JPS5927793A - レ−ザ光光路保護カバ− - Google Patents
レ−ザ光光路保護カバ−Info
- Publication number
- JPS5927793A JPS5927793A JP57138209A JP13820982A JPS5927793A JP S5927793 A JPS5927793 A JP S5927793A JP 57138209 A JP57138209 A JP 57138209A JP 13820982 A JP13820982 A JP 13820982A JP S5927793 A JPS5927793 A JP S5927793A
- Authority
- JP
- Japan
- Prior art keywords
- optical path
- reflection mirror
- total reflection
- light
- laser beam
- Prior art date
- Legal status (The legal status is an assumption and is not a legal conclusion. Google has not performed a legal analysis and makes no representation as to the accuracy of the status listed.)
- Granted
Links
Classifications
-
- B—PERFORMING OPERATIONS; TRANSPORTING
- B23—MACHINE TOOLS; METAL-WORKING NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- B23K—SOLDERING OR UNSOLDERING; WELDING; CLADDING OR PLATING BY SOLDERING OR WELDING; CUTTING BY APPLYING HEAT LOCALLY, e.g. FLAME CUTTING; WORKING BY LASER BEAM
- B23K26/00—Working by laser beam, e.g. welding, cutting or boring
- B23K26/70—Auxiliary operations or equipment
- B23K26/702—Auxiliary equipment
Landscapes
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Physics & Mathematics (AREA)
- Optics & Photonics (AREA)
- Plasma & Fusion (AREA)
- Mechanical Engineering (AREA)
- Lasers (AREA)
- Laser Beam Processing (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
〔発明の技術分野〕
この発明は、レーザ光伝送系に用いるレーザ光光路保護
カバーに関する。
カバーに関する。
一般にレーザ発振器によって得られるレーザ光は指光性
のよい光であって、集光レンズで集光することによって
高い出力密度のものが得られるので、被加工物の孔明け
、溶接、切１１１１１、焼−人れなど広く各種の加工工
程に利用されてい。
のよい光であって、集光レンズで集光することによって
高い出力密度のものが得られるので、被加工物の孔明け
、溶接、切１１１１１、焼−人れなど広く各種の加工工
程に利用されてい。
る。
このようにレーザ発振器のレーザ光を被加工物に照射す
る場合には、従来、第１図に示ずようにレーザ発振器１
から発射されたレーリ′光１１はビームシャツダニニッ
ト２に入射され、ビームシャッタによりオン・オフされ
る。モしてレーザ１光１ノはビームシャッタユニット２
からレーザ光光路保護カバー３を通してビーム折曲げ用
全反射ミラー４へ導かれる。そして、この全反射ミラー
４により、レーリ′光１１は９００折り曲げられ、集光
レンズ５に導かれる。この集光レンズ５でレーザ光１ノ
は集光され、加工ノズル６を通過して被加工物７に照射
される。尚、図中８は被加工物載台、９は架台、１０は
ザボートである。
る場合には、従来、第１図に示ずようにレーザ発振器１
から発射されたレーリ′光１１はビームシャツダニニッ
ト２に入射され、ビームシャッタによりオン・オフされ
る。モしてレーザ１光１ノはビームシャッタユニット２
からレーザ光光路保護カバー３を通してビーム折曲げ用
全反射ミラー４へ導かれる。そして、この全反射ミラー
４により、レーリ′光１１は９００折り曲げられ、集光
レンズ５に導かれる。この集光レンズ５でレーザ光１ノ
は集光され、加工ノズル６を通過して被加工物７に照射
される。尚、図中８は被加工物載台、９は架台、１０は
ザボートである。
ところで、上記の光路保護カバー３附近を拡大して示す
る第２図のようになり、一般１ご鉄バイブに黒色塗装を
したもの、或いは銅パイプ、アルミパイプ、又は黒色ア
