JPS5927584A - 高分子複合多孔質圧電体およびその製造方法 - Google Patents
高分子複合多孔質圧電体およびその製造方法Info
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- JPS5927584A JPS5927584A JP57135671A JP13567182A JPS5927584A JP S5927584 A JPS5927584 A JP S5927584A JP 57135671 A JP57135671 A JP 57135671A JP 13567182 A JP13567182 A JP 13567182A JP S5927584 A JPS5927584 A JP S5927584A
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- Japan
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- piezoelectric
- composite porous
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- H10—SEMICONDUCTOR DEVICES; ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N—ELECTRIC SOLID-STATE DEVICES NOT OTHERWISE PROVIDED FOR
- H10N30/00—Piezoelectric or electrostrictive devices
- H10N30/80—Constructional details
- H10N30/85—Piezoelectric or electrostrictive active materials
- H10N30/852—Composite materials, e.g. having 1-3 or 2-2 type connectivity
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- Chemical & Material Sciences (AREA)
- Engineering & Computer Science (AREA)
- Composite Materials (AREA)
- Materials Engineering (AREA)
- Manufacture Of Porous Articles, And Recovery And Treatment Of Waste Products (AREA)
Abstract
(57)【要約】本公報は電子出願前の出願データであるた
め要約のデータは記録されません。
め要約のデータは記録されません。
Description
【発明の詳細な説明】
本発明ｔよ、新規な高分子複合多孔質圧電体に関する。
更に詳しくは、高分子物質と圧電性無機物微粒子よシな
り、互いに連通しだ孔構造をもった高分子複合多孔質圧
電体に関するものである。
り、互いに連通しだ孔構造をもった高分子複合多孔質圧
電体に関するものである。
従来、圧電体としては、水晶・ロッシェル塩のような結
晶性物質、強誘電体磁器などが知られている。しかし、
これらケ」１、いずれも連通した孔を有する構造は有し
ていないので、たとえば振動フまで分極処理を行なうこ
とｔ上困難とされていた。
晶性物質、強誘電体磁器などが知られている。しかし、
これらケ」１、いずれも連通した孔を有する構造は有し
ていないので、たとえば振動フまで分極処理を行なうこ
とｔ上困難とされていた。
