８０分
間攪拌した。この反応液に、水４０＋ｎＱそして３５％
塩酸（４０ｍＡ）を順次滴下した。析出した結晶を濾取
し、希塩酸で洗浄したのち空気中にて乾燥した。このよ
うにして色素−４７（イエロー）２．７ｇを得た。
間攪拌した。この反応液に、水４０＋ｎＱそして３５％
塩酸（４０ｍＡ）を順次滴下した。析出した結晶を濾取
し、希塩酸で洗浄したのち空気中にて乾燥した。このよ
うにして色素−４７（イエロー）２．７ｇを得た。
原子吸光分光法の測定結果によれば、この色素−４７の
Ｎａ含壱量は０．０７重量％、そして、Ｋ含有量は０．
０３重量％以下であった。
Ｎａ含壱量は０．０７重量％、そして、Ｋ含有量は０．
０３重量％以下であった。
また１色素−３６は次の［製造例２］に記載する方法に
より製造したもので、前述の色素−３６に対応するもの
である。また、色素−３７〜色素−４６も同様な方法に
より製造したもので、同じく、前述の各色素番号に対応
するものである。
より製造したもので、前述の色素−３６に対応するもの
である。また、色素−３７〜色素−４６も同様な方法に
より製造したもので、同じく、前述の各色素番号に対応
するものである。
［製造例２］
銅フタロシアニン１０ｇを１３０ｇのクロルスルホン酸
中に５０℃以下の温度にて分割投入したのち１反応混合
物を１３０℃で４時間攪拌した。
中に５０℃以下の温度にて分割投入したのち１反応混合
物を１３０℃で４時間攪拌した。
攪拌終了後、この反応混合物を３５℃に冷却し、８００
ｍＪｌの氷水中に注加した。析出した結晶を濾取し、水
洗、乾燥した。このようにして銅フタロシアニンテトラ
スルホニルクロリド（ｔ３ｇ）を得た。
ｍＪｌの氷水中に注加した。析出した結晶を濾取し、水
洗、乾燥した。このようにして銅フタロシアニンテトラ
スルホニルクロリド（ｔ３ｇ）を得た。
」―記の銅フタロシアニンテトラスルホニルクロリド（
１３ｇ）をメタノール２００ｍＪＬに溶解し、この溶液
に、ピリジン３４ｍＪ１を撹拌下に滴下した０次いで、
この溶液を、室温にて１時間還流した。還流終了後、こ
の反応液を冷却し、析出した結晶を濾取し、メタノール
で洗浄したのち乾燥した。このようにして式： ％式％） （ただし、Ｐｃはフタロシアニンを表わし、モしてＰｙ
Ｈ＋はピリジニウムカチオンを表わす）で表わされる色
素−３６（シアン）１２ｇを得た。
１３ｇ）をメタノール２００ｍＪＬに溶解し、この溶液
に、ピリジン３４ｍＪ１を撹拌下に滴下した０次いで、
この溶液を、室温にて１時間還流した。還流終了後、こ
の反応液を冷却し、析出した結晶を濾取し、メタノール
で洗浄したのち乾燥した。このようにして式： ％式％） （ただし、Ｐｃはフタロシアニンを表わし、モしてＰｙ
Ｈ＋はピリジニウムカチオンを表わす）で表わされる色
素−３６（シアン）１２ｇを得た。
原子吸光分光法の測定結果によれば、この色素−３６の
Ｎａ含有量は０．０２重量％、そして、Ｋ含有量は０．
０２重量％以下であった。
Ｎａ含有量は０．０２重量％、そして、Ｋ含有量は０．
０２重量％以下であった。
［実施例１］
ＣＣＤタイプの固体撮像素子（表面にリンケイ酸ガラス
からなる保護層および透明有機高分子化合物からなる平
滑化層が設けられているもの）の平滑化層の上に厚さ０
．７ミクロンの重クロム酸ゼラチン光硬化性樹脂層を設
け、この」二にモザイク模様からなるマスク（露光パタ
ーン）を置いて密着露光を行なった。次いで、露光した
樹脂層を温湯で洗浄して、樹脂の未硬化部分を溶出除去
して、モザイク状の凸部からなる硬化樹脂層を残した。
からなる保護層および透明有機高分子化合物からなる平
滑化層が設けられているもの）の平滑化層の上に厚さ０
．７ミクロンの重クロム酸ゼラチン光硬化性樹脂層を設
け、この」二にモザイク模様からなるマスク（露光パタ
ーン）を置いて密着露光を行なった。次いで、露光した
樹脂層を温湯で洗浄して、樹脂の未硬化部分を溶出除去
して、モザイク状の凸部からなる硬化樹脂層を残した。
この硬化樹脂層を色素−４７で染色して着色（イエロー
）樹脂農工を調製した。
）樹脂農工を調製した。
次いで、このように形成した着色樹脂膜Ｉの上にｐ−フ
ェニレンジアクリル酸エチル−１，４−ビス（β−ヒド
ロキシエトキシ）シクロヘキサンを用いて色汚染防止層
を形成し、更にその上に同様にして光硬化性樹脂層を形
成し、その表面に別の露光用パターンを通過した光を照
射して、樹脂層に別のモザイク状の硬化部分を生成させ
た。そして、同様にして未硬化樹脂部分を除去し、硬化
樹脂層を色素−３６で染色して着色（シアン）樹脂膜■
を調製した。
ェニレンジアクリル酸エチル−１，４−ビス（β−ヒド
ロキシエトキシ）シクロヘキサンを用いて色汚染防止層
を形成し、更にその上に同様にして光硬化性樹脂層を形
成し、その表面に別の露光用パターンを通過した光を照
射して、樹脂層に別のモザイク状の硬化部分を生成させ
た。そして、同様にして未硬化樹脂部分を除去し、硬化
樹脂層を色素−３６で染色して着色（シアン）樹脂膜■
を調製した。
最後にｐ−フェニレンジアクリル酸エチル−１，４−ビ
ス（β−ヒドロキシエトキシ）シクロヘキサンを用いて
表面被覆層を形成することによりマイクロカラーフィル