ルマイト処理したアルミパイプ、その他のものではアク
リル、塩化ビニル、ポリエチレンなどのプラスチックか
らなるパイプが用いられている。このような光路保護カ
バー３は、空間的にレーザ光１１の通過光路を閉じて光
路中にゴミ、ホコリ等が入らないようにして、全反射ミ
ラー４が汚れないように保護し、又、光路中に外部から
の異物が侵入し１／−ザ光１ノを遮え切ったり、散乱し
たりしないように保護する。勿論、人体がレーザ光１１
に触れないようにすることは明らかである。
る第２図のようになり、一般１ご鉄バイブに黒色塗装を
したもの、或いは銅パイプ、アルミパイプ、又は黒色ア
ルマイト処理したアルミパイプ、その他のものではアク
リル、塩化ビニル、ポリエチレンなどのプラスチックか
らなるパイプが用いられている。このような光路保護カ
バー３は、空間的にレーザ光１１の通過光路を閉じて光
路中にゴミ、ホコリ等が入らないようにして、全反射ミ
ラー４が汚れないように保護し、又、光路中に外部から
の異物が侵入し１／−ザ光１ノを遮え切ったり、散乱し
たりしないように保護する。勿論、人体がレーザ光１１
に触れないようにすることは明らかである。
第２図に示すように、レーザ光１１と光路保護カバー３
は成る程度の距離をもって配置されている。ところが、
もし伺らかの原因によってレーザ光１ノが正規の方向か
らずれて、光路保護カバー３に照射されるような場合に
は、光路保護カバー３がレーザ光１１の良好な反射体で
できているときには、正規な光路からずれ、予想されな
い所に照射され、人体に危害を島えたり、構造物を損傷
したり、様々な被害を乃えた。
は成る程度の距離をもって配置されている。ところが、
もし伺らかの原因によってレーザ光１ノが正規の方向か
らずれて、光路保護カバー３に照射されるような場合に
は、光路保護カバー３がレーザ光１１の良好な反射体で
できているときには、正規な光路からずれ、予想されな
い所に照射され、人体に危害を島えたり、構造物を損傷
したり、様々な被害を乃えた。
そこで、レーザ光１１の光路ずれを検出するため、第３
図（ａｌ 、 （ｂｌに示ずような光路保ｉ碩〕Ｊバー
１２が提案され、レーリ′光吸収体１３と感熱素子１４
が設けられている。そして、レーザ光Ｚ１が全反射ミラ
ー４の配列ミス等により光路ずれを起こずと、レーザ光
１ノはＩ／ −”）’ゲＧ１吸収体１３に当たって吸収
され、そのエネルギーは熱番こ変換される。そのため吸
収体１３の温度が上孔するので、それを感熱素子１４に
より検出している。
図（ａｌ 、 （ｂｌに示ずような光路保ｉ碩〕Ｊバー
１２が提案され、レーリ′光吸収体１３と感熱素子１４
が設けられている。そして、レーザ光Ｚ１が全反射ミラ
ー４の配列ミス等により光路ずれを起こずと、レーザ光
１ノはＩ／ −”）’ゲＧ１吸収体１３に当たって吸収
され、そのエネルギーは熱番こ変換される。そのため吸
収体１３の温度が上孔するので、それを感熱素子１４に
より検出している。
しかし、従来の光路保護カバー１２は上記のような機能
までしか持たず、全反射ミラー４の汚れや損失を検出す
る機能を有していなかった。
までしか持たず、全反射ミラー４の汚れや損失を検出す
る機能を有していなかった。
この発明の目的は、全反射ミラーの汚れ（こよる散乱光
を検出するようにしたＩ／−ヂ光光路保ｍカバーを提供
することである。
を検出するようにしたＩ／−ヂ光光路保ｍカバーを提供
することである。
この発明は、レーザ発振器から出たレーザ光が全反射ミ
ラーを介して被加工物に至る光路に設けられる筒状にし
てＬ字形のレーザ光光路保護カバーにおいて、上記全反
射ミラーによす変更した光路側に註記全反射ミラーに対
向し且つ光路の軸に対して１５’〜４５°の範囲の位置
（こ散乱光検出素子を設けたレーザ光光路保護カバーで
ある。
ラーを介して被加工物に至る光路に設けられる筒状にし
てＬ字形のレーザ光光路保護カバーにおいて、上記全反
射ミラーによす変更した光路側に註記全反射ミラーに対
向し且つ光路の軸に対して１５’〜４５°の範囲の位置
（こ散乱光検出素子を設けたレーザ光光路保護カバーで
ある。
この発明のレーザ光光路保護カバーは第４図（ａｔ 、
（ｂｌに示すように構成され、レーザ発振器から発射
され正規の光路を通ってきたレーザ光ＩＩは、全反射ミ
ラー４により反射され、被加工物の方へ進む。このとき
、もし全反射ミラー４上にゴミ１５が付着していると、
そのゴミ１５＃こよりレーザ光１１が散乱され、散乱光
１６が発生する。
（ｂｌに示すように構成され、レーザ発振器から発射
され正規の光路を通ってきたレーザ光ＩＩは、全反射ミ
ラー４により反射され、被加工物の方へ進む。このとき
、もし全反射ミラー４上にゴミ１５が付着していると、
そのゴミ１５＃こよりレーザ光１１が散乱され、散乱光
１６が発生する。
そこで、この発明では、全反射ミラー４により折曲げら
れたレーザ光ＩＩを導くための筒状にしてＬ字形の光路
保護カバー１７において、光路変更の内側つまり全反射
ミラー４に対向し、且つ光路の軸に対して１５°〜４５
°の範囲に位置するように、散乱光検出素子１８が股ｋ
ｌられている。この散乱光検出素子１８としては、レー
ザ光１１の種類に合わぜてバイＯＸ子、太陽電池、フォ