これを克服するノこめに、分極処理し７易いフィルム状
態で分極処理した後、ニー１２ルｔｌ−ラーに通し、部
分的裂断による連通孔を形成する方法があるが、ニーｒ
ルローラーとフィルム面接触に」、る荷重、ロスが生じ
る。また、多孔質体の空隙部に絶縁油を含侵させた後分
極処理するととも考えられるが、含浸が完全になされで
′いないと絶縁破壊を生じ易く、実用的でない。結局、
従来大きな圧電性を有する多孔質圧電体ｔま得られなか
った。
態で分極処理した後、ニー１２ルｔｌ−ラーに通し、部
分的裂断による連通孔を形成する方法があるが、ニーｒ
ルローラーとフィルム面接触に」、る荷重、ロスが生じ
る。また、多孔質体の空隙部に絶縁油を含侵させた後分
極処理するととも考えられるが、含浸が完全になされで
′いないと絶縁破壊を生じ易く、実用的でない。結局、
従来大きな圧電性を有する多孔質圧電体ｔま得られなか
った。
本発明は、前記の事情に鑑みて開発されたものであシ、
圧電性能が大きく、連通孔を有し、適度の可撓性を有し
、すなわち高分子物質の選択によって所望の弾性率にす
ることができ、フィルム状、中空糸状に形成できる高分
子複合多孔質圧電体およびその製造方法であり、その要
旨とするところ圧電体の製造方法である。
圧電性能が大きく、連通孔を有し、適度の可撓性を有し
、すなわち高分子物質の選択によって所望の弾性率にす
ることができ、フィルム状、中空糸状に形成できる高分
子複合多孔質圧電体およびその製造方法であり、その要
旨とするところ圧電体の製造方法である。
本発明に用いられる高分子物′Ｊ′ｔ ｉ、ｔ 、通常
、有機高分子物質と称されるものである。本発明におい
で灯オしい高分子物質としてｔよ、成形加工性の点から
熱ｎＪＪ性樹脂がａｆオ（２く、機械的強度のＫかう、
＋！リフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、デリプ１
１ピレン、７１εす塩化ビニル、ナイロン等が好ｔ１−
７い。更に成形力ＩビＪ二件の向上および目的物たる高
分子複合多孔質圧電体の弾性率をコントロール′、ｔ；
’、７’７めに、前記の熱ｔ＋Ｊ １１３月樹脂にこれ
らと相互に良く混じり合い相分？ｆｆを生じないエラス
トマーを追加することができる。それらのエラストマー
とｊ〜てｔ、１．、たとえばポリフッ化ビニリデン、ポ
リフッ化ビニル等に対しｒｔよフッ素系ゴム、ポリ塩化
ビニルに対してｔよニトリル２）１、ぼりゾロピレンに
対してｔまブチルゴム、ｙｌｒｌエリレンに対し−Ｃン
酸鉛系微粒子等が利用できる。圧電性無機物微粒子の大
きさをよ、ｉｏｏμ以下のこまかさのものが有効であり
、４０１を以トーのものが好ましい。この圧電性無機微
粒子ｔよ、高分子複合多孔質圧電体に用？１丁１性を伺
与−１るだめのものであるが、この含廟率が大きくなる
と複合体の成形加工ｆ１および可とう性が態化・する。
、有機高分子物質と称されるものである。本発明におい
で灯オしい高分子物質としてｔよ、成形加工性の点から
熱ｎＪＪ性樹脂がａｆオ（２く、機械的強度のＫかう、
＋！リフッ化ビニリデン、ポリフッ化ビニル、デリプ１
１ピレン、７１εす塩化ビニル、ナイロン等が好ｔ１−
７い。更に成形力ＩビＪ二件の向上および目的物たる高
分子複合多孔質圧電体の弾性率をコントロール′、ｔ；
’、７’７めに、前記の熱ｔ＋Ｊ １１３月樹脂にこれ
らと相互に良く混じり合い相分？ｆｆを生じないエラス
トマーを追加することができる。それらのエラストマー
とｊ〜てｔ、１．、たとえばポリフッ化ビニリデン、ポ
リフッ化ビニル等に対しｒｔよフッ素系ゴム、ポリ塩化
ビニルに対してｔよニトリル２）１、ぼりゾロピレンに
対してｔまブチルゴム、ｙｌｒｌエリレンに対し−Ｃン