タ一部の形成を行ない、カラー固体撮像素子を得た。
ス（β−ヒドロキシエトキシ）シクロヘキサンを用いて
表面被覆層を形成することによりマイクロカラーフィル
タ一部の形成を行ない、カラー固体撮像素子を得た。
［実施例２〜１５］
着色樹脂膜Ｉおよび着色樹脂膜■の染色用の色素を、そ
れぞれ、第１表に記載した各色素に変えた以外は同様に
してカラー固体撮像素子を得た。
れぞれ、第１表に記載した各色素に変えた以外は同様に
してカラー固体撮像素子を得た。
なお、以下の実施例で使用した各色素は、前述の色素番
号に対応するものである 第１表 実施例 着色樹脂層重 着色樹脂膜■２
色素１ 色素３６３ 色素４
同上４ 色素５ 回
」ニー５ 色素６ 同上６
色素８ 同上７ 色素９
回」−８色素ｌＯ同上 ９ 色素１１ 同上１０
色素１５ 色素３７１１ 色素２１
同上１２ 色素２２ 同
上１３ 色素２４ 同」ニ１４
色素２５ 色素３８１５ 色素
２７ 同上特許出願人 富士写真フィルム株
式会社代理人 弁理士 柳川泰男
号に対応するものである 第１表 実施例 着色樹脂層重 着色樹脂膜■２
色素１ 色素３６３ 色素４
同上４ 色素５ 回
」ニー５ 色素６ 同上６
色素８ 同上７ 色素９
回」−８色素ｌＯ同上 ９ 色素１１ 同上１０
色素１５ 色素３７１１ 色素２１
同上１２ 色素２２ 同
上１３ 色素２４ 同」ニ１４
色素２５ 色素３８１５ 色素
２７ 同上特許出願人 富士写真フィルム株
式会社代理人 弁理士 柳川泰男
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 １、マイクロカラーフィルターの着色樹脂膜が一般式（
１）： ％式％（） （ただし、Ｄは色素部分、Ｘは複数の非金属原子からな
るカチオン、モしてｍは１〜６の整数である）により表
わされる色素により着色されていることを特徴とするカ
ラー固体撮像素子。 ２゜一般式（Ｉ）のＸが芳香族へテロ環塩基より導かれ
るカチオンであることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のカラー固体撮像素子。 ３゜一般式（Ｉ）のＸが、置換基が含まれることもある
ピリジニウムカチオンであることを特徴とする特許請求
の範囲第２項記載のカラー固体撮像素子。 ４゜一般式（Ｉ）のＸが、置換基が含まれることもある
キノリニウムカチオンであることを特徴とする特許請求
の範囲第２項記載のカラー固体撮像素子。 ５゜一般式（Ｉ）のＸが、一般式（■）：（Ｒ１）（Ｒ
”）（Ｒ３）（Ｒ’）Ｎ” （ＩＩ）（ただし、Ｒ
１，Ｒ２，１ｌｉ３およびＲ４はそれぞれ同一でも異な
っていてもよく、水素原子、脂肪族基あるいは芳香族基
を表わす）であることを特徴とする特許請求の範囲第１
項記載のカラー固体撮像素子。 ６、一般式（Ｉ）のＤが、アゾ色素部分であることを特
徴とする特許請求の範囲第１項乃至５項のいずれかの項
記載のカラー固体撮像素子。 ７゜一般式（Ｉ）のＤが、ビスアゾ色素部分であること
を特徴とする特許請求の範囲第１項乃至第５項のいずれ
かの項記載のカラー固体撮像素子８゜一般式（Ｉ）のＤ
が、フタロシアニン色素部分であることを特徴とする特
許請求の範囲第１項乃至５項のいずれかの項記載のカラ
ー固体撮像素子。
Priority Applications (2)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139856A JPS5930509A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | カラ−固体撮像素子 |
| DE19833329219 DE3329219C2 (de) | 1982-08-13 | 1983-08-12 | Verwendung eines gefärbten Filterelementes |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57139856A JPS5930509A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | カラ−固体撮像素子 |
Publications (1)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5930509A true JPS5930509A (ja) | 1984-02-18 |
Family
ID=15255126
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57139856A Pending JPS5930509A (ja) | 1982-08-13 | 1982-08-13 | カラ−固体撮像素子 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5930509A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP1508597A1 (en) | 2003-08-20 | 2005-02-23 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Curable composition, negative type color filter and method of producing the same |