トダイオード、ＣｄＴｅ、〕第１・マル等が用いられ、
ゴミ１５からの散乱光を検出する。
れたレーザ光ＩＩを導くための筒状にしてＬ字形の光路
保護カバー１７において、光路変更の内側つまり全反射
ミラー４に対向し、且つ光路の軸に対して１５°〜４５
°の範囲に位置するように、散乱光検出素子１８が股ｋ
ｌられている。この散乱光検出素子１８としては、レー
ザ光１１の種類に合わぜてバイＯＸ子、太陽電池、フォ
トダイオード、ＣｄＴｅ、〕第１・マル等が用いられ、
ゴミ１５からの散乱光を検出する。
検出された信号は、測定器（図示せず）により処理され
、全反射ミラー４の汚れの度合が判別される。
、全反射ミラー４の汚れの度合が判別される。
この発明によれば、全反射ミラー４により２〔更した光
路側に、全反射ミラー４に対向し且つ光路の軸に対して
１５°〜４５°の範囲の位置に散乱光検出素子１８を設
けたので、全反射ミラー４の汚れが全反射ミラー４０分
解目視によることなく、連続的に判別することができる
。
路側に、全反射ミラー４に対向し且つ光路の軸に対して
１５°〜４５°の範囲の位置に散乱光検出素子１８を設
けたので、全反射ミラー４の汚れが全反射ミラー４０分
解目視によることなく、連続的に判別することができる
。
尚、この発明は全反射ミラー４についてのみ示したが、
部分透過ミラー、ウィンドウ、加−■ニ用−レンズ等に
ついて応用できることは勿論である。
部分透過ミラー、ウィンドウ、加−■ニ用−レンズ等に
ついて応用できることは勿論である。
第１図は一般に用いられているレーザ加工装置を示す概
略構成図、第２図及び第３図は従来のレーザ光光路保護
カバーを示す断面図、第４図（ａｌ 、 （ｂＪはこの
発明の一実施例に係るレーザ光光路保護カバーを示す断
面図である。 １・・・レーザ発振器、４・・・全反射ミラー・１１・
・・レーザ光、１５・・・ゴミ、１６・・・散乱光、１
７・・・レーザ光光路保護カバー、１８・・・散乱光検
出素子。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図
略構成図、第２図及び第３図は従来のレーザ光光路保護
カバーを示す断面図、第４図（ａｌ 、 （ｂＪはこの
発明の一実施例に係るレーザ光光路保護カバーを示す断
面図である。 １・・・レーザ発振器、４・・・全反射ミラー・１１・
・・レーザ光、１５・・・ゴミ、１６・・・散乱光、１
７・・・レーザ光光路保護カバー、１８・・・散乱光検
出素子。 出願人代理人 弁理士 鈴 江 武 彦第２図
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 レーザ発振器から出たレーザ光が全反射ミラーを介して
被加工物Ｉこ至る光路に設けられる筒状にしてＬ字形の
レーザ光光路保護カバ一番こおいて、 上記全反射ミラーにより変更した光路側に、上記全反射
ミラーに対向し且つ光路の軸に対して１５°〜４５°の
範囲の位置に散乱光検出素子を設けたことを７＋？徴と
するレーザ光光路保護カバー〇
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57138209A JPS5927793A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | レ−ザ光光路保護カバ− |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57138209A JPS5927793A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | レ−ザ光光路保護カバ− |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5927793A true JPS5927793A (ja) | 1984-02-14 |
| JPS6254592B2 JPS6254592B2 (ja) | 1987-11-16 |
Family
ID=15216629
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57138209A Granted JPS5927793A (ja) | 1982-08-09 | 1982-08-09 | レ−ザ光光路保護カバ− |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5927793A (ja) |
Cited By (6)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3623409A1 (de) * | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Bias Forschung & Entwicklung | Verfahren zur ueberwachung des bearbeitungsprozesses mit einer hochleistungsenergiequelle, insbesondere einem laser, und bearbeitungsoptik zur durchfuehrung desselben |