酸鉛系微粒子等が利用できる。圧電性無機物微粒子の大
きさをよ、ｉｏｏμ以下のこまかさのものが有効であり
、４０１を以トーのものが好ましい。この圧電性無機微
粒子ｔよ、高分子複合多孔質圧電体に用？１丁１性を伺
与−１るだめのものであるが、この含廟率が大きくなる
と複合体の成形加工ｆ１および可とう性が態化・する。
釘って、複合体が適度の成形加工性、ＴｉＪとうｆｌお
よび圧電性を有するには、圧電性力１（捜物微粒子１」
１、高分子物質に対して体積比で０．１ない［７１１好
オしくｔま（）、２ないし０．７の割合で混合される。
よび圧電性を有するには、圧電性力１（捜物微粒子１」
１、高分子物質に対して体積比で０．１ない［７１１好
オしくｔま（）、２ないし０．７の割合で混合される。
本発明の高−分子複合、多孔質圧電体ヲ」１、実質的に
、高分子物り（と圧電性無機物微粒子からなり、更、に
圧電性無機物微粒子ｔ」、大部分が高分子物質中にとり
込められ、高分子複合多孔質圧電体の表面ｔよ、実り！
（的に高分子物ＩＪｒＩ層からなり、全体的に互いに１
１でいても良い。
、高分子物り（と圧電性無機物微粒子からなり、更、に
圧電性無機物微粒子ｔ」、大部分が高分子物質中にとり
込められ、高分子複合多孔質圧電体の表面ｔよ、実り！
（的に高分子物ＩＪｒＩ層からなり、全体的に互いに１
１でいても良い。
、かかる高分子複合多孔ｆｉ圧電体は、以下の方法によ
！Ｊ製製造ｎ能能ある。
！Ｊ製製造ｎ能能ある。
高分子物５！１、後ｎ１２の無機微粉体お上び有機液状
体の合Ｆｉｌ容ｈ（に対し７〜４２賓猷−の無機微粉体
に３０〜７５容Ｎ’ｔ％の有機液状体をヘンシェルミキ
ν一等の通常の混合機で混合して、有機液状体を無機微
粉体表面に吸着させる。次いで２０〜６゜容Ｍ％で、且
つ無機微粉体の２／３〜９倍趙の高分子物ＩＪｉを添加
しで混合する。この３成分混合物は、押出様、・ζンノ
ｉリーミキツー、ニーグー等の溶融混紗装買により混練
される。更に、この：ｌ成分混合物に圧電＋！１蕪機物
微粒子を高分子物質の軟化点以上の温度から分Ｗ（温度
までの間の温度で、ロール、プラストグラフ等で充分に
？′Ｉ？、合したのち、シート状、クィルノ・状あるい
Ｑ」、グユープ状、中空糸状に成形する。次いで、この
成形物の両面（チューブ０「中空糸の場合ｔ」、内外面
）に適当な電極をと。
体の合Ｆｉｌ容ｈ（に対し７〜４２賓猷−の無機微粉体
に３０〜７５容Ｎ’ｔ％の有機液状体をヘンシェルミキ
ν一等の通常の混合機で混合して、有機液状体を無機微
粉体表面に吸着させる。次いで２０〜６゜容Ｍ％で、且
つ無機微粉体の２／３〜９倍趙の高分子物ＩＪｉを添加
しで混合する。この３成分混合物は、押出様、・ζンノ
ｉリーミキツー、ニーグー等の溶融混紗装買により混練
される。更に、この：ｌ成分混合物に圧電＋！１蕪機物
微粒子を高分子物質の軟化点以上の温度から分Ｗ（温度
までの間の温度で、ロール、プラストグラフ等で充分に
？′Ｉ？、合したのち、シート状、クィルノ・状あるい
Ｑ」、グユープ状、中空糸状に成形する。次いで、この
成形物の両面（チューブ０「中空糸の場合ｔ」、内外面
）に適当な電極をと。
りつり、常温乃至１５．（１℃の温度でＩ Ｏ−１００
０ＫｖＡ：１ｎｆ７） ｉＦｉ、流１１シ圧を加え、宰
温せで徐冷′ノ°ることによシＦＩ）極処理を施−」。
０ＫｖＡ：１ｎｆ７） ｉＦｉ、流１１シ圧を加え、宰
温せで徐冷′ノ°ることによシＦＩ）極処理を施−」。
しかる後イーｊ機液状体および無機！粉体を、高分子物
質および圧電性無機物微粒子に不活性な抽出剤により抽
出除去する。
質および圧電性無機物微粒子に不活性な抽出剤により抽
出除去する。
きる。従って分極処理としてＶよ、公知の方法が利用で
きる。゛また、有機液状体および無機微粉体を抽出除去