| US7169516B2 (en) | 2002-06-28 | 2007-01-30 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Dye-containing curable composition, color filter and method of manufacturing the same |
| US7306884B2 (en) | 2002-03-28 | 2007-12-11 | Fujifilm Corporation | Dye-containing curable composition, color filter prepared using the same, and process of preparing color filter |
| EP2036954A2 (en) | 2007-09-14 | 2009-03-18 | FUJIFILM Corporation | Azo compound, curable composition, color filter, and method of producing the same |
| JP2011528740A (ja) * | 2008-07-23 | 2011-11-24 | クラリアント・ファイナンス・（ビーブイアイ）・リミテッド | 酸性染料 |
| JP2012208454A (ja) * | 2010-05-28 | 2012-10-25 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | カラーフィルタ用赤色着色組成物、およびカラーフィルタ |
-
1982
- 1982-08-13 JP JP57139856A patent/JPS5930509A/ja active Pending
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| US7306884B2 (en) | 2002-03-28 | 2007-12-11 | Fujifilm Corporation | Dye-containing curable composition, color filter prepared using the same, and process of preparing color filter |
| US7169516B2 (en) | 2002-06-28 | 2007-01-30 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Dye-containing curable composition, color filter and method of manufacturing the same |
| EP1508597A1 (en) | 2003-08-20 | 2005-02-23 | Fuji Photo Film Co., Ltd. | Curable composition, negative type color filter and method of producing the same |
| US8216749B2 (en) | 2003-08-20 | 2012-07-10 | Fujifilm Corporation | Curable composition, negative type color filter and method of producing the same |
| EP2036954A2 (en) | 2007-09-14 | 2009-03-18 | FUJIFILM Corporation | Azo compound, curable composition, color filter, and method of producing the same |
| US8101325B2 (en) | 2007-09-14 | 2012-01-24 | Fujifilm Corporation | Azo compound, curable composition, color filter, and method of producing the same |
| JP2011528740A (ja) * | 2008-07-23 | 2011-11-24 | クラリアント・ファイナンス・（ビーブイアイ）・リミテッド | 酸性染料 |
| JP2012208454A (ja) * | 2010-05-28 | 2012-10-25 | Toyo Ink Sc Holdings Co Ltd | カラーフィルタ用赤色着色組成物、およびカラーフィルタ |
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