| JPS63122784U (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-10 | ||
| JPS63191663U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-09 | ||
| EP1488882A1 (de) * | 2003-06-20 | 2004-12-22 | TRUMPF Laser GmbH + Co. KG | Einrichtung zur Überwachung eines optischen Elements eines Bearbeitungskopfes einer Maschine zur thermischen Bearbeitung eines Werkstücks |
| US7162140B2 (en) | 2004-07-16 | 2007-01-09 | Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg | Monitoring an optical element of a processing head of a machine for thermal processing of a workpiece |
| JP2012179627A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Amada Co Ltd | ファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法及びファイバーレーザ加工機の加工ヘッド |
-
1982
- 1982-08-09 JP JP57138209A patent/JPS5927793A/ja active Granted
Cited By (8)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| DE3623409A1 (de) * | 1986-07-11 | 1988-01-21 | Bias Forschung & Entwicklung | Verfahren zur ueberwachung des bearbeitungsprozesses mit einer hochleistungsenergiequelle, insbesondere einem laser, und bearbeitungsoptik zur durchfuehrung desselben |
| US4772772A (en) * | 1986-07-11 | 1988-09-20 | Bias Forschungs und Entwicklungslabor fur Angewandte Strahtechnik GmbH | Process for the supervision of the machining process using a high-power energy source, in particular a laser, and machining optical system for carrying out the same |
| JPS63122784U (ja) * | 1987-02-04 | 1988-08-10 | ||
| JPH0515427Y2 (ja) * | 1987-02-04 | 1993-04-22 | ||
| JPS63191663U (ja) * | 1987-05-29 | 1988-12-09 | ||
| EP1488882A1 (de) * | 2003-06-20 | 2004-12-22 | TRUMPF Laser GmbH + Co. KG | Einrichtung zur Überwachung eines optischen Elements eines Bearbeitungskopfes einer Maschine zur thermischen Bearbeitung eines Werkstücks |
| US7162140B2 (en) | 2004-07-16 | 2007-01-09 | Trumpf Laser Gmbh + Co. Kg | Monitoring an optical element of a processing head of a machine for thermal processing of a workpiece |
| JP2012179627A (ja) * | 2011-03-01 | 2012-09-20 | Amada Co Ltd | ファイバーレーザ加工機におけるレーザ出力および戻り光検出方法及びファイバーレーザ加工機の加工ヘッド |
Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPS6254592B2 (ja) | 1987-11-16 |
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