することにより生じる多孔体であるため、その孔構造を
よ、互いに入り組んだ複雑な網目状となり、且つ有−磯
波状体、無機微粉体の種類および量により、孔径にして
０．０１°〜ｌ Ｂ…、空孔率悴して２５〜７５チまで
コントｒＩ−ルｒｉｆ能であり、厚みも数ｍｍ−数十／
Ｉｍ程度のものまで得られる。
きる。゛また、有機液状体および無機微粉体を抽出除去
することにより生じる多孔体であるため、その孔構造を
よ、互いに入り組んだ複雑な網目状となり、且つ有−磯
波状体、無機微粉体の種類および量により、孔径にして
０．０１°〜ｌ Ｂ…、空孔率悴して２５〜７５チまで
コントｒＩ−ルｒｉｆ能であり、厚みも数ｍｍ−数十／
Ｉｍ程度のものまで得られる。
前記のように、本発明に用いられる無機微粉体、有機液
状体は、成形物中よシ抽出され、成形物に多孔性を賦与
するためのものである。
状体は、成形物中よシ抽出され、成形物に多孔性を賦与
するためのものである。
無機微粉体は混合、溶融成形に際して有機液状体を保持
し、担体としての機能を持つものである。
し、担体としての機能を持つものである。
即ち、成形加工時に有機液状体の遊離を防１ト、シ、成
形を容易にするものである。かかる無機微粉体ｔ」１、
平均粒径（１、０（１５〜＋１ 、５７（＋ｎ 、比表
面ｉＪ（５０〜５００ｍ’／ ｇ＋の範囲にある微小粒
子ｔたｔよ多孔１イ１゛粒子で？二とが好ましい。この
様な無機微粉体とじでｔ」２、まだ、有機液状体をよ成
形加工時に液体でイ９す、かつ不活＋′１で４５ること
が必要でちる。更に、有機液状体ｔよ適ｌ＾°「に高分
子物質中に溶解し、かつ大半が熱機微粉体表面に吸着し
た状態を形成するように選択される。それらの有機液状
体としては、溶解パラメータ（ｏｐ値）が用いる高分子
物質の８１’値＋０，２ないし−１−２，５、まだｔ５
１１、高分子物ηの８■・値−２，５ないし−０，２の
範囲のものが好虜しい。有機液状体の８ ＩＩ’値と高
分子物質の８１’値との差が２．５を越えると、高分子
物５４１への溶解性が低下し成形時に遊離する。このた
め、高分子物質同志の溶着が妨けられ成形性が悪化する
と共に、成形物の強伸度が低下する。また、８Ｐ値の差
が０．２未満であると、高分子物質への溶８’（ｆＡが
増加し、無機微粉体への吸着量が小さくなる。その結果
、高分子物質同志の溶着が充分性なわれ、成形弾性率を
も二！ンｌ−ｒｒ−ルｎＪ能である。従って、圧１１で
５体と（７′ｔの一般的用途に用いられるだりでなく、
互いに連通した細孔を有するという特徴を生かしフィル
ターとしても用いられる。その圧電性を利用し一１交流
電界を印加することにより、フィルター自身を機械的に
振動さ−Ｖることか可能であり、フィルターの目詰まり
防止効果及びその他振動によるイリ帯効果が期待できる
。
形を容易にするものである。かかる無機微粉体ｔ」１、
平均粒径（１、０（１５〜＋１ 、５７（＋ｎ 、比表
面ｉＪ（５０〜５００ｍ’／ ｇ＋の範囲にある微小粒
子ｔたｔよ多孔１イ１゛粒子で？二とが好ましい。この
様な無機微粉体とじでｔ」２、まだ、有機液状体をよ成
形加工時に液体でイ９す、かつ不活＋′１で４５ること
が必要でちる。更に、有機液状体ｔよ適ｌ＾°「に高分
子物質中に溶解し、かつ大半が熱機微粉体表面に吸着し
た状態を形成するように選択される。それらの有機液状
体としては、溶解パラメータ（ｏｐ値）が用いる高分子
物質の８１’値＋０，２ないし−１−２，５、まだｔ５
１１、高分子物ηの８■・値−２，５ないし−０，２の
範囲のものが好虜しい。有機液状体の８ ＩＩ’値と高
分子物質の８１’値との差が２．５を越えると、高分子
物５４１への溶解性が低下し成形時に遊離する。このた
め、高分子物質同志の溶着が妨けられ成形性が悪化する
と共に、成形物の強伸度が低下する。また、８Ｐ値の差
が０．２未満であると、高分子物質への溶８’（ｆＡが
増加し、無機微粉体への吸着量が小さくなる。その結果
、高分子物質同志の溶着が充分性なわれ、成形弾性率を
も二！ンｌ−ｒｒ−ルｎＪ能である。従って、圧１１で
５体と（７′ｔの一般的用途に用いられるだりでなく、
互いに連通した細孔を有するという特徴を生かしフィル
ターとしても用いられる。その圧電性を利用し一１交流
電界を印加することにより、フィルター自身を機械的に
振動さ−Ｖることか可能であり、フィルターの目詰まり
防止効果及びその他振動によるイリ帯効果が期待できる
。
実施例 ！
微粉珪酸〔゛アエロジル２（１０、（ｉｌ’＜ｉ品名）
〕５５４重量部ジ」クチルフタレート（以１：、Ｉ）
Ｕ Ｐと略−ｊ） １（１７Ｊｒ＋川部用ミキサーで充
分混合したあと、さらに焉分子物質としてポリンツ化ビ
ニリデン樹脂（県別化学（１１）製Ｋ Ｆ ｄぞリマー
１１：１００（＋’） １００重月部加え、再Ｊｒｌｌ
混合し均一な混合物とした。描１に混合物を１８０℃の
熱ロールで混ｆ／１０．なから、ペロブ界を２時間印加
し、そのまｔ 置界を印加しながら室温まで冷却しなが
ら印加電圧を取り去り分極処理を施しだ。この上うＫし
て得たシート状組成物１．１，１．１− トリクロルエ
タン〔クロロ七ンｖＧ（商品名）〕中に５分間浸漬し、
１） ＯＦを抽出した後、さらにフッ化水素酸５（）チ
水溶液に６０分間浸漬し微粉珪酸を抽出除去し、水洗、
乾燥した。
〕５５４重量部ジ」クチルフタレート（以１：、Ｉ）
Ｕ Ｐと略−ｊ） １（１７Ｊｒ＋川部用ミキサーで充
分混合したあと、さらに焉分子物質としてポリンツ化ビ
ニリデン樹脂（県別化学（１１）製Ｋ Ｆ ｄぞリマー
１１：１００（＋’） １００重月部加え、再Ｊｒｌｌ
混合し均一な混合物とした。描１に混合物を１８０℃の
熱ロールで混ｆ／１０．なから、ペロブ界を２時間印加
し、そのまｔ 置界を印加しながら室温まで冷却しなが
ら印加電圧を取り去り分極処理を施しだ。この上うＫし
て得たシート状組成物１．１，１．１− トリクロルエ
タン〔クロロ七ンｖＧ（商品名）〕中に５分間浸漬し、
１） ＯＦを抽出した後、さらにフッ化水素酸５（）チ
水溶液に６０分間浸漬し微粉珪酸を抽出除去し、水洗、
乾燥した。
とのようにして得た高分子複合多孔質圧電体は、空隙率
６３チ、平均孔径０，５μであり、冷温での圧電ひずみ
定数ｄ３１は０．９ Ｘ １０−’ ｃｇｓ、ｅｓ電！
であった。
６３チ、平均孔径０，５μであり、冷温での圧電ひずみ
定数ｄ３１は０．９ Ｘ １０−’ ｃｇｓ、ｅｓ電！
であった。
実施例 ２
プレス成形して得たシートを、１２０℃で３倍−軸ロー
ル圧延した以外り実施例１と同様に行なった。得られた
高分子複合多孔質圧電体杜、厚さ７０μ、空隙率６５％
、平均孔径０．８μであり室温での圧電ひずみ定数ｄ３
１は（＋、９ Ｘ １０−” ｃｙｌｅｓｕで実施例
３ り１？リフツ化ビニリデン２３０重邦部、Ｉ’ Ｚ ’
ｒ ５５０．１ｔ ＪＸ、’部を用いた以外ｔコ、実施
例１と同様であイ）。得られプこ高分子複合多孔ｙ（圧
↑Ｉｆｆ、体は、′空隙率４０チ、３Ｙ均孔径０，５／
、Ｌであり、室温での圧電ひずみ′定数ｄ：ｎ ｌ’、
ｊ Ｏ，５Ｘ １０−’ ｃｇｓ、ｅｓｔ＋−ＣＩ）つ
た０実施例 ４ 高分子物質としてポリ７ツ化ビニリデン８（）重足部お
よびフッ素系エラストマー〔ダ・イキン社製、ソツ化ビ
ニリデンー六フッ化プロピレン共爪合体、ダイエル（’
ｌ −５０１（商品名）ｊ２０重Ｆｉ１部を用いた以外
は実施例１と同様である。得られた高分子複合多孔り１
圧電体は、空隙率６（）チ、平均孔径（）、３μであり
、室温での圧１１℃ひずみ定数ｄＢ＋は０．５ｘ １０
−９０１号、ｅ鴫１重であつプξ。
ル圧延した以外り実施例１と同様に行なった。得られた
高分子複合多孔質圧電体杜、厚さ７０μ、空隙率６５％
、平均孔径０．８μであり室温での圧電ひずみ定数ｄ３
１は（＋、９ Ｘ １０−” ｃｙｌｅｓｕで実施例
３ り１？リフツ化ビニリデン２３０重邦部、Ｉ’ Ｚ ’
ｒ ５５０．１ｔ ＪＸ、’部を用いた以外ｔコ、実施
例１と同様であイ）。得られプこ高分子複合多孔ｙ（圧
↑Ｉｆｆ、体は、′空隙率４０チ、３Ｙ均孔径０，５／
、Ｌであり、室温での圧電ひずみ′定数ｄ：ｎ ｌ’、
ｊ Ｏ，５Ｘ １０−’ ｃｇｓ、ｅｓｔ＋−ＣＩ）つ
た０実施例 ４ 高分子物質としてポリ７ツ化ビニリデン８（）重足部お
よびフッ素系エラストマー〔ダ・イキン社製、ソツ化ビ
ニリデンー六フッ化プロピレン共爪合体、ダイエル（’
ｌ −５０１（商品名）ｊ２０重Ｆｉ１部を用いた以外
は実施例１と同様である。得られた高分子複合多孔り１
圧電体は、空隙率６（）チ、平均孔径（）、３μであり
、室温での圧１１℃ひずみ定数ｄＢ＋は０．５ｘ １０
−９０１号、ｅ鴫１重であつプξ。
実施例 ！ｉ
高分子物質としてポリプロピレン樹Ｂ１１〔住友化と同
様である。得られた高分子複合多孔質圧電体ｔよ、空隙
率６７チ、Ｘ１？・均孔径０．０５μであり、室温での
圧電ひずみ定数（Ｉ’ｌｌ ｔＪ、 （１，５Ｘ ｌ
Ｏ−’ ｃｇｓ、ｅｓｕであった。
様である。得られた高分子複合多孔質圧電体ｔよ、空隙
率６７チ、Ｘ１？・均孔径０．０５μであり、室温での
圧電ひずみ定数（Ｉ’ｌｌ ｔＪ、 （１，５Ｘ ｌ
Ｏ−’ ｃｇｓ、ｅｓｕであった。
実施例 ６
高分子物質として高密度ポリエチレン樹脂〔旭化成ＧＰ
１社製、−リ゛ンテツク８−３６（１）’５４重置部を
用いた以外は実施例１と同様に行なった。得られた高分
子複合多孔質圧電体ｔよ、空隙率６５チ、平均孔径０．
１５μで、あり、室温での圧Ｍ５ひすみ定数ｄ３１は０
，４ Ｘ １０−’ ｃｇｓ、ｅｇｕであった。
１社製、−リ゛ンテツク８−３６（１）’５４重置部を
用いた以外は実施例１と同様に行なった。得られた高分
子複合多孔質圧電体ｔよ、空隙率６５チ、平均孔径０．
１５μで、あり、室温での圧Ｍ５ひすみ定数ｄ３１は０
，４ Ｘ １０−’ ｃｇｓ、ｅｇｕであった。
特許出願人 」二楯技術院長
Claims (1)
- 【特許請求の範囲】 直、 高分子物質と圧電性無機物微粒子よりなシ、気孔
率２５〜７５′％、平均孔径０．０１−１μｍの連通孔
からなる網目状ｔｒｌＩ造を形成していることを特徴と
する高分子複合多孔質圧電体 ｚ 高分子物質、圧電性無機物微粒子、有機液状体およ
び無機微粉体を混合、溶融成形し、分極処理し、ついで
成形物よシ有機液状体および無機微粉体を抽出すること
を特徴とする高分子複合多孔質圧電体の製造方法
Priority Applications (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57135671A JPS5927584A (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | 高分子複合多孔質圧電体およびその製造方法 |
Applications Claiming Priority (1)
| Application Number | Priority Date | Filing Date | Title |
|---|---|---|---|
| JP57135671A JPS5927584A (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | 高分子複合多孔質圧電体およびその製造方法 |
Publications (2)
| Publication Number | Publication Date |
|---|---|
| JPS5927584A true JPS5927584A (ja) | 1984-02-14 |
| JPH0219984B2 JPH0219984B2 (ja) | 1990-05-07 |
Family
ID=15157199
Family Applications (1)
| Application Number | Title | Priority Date | Filing Date |
|---|---|---|---|
| JP57135671A Granted JPS5927584A (ja) | 1982-08-05 | 1982-08-05 | 高分子複合多孔質圧電体およびその製造方法 |
Country Status (1)
| Country | Link |
|---|---|
| JP (1) | JPS5927584A (ja) |
Cited By (5)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| EP0182764A2 (en) * | 1984-11-20 | 1986-05-28 | KIRJAVAINEN, Kari | Electromechanical film and procedure for manufacturing same |
| JP2012167181A (ja) * | 2011-02-14 | 2012-09-06 | Daicel Corp | 無機粒子を含有する多孔質膜及びその製造方法 |
| JP5545208B2 (ja) * | 2008-03-14 | 2014-07-09 | コニカミノルタ株式会社 | 有機圧電材料、それを用いた超音波振動子、その製造方法、超音波探触子及び超音波医用画像診断装置 |
| CN104795488B (zh) * | 2015-03-16 | 2018-08-31 | 苏州攀特电陶科技股份有限公司 | 高陶瓷含量压电陶瓷聚合物复合材料及其制备方法 |
| JPWO2018047878A1 (ja) * | 2016-09-06 | 2019-06-24 | 積水化学工業株式会社 | 圧電センサ |
Families Citing this family (1)
| Publication number | Priority date | Publication date | Assignee | Title |
|---|---|---|---|---|
| WO2008018278A1 (fr) | 2006-08-08 | 2008-02-14 | Konica Minolta Medical & Graphic, Inc. | Sonde à ultrasons et procédé de fabrication d'une sonde à ultrasons |
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-
1982
- 1982-08-05 JP JP57135671A patent/JPS5927584A/ja active Granted
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Also Published As
| Publication number | Publication date |
|---|---|
| JPH0219984B2 (ja) | 1990-05-07 |
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